U< G 2tn( 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
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&TM}E -)oUb=Lk{ 2. 建模任务 hI!BX};+} 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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$~.YB\3 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
[z2UfHpt~ 2=NaqHt( s2G9}i{ 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) lJ-PW\P
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iOURS kJ FWk 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) i m;6$3
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vHpw?(] N5=BjXSAg 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \6&Ml]1
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D1xGUz2r Yw3'9m^ 6. 3D仿真与结果对比 X>o9mW
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光栅结构 [UzD3VPg -
VjM3M<!g>M 计算光栅结构内部的场分布
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