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}4|EHhG 内容简介 8fXiadP# Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :0J`4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 YRu@;
` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ojd0um6I{ &i5@4,p y9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Jl{ 0q7b 目录 !Km[Qw
k- Preface 1 s;VW
%e 内容简介 2 U~x]2{} 目录 i Nz
dN4+ 1 引言 1 Np" p*O 2 光学薄膜基础 2 w2DC5ei' 2.1 一般规则 2 wMW<lT=; 2.2 正交入射规则 3
=^4Z]d 2.3 斜入射规则 6 +RooU?Aq 2.4 精确计算 7 N:lfKI 2.5 相干性 8 *[[Gu^t^! 2.6 参考文献 10 [neuwdN 3 Essential Macleod的快速预览 10 S1QMS 4 Essential Macleod的特点 32 l f>/ 4.1 容量和局限性 33 UGcmzwE 4.2 程序在哪里? 33 .t "VsY| 4.3 数据文件 35 6
VEB2F 4.4 设计规则 35 /v
8"i^;} 4.5 材料数据库和资料库 37 *] ihc u 4.5.1材料损失 38 &,&+p0CSI! 4.5.1材料数据库和导入材料 39 T9nb ~P[ 4.5.2 材料库 41 F3|^b{'zO 4.5.3导出材料数据 43 , PlH| 4.6 常用单位 43 FNQ<k[#K'~ 4.7 插值和外推法 46 }S> 4.8 4.8 材料数据的平滑 50 !d72f8@9 4.9 更多光学常数模型 54 |}=eY?iXo 4.10 文档的一般编辑规则 55 meX2Y; 4.11 撤销和重做 56 QG5WsuT 4.12 设计文档 57 U{2xgNJ 4.10.1 公式 58 e*:K79y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 LF7-??' 4.10.3 沉积密度 59 (]]hSkE 4.10.4 平行和楔形介质 60 c*IrZm 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 (0 T!-hsP 4.10.4 性能 61 cN,*QN 4.10.5 保存设计和性能 64 ^DYS~I%s 4.10.6 默认设计 64 sYKx3[ V/ 4.11 图表 64 V^_A{\GK 4.11.1 合并曲线图 67 X*2W4udF 4.11.2 自适应绘制 68 PT/Nz+ 4.11.3 动态绘图 68 eCGr_@1 4.11.4 3D绘图 69
-UhpPw6 4.12 导入和导出 73 7+HK_wNi 4.12.1 剪贴板 73 a"jE\OZ{+s 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 rpow@@ad< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 s=8H<'l 4.13 背景 77 }5
rR^ryA 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 > 80{n8 4.15 生成Rugate 84 ]C \+b< 4.16 参考文献 91 NEq_!!/sF 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <h#*wy:o2 5.1 Jobs 92 *'Yy@T8M 5.2 创建一个新Job(工作) 93 p2STy\CS 5.3 输入材料 94 8V:;HY# 5.4 设计数据文件夹 95 a'VQegP(f\ 5.5 默认设计 95 DDrR9}k 6 细化和合成 97 CS[]T9|_ 6.1 优化介绍 97 a/J<(sak~X 6.2 细化 (Refinement) 98 {)" 3 6.3 合成 (Synthesis) 100 !Tnjha* 6.4 目标和评价函数 101 wps/{h, 6.4.1 目标输入 102 }_+XN"}C 6.4.2 目标 103 5 ^{~xOM5 6.4.3 特殊的评价函数 104 =$'>VPQ
6.5 层锁定和连接 104 @O#!W]6NT6 6.6 细化技术 104 B!RfPk1B<* 6.6.1 单纯形 105 {5 dVK 6.6.1.1 单纯形参数 106 D \ rns+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 x{R440" 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]Uv,}W 6.6.3 模拟退火算法 109 F.vRs|fk 6.6.3.1 模拟退火参数 109 w.m8SvS&b 6.6.4 共轭梯度 111 0z=KnQx"4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L( 6b2{" 6.6.5 拟牛顿法 112 ^6W}ZLp 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 I5"wa:Z 6.6.6 针合成 113 (5$Ge$ 6.6.6.1 针合成参数 114 "tyRnUP 6.6.7 差分进化 114 P+CV4;Xz 6.6.8非局部细化 115 ;$D,w 6.6.8.1非局部细化参数 115 T<]{:\*n 6.7 我应该使用哪种技术? 116 #cY[c1cNv 6.7.1 细化 116 Y:\msq1xp 6.7.2 合成 117 !Rv ;~f/2 6.8 参考文献 117 Gk:fw#R 7 导纳图及其他工具 118 )LP'4* 7.1 简介 118 NpVL;6?7T 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 S`-I-VS=L 7.2.1 四分之一波长规则 119 O,%UNjx9K 7.2.2 导纳图 120 N#u'SGTG 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 i c{I 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J^+w]2`S 7.5 斜入射导纳图 141 r5j$FwY 7.6 对称周期 141 ;.h /D4 7.7 参考文献 142
u$?! 8 典型的镀膜实例 143 ~n
'A1 8.1 单层抗反射薄膜 145 OX"Na2-el 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 m>uG{4<- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3 Zp<# 8.4 W-膜层 148 _ZRmD\_t 8.5 V-膜层 149 vQ<
~-E 8.6 V-膜层高折射基底 150 J4qk^1m. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Pe:)zt0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <K)]kf 8.9 四层抗反射薄膜 153 uEgR>X> 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 eU"yF >6' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i#:To
