,<!_MNw[ 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
+n_`*@SE *.nC'$-2r 2. 建模任务 Y??8P 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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d}#G~O+y3v 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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lt%bGjk l;_zXN 6. 3D仿真与结果对比 7[aSP5e>T
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N&ZIsaK,j rBG8.E36J 7. 走进VirtualLab Fusion H]>b<Cs
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8 8. VirtualLab Fusion的工作流程
ETQ.A< v l'h[wwEXm{ :"BZK5{8 构造
光栅结构 Id-?her>B -
<~ E'% 60; 计算光栅结构内部的场分布
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96M?tTa ^3`CP4DT 9. VirtualLab Fusion技术 U-+%e:v
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