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j|&DP-@g/ 内容简介 M[K0t>ih Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $,;S\JmWP 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .'S^&M/$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (H8C\%g: '8l yj&
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Sn(l$wk= 目录 ``|gcG Preface 1 c3V]'~ 内容简介 2 Jh\:X<q 目录 i 7rdw` 1 引言 1 w*:GM8=6 2 光学薄膜基础 2 6)wy^a|pb 2.1 一般规则 2 kG$E
tE# 2.2 正交入射规则 3 fK'.wX9 2.3 斜入射规则 6 <rB3[IJo 2.4 精确计算 7 1 Itil~ 2.5 相干性 8 7 DY WdDX 2.6 参考文献 10 9fNu?dE
3 Essential Macleod的快速预览 10 9k\)tWe 4 Essential Macleod的特点 32 ';b3Mm
# 4.1 容量和局限性 33 {Z#e{~m# 4.2 程序在哪里? 33 7$ =Y\P 4.3 数据文件 35 V#NG+U.B 4.4 设计规则 35 i,#k}CNu 4.5 材料数据库和资料库 37 *#1y6^ 4.5.1材料损失 38 ^qeY9O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jC%35bi 4.5.2 材料库 41 N-2([v 4.5.3导出材料数据 43 j0iAU1~_VX 4.6 常用单位 43 X>Al:?`}N 4.7 插值和外推法 46 D0/DI 4.8 材料数据的平滑 50 oTCzY Y 4.9 更多光学常数模型 54 KdT[*- 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]cm6 |`pz 4.11 撤销和重做 56 V#0
dGP-Z 4.12 设计文档 57 <vB<` 4.10.1 公式 58 +Qh[sGDdY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S\e&?Y` 4.10.3 沉积密度 59 4M}|/?<Br 4.10.4 平行和楔形介质 60 7G5y)Qb 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 u5w&X8x 4.10.4 性能 61 y=AsgJ 4.10.5 保存设计和性能 64 -AjH}A[! 4.10.6 默认设计 64 :)#hrFp 4.11 图表 64 MA\m[h] 4.11.1 合并曲线图 67 @Od^k# 4.11.2 自适应绘制 68 EntF@ln! 4.11.3 动态绘图 68 :dP~.ZY7 4.11.4 3D绘图 69 *Jvxs
R'a1 4.12 导入和导出 73 %K[daXw6E8 4.12.1 剪贴板 73 8Q2]*%
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mZ~ qG5@/F 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (CdJ;-@D 4.13 背景 77 d^F|lc ]8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 )K~w'TUr 4.15 生成Rugate 84 HH)"]E5 4.16 参考文献 91 g(aZT#i i= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 fb\DiKsW 5.1 Jobs 92 6M ^IwE 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^0^(
u 5.3 输入材料 94 M[, D * 5.4 设计数据文件夹 95 8|O=/m ^] 5.5 默认设计 95 $<B
+K 6 细化和合成 97 zfhTc=(/ 6.1 优化介绍 97 *>jjMy n 6.2 细化 (Refinement) 98 RMoJz6^> 6.3 合成 (Synthesis) 100 F4Zn5&.) 6.4 目标和评价函数 101 xXX/]x> 6.4.1 目标输入 102 *5'.!g(' 6.4.2 目标 103 %*lp< D 6.4.3 特殊的评价函数 104 5h0>!0 6.5 层锁定和连接 104 EYL]TeS 6.6 细化技术 104 b1u}fp
GF 6.6.1 单纯形 105 KP3n^
$~ 6.6.1.1 单纯形参数 106 AoBoFZLl3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Sw)i1S9 6.6.2.1 Optimac参数 108 9)+@0fG) 6.6.3 模拟退火算法 109 4q hWm"&CM 6.6.3.1 模拟退火参数 109 jM~Bu.7 i6 6.6.4 共轭梯度 111 bAf,aV/C&| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <I;5wv 6.6.5 拟牛顿法 112 hd
B
