[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

&O*ENpF  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   ~6HDW  
     JJ-i_5\q  
2. 建模任务 ox4W$YdMG  
_lT0Hu  
     O^NP0E  
     )E-E0Hl>7  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7Ud'd<  
]]/lC  
 Q;20T  
   Bc[6*Y,%T  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) e1uMR-Q  
@ef$b?wg  
5#!ogKQ(i  
     }p*?1N  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 4By]vd<;=  
Kj!Y K~~  
VDa|U9N  
     Nf5WQTa4  
6. 3D仿真与结果对比 MA6P"?  
H&K3"Ulw  
l&|)O6N  
F.0d4:A+  
7. 走进VirtualLab Fusion "kr,x3 =  
-l JYr/MSL  
-|[~sj-p  
     ^aptLJF  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 c'rd$  
B{PLIis
c  
(#z;(EN0t  
 构造光栅结构 Qi:j)uDW  
- l
5HWZs^  
 计算光栅结构内部的场分布 _[JkJwPTx  
3agNBF2  
n ,1tD  
S.hC$0vrj  
9. VirtualLab Fusion技术 UE;Bb
*<  
&57U? oY