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'h, 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
Dm6}$v'0 0EYK3<k9! 2. 建模任务 u|7d_3 :: 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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n}qHt0N 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
@#}9?>UV (KHTgZ6 h@T}WZv 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) A}sb2P
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Te~"\`omJ3 |*7uF<ink6 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3C8'0DB
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X|H%jdta gO?+:}! 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) hFP$MFab
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YZf<S: n\5` JNCb 6. 3D仿真与结果对比 Ix%h/=I
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&3>ki0L -,et. * 7. 走进VirtualLab Fusion l'VgS:NT
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C8y 3T/G ~-Rr[O=E 8. VirtualLab Fusion的工作流程 VY@uQ#&A KGkzE ,qpn4`zE~ 构造
光栅结构 mUzNrkG(G -
0X -u'=Bs 计算光栅结构内部的场分布
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