y#HD1SZ 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
jpyV52 ~X5yHf3 2. 建模任务 $/],QD_;" 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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)V JAs| 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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cZ|D!1% >?'q P ] 6. 3D仿真与结果对比 `NXyzT`:K
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vIU+ZdBw h\'GL(?DBI 8. VirtualLab Fusion的工作流程 FO_nS #lltXqvD? U`FybP2R~ 构造
光栅结构 k}ps-w6: -
98Srn63O 计算光栅结构内部的场分布
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ZyCAl9{p eno*JK 9. VirtualLab Fusion技术 z$ysp! "c!s\iuBU