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*ZH1 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
1R+ )T'in meM.?kk( 2. 建模任务 5(MZ%-~l 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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x}8T[ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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<sWcS; x f w>Gx9 6. 3D仿真与结果对比 %_@5_S
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/&!d +_XbHjhN/ 8. VirtualLab Fusion的工作流程
Z"%O&O 1PTu3o&3 ~ew**@N 构造
光栅结构 d
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UG?C=Tf 计算光栅结构内部的场分布
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GqD!W8+ r5qx! > 9. VirtualLab Fusion技术 {LJ6't 8y: .8PO7#