Z30r|Ufh 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
E((U=P}+g sWG_MEbu 2. 建模任务 -gq,^j5, 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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sYMgi D 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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9/yE\p. yJ0q)x sS 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ^8z~`he=_J
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$2><4~T;|A I1Jhvyd?$ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) +N3f{-{"Yo
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ntZl(] l =sIkA)"!= 6. 3D仿真与结果对比 y\C_HCU H
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光栅结构 141G~@- -
|[3%^!f\ 计算光栅结构内部的场分布
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