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+t9$*i9`L 内容简介 IInsq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 9_$i.@L1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 bNH72gX2Yh 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +vDEDOS1 46yq F 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 `Kt]i5[ " 目录 %2S+G?$M? Preface 1 p aQ"[w 内容简介 2 LR(Q.x 目录 i ms(Z1ix^ 1 引言 1 /'[m6zm] 2 光学薄膜基础 2 eU*0;# 2.1 一般规则 2 x)]_]_vX 2.2 正交入射规则 3 tx+KxOt9Y 2.3 斜入射规则 6 M%3P@GRg 2.4 精确计算 7 MV(Sb:RZ 2.5 相干性 8 FX->_}kL= 2.6 参考文献 10 Ej[:!L 3 Essential Macleod的快速预览 10 9Kpzj43 4 Essential Macleod的特点 32 1"hd5a 4.1 容量和局限性 33 7])cu>/ 4.2 程序在哪里? 33 fQ[&
^S$ 4.3 数据文件 35 Vgj&hdbd 4.4 设计规则 35 b|rMmx8vA 4.5 材料数据库和资料库 37 MF41q%9p 4.5.1材料损失 38 'XbrO|% 4.5.1材料数据库和导入材料 39 !{WIN%O 4.5.2 材料库 41 QE#Ar8tU 4.5.3导出材料数据 43 I7S#vIMXR. 4.6 常用单位 43 34Fc
oud); 4.7 插值和外推法 46 *EB`~s 4.8 材料数据的平滑 50 yF _@^V 4.9 更多光学常数模型 54 `R\nw)xq 4.10 文档的一般编辑规则 55 HCCEIgCT 4.11 撤销和重做 56 &az
:YTq 4.12 设计文档 57 5PRS|R7 4.10.1 公式 58 *l-f">?| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 TV['"'D&i 4.10.3 沉积密度 59 %XQ!>BeE 4.10.4 平行和楔形介质 60 H[x$65ND 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )-u0n], 4.10.4 性能 61 yu~o9 4.10.5 保存设计和性能 64 Q4[^JQsR2 4.10.6 默认设计 64 4g%BCGsys 4.11 图表 64 #Bih=A
# 4.11.1 合并曲线图 67 5gg
Yg$ 4.11.2 自适应绘制 68 rsGQ
:c 4.11.3 动态绘图 68 v90)G8|q 4.11.4 3D绘图 69 oPbxe 4.12 导入和导出 73 }~akVh`3 4.12.1 剪贴板 73 h{5K9$9= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 qs|{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !EuqJjh 4.13 背景 77
%77X/%.Y 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ?RMOy$L 4.15 生成Rugate 84 '=V!Y$tn 4.16 参考文献 91 4H]~ ]?F& 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 g,YJh(|#{ 5.1 Jobs 92 Dus [N<
w 5.2 创建一个新Job(工作) 93 U?[_ d 5.3 输入材料 94 rZi\ 5.4 设计数据文件夹 95 )*CDufRFz 5.5 默认设计 95 Rt6(y #dF 6 细化和合成 97 6!;eJYj, 6.1 优化介绍 97 N}/|B} 6.2 细化 (Refinement) 98 d'okXCG 6.3 合成 (Synthesis) 100 m) -DrbE 6.4 目标和评价函数 101 5L!cS+QNU 6.4.1 目标输入 102 e6(Pw20)s 6.4.2 目标 103 q\r@x-&g+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 GI
; 6.5 层锁定和连接 104 )UoF*vC( 6.6 细化技术 104 }iE!(
l 6.6.1 单纯形 105 2x<A7l)6 6.6.1.1 单纯形参数 106 ?r}'0dW 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ER'zjI>t@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 F3Y/Miw 6.6.3 模拟退火算法 109 dU"ca|u 6.6.3.1 模拟退火参数 109 j]X$7 6.6.4 共轭梯度 111 p7{%0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 (]}52%~ 6.6.5 拟牛顿法 112 Al0ls 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 p "Cxe 6.6.6 针合成 113 }NgevsV>; 6.6.6.1 针合成参数 114 9()d7Y#d/` 6.6.7 差分进化 114 v*[oe 6.6.8非局部细化 115 )%6h9xyXt 6.6.8.1非局部细化参数 115 QO;OeMQv% 6.7 我应该使用哪种技术? 116
4Y/kf%]]A 6.7.1 细化 116 jY|fP!?[ 6.7.2 合成 117 Gkr?M^@K 6.8 参考文献 117 {S6:LsFfm 7 导纳图及其他工具 118 dR|*VT\ 7.1 简介 118 |3SM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 d&x #9ka 7.2.1 四分之一波长规则 119 gT&s &0_7 7.2.2 导纳图 120 t"Tv(W?_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 %={[e`,
