T{ XS")Vw 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
!1H# 6 _
y8Wn}19f 2. 建模任务 Z!zF\<r 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
f=gW]x7'R+
[H^z-6x:0 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
vJc- 6EO ']z{{UNUN gS]@I0y8
. 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) q" sed]
]i ,{
/quc}"__ 4,gK[ dc 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) O6a<`]F
< ?}-$
})8N5C+KU rt~d6|6 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) dx{bB%?Y\=
A,hJIe
j2.|ln"! {19PL8B~} 6. 3D仿真与结果对比 )SRefW.v
MvHm)h
9gEwh< Fk*7;OuZl 7. 走进VirtualLab Fusion +LZLy9iKt
1AfnzGvA
_w(7u(Z `nv~NLkl 8. VirtualLab Fusion的工作流程 a# y;dK q#ClnG* x_6[P2"PP 构造
光栅结构 xH(lm2kvT -
D4-ifsP 计算光栅结构内部的场分布
ag#S6E^%S )Y6 +
R_ ,U Mt )c83/= <v 9. VirtualLab Fusion技术 .4M.y:F Z/;(fL