{rvbo1t 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
bLM"t0 f3TlJ!!U 2. 建模任务 Lkl|4L 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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Hg9.<|+yo 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
M=AvD(+ha Xs>s|_T 3U~lI& 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) q#(/*AoU
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N8XC~Dh{ mheU#&| 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) W>0"CUp
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SCurO9RN }PFt 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) m@Ip^]9ry
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.'S^&M/$ .IH@_iX 6. 3D仿真与结果对比 1O9p YW5J
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#A3v]'7B d=?Mj] 7. 走进VirtualLab Fusion ~y)bYG!G
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7rdw` _3.G\/>[K 8. VirtualLab Fusion的工作流程 7V} ]C>G |)-|2cPRur W`N} 构造
光栅结构 <rB3[IJo -
!{Q:(B#ec 计算光栅结构内部的场分布
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R VkU+7 *qPdZ 9. VirtualLab Fusion技术 TX23D)CX +5HnZ?E\