6Ypc` 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
]zE;Tw.S de.&`lPRf 2. 建模任务 8i>ZY 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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^1iSn)& 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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sqEI4~514 R;s?$;I 6. 3D仿真与结果对比 h`KFL/fT
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~ELNyI11 _ky,;9G] 7. 走进VirtualLab Fusion LJd5;so-
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FQu8vwV6> o3Yb7h9 8. VirtualLab Fusion的工作流程 HG^B#yX Wvbf"hq fol,xMc& 构造
光栅结构 *7CV^mDm -
%`>nS@1zp 计算光栅结构内部的场分布
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5b*M*e&=C ]RPs|R? 9. VirtualLab Fusion技术 <e Th `|6'9