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J-LPTB 内容简介 %9X{{_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 E+z18Lf? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 q`[K3p
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 "XhOsMJ ]H+{eJB7O 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 r4?b0&Xq 目录 H}
6CKP} Preface 1 Oqmg;\pm 内容简介 2 a.DX%C/5 目录 i f^?uY8< 1 引言 1 t:=k)B 2 光学薄膜基础 2 +0"x|$f~ 2.1 一般规则 2 2e.N"eLNt 2.2 正交入射规则 3 GRIa8> 2.3 斜入射规则 6 .LObOR5J7 2.4 精确计算 7 @!<d0_dnC 2.5 相干性 8 YjLe(+WQ 2.6 参考文献 10 (Y2mmd 3 Essential Macleod的快速预览 10 o%`npi1y 4 Essential Macleod的特点 32 {zP#woz2Q 4.1 容量和局限性 33 PrSkHxm 4.2 程序在哪里? 33 j o_
sAb 4.3 数据文件 35 KDD@%E 4.4 设计规则 35 *,lh:
4.5 材料数据库和资料库 37 k_?~<vTM 4.5.1材料损失 38 ] H&c' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 hwVAXsF~ 4.5.2 材料库 41 9tk" :ld 4.5.3导出材料数据 43 9P.(^SD][z 4.6 常用单位 43 `(DJs-xD 4.7 插值和外推法 46 XV=S) 4.8 材料数据的平滑 50 7F(5)Utt 4.9 更多光学常数模型 54 ZXt?[Ll 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~+HoSXu@E 4.11 撤销和重做 56 ~;unpym' 4.12 设计文档 57 kXwi{P3D$ 4.10.1 公式 58 :<GfET Is 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 AIh*1>2Xn 4.10.3 沉积密度 59 M&y5AB0 4.10.4 平行和楔形介质 60 :#$F)]y'\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 //.>>-~1m 4.10.4 性能 61 #mLuU 4.10.5 保存设计和性能 64 ooE{V*Ie 4.10.6 默认设计 64 3taa^e. 4.11 图表 64 FP@qh 4.11.1 合并曲线图 67 O?ktWHUx 4.11.2 自适应绘制 68 wqy^8N[K] 4.11.3 动态绘图 68 8Kk\*8 < 4.11.4 3D绘图 69 hCC}d0gf`n 4.12 导入和导出 73 XoItV 4.12.1 剪贴板 73 aFY u}kl 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 nbmc[!PwG 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 G {b:i8}l 4.13 背景 77 >]&X ^V%Q# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0@pu@ DP~ 4.15 生成Rugate 84 eko]H!Ov( 4.16 参考文献 91 `4
UlJ4<` 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \c7>:DH 5.1 Jobs 92 r,xmEj0E 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6GINmkA 5.3 输入材料 94 `,Orf ZMb 5.4 设计数据文件夹 95 d?hz LX 5.5 默认设计 95 =;{^"#r\ 6 细化和合成 97 8h.V4/? 6.1 优化介绍 97 ;h~er6& 6.2 细化 (Refinement) 98 ^od<JD4 6.3 合成 (Synthesis) 100 HZZDv+ 6.4 目标和评价函数 101 3nFt1E
6.4.1 目标输入 102 KcXpH]>!9 6.4.2 目标 103 c2<,|D| 6.4.3 特殊的评价函数 104 2z\;Q8g){r 6.5 层锁定和连接 104 [B9 ;?G 6.6 细化技术 104 t;47(U 6.6.1 单纯形 105 u~F~cDu 6.6.1.1 单纯形参数 106 usOx=^?= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 U7H9/<&o 6.6.2.1 Optimac参数 108 `ZGcgO<c\ 6.6.3 模拟退火算法 109 n29(!10Px 6.6.3.1 模拟退火参数 109 JNo8>aFOb 6.6.4 共轭梯度 111 lTz6"/ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 -MfQ&U 6.6.5 拟牛顿法 112 FtIa*j^G 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 fKkjn4&W 6.6.6 针合成 113 ::"E?CQLV 6.6.6.1 针合成参数 114 ^}>/n. % 6.6.7 差分进化 114 g1|w? pI1 6.6.8非局部细化 115 %Kto.Xq 6.6.8.1非局部细化参数 115 DWf$X1M 6.7 我应该使用哪种技术? 116 5 DFZ^~ 6.7.1 细化 116 <z) E(J\ 6.7.2 合成 117 g}Qx`65: 6.8 参考文献 117 \=nrt? 7 导纳图及其他工具 118 ,rO[mNk9@ 7.1 简介 118 44-r\> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 |4C^$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 va,~w(G 7.2.2 导纳图 120 "s_Z& 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vVVPw?Ww- 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 C1fyV] 7.5 斜入射导纳图 141 wk[
