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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    7oL:C  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   ,&O&h2=  
         Gh3f^PWnc  
    2. 建模任务 `i~J0#P  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
    $`C$|9S  
    =@P(cFJ/  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) eq2L V=d{m  
    0!axAvBV  
    2of+KI:  
       9(a*0H  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ady SwB  
    {@" F/G+  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) p .~5k  
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    8l?@ o  
         NfCo)C-t  
    6. 3D仿真与结果对比 \w$e|[~  
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    PDh!B _+  
    7. 走进VirtualLab Fusion [#:yOZt  
    KWw?W1H  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 7B)@ aUj$  
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     构造光栅结构 PB{5C*Y7^k  
    - 2m&?t_W  
     计算光栅结构内部的场分布 # o\&G@e}  
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    9. VirtualLab Fusion技术  A1jA$  
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