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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
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    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   y,Jh@n';|  
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    2. 建模任务 %`e`g ^  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Oa! m  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Vo\H<_=G  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?R|th Z  
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     S/.^7R7{f  
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    6. 3D仿真与结果对比 } #Doy{T  
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    7. 走进VirtualLab Fusion )1lu=gc  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 io.]'">  
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     构造光栅结构 qM",( Bh  
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     计算光栅结构内部的场分布 d]SYP  
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    9. VirtualLab Fusion技术 A_R!uRD8-  
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