rixNz@p'% 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
J\XYUs 0Ep%&>@ 2. 建模任务 3.B|uN 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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R<)7,i`F 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
MT BN&4[ UO8#8 NMmk, 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) cEO g
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+LV~%?W /og2+! 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) s$J0^8Q~i
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z+&mMP`- $d%m%SZxv 6. 3D仿真与结果对比 fb4/LVg'J
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V[Fzh\2n B|gyr4] 7. 走进VirtualLab Fusion Gr&5 mniu
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XKLkJZN JadXd K=gE 8. VirtualLab Fusion的工作流程 rgdDkWLXC #-1 ; T?:Vw laE 构造
光栅结构 ~\<Fq \.x -
i}N'WV`! 计算光栅结构内部的场分布
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Xa#`VDh *xA&t)z(i 9. VirtualLab Fusion技术 WE 'afxgV ^tIs57!