W_`]7RO8 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
.iRKuBM/ :^3 )[.m 2. 建模任务 Y:ly x-lj 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
k8+J7(_c
KHML!f=mu 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
P);s0Y|@H 7sxX?u @F<{/|P 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) <J&S[`U!
?l/6DT>e
U.Mfu9}#: ?n`m 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5;/n`Bd
Xkhd"Axi
4@ c a_mift 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) o:AfEoH"~
\N*([{X
4=([v;fc 2F:qaz 6. 3D仿真与结果对比 3Tl<ST\
2e1KF=N+
.C%
28fH \sAaVdZJH( 7. 走进VirtualLab Fusion o%t4WQ|bj
;|5-{+2 U%
oZvG Kf ,/{e%J 8. VirtualLab Fusion的工作流程 v745FIy< t>\sP ukSv70Ev 构造
光栅结构 5g7@Dj,. -
<=*f 计算光栅结构内部的场分布
y!#-[K: oFWb.t9<
LORcf 1X/ Z10Vx2B 9. VirtualLab Fusion技术 8z#Qp(he al9wNtMT