$T6<9cB@ 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
er_aol e JBqzQ^[n 2. 建模任务 >2rFURcD 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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`U1"WcN 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
&sW/r::, $KiA~l biJU r^n 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) P>H'od
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?E`J-ncP ,W#y7t 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) U>>J_2
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iJ\#su YC$pT 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6x{B
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mr*zl* Bg3^BOT 6. 3D仿真与结果对比 n4:WM+f4
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Y 7. 走进VirtualLab Fusion i,~{{XS<
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FGZOn5U6' !:>y.^O 8. VirtualLab Fusion的工作流程 ,+JAwII>O }SYvGp{J, NZl0sX.: 构造
光栅结构 /5o~$S -
:!R+/5a 计算光栅结构内部的场分布
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