wNIu 7.6 对称周期 141 ~UPZ< 7.7 参考文献 142 'Q|c@t 8 典型的镀膜实例 143 N"c(e6 8.1 单层抗反射薄膜 145 <Ar$v'W=F{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _T*AC. 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ]~jN^"o_B 8.4 W-膜层 148 `s/?b|, 8.5 V-膜层 149 I3) Zr+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ?L|yaC~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8^ #mvHah 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 J@#?@0]F 8.9 四层抗反射薄膜 153 ]WL|~mG 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 z<n-Gzwk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 A 's-'8m 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 eOY^$#Y 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &jf7k
<^ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /A07s[L 8.15十五层宽带抗反射膜 159 m5-9yQ=. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 GYK\LHCPd 8.17 1/4波长堆栈 162 QLr9dnA 8.18 陷波滤波器 163 tT5pggml 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 {fz$Z!8- 8.20 褶皱 165 dM]#WBOPy 8.21 消偏振分光器1 169 aj8Rb& 8.22 消偏振分光器2 171 0k[2jh 8.23 消偏振立体分光器 172 EHI 'xt 8.24 消偏振截止滤光片 173 nk@atK,38^ 8.25 立体偏振分束器1 174 J YmAn?o- 8.26 立方偏振分束器2 177 ' [p)N, 8.27 相位延迟器 178 4 I@p%g& 8.28 红外截止器 179 *'8Ln tZf 8.29 21层长波带通滤波器 180 Ge \["`;i 8.30 49层长波带通滤波器 181 $3;Upgv 8.31 55层短波带通滤波器 182
f[jNwb 8.32 47 红外截止器 183 iRw&49 8.33 宽带通滤波器 184 I1=(. *B} 8.34 诱导透射滤波器 186 j43$]'- 8.35 诱导透射滤波器2 188 =8JB8ZFP 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #R5U
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8Y{s;U0n 8.35 增益平坦滤波器 193 mTf< 8.38 啁啾反射镜 1 196 HW[L[&/ 8.39 啁啾反射镜2 198 wk$,k 8.40 啁啾反射镜3 199 Q{y{rC2P 8.41 带保护层的铝膜层 200 jRj=Awy 8.42 增加铝反射率膜 201 `
\ZqgX4 8.43 参考文献 202 lU.Kc 9 多层膜 204 %1}6q`:w 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 >k(MUmhX 9.2 内部透过率 204 ;Yts\4BSM 9.3 内部透射率数据 205 H lB]38 9.4 实例 206 :qj<p3w~} 9.5 实例2 210 ,+1m`9} 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;L"!I3dM) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 @WOM#Kc 10 光学薄膜的颜色 216 ")UwkF 10.1 导言 216 q]c5MlJXF 10.2 色彩 216 JK)qZ= 10.3 主波长和纯度 220 -$-8W 10.4 色相和纯度 221 h*l&RR:i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 6|;Uq' 10.6 色差 226 \caH pof 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 GDhM<bVqM* 10.8 颜色渲染指数 234 eSy(~Y 10.9 色差计算 235 )&W**!(C 10.10 参考文献 236 jai|/"HSXw 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Gi?_ujZR 11.1 短脉冲 238 0kDBE3i# 11.2 群速度 239 raUs%Y3 11.3 群速度色散 241 R[Fn0fnLx 11.4 啁啾(chirped) 245 f~h~5 11.5 光学薄膜—相变 245 \k@$~}xD, 11.6 群延迟和延迟色散 246 < n?=|g 11.7 色度色散 246 !iu5OX7K| 11.8 色散补偿 249 $:bih4@> 11.9 空间光线偏移 256 c$H+g,7xQ- 11.10 参考文献 258 x\\7G^$<h 12 公差与误差 260 Zq"7,z7 12.1 蒙特卡罗模型 260 +l0g`: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {ERMGd6Jp 12.2.1 误差工具 267 B#l?IB~ 12.2.2 灵敏度工具 271 l|"6yB | 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /n{1o\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 :8f[|XR4\N 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 %,V
