q'Tf,a 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
ZRU{[4 VQ9/Gxdeo 2. 建模任务 lp%pbx43s 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
sN01rtB(UT
*mvlb
(' & 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
[%1CRk -fW*vE: hy"\RW 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Od,qbU4O
pYmk1!]/
57 )cMh0SGcM1 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) _TQj~W<
dk4CpN
68C%B9.b' Ig0VW)@ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) = x)-u8P
PmEsN&YP]
kzUIZ/+ZL, EDl!w: 6. 3D仿真与结果对比 V#gK$uv
eF-."1
$1L>)S rlSeu5X6 7. 走进VirtualLab Fusion 7CURhDdk
~YWQ2]
=|y9UlsD `%"\@< 8. VirtualLab Fusion的工作流程 j@3Q;F0ba h( u8&MHx u.m[u)HQ 构造
光栅结构 +.b,AqJ/ -
9`X\6s 计算光栅结构内部的场分布
?_9 2E)-M9ds
ZI}F om< 0#Y5_i|p 9. VirtualLab Fusion技术 :vQrOn18p }?_?V&K|