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{3;4=R3 内容简介 rnW i<Se Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0ul2rZc 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 XhS<GF% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jj^CW"IB PBUc9/ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 t+&WsCN 目录 `pKQ|zGw Preface 1 N=wB1gJ 内容简介 2 Y-Z.AA, 目录 i {30A1>0#P 1 引言 1 W6)A":` 2 光学薄膜基础 2 :!R+/5a 2.1 一般规则 2 u^`B#b' 2.2 正交入射规则 3 v/kYyz 2.3 斜入射规则 6 !rXyw`6N 2.4 精确计算 7 L0|u^J 2.5 相干性 8 M]&9Kg3 2.6 参考文献 10 \Wo,^qR 3 Essential Macleod的快速预览 10 L.8-nTg"y 4 Essential Macleod的特点 32 &BQ`4j~. 4.1 容量和局限性 33 `'g%z: ~ 4.2 程序在哪里? 33 E)`+1j 4.3 数据文件 35 WUHijHo5(8 4.4 设计规则 35 4WNWn#M 4.5 材料数据库和资料库 37 ;}r#08I 4.5.1材料损失 38 O|8p # 4.5.1材料数据库和导入材料 39 z- ()7WY 4.5.2 材料库 41 O*30|[ 4.5.3导出材料数据 43 $FD0MrB_+ 4.6 常用单位 43 +VTMa9d 4.7 插值和外推法 46 d`Wd"LJ= 4.8 材料数据的平滑 50 gn'. 9";j 4.9 更多光学常数模型 54 2"NJt9w 4.10 文档的一般编辑规则 55 #t;@x_2yD\ 4.11 撤销和重做 56 c(@)V.o2 4.12 设计文档 57 GU_R6Wt+ 4.10.1 公式 58 N5g!,3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 HQ]g{JVld\ 4.10.3 沉积密度 59 @k6>&PS 4.10.4 平行和楔形介质 60 ]/U)<{6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )4DF9 JpD 4.10.4 性能 61 {
c]y<q 4.10.5 保存设计和性能 64 ab6KK$s 4.10.6 默认设计 64 1}'|HAu 4.11 图表 64 xFgY#F 4.11.1 合并曲线图 67 8E|S`I 4.11.2 自适应绘制 68 >d_O0a*W- 4.11.3 动态绘图 68 hH%@8'1v 4.11.4 3D绘图 69 :dB6/@fW 4.12 导入和导出 73 kvKbl;< 4.12.1 剪贴板 73 b]@^SN9 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 58WL8xu 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 c\7~_w2 4.13 背景 77 WOquG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 G/=tC8eX 4.15 生成Rugate 84 8M!If 4.16 参考文献 91 iFpJ/L 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 D/{hLp{ 5.1 Jobs 92 E7ixl~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 H:2#/1Oz> 5.3 输入材料 94 ]H%y7kH8 5.4 设计数据文件夹 95 EE-jU<>| 5.5 默认设计 95 8eQ 4[wJY 6 细化和合成 97 tKu'Q;J 6.1 优化介绍 97 d'q,:="c 6.2 细化 (Refinement) 98 :Fu.S1j$ 6.3 合成 (Synthesis) 100 dy`K5lC@ 6.4 目标和评价函数 101 >}Fe9Y.o 6.4.1 目标输入 102 g"^<LX- 6.4.2 目标 103 oF8#gn_ 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?o?~Df& 6.5 层锁定和连接 104 9F@ Q 6.6 细化技术 104 yMB*/vs 6.6.1 单纯形 105 CB:G4VqOT 6.6.1.1 单纯形参数 106 8 Zhx& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 } U\n:@:2B 6.6.2.1 Optimac参数 108 v?vm-e 6.6.3 模拟退火算法 109 '+JU(x{CCl 6.6.3.1 模拟退火参数 109 [HLXWu3 6.6.4 共轭梯度 111 @WEDXB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 5Ay\s:hb[u 6.6.5 拟牛顿法 112 ET.c8K1f 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7G zf>n 6.6.6 针合成 113 <XDYnWz 6.6.6.1 针合成参数 114 :/A3l=}iV 6.6.7 差分进化 114 <#k(g\/R 6.6.8非局部细化 115 kzcl
6.6.8.1非局部细化参数 115 {d|e@`"T 6.7 我应该使用哪种技术? 116 krnxM7y 6.7.1 细化 116 \("|X>00 6.7.2 合成 117
