[技术]用阿贝判据研究显微系统的分辨率 [复制链接]

G?hK9@ |v  
显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 py<_HyJ  
9$l>\.6  
4$"D
baC  
/"#4T^7&  
1. 案例 `
2%6V)s  
$3P`DJo  
4j'd3WGpbN  
  ^toAw8A=@0  
在VirtualLab Fusion中构建系统 TKI$hc3|L  
8{I"q[GZ  
1. 系统构建模块 %:u[MBe,  
m(47s  
d*]Ew=^L  
F@vbSFv)/  
2. 组件连接器 &0v.E"0<
 
.;I29yk\XS  
_sMs}?^  
  dcq#TBo8  
几何光学仿真 L-h$Z
0]_F  
#V_GOy1-  
以光线追迹 UpUp8%fCU  
t#b0H)  
1. 结果：光线追迹 ?
y7w}W  
e<\<,)9@/  
a/:XXy |  
  m *X7T  
快速物理光学仿真 OkH\^  
F9Z@x)  
以场追迹 ?&c:q3_-Z  

r|R7-HI  
1. NA=1.4时的光栅成像 'Cg{_z.~c  
f}fsoDoQ=  
Je7RrCz  
     G*n2Ii  
2.  NA=0.75时的光栅成像 UH3t(o7O
 
   Dgi~rr1`'s  
wD9a#AgEd  
     \C|cp|A*&  
3. NA=0.5时的光栅成像 #Ob]]!y  
       8k!6b\Imz  
IB$7`7