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Z+4D.bA 内容简介 cG{L
jt Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?IF)+] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 * ?]~
# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 O$D?A2eI Ls}7VKl' 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 6KRO{QK 目录 -DjJ",h( $ Preface 1 i{Ds&{ 内容简介 2 \~~ }N4 目录 i wNYg$d0M 1 引言 1 6;iJ*2f5V 2 光学薄膜基础 2 4CrLkr 2.1 一般规则 2 %S \8. 2.2 正交入射规则 3 Z"y=sDO{ 2.3 斜入射规则 6 BUsV|e\ 2.4 精确计算 7 fQdK]rLj 2.5 相干性 8 -oP'4QVb 2.6 参考文献 10 ,R2U`EO; 3 Essential Macleod的快速预览 10 KC#/Z2A|< 4 Essential Macleod的特点 32 !RH.|} 4.1 容量和局限性 33 }D;WN@], 4.2 程序在哪里? 33 O9"/
kmB 4.3 数据文件 35 *F`A S> 4.4 设计规则 35 U*)m', 4.5 材料数据库和资料库 37 ;
)Eo7?]- 4.5.1材料损失 38 Ii&7rdoxe 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3\:y8| 4.5.2 材料库 41 bt$)Xu<R 4.5.3导出材料数据 43 Qk9 76 4.6 常用单位 43 gckI.[!b 4.7 插值和外推法 46 1P(&J 4.8 材料数据的平滑 50 S DLvi!y 4.9 更多光学常数模型 54 {d<;BLA 4.10 文档的一般编辑规则 55 n6<V+G)T 4.11 撤销和重做 56 XYrJ/!*. 4.12 设计文档 57 /i]y$^ 4.10.1 公式 58 ~j9O$s~) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 j+-P :xvP 4.10.3 沉积密度 59 S* *oA 6 4.10.4 平行和楔形介质 60 tjT>VwqH 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 vVl; | 4.10.4 性能 61 .iD*>M:W 4.10.5 保存设计和性能 64 oXXC@[??}N 4.10.6 默认设计 64 hC <O`|lF 4.11 图表 64 9f+>ix,ek* 4.11.1 合并曲线图 67 uxaYCa? 4.11.2 自适应绘制 68 wU\s;
dK 4.11.3 动态绘图 68 VVP:w%yW 4.11.4 3D绘图 69 /FP5`:PfL 4.12 导入和导出 73 c%m3}mrb 4.12.1 剪贴板 73 \</b4iR)LT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?>"Yr,b? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ig}A9j?] 4.13 背景 77 <FI-zca 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ]n."<qxeT 4.15 生成Rugate 84 qMt++*Ls 4.16 参考文献 91 B=8Iu5m 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *^%Q0mU[ 5.1 Jobs 92 6(d }W2GP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 4;`oUt'. 5.3 输入材料 94 O3DmNq$dz 5.4 设计数据文件夹 95 @f]{>OS 5.5 默认设计 95 jO*l3:!~ \ 6 细化和合成 97 K"j_>63) 6.1 优化介绍 97 10!wqyj& 6.2 细化 (Refinement) 98 k@ZLg9 6.3 合成 (Synthesis) 100 Suk 6.4 目标和评价函数 101 yeDsJ/L 6.4.1 目标输入 102 ,to+oSZE 6.4.2 目标 103 D(-yjY8aG 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]0hrRA` 6.5 层锁定和连接 104 g<{xC_J 6.6 细化技术 104 Wjhvxk 6.6.1 单纯形 105 ./Q, 6.6.1.1 单纯形参数 106 PxH72hBS 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mKo C.J 6.6.2.1 Optimac参数 108 EBz}|GY; 6.6.3 模拟退火算法 109 (jU6GJRP 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ;JZS^Wa 6.6.4 共轭梯度 111 U!U$x74D5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @2'Mt}R> 6.6.5 拟牛顿法 112 Z R/#V7Pj 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4jD2FFG-
G 6.6.6 针合成 113 5waKI?4F 6.6.6.1 针合成参数 114 zg-2C>(6a 6.6.7 差分进化 114 M%jPH 6.6.8非局部细化 115 Xd^\@
6.6.8.1非局部细化参数 115 (Jz;W<E 6.7 我应该使用哪种技术? 116 y ]?V~% 6.7.1 细化 116 ME'|saP 6.7.2 合成 117 o sKKt?^? 6.8 参考文献 117 ;2B{ 9{ 7 导纳图及其他工具 118 ^%O]P`$ 7.1 简介 118 8\:NMP8W\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /cU<hApK 7.2.1 四分之一波长规则 119 0}_[DAd6 7.2.2 导纳图 120 5mb]Q)f9- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "
