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)kwy6L 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
`7_n}8NVC +Ag#B* 2. 建模任务 cYD1~JX. 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
c Vg$dt W-XN4:,qI 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
*1v_6<;2i< 8Mb$+^zU q]l\`/R%u 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) V=9Bto00
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Te}IMi: MM*-i= 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) gTD%4V
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-faw: [Ekgft& 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) c}\
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2dyxKK!\a %Fm`Y.l 6. 3D仿真与结果对比 hhj
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8fEAYRGd W7]mfy^ 7. 走进VirtualLab Fusion qIk
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h%|9]5(= (ai72#nFtb 8. VirtualLab Fusion的工作流程 ]Y$&78u8t K1
6s)S' rl41#6 构造
光栅结构 ls]Elo8h1f -
;pCG9 计算光栅结构内部的场分布
9XY|V<} [L)V(o)v GZ.?MnG U(8I+xZ 9. VirtualLab Fusion技术 a1_o.A @]<DR*<