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C~egF=w 内容简介 p#).;\M Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 "iTjiH)Q( 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 D&i\dgbK 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 XLC9B3Jt @Ddz|4 vEi 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 SIapY%)h 目录 "\i H/ Preface 1 ( +Sv3h 内容简介 2 ?z`={oN 目录 i q>Di|5<y 1 引言 1 *?BY+0 2 光学薄膜基础 2 ,A'| Z 2.1 一般规则 2 "MU-&** 2.2 正交入射规则 3 (?m{G Q 2.3 斜入射规则 6 d7Vp^^}( 2.4 精确计算 7 <3!Al,!ej@ 2.5 相干性 8 fGb}V'x}r 2.6 参考文献 10 8T1zL.u>q 3 Essential Macleod的快速预览 10 s3eS` rK- 4 Essential Macleod的特点 32 4j~q,#$LW 4.1 容量和局限性 33 4d\^ 4.2 程序在哪里? 33 b3EGtC}^ 4.3 数据文件 35 Kf1J;*i|\ 4.4 设计规则 35 <4+P37^~ 4.5 材料数据库和资料库 37 jB8Q% {% 4.5.1材料损失 38 PJiU2Y33 4.5.1材料数据库和导入材料 39 yAfwQ$Ll7 4.5.2 材料库 41 uLafO=Q 4.5.3导出材料数据 43 KJRAW]?{ 4.6 常用单位 43 "h#R>3I1) 4.7 插值和外推法 46 dpTsTU!\ 4.8 材料数据的平滑 50 H.\`(`6 4.9 更多光学常数模型 54 @Wc5r# 4.10 文档的一般编辑规则 55 @oE
5JM 4.11 撤销和重做 56 0W(mx-[H/ 4.12 设计文档 57 3l%Qd< 4.10.1 公式 58 Vx(*OQ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uG^CyM>R` 4.10.3 沉积密度 59 gYhY1Mym 4.10.4 平行和楔形介质 60 GuO}CQs^W 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 r5DRF4,7 4.10.4 性能 61 LP6p 4.10.5 保存设计和性能 64 [
N|X 4.10.6 默认设计 64 \rFS^# 4.11 图表 64 \= v.$u"c 4.11.1 合并曲线图 67 uX*2Rs$s 4.11.2 自适应绘制 68 is4}s,]$6 4.11.3 动态绘图 68 ~.aR=m\#
4.11.4 3D绘图 69 &1$d`>fn 4.12 导入和导出 73 z~#;[bER 4.12.1 剪贴板 73 o5bp~.m<
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 sFc \L9 4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 <%m YsaM 4.13 背景 77 cc|W1,q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 HohCb4do 4.15 生成Rugate 84 +P^
;7"H 4.16 参考文献 91 k5I;Y:~` 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6N#hN)/ 5.1 Jobs 92 rZKfb}ANQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 m<h%BDSzr{ 5.3 输入材料 94 o/w3b8 5.4 设计数据文件夹 95 xvV";o 5.5 默认设计 95 )O]6dd 6 细化和合成 97 ]xQv\u 6.1 优化介绍 97 k
ucbI_ 6.2 细化 (Refinement) 98 UDHWl_%L 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;=y"Z^ 6.4 目标和评价函数 101 I/`"lAFe 6.4.1 目标输入 102 LqbI/AQ) 6.4.2 目标 103 5EFt0?G 6.4.3 特殊的评价函数 104 d5$D[,`1 6.5 层锁定和连接 104 c_3B: F7 6.6 细化技术 104 I8Aq8XBw 6.6.1 单纯形 105 wXKtQ#o} 6.6.1.1 单纯形参数 106 GGp.u@\r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 fzIs^(:fl 6.6.2.1 Optimac参数 108 |NuMDVd+s 6.6.3 模拟退火算法 109 &BRk<iwV 6.6.3.1 模拟退火参数 109 B&]`OO>O 6.6.4 共轭梯度 111 w"v!+~/9 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 *%Rmdyn 6.6.5 拟牛顿法 112 \baY+,Dr+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 3YHEH\60^ 6.6.6 针合成 113 JT?u[pQ^ 6.6.6.1 针合成参数 114 w:t~M[kTW 6.6.7 差分进化 114 XwY,xg&o 6.6.8非局部细化 115 G-d7}Uz? 6.6.8.1非局部细化参数 115 'z ?Hv 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N d].(_ 6.7.1 细化 116 >Zb!?ntN`t 6.7.2 合成 117 lU{)%4e` 6.8 参考文献 117 ;P91'B~t 7 导纳图及其他工具 118 .d<K` .O; 7.1 简介 118 [Fl_R[o 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .nPOjwEx&Y 7.2.1 四分之一波长规则 119 lq-KM8j 7.2.2 导纳图 120 }u_D{ bz 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ANhqS 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8A#,*@V[ 7.5 斜入射导纳图 141 W/qXQORv 7.6 对称周期 141 `D4Wg<,9 7.7 参考文献 142 o701RG~) 8 典型的镀膜实例 143 `
,\b_SFg 8.1 单层抗反射薄膜 145 danPy2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?()*"+N(ck 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,"EaZ/Bl/ 8.4 W-膜层 148 > Vm}u`x 8.5 V-膜层 149 TxJk.c 8.6 V-膜层高折射基底 150 _4by3?<c 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 B!wN%>U 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $94lF~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 UY3)6}g6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {KG}m'lx 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 76l. {TXF 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 tm~9XFQ< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 287j,'vR 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Z)7{~xq 8.15十五层宽带抗反射膜 159 K2xB%m1LK 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Z>g72I%X 8.17 1/4波长堆栈 162 ~P\4
