[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

zF#:Uc`C5U  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   tQmuok4"d  
     >A ?,[p`<  
2. 建模任务 G
?5Vj_n  
8m 5T  
     $`6Q\=*R/  
     yp"h$  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) }^zsN`  
8>a%L?BY  
) S,f I  
   W9/HM!  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) gfly?)VnF  
Q ?R3aJ  
X}_Gk5q*  
     DW0N}>Gp*  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) pRGag~h|E  
vhKHiw9L  
5LJ0V  
     /xw}]Fa5  
6. 3D仿真与结果对比 u{%dm5  
7)dCdO  
/<T3^/ '  
(e_l1O?  
7. 走进VirtualLab Fusion uXo?  
jkV9$W0  
BKk+<#Ti  
     g1&>.V}!  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 lAJP X  
r&ux|o+  
6}>CP
i#  
 构造光栅结构 6\vaR#  
- k]9+/$  
 计算光栅结构内部的场分布 \/F*JPhy  
Czb:nyRj  
Mew,g:m:  
yyM`J7]J  
9. VirtualLab Fusion技术 {wv
Bs87  
UM:]QbaIn