|#t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 AoYaVlKG8 6.6.6 针合成 113 !@G)$g=< 6.6.6.1 针合成参数 114 ZK6Hvc0 6.6.7 差分进化 114 z}ElpT[(; 6.6.8非局部细化 115 z{:-!oF&CB 6.6.8.1非局部细化参数 115 9Bz0MUbrLl 6.7 我应该使用哪种技术? 116 f1mHN7hxW 6.7.1 细化 116 3HZ~. 6.7.2 合成 117 xjo;kx\y^ 6.8 参考文献 117 B^fT>1P 7 导纳图及其他工具 118 O:Va&Cyj* 7.1 简介 118 q-nER< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 o#>a 5 7.2.1 四分之一波长规则 119 KOey8tB)1 7.2.2 导纳图 120 zB*euHIqZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 2j&v;dmh< 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 !KcWH9 7.5 斜入射导纳图 141 y,E.SB 7.6 对称周期 141 u-JpI-8h 7.7 参考文献 142 3JO]f5 8 典型的镀膜实例 143 {uU 2)5i2- 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~i ,"87$[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 gAt~?HvW6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 tdep|sD 8.4 W-膜层 148 TVaA>]Fv 8.5 V-膜层 149 )I`if(fG 8.6 V-膜层高折射基底 150 [:h5} 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 O0T/#<Cn! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 h7]EB!D\A 8.9 四层抗反射薄膜 153 %'bJ: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 `&!k!FZY* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 C&+6>L@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 qmglb:" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0K`[,$Y 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 nv0#~UgE#a 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "
.4,." 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Apj; 8.17 1/4波长堆栈 162 +bA% 8.18 陷波滤波器 163 thc <xxRP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -fy9< 8.20 褶皱 165 X^s2BW 8.21 消偏振分光器1 169 =wVJ% 8.22 消偏振分光器2 171 F]EBD 8/b 8.23 消偏振立体分光器 172 fBhoGA{=g 8.24 消偏振截止滤光片 173 }^xE|~p 8.25 立体偏振分束器1 174 8)L*AdDAW! 8.26 立方偏振分束器2 177 7b[wu~'(
n 8.27 相位延迟器 178 [1_A8s){u 8.28 红外截止器 179 s@8w-]" 8.29 21层长波带通滤波器 180 Kcy@$uF{2 8.30 49层长波带通滤波器 181 u0QzLi, 8.31 55层短波带通滤波器 182 lk3=4|?zsE 8.32 47 红外截止器 183 PLX>-7@ 8.33 宽带通滤波器 184 Cr C=A=e 8.34 诱导透射滤波器 186 W/fuKGZi_ 8.35 诱导透射滤波器2 188 j$Ab>}g] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 r)^vO+3u 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 kV;fD$iW; 8.35 增益平坦滤波器 193 k*?I>%^6#T 8.38 啁啾反射镜 1 196 s58C2 8.39 啁啾反射镜2 198 t `kui. 8.40 啁啾反射镜3 199 {pL+2%`~ 8.41 带保护层的铝膜层 200 =LkR!R= 8.42 增加铝反射率膜 201 JH8}Ru%Z 8.43 参考文献 202 `=UWqb(K_ 9 多层膜 204 a5YIUVCv 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 I%j_"r9-I 9.2 内部透过率 204 :Dt~e| 9.3 内部透射率数据 205 x3 > 9.4 实例 206 3]RyTQ 9.5 实例2 210 30>3 !Xqa 9.6 圆锥和带宽计算 212 #P<N^[m 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 8NBT|N~N 10 光学薄膜的颜色 216 CVNj-&vj 10.1 导言 216 #|[
M?3 10.2 色彩 216 _8,()t'" 10.3 主波长和纯度 220 ?W>qUrZ 10.4 色相和纯度 221 A@hppaP! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ag-f{UsTy 10.6 色差 226 @$9'@") 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 T*g:#
^4 10.8 颜色渲染指数 234 HpZ1xT 10.9 色差计算 235 Zf$Np50@( 10.10 参考文献 236 ~6YMD 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 br-]fE.be 11.1 短脉冲 238 >P6BW 11.2 群速度 239 FMA6_fju4 11.3 群速度色散 241 Xpe)PXb 11.4 啁啾(chirped) 245 yAL[[ 11.5 光学薄膜—相变 245 i4Lc$20?d 11.6 群延迟和延迟色散 246 I/Jb!R ~ 11.7 色度色散 246 -Eu6U`"( 11.8 色散补偿 249 $odso;Hn 11.9 空间光线偏移 256 86]p#n_>Fv 11.10 参考文献 258 wLc4Dm*V 12 公差与误差 260 7frTTSZ 12.1 蒙特卡罗模型 260 f+8wl!M+6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 h8Yx#4
