e[1>(l}Ss 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
~_>cM c aD9q^EoEs 2. 建模任务 ;3"@g]e 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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5\hd4 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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:( 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) G.\l qYrXU
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+G*JrwJ&= Ws I>n 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Ez+Z[*C
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/,s[#J L',mKOej 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5Bjgr
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$s-Y%gc `~#<&w 6. 3D仿真与结果对比 ;H'gT+t<c
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p)2d=# 8. VirtualLab Fusion的工作流程 !w39FfU{ YA:nOvd@O ~" i0x 构造
光栅结构 k*mt4~KLT8 -
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`3 计算光栅结构内部的场分布
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QDx$==Fo ZcJ\ZbE| 9. VirtualLab Fusion技术 ntVS:F P{Lf5V9# <