[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

 bH*@,EE  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   ^8:VWJM  
     Sv7 i! j  
2. 建模任务 nO~b=q
O  
*=Doe2(!C  
     V1<ow'^i  
     F\5X7ditD  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ,jy<o+!  
Y %K~w  
Va7c#P?  
   #e/2C  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Y
+g,pX  
a:A n=NA  
XYe~G@Q Z  
     B/mYoK  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) .U9R>#  
6 }!Z"  
L\YKdUL  
     )GVBE%!WEd  
6. 3D仿真与结果对比 h3kaD  
r} Lb3`'  
Z`Ax pTl  
!6HuFf  
7. 走进VirtualLab Fusion g<$. - g  
R:~(Z?  
zOB !(R  
     icE|.[  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 r| f-_D  
MTb,Kmw<(  
w?*z^y@  
 构造光栅结构 |jT2W  
- _1  pDA  
 计算光栅结构内部的场分布 l&L,7BX  
w9f _b3  
O2.'-  
3pSj kS|?>  
9. VirtualLab Fusion技术 BX[~%iE  
DtWxr