:BNqr[=b 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
.?@$Rd2@W ?2E@)7 2. 建模任务 K.JKE"j)d 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
mXAX%M U
PI)lJ\ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
)8!""n~ K\,)9:`t ]wc'h>w 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 1\$xq9
zw_Xh~4"b
Cz#0Gh>1 +%UfnbZ 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) K_G(J>
dNU i|IYm$
6:fe.0H9 to|O]h2*U2 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) z)#I"$!d
LD0x 4zm$m
;w a-\Z kD8$ir'UYG 6. 3D仿真与结果对比 RplLU7
)R(kXz=M
%-/[.DYt y
U
=) g 7. 走进VirtualLab Fusion J NPEyC
f(6`5/C
_)"-zbh}{ bqWo*>l 8. VirtualLab Fusion的工作流程 !D!~4h) ;}@.E@s%' F>dB@V- 构造
光栅结构 c>6dlWTqX -
YC8wo1;Y! 计算光栅结构内部的场分布
:k*'MU} ,.A@U*j
k Pi%RvuQ
W8z4<o[$ 9. VirtualLab Fusion技术 iyKAw
Ye% e!