BUvE~l.,| 6.8 参考文献 117 =^%#F~o: 7 导纳图及其他工具 118 -T$%MX 7.1 简介 118 /N>f#:} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 AU0pJB' 7.2.1 四分之一波长规则 119 ! ,WO]Ov 7.2.2 导纳图 120 8&t3a+8l 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `o4alK\ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 cdY|z]B 7.5 斜入射导纳图 141 P+K< /i 7.6 对称周期 141 DPqk~ KCM 7.7 参考文献 142 RE6dN 8 典型的镀膜实例 143 ROqz$yY 8.1 单层抗反射薄膜 145 %zsY=qT 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 tX)l_?jVH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Okxuhzn>" 8.4 W-膜层 148 X"lPXoCN 8.5 V-膜层 149 U|yXJ.Z3 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~?E.U,R 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 T8'm{[C 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $S Kax#[ 8.9 四层抗反射薄膜 153 *ETSx{)8 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 &&SA/;F 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 {B|)!_M# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 `-yo-59E[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 "=H(\V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 iX
(<ozH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 e,V @t% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0KT^V R 8.17 1/4波长堆栈 162 M it3q 8.18 陷波滤波器 163 lW6$v*
s9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ,y5,+:Y
~ 8.20 褶皱 165 we?#
Dui 8.21 消偏振分光器1 169 rHngYcjR 8.22 消偏振分光器2 171 ^W#161& 8.23 消偏振立体分光器 172 =2J^
'7 8.24 消偏振截止滤光片 173 FqwH:Fcr: 8.25 立体偏振分束器1 174 I)]"`2w2w 8.26 立方偏振分束器2 177 |[./jg" 8.27 相位延迟器 178 05SK$
Y<< 8.28 红外截止器 179 s]X0}"cz 8.29 21层长波带通滤波器 180 <b>g^ `}?D 8.30 49层长波带通滤波器 181 tleWJR8oc 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^GL>xlZ( 8.32 47 红外截止器 183 hlKM4JT\ 8.33 宽带通滤波器 184 yX7P5c. 8.34 诱导透射滤波器 186 H;w8[ImK 8.35 诱导透射滤波器2 188 G1tua"Px 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2e_ m>I 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]Y;5U 8.35 增益平坦滤波器 193 ){}1u ? 8.38 啁啾反射镜 1 196 <Dk6o`7^N 8.39 啁啾反射镜2 198 IEmjWw4 8.40 啁啾反射镜3 199 cZR9rnZT 8.41 带保护层的铝膜层 200 )JA9bR
< 8.42 增加铝反射率膜 201 m:-=K 8.43 参考文献 202 %^KNY ;E 9 多层膜 204 Ah:d2*SR4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 X:2)C-l? 9.2 内部透过率 204 T"_f9? 9.3 内部透射率数据 205 [Fk|%;B/~ 9.4 实例 206 2QIx~Er 9.5 实例2 210 'f_[(o+n 9.6 圆锥和带宽计算 212 8*&|Q1`K: 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 rK~Obv 10 光学薄膜的颜色 216 i K,^|Q8 10.1 导言 216
:q34KP 10.2 色彩 216 7MZ(tOR 10.3 主波长和纯度 220 }Gf9.ACQ 10.4 色相和纯度 221 %LjhK,'h 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 s:zz8oN 10.6 色差 226 sD=iHO
Am 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5c
($~EFr 10.8 颜色渲染指数 234 $97EeE:{M 10.9 色差计算 235 9M;k(B! 10.10 参考文献 236 :meq4!g{1 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 4{6XZ_J1 11.1 短脉冲 238 Mwtd<7<!A 11.2 群速度 239 rO[ Zx'a 11.3 群速度色散 241 wl5+VC*l0 11.4 啁啾(chirped) 245 l1UN.l'p 11.5 光学薄膜—相变 245 <wTD}.n 11.6 群延迟和延迟色散 246 3)*Twqt 11.7 色度色散 246 \AY*x=PF 11.8 色散补偿 249 {Rtl<W0 11.9 空间光线偏移 256 9s2N!bx 11.10 参考文献 258 vYNu=vnM 12 公差与误差 260 g9G
