`)$G}7cRUH 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
F^.]g@g.| 3K||( 2. 建模任务 P\@kqf~pC 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
{.U:Ce
B3yTN6- 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
8@doKOA~T k^d^Todq. g'!"klS93 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ga,kKPL
,dd1/zm
t!xdKX& } 4YY!oDN: 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) K20Hh7cVJ
o;DK]o>kH
Js:U1q \(`2 @ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) x4 4V
9-o
3
[#Rm>,Vu
}T PyHq" *"OlO}o 6. 3D仿真与结果对比 VL5VYv=:
"3 ++S
fVZ92Xw
B \)6AzCq 7. 走进VirtualLab Fusion VcsMDa
Jza?DhSAZ
Z{t `f[ LB({,0mcX 8. VirtualLab Fusion的工作流程 0s Jp,4Vv E 6MeM'sx g9;s3qXiG 构造
光栅结构 sZ7,7E|_ -
Kwm_Y5`A 计算光栅结构内部的场分布
a*}>yad B1Pi+-t
'C`Ykjf L%3Bp/`S 9. VirtualLab Fusion技术 G$KQgUN~[ y$di_)&g