YiW0 12.3 参考文献 276 K~6e5D7. 13 Runsheet 与Simulator 277 v/QUjXBr 13.1 原理介绍 277 |D#2GeBw1h 13.2 截止滤光片设计 277 :nJgwp()@ 14 光学常数提取 289 5W? PCOh\ 14.1 介绍 289 jgu*Y{ocm 14.2 电介质薄膜 289 i!H!;z# 14.3 n 和k 的提取工具 295 OSDy'@
14.4 基底的参数提取 302 Y "jE' 14.5 金属的参数提取 306 +}kgQ^ 14.6 不正确的模型 306 x4kWLy7Sz 14.7 参考文献 311 X9=N%GY[ 15 反演工程 313 [xlIG}e9 15.1 随机性和系统性 313 `wz[='yM 15.2 常见的系统性问题 314 WI[:-cv 15.3 单层膜 314 2W<n5o 15.4 多层膜 314
6ghx3_%w 15.5 含义 319 MZ4c{@Tg 15.6 反演工程实例 319 DtxE@, 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 kdrod [S 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Wch~Yb 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 TJ_=1Y@z 16.1 光学性质的热致偏移 329 KG9t3<-` 16.2 应力工具 335 eEw.'B 16.3 均匀性误差 339 |(R5e 16.3.1 圆锥工具 339 +Ic ~ f1zh 16.3.2 波前问题 341 Fd$!wBL 16.4 参考文献 343 MDa7 B +4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &9[P-w;7u 17.1 引言 345 kBWrqZ6 17.2 操作数 345 1T|$BK@) 18 如何在Function中编写脚本 351 S;\R!%t_ 18.1 简介 351 {3\R|tZh,` 18.2 什么是脚本? 351 hlbvt-C?}" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Qst$S} n 18.4 基础 352 }d
Ad$^ 18.4.1 Classes(类别) 352 5]Da{Wmgs 18.4.2 对象 352 :z"!kzdJ 18.4.3 信息(Messages) 352 ;O#g"8 18.4.4 属性 352 z!wDpG7b 18.4.5 方法 353 FiAY\4 18.4.6 变量声明 353 m.Lij!0 18.5 创建对象 354 ii|?; 18.5.1 创建对象函数 355 8/%6@Y"Y* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 1}m3; 18.5.3 丢弃对象 356 ?8V
UOx 18.5.4 总结 356 z}4L=KR\v 18.6 脚本中的表格 357 8;gXg 18.6.1 方法1 357 +b$S~0n
18.6.2 方法2 357 D)b}f` 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~qVz)< 18.8 3D Plots in Scripts 359 mqtg[~dNc 18.9 注释 360 Sr Ca3PA 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 U]6&b 18.11 一个更高级的脚本 362 !kuX,*}q 18.12 <esc>键 364 fC-P.:F#I 18.13 包含文件 365 X JGB)3QI 18.14 脚本被优化调用 366 HM[klH]s= 18.15 脚本中的对话框 368 {=:#S+^ER 18.15.1 介绍 368 wD\ZOn_J 18.15.2 消息框-MsgBox 368 j f~wBmd7 18.15.3 输入框函数 370 sp9W?IJ 6c 18.15.4 自定义对话框 371 PH3 >9/H 18.15.5 对话框编辑器 371 -%c<IX>z9 18.15.6 控制对话框 377 7N8H)X 18.15.7 更高级的对话框 380 x i~uv?f 18.16 Types语句 384 uBnoQ~Qd[z 18.17 打开文件 385 fRZ KEIyk 18.18 Bags 387 cDEJk?3+ 18.13 进一步研究 388 k;yw#Af8 19 vStack 389 pf" <!O[ 19.1 vStack基本原理 389 P A;6$vqX 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 CON0E~" 19.3 五棱镜 393 8AFczeg[[ 19.4 光束距离 396 -1|iz2^N 19.5 误差 399 Of}|ib^t 19.6 二向分色棱镜 399 m}j:nk 19.7 偏振泄漏 404 MmTC=/j 19.8 波前误差—相位 405 j+4H}XyE 19.9 其它计算参数 405 R=j% S! 20 报表生成器 406 F'm(8/A$ 20.1 入门 406 !p"aAZT7sq 20.2 指令(Instructions) 406 v}JD2.O+ 20.3 页面布局指令 406 8P' ana 20.4 常见的参数图和三维图 407 gN6rp(?y 20.5 表格中的常见参数 408 6i@\5}m= 20.6 迭代指令 408 !c#]?b% 20.7 报表模版 408 o:q1beU 20.8 开始设计一个报表模版 409 ;QCrHqRT` 21 一个新的project 413 }YhtUWz]. 21.1 创建一个新Job 414 Ddju~510 21.2 默认设计 415 "`Ge~N[$A 21.3 薄膜设计 416 5II(mSg8 21.4 误差的灵敏度计算 420 `\u;K9S6 21.5 显色指数计算 422 $4SzUZ0 21.6 电场分布 424 [/M^[p 后记 426 O\KQl0*l\\ 2.e
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