8; 12.1 蒙特卡罗模型 260 v5A8"&Jr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 } m&La4E 12.2.1 误差工具 267 6b-E|;"]:^ 12.2.2 灵敏度工具 271 d)1Pl3+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 A(1dq 12.2.2.2 灵敏度分布 275 i%#
<Hi7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zlhI \jRdc 12.3 参考文献 276 x.%x|6G* 13 Runsheet 与Simulator 277 krecUpo 13.1 原理介绍 277 OM (D@up 13.2 截止滤光片设计 277 J_7&nIH7 14 光学常数提取 289 Bhf4 /$ 14.1 介绍 289 cz;gz4d8 14.2 电介质薄膜 289 i1^#TC$x 14.3 n 和k 的提取工具 295 _i pY; 14.4 基底的参数提取 302 R4AKp1Y 14.5 金属的参数提取 306 ,}23 14.6 不正确的模型 306 z;1qYW[-A 14.7 参考文献 311 vv^(c w>A 15 反演工程 313 [DSD[[
z[ 15.1 随机性和系统性 313 JAU:Wqlg1 15.2 常见的系统性问题 314 s5&v~I;>e 15.3 单层膜 314 #G\;)pT 15.4 多层膜 314 hZ~\Z
S7 15.5 含义 319 EL:Az~]V 15.6 反演工程实例 319 hngdeGa
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $;As7MI 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =*=qleC3 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 gaVQ3NqF 16.1 光学性质的热致偏移 329 MD,+>kh 16.2 应力工具 335 c=u'#|/eb 16.3 均匀性误差 339 ]#P>wW 16.3.1 圆锥工具 339 |YWX.-aeo 16.3.2 波前问题 341 {Ax{N 16.4 参考文献 343 cwBf((~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 pa2cM%48 17.1 引言 345 p^X
\~Yibs 17.2 操作数 345 P<MNwdf(+ 18 如何在Function中编写脚本 351 |n*<H| 18.1 简介 351 1gh<nn 18.2 什么是脚本? 351 -Ou@T#h" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 &!KW[]i%9} 18.4 基础 352 a[A*9%a 18.4.1 Classes(类别) 352 sHf.xc 18.4.2 对象 352 @ZtDjxN
& 18.4.3 信息(Messages) 352 v6*8CQ+ 18.4.4 属性 352 =N<Z@'c 18.4.5 方法 353 -eQ70BXvB 18.4.6 变量声明 353 gvy c(d 18.5 创建对象 354 B^lm'/,@ 18.5.1 创建对象函数 355 &pEr;:E 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 xSL%1>MrN 18.5.3 丢弃对象 356 ctT6va 18.5.4 总结 356 D/TEx2.=J3 18.6 脚本中的表格 357 m6YDyQC 18.6.1 方法1 357 m\;@~o'k 18.6.2 方法2 357 5~E'21hJ 18.7 2D Plots in Scripts 358 Mhiz{Td 18.8 3D Plots in Scripts 359 nEbJ,#>Z 18.9 注释 360 ?nV& :~eY 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 pipqXe 18.11 一个更高级的脚本 362 6U[bAp 18.12 <esc>键 364 zqs|~W]c 18.13 包含文件 365 +"F 9yb 18.14 脚本被优化调用 366 .vk|aIG 18.15 脚本中的对话框 368 Dfl%Knl@J 18.15.1 介绍 368 V7q-Pfh!y 18.15.2 消息框-MsgBox 368 W=ar&O~}n 18.15.3 输入框函数 370 RqE|h6/ 18.15.4 自定义对话框 371 U]W+ers 18.15.5 对话框编辑器 371 >Z&Y!w'A|u 18.15.6 控制对话框 377 J)"g`)\2 + 18.15.7 更高级的对话框 380 0MX``/Z72 18.16 Types语句 384 jw$[b=sa 18.17 打开文件 385 $*z>t*{7 18.18 Bags 387 6%t>T~x 18.13 进一步研究 388 a@}A;y'd 19 vStack 389 3+d_5l;m) 19.1 vStack基本原理 389 UCL aCt - 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8}<4f|? 19.3 五棱镜 393 t182&gpd` 19.4 光束距离 396 #0gwN2Nv"L 19.5 误差 399 1GI/gc\ 19.6 二向分色棱镜 399 j_Qkw ? 19.7 偏振泄漏 404 q;L~5q."E 19.8 波前误差—相位 405 aEw wK(ny 19.9 其它计算参数 405 )ND%MYJSq 20 报表生成器 406 flzHZH 20.1 入门 406 ^*A8 NdaB 20.2 指令(Instructions) 406 M73d^z 20.3 页面布局指令 406 >nOU 8 20.4 常见的参数图和三维图 407 w|0w< |