FwAKP>6 * 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
=v~1qWX w?vVVA 2. 建模任务 ^ZeJ[t&!# 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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8;P2A\X 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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_{? t G.(flW, 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)
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`iKj LE^G&<! 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) FyL_xu\e
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^n.WZUk \uOdALZ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -<_$m6x"A
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GyI-)BlDC %GEJnJ 6. 3D仿真与结果对比 @ez Tbc3
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cS.i ?kw&=T! 7. 走进VirtualLab Fusion :c[n\)U[aa
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Px@/Q 8. VirtualLab Fusion的工作流程 pI[ZBoR~ <-Bx&Q @JkK99\(>9 构造
光栅结构 I3S9Us-\ -
`BFIC7a 计算光栅结构内部的场分布
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ZUXr!v/R:1 7cg*|E@ 9. VirtualLab Fusion技术 nQK|n^AU/ 1r)kR@!LNG