g>E.Snj} 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
L9{y1'') t#d{hEr 2. 建模任务 %-fQ[@5 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
xciwKIpS
AcP d(Pc 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
I9Lt>* `l2h65\ nD.K*# u 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) i"#pk"@`
!mH
!W5&
w"{mDL}c |"g+p)A 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) # Rhtaq9
W#&BU-|2
',Y`\X Gv&%cq1 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) dWTc3@xd
J4%"38l
`ztp u
~? `{%ImXQF 6. 3D仿真与结果对比 @4G{L8Q}
;;S9kNp^v
5[LDG/{Tys '>cZ7: 7. 走进VirtualLab Fusion MzMVs3w|
+,]_TxL|C
"m>BE MFn\[J`Ra 8. VirtualLab Fusion的工作流程 ioBYxbY` {ub'
.On3ZN 构造
光栅结构 !Qq~lAJO; -
;#L]7ZY9:- 计算光栅结构内部的场分布
Vkfc&+ &D91bT+L
QtA@p ?)g [Xc;K 9. VirtualLab Fusion技术 RR2M+vQ ?$MO!