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~ 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
(g%JK3 (y=dR1p 2. 建模任务 _wm~}_Q 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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dzgs%qtK 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
J*}VV9H &e%{k@ b%3Q$wIJ6 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ISpeV
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- waX#UT= 536^PcJlN 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) .>k=A|3G
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F`fGz)Mk 2#'rk'X,K 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) @b]VCv0*f%
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zTkFX67) D35m5+=I 6. 3D仿真与结果对比 ?$<SCN=
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光栅结构 _i-\mR_~ -
l &}piC 计算光栅结构内部的场分布
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7Aqn[1{_O XxhsPFv 9. VirtualLab Fusion技术 ,(6)ghr '-`O.
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