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p>?(uGV 内容简介 ESoC7d&.K{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .kuNn-$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,Il) t H 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `0U\|I# 1@'I eywg 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 AHuIA{AdUR 目录 2Uf/' Preface 1 Y{dX[^[ 内容简介 2 ;J+iwS*Z 目录 i T&6>Eb0{ 1 引言 1 1CZO+MB&"$ 2 光学薄膜基础 2
MYVVI1A 2.1 一般规则 2 fNx!'{o" 2.2 正交入射规则 3 Ue;Z)} 2.3 斜入射规则 6 a;;
Es 2.4 精确计算 7 Y[PC<-fyf 2.5 相干性 8 F%lC%~-qh 2.6 参考文献 10 6l4= 3 Essential Macleod的快速预览 10 ipGxi[Vav 4 Essential Macleod的特点 32 q!U$\Q& 4.1 容量和局限性 33 g^|R;s{ 4.2 程序在哪里? 33 0wTOdCvmb 4.3 数据文件 35 R%2.N!8v 4.4 设计规则 35 qk^/&j 4.5 材料数据库和资料库 37 ,']CqhL6=R 4.5.1材料损失 38 vmNI$KZM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {0,6-dd5 4.5.2 材料库 41 <a_(qh@B 4.5.3导出材料数据 43 <"p-0=IgJ 4.6 常用单位 43 H2[0@|<< 4.7 插值和外推法 46 =#Jx~d [C 4.8 材料数据的平滑 50 M/[_~ 4.9 更多光学常数模型 54 4/*@cW 4.10 文档的一般编辑规则 55 P $y'`` 4.11 撤销和重做 56 z8kebS&5 4.12 设计文档 57 [+A]E,pv]1 4.10.1 公式 58 E%8uQ2p( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6Ktq7'Z@ 4.10.3 沉积密度 59 j$6Q]5KdoS 4.10.4 平行和楔形介质 60 :F[s 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 kQ&Q_FSO 4.10.4 性能 61 pd,d"+ 4.10.5 保存设计和性能 64 ()Wu_Q 4.10.6 默认设计 64 $Q'LDmot 4.11 图表 64 #>G:6'r 4.11.1 合并曲线图 67 m-~3c]pA 4.11.2 自适应绘制 68 FY)]yz 4.11.3 动态绘图 68 F}[!OYyg 4.11.4 3D绘图 69 zNo"P[J8 4.12 导入和导出 73 :}#)ipr 4.12.1 剪贴板 73 /|&4&$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !^NZp%Yd 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 hCgk78O? 4.13 背景 77 t(6i4c> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QH7 GEj] 4.15 生成Rugate 84 `h :!^"G 4.16 参考文献 91 yXEI%2~) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >Sw?F& 5.1 Jobs 92 E&t8nlTx 5.2 创建一个新Job(工作) 93 w9"~NK8xzM 5.3 输入材料 94 WQ:Y NmQ1p 5.4 设计数据文件夹 95 Zi\ex\ )5 5.5 默认设计 95 g__s(
IJ 6 细化和合成 97 !L9]nO 'BL 6.1 优化介绍 97 c,)]!{c 6.2 细化 (Refinement) 98 $7Z-Nn38 6.3 合成 (Synthesis) 100 Hc|cA(9sh9 6.4 目标和评价函数 101 87S,6 Y 6.4.1 目标输入 102 bV'r9&[_6 6.4.2 目标 103 D-i, C~W 6.4.3 特殊的评价函数 104 X6t9*|C 6.5 层锁定和连接 104 WH7UJCQ 6.6 细化技术 104 %`]!atH 6.6.1 单纯形 105 D(<0tU^[ 6.6.1.1 单纯形参数 106 H!"TS-s` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 <RC %< 6.6.2.1 Optimac参数 108 p0CPeH 6.6.3 模拟退火算法 109 '+iLW~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |)&d9|] 6.6.4 共轭梯度 111 1!U:M8T| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Xnh&Kyz`v 6.6.5 拟牛顿法 112 Y1ca=ewFx 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -j rAk 6.6.6 针合成 113 GCw4sb4~w 6.6.6.1 针合成参数 114 ;iJxJX\+ 6.6.7 差分进化 114 }C/+zF6q 6.6.8非局部细化 115 #<
:`:@2 6.6.8.1非局部细化参数 115 +`mI\+y, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *h).V&::O 6.7.1 细化 116 !5[SNr3^ 6.7.2 合成 117 Sj/v: 6.8 参考文献 117 Z1$U[Tsd 7 导纳图及其他工具 118 o.zP1n|G~r 7.1 简介 118 Bzt:9hr6BO 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ywyg(8>zE 7.2.1 四分之一波长规则 119 EASmB