N 8.18 陷波滤波器 163 |5^
iqW 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 YK/? mj1x 8.20 褶皱 165 y\??cjWb] 8.21 消偏振分光器1 169 ?MH=8Cl1w 8.22 消偏振分光器2 171 k=s^-Eiu 8.23 消偏振立体分光器 172 pr<u
5 8.24 消偏振截止滤光片 173 @NM0ILE 8.25 立体偏振分束器1 174 !]F`qS> 8.26 立方偏振分束器2 177 Xh8U}w<k6 8.27 相位延迟器 178 1S?~c25=h 8.28 红外截止器 179 #:?:gY< 8.29 21层长波带通滤波器 180 Qsbyy>o) 8.30 49层长波带通滤波器 181 9K$
x2U 8.31 55层短波带通滤波器 182 y4kn2Mw; 8.32 47 红外截止器 183 I'5[8 8.33 宽带通滤波器 184 Ae2N"%Ej 8.34 诱导透射滤波器 186 A|"T8KSMB 8.35 诱导透射滤波器2 188 EID-ROMO 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 y3efie {J 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 lV'?X% 8.35 增益平坦滤波器 193 EB3/o7)L 8.38 啁啾反射镜 1 196 #6M |T+= 8.39 啁啾反射镜2 198 :Racu;xf 8.40 啁啾反射镜3 199 z};|.N} 8.41 带保护层的铝膜层 200 _WS8I> 8.42 增加铝反射率膜 201 ew\:&"@2]w 8.43 参考文献 202 y3;M$Jr 9 多层膜 204 Uh.swBC n 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 |sGJum&= 9.2 内部透过率 204 .i;.5)shsu 9.3 内部透射率数据 205 fq>{5ODO 9.4 实例 206 "~VKUvDu 9.5 实例2 210 `+Nv=vk 9.6 圆锥和带宽计算 212 !$NK7- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >~,~X9 10 光学薄膜的颜色 216 F > rr. 10.1 导言 216 a<-aE4wdm 10.2 色彩 216 ?l~qb]._ 10.3 主波长和纯度 220 >,,`7%Rv 10.4 色相和纯度 221 7)U
ik}0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 p-j6H 10.6 色差 226 :i{M1z I 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 4rDVCXE 10.8 颜色渲染指数 234 GJdL1ptc 10.9 色差计算 235 }k.yLcXM 10.10 参考文献 236 e#hg,I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 m^FKE: 11.1 短脉冲 238 ViW2q"4= 11.2 群速度 239 *-ys}sX 11.3 群速度色散 241 W$X/8K bn 11.4 啁啾(chirped) 245 3D6&0xTq 11.5 光学薄膜—相变 245 &j~9{ C 11.6 群延迟和延迟色散 246 `Ij EwKra 11.7 色度色散 246 d%I7OBBx@ 11.8 色散补偿 249 |[~S& 11.9 空间光线偏移 256 6Gg`ExcT5 11.10 参考文献 258 "$N$:B @U 12 公差与误差 260 UIU Pi
gd 12.1 蒙特卡罗模型 260 &yP|t":HWX 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *ELU">!}G 12.2.1 误差工具 267 %KVmpWku 12.2.2 灵敏度工具 271 V]Te_ >E;w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 (1cB Tf 12.2.2.2 灵敏度分布 275 E-1u_7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 RL&0?OT 12.3 参考文献 276 }bRn&)e 13 Runsheet 与Simulator 277 K bQXH!J 13.1 原理介绍 277 >NPK;Vu 13.2 截止滤光片设计 277 WZ`i\s1# 14 光学常数提取 289 ;i.MDW^N 14.1 介绍 289 48z%dBmTT* 14.2 电介质薄膜 289 [PN2^ 14.3 n 和k 的提取工具 295 T}{zh 14.4 基底的参数提取 302 >!qtue7B 14.5 金属的参数提取 306 BEax[=&W 14.6 不正确的模型 306 _<]0hC 14.7 参考文献 311 (Zx--2lc 15 反演工程 313 lV:feX 15.1 随机性和系统性 313 #do%u"q 15.2 常见的系统性问题 314 W;8A{3q%N0 15.3 单层膜 314 ^>%.l'1/( 15.4 多层膜 314 )a0l:jEOc 15.5 含义 319 XzIC~} 15.6 反演工程实例 319 6Br^Ugy 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 IG|u;PH< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =^p}JhQ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 2ZV; GS# 16.1 光学性质的热致偏移 329 {k=3OIp 16.2 应力工具 335 t{B@k[| 16.3 均匀性误差 339 J0vQqTaT 16.3.1 圆锥工具 339 /pkN=OBR 16.3.2 波前问题 341 s[a\m, 16.4 参考文献 343 Ge({sy>X 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 iz;5: 17.1 引言 345 4pMp@b 17.2 操作数 345 v Cej( )) 18 如何在Function中编写脚本 351 J|hVD 18.1 简介 351 x0)=jp '
18.2 什么是脚本? 351 _Q Hk&-Lp 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 w:nH_x#C4 18.4 基础 352 *.eeiSi{ 18.4.1 Classes(类别) 352 @C^x&Sjm 18.4.2 对象 352 PSv 5tQhm 18.4.3 信息(Messages) 352 oj.J;[- 18.4.4 属性 352 X]9<1[f 18.4.5 方法 353 *jQ$\|Y 18.4.6 变量声明 353 y+Nw>\|S 18.5 创建对象 354 1`|Z8Jpocj 18.5.1 创建对象函数 355 ]%-U~avph 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 T~$Eh6
D 18.5.3 丢弃对象 356 uv-O`) 18.5.4 总结 356 (X^,.qy 18.6 脚本中的表格 357 QKEtV 18.6.1 方法1 357 x>mI$K(6M 18.6.2 方法2 357 F0&ubspt |