Hd|7F'u= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +\v?d&.f0 7.5 斜入射导纳图 141 fbUr`~Y" 7.6 对称周期 141 ai0XL}!+ 7.7 参考文献 142 )7h$G-fe 8 典型的镀膜实例 143 2RSt)3!}, 8.1 单层抗反射薄膜 145 8By|@LO 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )"pF R4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
"~'b 8.4 W-膜层 148 nqLA}u4IM 8.5 V-膜层 149 >,td(= : 8.6 V-膜层高折射基底 150 fkac_X$7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ocs+d\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 TqnTS0fx 8.9 四层抗反射薄膜 153 kh`"WN Nt 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 rS;Dmm 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 x&0vKo; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 P-9<YN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 RsYU59_Y 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &Y }N|q- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <_7*67{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )rC6*eR 8.17 1/4波长堆栈 162 '*3h!lW1. 8.18 陷波滤波器 163 EVGt 5z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 =zz~kon9 8.20 褶皱 165 *6VF
$/rP 8.21 消偏振分光器1 169 8SGo9[U2 8.22 消偏振分光器2 171 O&Y*pOg 8.23 消偏振立体分光器 172 /HaHH.e 8.24 消偏振截止滤光片 173 xoN3 8.25 立体偏振分束器1 174 ml+; Rmvb 8.26 立方偏振分束器2 177 "yS _s 8.27 相位延迟器 178 B8}Nvz
/ 8.28 红外截止器 179 u?}(P_9 8.29 21层长波带通滤波器 180 adR)Uq9 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?U2< 8.31 55层短波带通滤波器 182 B\XKw' 8.32 47 红外截止器 183 OOo3G~2r 8.33 宽带通滤波器 184 sr{a(4*\ 8.34 诱导透射滤波器 186 /#)/; 8.35 诱导透射滤波器2 188 $69oV: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ax<?GjpM 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 4GX-ma, 8.35 增益平坦滤波器 193 p"KFJ 8.38 啁啾反射镜 1 196 :s7m4!EF 8.39 啁啾反射镜2 198 MB~=f[cUnd 8.40 啁啾反射镜3 199 XzEc2)0'v 8.41 带保护层的铝膜层 200 xjKR R? 8.42 增加铝反射率膜 201 fR(d 8.43 参考文献 202 0|{u{w@!` 9 多层膜 204 c"B{/;A 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 73/P&hT 9.2 内部透过率 204 ~=uWD&5B4 9.3 内部透射率数据 205 zo4qG+>o 9.4 实例 206 G?Q3/y( 9.5 实例2 210 `ojoOB^L 9.6 圆锥和带宽计算 212 2h5nMI]' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (pv+c, 10 光学薄膜的颜色 216 H}hiT/+$ 10.1 导言 216 ~?K ~L~f5 10.2 色彩 216 e,W%uH>X 10.3 主波长和纯度 220 OCBgR4I 10.4 色相和纯度 221 n(;|q&3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 SAy=WV 10.6 色差 226 h4T5+~rw 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 XovRg, 10.8 颜色渲染指数 234 iKX-myCz 10.9 色差计算 235 @$[?z9ck" 10.10 参考文献 236 i3@)W4{ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ahJ`$U4n 11.1 短脉冲 238 CxwoBuG=? 11.2 群速度 239 {xXsBh
Y 11.3 群速度色散 241 Vex{.Vh," 11.4 啁啾(chirped) 245 t gI{`jS% 11.5 光学薄膜—相变 245 xMTKf+7 11.6 群延迟和延迟色散 246 `4=^cyt+ 11.7 色度色散 246 0jy2H2 11.8 色散补偿 249 O$_)G\\\m 11.9 空间光线偏移 256 >\KNM@'KI 11.10 参考文献 258 3G}x;Cp\D 12 公差与误差 260 /5(Yy} 12.1 蒙特卡罗模型 260 I|gB@|_~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 PQ5QA61 12.2.1 误差工具 267 RtTJ5@V( 12.2.2 灵敏度工具 271 haK3?A,"_A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %4et&zRC 12.2.2.2 灵敏度分布 275 a&/#X9/ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 k_
