[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

}R\;htmc;  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   z7PmyU >  
     |{j\7G*5  
2. 建模任务 +ak<yV1=  
\5q0nB@i5y  
     gc"A Tc  
     D
x*tolF  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) i9O;D*  
KrzIL[;2o  
~1g)4g~  
   :%2uZ/cG(  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) '0tNo.8K  
Tsc2;I  
Ae3=o8p  
     DFvj  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) L_(Y[!  
.Z#8,<+  
/8Xd2-  
     ~]S%b3>  
6. 3D仿真与结果对比 yq]/r=e!k  
RGC DC*
\  
U_oei3QP  
mgL{t"$c  
7. 走进VirtualLab Fusion eZ`x[g%1  
#}8 x  
h#?)H7ft  
     _Y8RP%  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 !IAd.<,  
*T:gx:Sg/  

Hr}pO"%  
 构造光栅结构 kgGMA 7Jy  
- +|c1G[Jh  
 计算光栅结构内部的场分布 :kw14?]_  
'joE-{  
I5H#]U  
J,,+JoD  
9. VirtualLab Fusion技术 lDF26<<\`  
&:}}T=@M1