12.2.1 误差工具 267 "&/-N[is 12.2.2 灵敏度工具 271 Xs: 3'ua 12.2.2.1 独立灵敏度 271 O nQdq^UB 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _XCOSomL` 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .X# `k 12.3 参考文献 276 hn#1%p6t 13 Runsheet 与Simulator 277 y;_% W 13.1 原理介绍 277 i&{DOI%w 13.2 截止滤光片设计 277 MxT-1&XL 14 光学常数提取 289 p
w8 s8? 14.1 介绍 289 O
T.*pk+<) 14.2 电介质薄膜 289 .L'.c/ s 14.3 n 和k 的提取工具 295 3EJt%}V$k 14.4 基底的参数提取 302 EoK~S\dS 14.5 金属的参数提取 306 eek7=Z 14.6 不正确的模型 306 J8mdoVt 14.7 参考文献 311 ggJO:$?$L 15 反演工程 313 ^R:cd8+?% 15.1 随机性和系统性 313 0$,SF3K 15.2 常见的系统性问题 314 u\C
lP# 15.3 单层膜 314 >=[(^l 15.4 多层膜 314 B95B|tU>. 15.5 含义 319 ")d`dj\o 15.6 反演工程实例 319 0`^&9nR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0#nPbe,Lj 15.6.2 反演工程提取折射率 327 M5 <@~V/[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 :Nz9xD$S5 16.1 光学性质的热致偏移 329 z CvKDlL 16.2 应力工具 335 B)0i:"q 16.3 均匀性误差 339 30SW\@ 16.3.1 圆锥工具 339 4O35"1 16.3.2 波前问题 341 yU9DSY\m{ 16.4 参考文献 343 ax (c# 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 2 B 17.1 引言 345 *s:(jDlv 17.2 操作数 345 "1%5, 18 如何在Function中编写脚本 351 ZzSz%z_sE 18.1 简介 351 e
J6$-r 18.2 什么是脚本? 351 'IwNTM 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 H !$o$}A 18.4 基础 352 zx)z/1 18.4.1 Classes(类别) 352 >k (C 18.4.2 对象 352 0$ S8fF@
18.4.3 信息(Messages) 352 neLAEHV 18.4.4 属性 352 LU={")TdQ 18.4.5 方法 353 mWsI}2 18.4.6 变量声明 353 !6*"( 18.5 创建对象 354 YB2VcF.LU 18.5.1 创建对象函数 355 B!?%O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 i%0ur}p 18.5.3 丢弃对象 356 ~XOTs 18.5.4 总结 356 R}!:'^ 18.6 脚本中的表格 357 >s<^M|S07 18.6.1 方法1 357 /w}u3|L$ 18.6.2 方法2 357 _sTROd)Vh 18.7 2D Plots in Scripts 358 $7^o#2
B 18.8 3D Plots in Scripts 359 gcl5jB5)> 18.9 注释 360 ,,q10iF 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 QC}CRkp 18.11 一个更高级的脚本 362 (2$p{Uf 18.12 <esc>键 364 7_inJ$ 18.13 包含文件 365 A;]}m8(* 18.14 脚本被优化调用 366 vVFy*#I#_[ 18.15 脚本中的对话框 368 pSdI/Vj'= 18.15.1 介绍 368 9,:l8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 hvsWs.;L' 18.15.3 输入框函数 370 :%,:" 18.15.4 自定义对话框 371 W*),y: 18.15.5 对话框编辑器 371 ~E2KZm 18.15.6 控制对话框 377 j}.\]$J 18.15.7 更高级的对话框 380 3
:<WY&9 18.16 Types语句 384 qKr8)}h 18.17 打开文件 385 CTq&-l:f 18.18 Bags 387 h7lDHIQf 18.13 进一步研究 388 l)1r+@)\ 19 vStack 389 e#$]Y?, 19.1 vStack基本原理 389 {Tq_7,8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 N_W}*2( 19.3 五棱镜 393 CVL3VT1j0 19.4 光束距离 396 #W4dkCd(pF 19.5 误差 399 61k"p2?+ 19.6 二向分色棱镜 399 Ku5\] 19.7 偏振泄漏 404 \Je0CD=e` 19.8 波前误差—相位 405 A>o*t=5 19.9 其它计算参数 405 o$jLzE" 20 报表生成器 406 QI'Oz{vE 20.1 入门 406 EyJJ0 20.2 指令(Instructions) 406 YIQ
4t 20.3 页面布局指令 406 P3+5?.p. 20.4 常见的参数图和三维图 407 dx MOn 20.5 表格中的常见参数 408 R;uvkg[o 20.6 迭代指令 408 $P/~rZ@M@ 20.7 报表模版 408 YNKHN2E8 20.8 开始设计一个报表模版 409 :LF? 21 一个新的project 413 DgId_\Ze 21.1 创建一个新Job 414 r*2+xDoEi 21.2 默认设计 415 xr4*{v 21.3 薄膜设计 416 5Ha9lM2gh 21.4 误差的灵敏度计算 420 RzE_K'M 21.5 显色指数计算 422 ls\WXCH 21.6 电场分布 424 S&Zm0Ku 后记 426 fg_4zUGM+g tdBm
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