[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

,<r&] eC  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   oSC'b%  
     Mjy:k|aY"  
2. 建模任务 mpMAhm
:  
C?T\5}h  
     #c>GjUJ.w  
     $?G@ijk,  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 4n@lrcq(  
,7]hjf_h  
f,KB BBbG  
   dkZe.pv$j  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Kbf(P95+uL  
UI+6\ 3  
I/MY4?(T  
     ]myRYb5Z
 
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) .
Dr!\.hL  
R=lw}jH[Z  
]A'{DKR  
     yXJ25Axb  
6. 3D仿真与结果对比 h<`aL;.g  
`KFEzv  
4JAz{aw'b  
:Kwu{<rJ!(  
7. 走进VirtualLab Fusion KBmOi  
{E:`  
!m+Pd.4TaB  
     :_~.Nt  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 ir_XU/ve  
'z(Y9%+a  
&aLTy&8Fv  
 构造光栅结构 2@
<_,'  
- FklR!*oL,)  
 计算光栅结构内部的场分布 l<f9$l^U
 
Q'/sP 5Pj  
iZ-R%-}B  
>u&D@7~c  
9. VirtualLab Fusion技术 usB*Wn8  
`$B?TNuch7