7.2.2 导纳图 120 xA2I+r*o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 S+t2k&pm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3q@JhB 7.5 斜入射导纳图 141 ^k^?>h 7.6 对称周期 141 {=gJGP/}_ 7.7 参考文献 142 .EjR<UU 8 典型的镀膜实例 143 SGy2&{\Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 `*kl> }$ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 r>*+d|c4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 y[AB,Dd 8.4 W-膜层 148 /e|qyWs 8.5 V-膜层 149 B` +,
8 8.6 V-膜层高折射基底 150 G7-k ,P^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 RDy&i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 V=1zk-XC 8.9 四层抗反射薄膜 153 xA-?pLt"G 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2_M+o]Z^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 g$hEVT 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 +7_U(|gO 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <|82)hO 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _T8S4s8q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 D8Mq '$- 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 n6Z!~W8 8.17 1/4波长堆栈 162 *W,[k&;: 8.18 陷波滤波器 163 R4k+.hR 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 LH`2Y,E 8.20 褶皱 165 ^rjUye%EK 8.21 消偏振分光器1 169 BxQ,T@ 8.22 消偏振分光器2 171 CM[83> 8.23 消偏振立体分光器 172 :kwDa
a 8.24 消偏振截止滤光片 173 cyabqx 8.25 立体偏振分束器1 174 A+4Kj~`! 8.26 立方偏振分束器2 177 Nvh&=%{g 8.27 相位延迟器 178 4ZR2U3jd1 8.28 红外截止器 179 B/n~ $ 8.29 21层长波带通滤波器 180 F:Ps> 8.30 49层长波带通滤波器 181 S}]B |Q 8.31 55层短波带通滤波器 182 `cN8AcRHP 8.32 47 红外截止器 183 tuuwoiQ*` 8.33 宽带通滤波器 184 TGPZUyi3!= 8.34 诱导透射滤波器 186 0E
(G1o' 8.35 诱导透射滤波器2 188 YH^@8
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 KQw>6) 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 |68/FJZ,5 8.35 增益平坦滤波器 193 0,.|-OZ 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?gvu
E1 8.39 啁啾反射镜2 198 _RZ"WA^[ 8.40 啁啾反射镜3 199 !u
.n 8.41 带保护层的铝膜层 200 b+hN\/*] 8.42 增加铝反射率膜 201 UK,sMKbl1 8.43 参考文献 202 nvNF~)mu 9 多层膜 204 [*0M$4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 IJDbm}:/e 9.2 内部透过率 204 Acd@BL* 9.3 内部透射率数据 205 e+VE FWz 9.4 实例 206 p1HbD`ST 9.5 实例2 210 8$ #z> 9.6 圆锥和带宽计算 212 =#<bB)59 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 .j**>&7L 10 光学薄膜的颜色 216 V3d$C&<( 10.1 导言 216 e L}X(). 10.2 色彩 216 UA]fKi 10.3 主波长和纯度 220 r_
B.bK 10.4 色相和纯度 221 [/ertB 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~82 {Y
_{/ 10.6 色差 226 s| Q1;%Tj 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Sl<1Rme=w 10.8 颜色渲染指数 234 ib!TXWq 10.9 色差计算 235 KH=3HN} 10.10 参考文献 236 Q1|zX@, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
M}@>h 11.1 短脉冲 238 {Ja (+NQ 11.2 群速度 239 zn_#}}e;G 11.3 群速度色散 241 p0]\QM l1 11.4 啁啾(chirped) 245 IA]wO%c 11.5 光学薄膜—相变 245 u&UmI-} 11.6 群延迟和延迟色散 246 Fr;
's(^ 11.7 色度色散 246 `Lavjmfr2V 11.8 色散补偿 249 T0)bnjm 11.9 空间光线偏移 256 7y)Ar 8!D 11.10 参考文献 258 pLV