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 W)z@>4`Bb 7.5 斜入射导纳图 141 _t7}ny[ 7.6 对称周期 141 )&F]j 7.7 参考文献 142
oa;vLX$ 8 典型的镀膜实例 143 N7l`-y 8.1 单层抗反射薄膜 145 a@v}j& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q,%lG$0v 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /9o
gg 8.4 W-膜层 148 +!JTEKHKH 8.5 V-膜层 149 _+*+,Vx 8.6 V-膜层高折射基底 150 "+sl(A3`U 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 \96aHOk< 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~\]lMsk+ 8.9 四层抗反射薄膜 153 6!T9VL\=H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 0YA 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;Im%L=q9GL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5fjL 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |]UR&* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 U'oFW@Y;h 8.15十五层宽带抗反射膜 159 J`d_=C?J 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Muay6b? 8.17 1/4波长堆栈 162 : pkOZ+t 8.18 陷波滤波器 163 ?qJt4Om 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 vAt]N)R 8.20 褶皱 165 [yn\O=%5 8.21 消偏振分光器1 169 3[r9v!l 8.22 消偏振分光器2 171 0Bn35.K 8.23 消偏振立体分光器 172 {Q~HMe`, 8.24 消偏振截止滤光片 173 jM5w<T-2/ 8.25 立体偏振分束器1 174 '?O_(%3F0 8.26 立方偏振分束器2 177 \3XG8J 8.27 相位延迟器 178 W20H4!G 8.28 红外截止器 179 CY</v,\:# 8.29 21层长波带通滤波器 180 {^*K@c 8.30 49层长波带通滤波器 181 A9;!\Wo 8.31 55层短波带通滤波器 182 f =T-4Of 8.32 47 红外截止器 183 =~P)7D6 8.33 宽带通滤波器 184 h6;vOd~% 8.34 诱导透射滤波器 186 X"EZpJ'W 8.35 诱导透射滤波器2 188 X6-;vnlKN 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #<o=W#[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #gc v])to 8.35 增益平坦滤波器 193 &G$K.q 8.38 啁啾反射镜 1 196 `)TuZP_) 8.39 啁啾反射镜2 198 i}=n6
8.40 啁啾反射镜3 199 k;(r:k^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 khQ@DwO*\= 8.42 增加铝反射率膜 201 wmDO^}>ZP 8.43 参考文献 202 9NC?J@&B 9 多层膜 204 (,I9| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 8Xx4W^*_ 9.2 内部透过率 204 `_+% 9.3 内部透射率数据 205 E@/*eJ 9.4 实例 206 E2i'lO\P 9.5 实例2 210 ! z6T_;s 9.6 圆锥和带宽计算 212 F&u)wI' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 k{C03=xk 10 光学薄膜的颜色 216 n%K^G4k^ 10.1 导言 216 L]Dq1q8` 10.2 色彩 216 e5$S2o~JF 10.3 主波长和纯度 220 ]Ei*I} 10.4 色相和纯度 221 36MNaQt'e 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,(;]8G-Yj 10.6 色差 226 g@|2z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 &j?+%Y1n@ 10.8 颜色渲染指数 234 a98J_^ n 10.9 色差计算 235 FSD~Q&9& 10.10 参考文献 236 bc]SY = 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 jT*?Z:U 11.1 短脉冲 238 _V,bvHWlM 11.2 群速度 239 _^@ >I8ix 11.3 群速度色散 241 3W3)%[ 5 11.4 啁啾(chirped) 245 @MKf$O4K 11.5 光学薄膜—相变 245 CLgfNrW~ 11.6 群延迟和延迟色散 246 U(:Di]>{ 11.7 色度色散 246 :$Xvq-#$| 11.8 色散补偿 249 c>%%'c 11.9 空间光线偏移 256 dZ|x `bIgs 11.10 参考文献 258 z#*>u 12 公差与误差 260 +}x\|O 12.1 蒙特卡罗模型 260 H(tT8Q5i 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 i\dd 12.2.1 误差工具 267 5pH6] $ 12.2.2 灵敏度工具 271 V*gh"gZ< 12.2.2.1 独立灵敏度 271 &3f^]n!@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _6.Y3+7I 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 V`m9+<.1 b 12.3 参考文献 276 2" u,f 13 Runsheet 与Simulator 277 @tlWyUju 13.1 原理介绍 277 zALtG<_t 13.2 截止滤光片设计 277 Slv91c&md, 14 光学常数提取 289 O,Ej m<nt 14.1 介绍 289 lf\x`3Vd 14.2 电介质薄膜 289 )Wy:I_F351 14.3 n 和k 的提取工具 295 #z =$*\u 14.4 基底的参数提取 302 ?T)M z
