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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    {dH<Un(4Z  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   , X+(wp  
         YuuG:Kk  
    2. 建模任务 = nN*9HRD  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
    _A~gqOe  
    yM~D.D3H  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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         {N`<e>A]{  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) tXuxTVhoT  
    Oc=PJf%D#  
     VZ!$'??  
       ]@g$<&  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ZX}"  
    X+BSneu  
     ZOsn,nF  
         sm S0Rk  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 1F8EL)9  
    s&hP^tKT  
     1Ac1CsK*  
          `a9>4  
    6. 3D仿真与结果对比 vG}oo  
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    =l9#/G#R  
    7. 走进VirtualLab Fusion Bbp9Q,4  
    4(gf!U  
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         o\gQYi   
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 t fQq3#  
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     构造光栅结构 U$Z}<8  
    - N/=3Bs0y-  
     计算光栅结构内部的场分布 e@By@r&nql  
    B\yq% m  
    H|O}Dsj  
    boon =;{p  
    9. VirtualLab Fusion技术 hglt D8,  
    U0T N8O}Z  
     
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