%g#h 12 公差与误差 260 DQc\[Gq& 12.1 蒙特卡罗模型 260 twbxi{8e. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 p|dn&<kd 12.2.1 误差工具 267 }&2,!;"">3 12.2.2 灵敏度工具 271 b0f6p>~q^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _G'A]O/BZD 12.2.2.2 灵敏度分布 275 YG8)`XqC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 niW"o-} 12.3 参考文献 276 <hTHY E= 13 Runsheet 与Simulator 277 ~kSOYvK$' 13.1 原理介绍 277 `NEi/jB 13.2 截止滤光片设计 277 H270)Cwn+ 14 光学常数提取 289 o)7Ot\:E 14.1 介绍 289 J]{<Z?% 14.2 电介质薄膜 289 j|N<6GSke 14.3 n 和k 的提取工具 295 BGwD{6`U 14.4 基底的参数提取 302 re}PpXRC 14.5 金属的参数提取 306 bqp^\yu-E 14.6 不正确的模型 306 {&B_b|g*fW 14.7 参考文献 311 ~/z%yg 15 反演工程 313 3]9Rmx 15.1 随机性和系统性 313 H{S+^'5Y. 15.2 常见的系统性问题 314 %N`_g' r! 15.3 单层膜 314 k.o8!aCm 15.4 多层膜 314 YhfQpe 15.5 含义 319 4#]g852 15.6 反演工程实例 319 ZZTf/s* 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2/uZ2N|S 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %iEdU V\$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 0chpC)#Q3; 16.1 光学性质的热致偏移 329 B, H9EX 16.2 应力工具 335 udBIEW,` 16.3 均匀性误差 339 yg*
#~, 16.3.1 圆锥工具 339 O"\_%=X9 16.3.2 波前问题 341 |B*B>P# 16.4 参考文献 343 jX(${j< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4\ *:Lc,- 17.1 引言 345 Ldv,(ZV,< 17.2 操作数 345 bDJ!Fc/ 18 如何在Function中编写脚本 351 ``$$yS~d}; 18.1 简介 351 WG,1%=M@ 18.2 什么是脚本? 351 @U1|?~M%s 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [6JDS;MIN 18.4 基础 352 [)GRP 18.4.1 Classes(类别) 352 Jvsy
6R 18.4.2 对象 352 z>,M@@ 18.4.3 信息(Messages) 352 3!fR'L/i 18.4.4 属性 352 K@g
~ 18.4.5 方法 353 .35~+aqC 18.4.6 变量声明 353 C/qKa[mg 18.5 创建对象 354 &ZkJ,- 18.5.1 创建对象函数 355 [MwL=9;!H 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 a=A12< 18.5.3 丢弃对象 356 &B[*L+-E 18.5.4 总结 356 b$fmU"%&| 18.6 脚本中的表格 357 ?Fny_{&^H 18.6.1 方法1 357 x>TIx[x 18.6.2 方法2 357 3HYdb|y 18.7 2D Plots in Scripts 358 'q |"+; 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,Ww}xmq1H 18.9 注释 360 CrL9|78 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 xR&:]M[Vg 18.11 一个更高级的脚本 362 .PVYYhrt 18.12 <esc>键 364 gT$WG$^i 18.13 包含文件 365 lnyq%T[^ 18.14 脚本被优化调用 366 3'` &D/n 18.15 脚本中的对话框 368 zF[Xem 18.15.1 介绍 368 R+(f~ j' 18.15.2 消息框-MsgBox 368 F1- "yX1B 18.15.3 输入框函数 370 6'/Zq 18.15.4 自定义对话框 371 A^X\ 18.15.5 对话框编辑器 371 [ij) k@. 18.15.6 控制对话框 377 ,\P|%yv 18.15.7 更高级的对话框 380 gWa0x- 18.16 Types语句 384 hLgX0QV 18.17 打开文件 385 #-G@ p 18.18 Bags 387 R=E4Sh 18.13 进一步研究 388 iJOG"gI& 19 vStack 389 zNrn|(Y%Y 19.1 vStack基本原理 389 XE<5( 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 __QnzEF 19.3 五棱镜 393
(Z?f eUxp 19.4 光束距离 396 vnQFq 19.5 误差 399 fg#e*7Odn 19.6 二向分色棱镜 399 #I0FWZ>W 19.7 偏振泄漏 404 X;6;v] 19.8 波前误差—相位 405 #TR!x,Hc 19.9 其它计算参数 405 BF gxa#De 20 报表生成器 406 U!o 20.1 入门 406 !h7:rv/ 20.2 指令(Instructions) 406 TsoxS/MI" 20.3 页面布局指令 406 yGt[Qvx# 20.4 常见的参数图和三维图 407 +[uh);vD`G 20.5 表格中的常见参数 408 U+B"$yBR 20.6 迭代指令 408 v@[3R7|4 20.7 报表模版 408 f['lY1#V1 20.8 开始设计一个报表模版 409 5Wa)_@qI)` 21 一个新的project 413 *f;$5B#^ 21.1 创建一个新Job 414 ">t^jt{ 21.2 默认设计 415 w/(T 21.3 薄膜设计 416 L3wj vq^ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ';Nc;9 21.5 显色指数计算 422 HP[B% 21.6 电场分布 424 wk8fa 后记 426 R"O%##Ws 4To$!= 有兴趣扫码联系 T?!SEblP]
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