{dH<Un(4Z 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
, X+(wp YuuG:Kk 2. 建模任务 = nN*9HRD 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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yM ~D.D3H 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
4B,A+{3yL {N`<e>A]{ + {dIs 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) tXuxTVhoT
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1Ac1CsK* `a9>4 6. 3D仿真与结果对比 vG} oo
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[ =l9#/G#R 7. 走进VirtualLab Fusion Bbp9Q,4
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^!tI+F{n{ o\gQYi 8. VirtualLab Fusion的工作流程 tfQq3 # ?5gpk1 _L.yt5_ 构造
光栅结构 U$Z}<8 -
N/=3Bs0y- 计算光栅结构内部的场分布
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H|O}Dsj boon=;{p 9. VirtualLab Fusion技术 hgltD8, U0T N8O}Z