[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

p(9[*0.};  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   XJk~bgO*  
     b;NVvc(  
2. 建模任务 X1BqN+=@9  
SL +\{V2  
     P/Y)Yx_(  
     9D;
ono3  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ]cWQ9  
MPYYTQ1FB  
Mky^X,r  
   H}(WL+7  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) r
je;Bf  
6rO^ p  
^s$U n6v[  
     *xpPD\{k  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5r dt  
fJe5 i6`(  
^ (J%)&_\3  
     _,I~1"  
6. 3D仿真与结果对比 f 0~Z@\  
N x
^JC_  
g4;|uK;  
GoPMWbI7  
7. 走进VirtualLab Fusion [jEA|rd~}  
>t.PU.OM  
fd62m]X  
     o,xy'  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 _ozg=n2(  
x@:98P  
tCGA3t  
 构造光栅结构 jaMpi^C  
- %CgmZTz~<  
 计算光栅结构内部的场分布 aJc>"#+
o  
7nM<P4\  
Bgai|l  
ISTAJ8" D  
9. VirtualLab Fusion技术 _^!C4?2!  
L3j ~Ooo