q} 14.5 金属的参数提取 306 (W
|;gQ 14.6 不正确的模型 306 {ObUJ3 14.7 参考文献 311 \Vx_$E 15 反演工程 313 d}<-G.&_ 15.1 随机性和系统性 313 =Q #d0Q 15.2 常见的系统性问题 314 dy]ZS<Hz8G 15.3 单层膜 314 @?*;
-]#) 15.4 多层膜 314 IXpn(vX 15.5 含义 319 20/P:; 15.6 反演工程实例 319 jI%glO'2 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 rgF4 W8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 4{ [d '-H5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =wlPm5 16.1 光学性质的热致偏移 329 9qvl9,*g 16.2 应力工具 335 ;KgDVq5 16.3 均匀性误差 339 .Bojb~zt 16.3.1 圆锥工具 339 ;tC$O~X 16.3.2 波前问题 341 0ax;Q[z2 16.4 参考文献 343 JnLF61 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 n(W&GSj|u9 17.1 引言 345 \. a 7F4h 17.2 操作数 345 40G'3HOp 18 如何在Function中编写脚本 351 S0`u!l89( 18.1 简介 351 9XhcA 18.2 什么是脚本? 351 #^{%jlmHxJ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 \_x~lRqJJ 18.4 基础 352 WAf"| 18.4.1 Classes(类别) 352 Ax*xa6_2 18.4.2 对象 352 PYTwyqS 18.4.3 信息(Messages) 352 QUDpAW 18.4.4 属性 352 zKT4j1h 18.4.5 方法 353 pKU(4&BxX 18.4.6 变量声明 353 W;?e @} 18.5 创建对象 354 v.hQ9#: 18.5.1 创建对象函数 355 >[l2KD 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (4|R}jv 18.5.3 丢弃对象 356 Ygc|9} 18.5.4 总结 356 [I}z\3Z
% 18.6 脚本中的表格 357 QD-`jV3 18.6.1 方法1 357 R6TT1Ka3c 18.6.2 方法2 357 &+3RsIlW 18.7 2D Plots in Scripts 358 pj$kSS|m6- 18.8 3D Plots in Scripts 359 aYM~Ub:x{ 18.9 注释 360 ,(&Fb~r] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 r7FJqd 18.11 一个更高级的脚本 362 Bru] ;%Qg% 18.12 <esc>键 364 `g<0FQA 18.13 包含文件 365 Mh
MXn;VKj 18.14 脚本被优化调用 366 \BX9Wn*)a 18.15 脚本中的对话框 368 7Ah 18.15.1 介绍 368 )Y6\"-M[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 gq@8Z
AWn 18.15.3 输入框函数 370 +X`&VO6~ 18.15.4 自定义对话框 371 Ze <)B
* 18.15.5 对话框编辑器 371 >!Xj%RW 18.15.6 控制对话框 377 o]]sm}3N 18.15.7 更高级的对话框 380 *Q#oV}D_ 18.16 Types语句 384 @$iZ9x6t 18.17 打开文件 385 m&s>Sn+ 18.18 Bags 387 P-<1vfThH 18.13 进一步研究 388 U8-OQ:2. 19 vStack 389 u%lUi2P2E 19.1 vStack基本原理 389 @v3)N[|d 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ydA@@C\& 19.3 五棱镜 393 O3mw5<%15 19.4 光束距离 396 )5n:UD{f[# 19.5 误差 399 (UCCEQq5 19.6 二向分色棱镜 399 >TiEYMW 19.7 偏振泄漏 404 Mdh]qKw
19.8 波前误差—相位 405 :dNJ2&kJ 19.9 其它计算参数 405 :@a0h 20 报表生成器 406 +TX4," 20.1 入门 406 ={f8s,m)P, 20.2 指令(Instructions) 406 q`?M+c*F 20.3 页面布局指令 406 ]0BX5Z' 20.4 常见的参数图和三维图 407 A}}dc:$C 20.5 表格中的常见参数 408 aqWlX0+ 20.6 迭代指令 408 iSUu3Yv,_m 20.7 报表模版 408 |5ge4,}0 20.8 开始设计一个报表模版 409 EJRkFn8XG' 21 一个新的project 413 .;qh>Gt 21.1 创建一个新Job 414 }"SqB{5e( 21.2 默认设计 415 D[}^G5 21.3 薄膜设计 416 TD%L`Gk 21.4 误差的灵敏度计算 420 @WJ\W `P 21.5 显色指数计算 422 zG8g}FrzG; 21.6 电场分布 424 ?#fm-5WIi 后记 426 k2tSgJW \ q3ui}-9 有兴趣扫码联系 TI\xCIH
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