>J#/IjCW 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
:q~5Xw/ v6ei47- 2. 建模任务
e ^ZY 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
VO~%O.>
^fE8|/]nG9 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
iNilk!d6Q3 ;*hVAxs1 Y$9x!kV 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) .>S1do+
a:;7'w'
*BvdL:t ibLx'< 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) bXA%|7*
RKp9[^/?
5n1`$T.WG = ?BhtW 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) v`S ;.iD
8#[2]1X^8
!?lvmq z#lIu 6. 3D仿真与结果对比 5 Pf)&iG
egH,7f(yP
@bChJl4 5F!i%{XQvm 7. 走进VirtualLab Fusion )l.AsfW%
,L4zhhl!_
{`-AIlH( DK20}&RQ 8. VirtualLab Fusion的工作流程 %<8r`BMo %Y,Ru)5} KpDb%j 构造
光栅结构 JeF$ W!!{ -
@|s$:;(= 计算光栅结构内部的场分布
8|Ob7+ S9^SW3
M Np4=R ?zfm"o 9. VirtualLab Fusion技术 <"}t\pT] ju07gzz