[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

E
VX*YGxx6  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   8`M) r'5  
     >NDI<9<'0}  
2. 建模任务 zT4SI'r?f  
m`_
s_#  
     j6}/pe*;;T  
     O1[`2kj^HB  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) O7vJ`K(!  
u)J&3Ah%  
W~b->F  
   kbu.KU+  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) I54`}Npp  
<u
`m4w  
f_'#wc6  
     w8~B@}%  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) D[#6jJAb  
=zBc@VTp  
d>k)aIYp  
     J7a_a>Y  
6. 3D仿真与结果对比 ^I!u H1G  
m}`!FaB #  
D6z*J?3^#&  
B
eFCt;  
7. 走进VirtualLab Fusion 'qoDFR\v  
M4rI]^lJ  
ZE393FnE  
     % XvJJ  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 +s$` kl  
a>6@1liT  
KcPI,.4{  
 构造光栅结构 4Kl{^2  
- }:SWgPfc  
 计算光栅结构内部的场分布 ';,Rq9-'  
V d`}F0WD  
h=*eOxR"4^  
}LYK:?_/  
9. VirtualLab Fusion技术 'j&+Pg)@  
1>)q5D