[技术]用阿贝判据研究显微系统的分辨率 [复制链接]

[K9q+  
显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 (/Y gcT  
anV)$PT=  
o_$r*Z|HG  
 L_Ai/'
 
1. 案例 z?YGE iR/}  
#6m//0 u  
O "h+i
>|l  
  h/w- &7t  
在VirtualLab Fusion中构建系统 4Y/!V[  
KJkcmF}Q  
1. 系统构建模块 $1@{Zz!S  
Ia"bP` L  
<*5D0q#~"  
)*JTxMQ  
2. 组件连接器 \)"qN^we  
1!NaOfP;@  
BR%:`uiQ<  
  jKQP0 t-  
几何光学仿真 `4p
9K  
Zj<T#4?8  
以光线追迹 4* hmeS"  
xO@OkCue  
1. 结果：光线追迹 ?8nG F%p  
nb!m>0*/  
e O}mZN  
  5LK>n-  
快速物理光学仿真 ~5#7i_%@E}  
V)Xcn'h  
以场追迹 .lnD]Q  
Te13Af~  
1. NA=1.4时的光栅成像 d16PY_  
C|JWom\J  
s`2o\]  
     Zn!SHj  
2.  NA=0.75时的光栅成像 ljCgIfZ_4  
   n(+:l'#H
J  
[6tQv<}^
 
     Aws TDM  
3. NA=0.5时的光栅成像 O#|E7;  
       m1hf[cg  
i\'N1S<D