& :24Lj 12.3 参考文献 276 E8$20Ue 13 Runsheet 与Simulator 277 TN+iA~kQ 13.1 原理介绍 277 J??-j 13.2 截止滤光片设计 277 le/,R@]B9 14 光学常数提取 289 HK,cJahq 14.1 介绍 289 [>8}J" 14.2 电介质薄膜 289 Ve}(s?hU5 14.3 n 和k 的提取工具 295 gQWa24 14.4 基底的参数提取 302 7puFz4+f 14.5 金属的参数提取 306 m$}R% 14.6 不正确的模型 306 e:fy#,HEj{ 14.7 参考文献 311 We$:&K0 15 反演工程 313 sFT.Oxg< 15.1 随机性和系统性 313 ZSjMH .Ij" 15.2 常见的系统性问题 314 7K,-01-: 15.3 单层膜 314 R!\_rc1/ 15.4 多层膜 314 uki#/GzaO 15.5 含义 319 }vxw*8d? 15.6 反演工程实例 319 Qu?R8+"KS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 T!+5[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *H"B _3<n 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]
o*#t 16.1 光学性质的热致偏移 329 0m%|U'm|j 16.2 应力工具 335 5D\f8L 16.3 均匀性误差 339 i2E)P x 16.3.1 圆锥工具 339 !=;+%C&8y 16.3.2 波前问题 341 `^u>9v-+' 16.4 参考文献 343 zM bN;tu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 dgR
g>)V 17.1 引言 345 "-e
\p lKj 17.2 操作数 345 ;X?}x%$ 18 如何在Function中编写脚本 351 N60rgSzI 18.1 简介 351 s)noo 18.2 什么是脚本? 351 8ja$g, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 sF!($k;! 18.4 基础 352 Sg&UagBj 18.4.1 Classes(类别) 352 "+kL)] 18.4.2 对象 352 6G1@smP 18.4.3 信息(Messages) 352
)j9SGLo 18.4.4 属性 352 Y2a5bc P 18.4.5 方法 353 cii_U=
18.4.6 变量声明 353 O@u?h9?cf> 18.5 创建对象 354 |L%Z,:yO 18.5.1 创建对象函数 355 msP{l^%0 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 tNO-e|~' 18.5.3 丢弃对象 356 0Vlk;fIh 18.5.4 总结 356 N4^-` 18.6 脚本中的表格 357 X
iS1\* 18.6.1 方法1 357 /1"(cQ%? 18.6.2 方法2 357 'Y*E<6: 18.7 2D Plots in Scripts 358 @Z*W 18.8 3D Plots in Scripts 359 mw_~*Nc'9 18.9 注释 360 ^T*? >%` 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 /(u}KMR!f 18.11 一个更高级的脚本 362 `IP/d 18.12 <esc>键 364 Eo{"9j\ 18.13 包含文件 365 LxYrl- 18.14 脚本被优化调用 366 13 =A 18.15 脚本中的对话框 368 S{]x 18.15.1 介绍 368 ,F79xx9ufg 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;nep5!s;< 18.15.3 输入框函数 370 8$")%_1] 18.15.4 自定义对话框 371 <v)1<*I 18.15.5 对话框编辑器 371 s3~lT. 18.15.6 控制对话框 377 #*QO3y~ZM 18.15.7 更高级的对话框 380 (KFCs^x7wG 18.16 Types语句 384 gRCdY8GH 18.17 打开文件 385 *^g:P^4 18.18 Bags 387 4lr(,nPRD 18.13 进一步研究 388 #r#1JtT 19 vStack 389 !k6K?xt 19.1 vStack基本原理 389 1;C+$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 G/b^|;41 19.3 五棱镜 393 ~D<IB#C 19.4 光束距离 396 hlV=qfc 19.5 误差 399 LCZ\4g05 19.6 二向分色棱镜 399 5]NqRI^0 19.7 偏振泄漏 404 tX5"UQA 19.8 波前误差—相位 405 O~T@rX9f 19.9 其它计算参数 405 iL7DRQ1 20 报表生成器 406 n!NS(.o 20.1 入门 406 K?[q%W]% 20.2 指令(Instructions) 406 kO,zZF& 20.3 页面布局指令 406 J#w
J4! 20.4 常见的参数图和三维图 407 /RNIIY~w 20.5 表格中的常见参数 408 KV}FZ3jY 20.6 迭代指令 408 k,85Y$`' 20.7 报表模版 408 mtJ9nC 20.8 开始设计一个报表模版 409 C9~52+S 21 一个新的project 413 :Pvzl1 21.1 创建一个新Job 414 \?Z{hmN 21.2 默认设计 415 6hlc1? 21.3 薄膜设计 416 .LZwuJ^; 21.4 误差的灵敏度计算 420 0O9Ni='Tn 21.5 显色指数计算 422 9f2UgNqe9 21.6 电场分布 424 4[.oPK=i 后记 426 <D:.(AUeO fI{E SXU 有兴趣扫码联系 V,mw[Hw
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