r'&9'rir2 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
j\dkv_L ~JLqx/[|s 2. 建模任务 $'9r=#EH 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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f`A 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
L{^DZg|E !kASEjFz|f ]N=C%#ki! 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) o,\%c"mC
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6> i $I|JJJ 6. 3D仿真与结果对比 87<y_P@{
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j~Gu;%tq m\Tq0cT$ 7. 走进VirtualLab Fusion 7vj[ AOq3l
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pHg8(ru| sM5 w~R>Y 8. VirtualLab Fusion的工作流程 ?sS'T7r
v :!} zdeRJ Z:/S@ry 构造
光栅结构 [tD*\\IA -
^w&TTo( 计算光栅结构内部的场分布
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M;iaNL( iT5H<uS 9. VirtualLab Fusion技术 #[KwR\b{:+ X! 2|_