4dP_'0]9A: 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
9^tyjX2 plq\D.C 2. 建模任务 ghl9gFFj 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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)UJMmw\ 5{> cfN\q P}jr 8Z 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) )j]RFt
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yWuq/J: iq#Z\Y( 8. VirtualLab Fusion的工作流程 gS%J`X$ "O4Z).5q3 ;p/@tr9 构造
光栅结构 seq$] -
>nxtQ 计算光栅结构内部的场分布
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e|I5Nx2) C9h8d 9. VirtualLab Fusion技术 :X^B1z3X4 vv u((b