y 4I6 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
w2Jf^pR o` ZQ d,3 2. 建模任务 : $Y9jR 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
?Exv|e
r1.nTO% 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
v7jq@#- 4UlyxA~ !^=*Jq> 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 9N<<{rQ,F
UAFwi%@!-q
5JCG2jqx0 CBOi`bEf 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Z
X(z;|l45
qnJt5
6@e+C;j= 9S7kUl{ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Y/>&0wj)d
Fzpfoz<N
?hM>mL 2`>T oWN! 6. 3D仿真与结果对比 V |/NB
dC$Em@Nb
?ROqn6k&c Nq` C.& 7. 走进VirtualLab Fusion Ib\iT:AJ
#PanfYR
KgOqbSJ g[Ib,la_a 8. VirtualLab Fusion的工作流程 RGg(%. [*H N" 8X`tU<Ab 构造
光栅结构 LbG_ z =A -
Q/I!}C4 计算光栅结构内部的场分布
? glSC$b #iWSDy
fX.>9H[w@~ sqJSSNt 9. VirtualLab Fusion技术 mc_ch$r! lR[qqFR