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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    | aAu 4   
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   [_$r-FA  
         [G.4S5FX.]  
    2. 建模任务 +jpaBr-O#  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
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    i|`b2msvd  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    D\~s$.6B  
         +&AKDVmx  
         C(w?`]Qs  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Vki'pAN  
    sObH#/l`  
    nqp:nw  
       ;Avz%2#c`  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) R1!F mZW8  
    B~%'YQk  
    6}V)\"u&   
         ;q=0NtCS=4  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) bHJKX>@{  
    ywSV4ZtM  
    Sio> QL Y  
         '7'*+sgi$  
    6. 3D仿真与结果对比 su?{Cj6*  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 WFGcR9mN?  
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