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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    {rvbo1t  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   b LM"t0  
         f3TlJ!!U  
    2. 建模任务 Lkl|4L   
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
    L=HVdeE  
    Hg9.<|+yo  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    M=AvD(+ha  
         Xs>s|_T  
         3U~lI&  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) q#(/*AoU  
    hiMyFvA4  
    N8XC~Dh{  
       mheU#&|  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) W>0"CUp  
    JOdwv4(3V  
    SCurO9RN  
         }PFt  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) m@Ip^]9ry  
    A }-&C  
    .'S^&M/$  
         .IH@_iX  
    6. 3D仿真与结果对比 1O9p YW5J  
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