|\u 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 VxY]0&sq 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 QQAEG#.5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \S h/<z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 19fa7E< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 >nkVZ;tL 8.17 1/4波长堆栈 162 rxp|[>O< 8.18 陷波滤波器 163 GgxPpS<ne 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9~V'Wev 8.20 褶皱 165 ?8
}pZ_ j 8.21 消偏振分光器1 169 XL*M#Jx 8.22 消偏振分光器2 171 P(PBOB97 8.23 消偏振立体分光器 172 OP!R>| 8.24 消偏振截止滤光片 173 Ug*B[q/ 8.25 立体偏振分束器1 174 xOkdu k] 8.26 立方偏振分束器2 177 Y1cL dQn 8.27 相位延迟器 178 ]t<=a6<P 8.28 红外截止器 179 rQv5uoD 8.29 21层长波带通滤波器 180 s8
WB!x {t 8.30 49层长波带通滤波器 181 _qB
._ 8.31 55层短波带通滤波器 182 7~2_'YX>: 8.32 47 红外截止器 183 %Z6Q/+#fn 8.33 宽带通滤波器 184 yl$Ko 8.34 诱导透射滤波器 186 bg~CV&]M 8.35 诱导透射滤波器2 188 X1w11Z7o 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Q7x[08TI 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ";.j[p:gi 8.35 增益平坦滤波器 193 "I56l2dxd 8.38 啁啾反射镜 1 196 =R0f{&"i 8.39 啁啾反射镜2 198 &l cfX\y 8.40 啁啾反射镜3 199 5 =;cN9M@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 gb,ZN^3<- 8.42 增加铝反射率膜 201 cK|Uwzifd 8.43 参考文献 202 @.sn 9 多层膜 204 !$n@:W/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 &wi+)d 9.2 内部透过率 204 U_VP\ 03 9.3 内部透射率数据 205 0=,Nz 9.4 实例 206 }/J"/ T 9.5 实例2 210 Ht.P670 9.6 圆锥和带宽计算 212 -+ F,L8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 NioqJG?p 10 光学薄膜的颜色 216 u""26k51 10.1 导言 216 O#.YTTj 10.2 色彩 216 4lPO*:/ 10.3 主波长和纯度 220 w*{{bISw| 10.4 色相和纯度 221 _V3z!aI 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Fepsa;\sU 10.6 色差 226 Ep-bx&w+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 p+g=Z<?` 10.8 颜色渲染指数 234 #j7&2L 10.9 色差计算 235 oY ~q^Y 10.10 参考文献 236 L)M{S3q, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ";dS~(~ 11.1 短脉冲 238 F7'MoH 11.2 群速度 239 DD/B\ 11.3 群速度色散 241 $mK;{9Z
11.4 啁啾(chirped) 245 Uic 11.5 光学薄膜—相变 245 \i?bt0 bM 11.6 群延迟和延迟色散 246 pk u\) 11.7 色度色散 246 p7AsNqEp 11.8 色散补偿 249 nHF66,7t 11.9 空间光线偏移 256 C'@I!m._i 11.10 参考文献 258 ~5Fx[q 12 公差与误差 260 6`-<N ! 12.1 蒙特卡罗模型 260 N?c~AEk9U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 (J4( Ge 12.2.1 误差工具 267 Z>UM gu3c 12.2.2 灵敏度工具 271 q-CgXwU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Tf=1p1!3 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~NE`Ad.G 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 `i|!wD,=\ 12.3 参考文献 276 0v EQgx> 13 Runsheet 与Simulator 277 K!AA4!eUzM 13.1 原理介绍 277 ~_0XG0oA 13.2 截止滤光片设计 277 nKd'5f1
14 光学常数提取 289 u~,hTY(% 14.1 介绍 289 6 _V1s1F 14.2 电介质薄膜 289 pj7al; 14.3 n 和k 的提取工具 295 7
2i&-`&4 14.4 基底的参数提取 302 {|$kI`h,3- 14.5 金属的参数提取 306 s Y4wdG 14.6 不正确的模型 306 s5v}S'uO{ 14.7 参考文献 311 LRw-I.z 15 反演工程 313 qYoU\y7 15.1 随机性和系统性 313 pFs/ipZX^* 15.2 常见的系统性问题 314 A;X3z-[[ 15.3 单层膜 314 d lAb`ne 15.4 多层膜 314 },X.a@: 15.5 含义 319 N
G vb] 15.6 反演工程实例 319 y%9Hu 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 +P+h$gQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 -p0*R<t 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 > {d9z9O 16.1 光学性质的热致偏移 329 ;Tk/}Od!VN 16.2 应力工具 335 f/z]kfgw 16.3 均匀性误差 339 SnX)&>B 16.3.1 圆锥工具 339 Vug[q=i 16.3.2 波前问题 341 C[{E8Tg/ 16.4 参考文献 343 ;dfIzi 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ]):>9q$C 17.1 引言 345 zrA3bWs 17.2 操作数 345 b7+(g[O 18 如何在Function中编写脚本 351 N,8.W"fV 18.1 简介 351 +t-_FbFh3D 18.2 什么是脚本? 351 -|u
yJh 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 T+gH38!e 18.4 基础 352 C \5yo 18.4.1 Classes(类别) 352 $mf O:% 18.4.2 对象 352 mQt0?c _ 18.4.3 信息(Messages) 352 2zbn8tO 18.4.4 属性 352 d~6UJ=]@8 18.4.5 方法 353 w`< |