衍射光学元件(DOEs)和微
结构表面实现了各种各样的光学功能,如分束器,
光束整形器和扩散器。由于衍射方法,这些元件通常比大多数折射元件更薄和更轻,同时为光学中的许多应用提供了独特和强大的选择。在这个用例中,我们演示了如何在
VirtualLab Fusion中使用微结构和衍射
光学元件(DOE)元件定义这样的元件。
;?n*w+6< CB?.|)Xam 在哪里可以找到元件 j&8 ~X2?* zh50]tX 衍射光学元件(DOE)和微结构元件可以在元件 >单一表面 &堆栈中找到。
L~ 1Lv? ?pQ, 5+8 这两个元件使用相同的内部求解器,只是为了便于识别和应用而有不同的名称。在这个用例中,我们将展示微结构元件,但一切都可以类似地应用到衍射光学元件(DOE)。
eh)J'G]G [$H8?J 微结构元件的功能 xR1g #+_OyZ* 7c;59$2( 对于光通过期望的微结构的传播,微结构元件应用了一一个复数面响应,这意味着元件对所有场入射光的振幅和相位的响应函数。该响应函数既可以直接定义为传输函数,也可以通过应用薄元件近似TEA)对给定的高度剖面进行计算。
x!"!oJG^k F7"Ihb^l 基底界面 &+sO"j4<?r AKAAb~{ 在固体选项卡上,定义一般
参数,比如特定表面后面的介质,也就是预期结构所在的地方。用户可以利用不同
材料的扩展库来选择,或使用色散公式如赛米尔方程定义自己的材料。
)k7`!@ID x$s #';* 定义为复数表面响应 6xBP72L;%" SXod r}
在通道操作员选项卡上,可以通过设置复数传输函数来定义所需DOE的复杂表面响应...
possM'vC u\t ; 定义为堆栈——真实高度剖面 K7_)!=DcX H_*]Vg ~i
&K, 微结构的方向 Js=|r;' 0kCUz 应用解算器 :Z< 5iLq Y<0f1N <edAWc+ 精度系数 {yG)Ii mIr{Wocx pH"LZ7)DI0 添加背面 x b _C1n U9N}6a= 由于微结构元件只定义了微结构所在的表面,因此为了在基板上配置元件,背面是必要的。这可以通过在元件 > 单一表面&薄膜下添加平面来实现,并配置适当的距离(基板厚度)和材料。
(p2\H>pTr dmF<J>[ M_XZOlW5