[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

$Xc<K
_Z  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   )1 j2  
     KZfRiCZ  
2. 建模任务 jloyJ@ck  
htym4\Z=  
     *=@pdQkR  
     lXKZNCL  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) _/
ZY&5N  
i%8 sy  
6|}mTG^  
   qG]PUc>j  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) h cXqg  
*$D-6}Oay  
-;"l5oX  
     =>*N W9c  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) `,d7_#9'  
u`|fmVI  
j]&{ @Y  
     Q~_x%KN/`  
6. 3D仿真与结果对比 OhEL9"\<  
Din)5CxFX  
p]4 sN  
M7 !" t  
7. 走进VirtualLab Fusion fif<[Ax  
Hp!F?J7sx  
sKO ;p  
     g"Bv!9*H  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 Q,`kfxA`O  
_@
2G]JD  
y9)",G!  
 构造光栅结构 O]lfs>>x  
- {eUfwPAa3  
 计算光栅结构内部的场分布 Dzr5qP?#  
,RQ-w2j?  
aK'r=NU
 
]mA?TwD  
9. VirtualLab Fusion技术 q=6Y2Q  
4>*`26