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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    X)8Edw[?N3  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   li~=85 J  
         CY)[{r  
    2. 建模任务 Ej`G(  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) B{1yMJA  
    QW%xwV?8  
    ay28%[Q b4  
       2{L[D9c/6  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) jgw+c3^R_  
    H]Gj$P=k  
    'EkjySZ]F{  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) G<t _=j/r  
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    q4u-mM7#7  
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    6. 3D仿真与结果对比 *0 ;|  
    YMn=9EUp  
    @OC*:?!4  
    QFEc?sEe  
    7. 走进VirtualLab Fusion a+n?y)u  
    By0Zz  
    E^m2:J]G  
         cLMFC1=b  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 )/t=g  
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     构造光栅结构 AT I2  
    - <P c;8[  
     计算光栅结构内部的场分布 _[J>GfQd  
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    9. VirtualLab Fusion技术 jiLt *>I  
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