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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-13
    3 R5%N ~  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   (g%JK3  
         (y=dR1p  
    2. 建模任务 _wm~}_Q  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
        
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    dzgs%qtK  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ISpeV  
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    - waX#U T=  
       536^PcJlN  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) .>k=A|3G  
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         2#'rk'X,K  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) @b]VCv0*f%  
    D4AEZgC F,  
    zTkFX67)  
         D35m5+=I  
    6. 3D仿真与结果对比 ?$<SCN =  
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    <Cu'!h_nL  
    7. 走进VirtualLab Fusion :0B |<~lX  
    La\Q'0  
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         2y^U k,g  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 $=\d1%_R|  
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     构造光栅结构 _i-\mR_~  
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     计算光栅结构内部的场分布 0xN!DvCg>.  
    Po!oN~r  
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    9. VirtualLab Fusion技术 ,(6)ghr  
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