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i 内容简介 ~_!F01s Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 -xP!" 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yR\btx|e5~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ny54XjtG, k|!EDze43? 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 x_dy~(* 目录 dYgXtl=#j Preface 1 LA)[ip4 内容简介 2 ]i)j3WDz] 目录 i W='>:H 1 引言 1 6!(@@^7{* 2 光学薄膜基础 2 "T- `$'9 2.1 一般规则 2 s
S7c! 2.2 正交入射规则 3 VZl6t;cn 2.3 斜入射规则 6 QMpoa5ZQG 2.4 精确计算 7 ;I!MLI 2.5 相干性 8 cx0*X* 2.6 参考文献 10 s91JBP|B7 3 Essential Macleod的快速预览 10 N~xLu8, 4 Essential Macleod的特点 32 qZA).12qS 4.1 容量和局限性 33 '3 ^+{=q 4.2 程序在哪里? 33 j+
LawW- 4.3 数据文件 35 +PuPO9jKO@ 4.4 设计规则 35 Kp,M"Y 4.5 材料数据库和资料库 37 `9b7>Nn< 4.5.1材料损失 38 P->y_4O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 MHC^8VL 4.5.2 材料库 41 9uQ 4u/F 4.5.3导出材料数据 43 \R;`zuv 4.6 常用单位 43 = MOj|NR [ 4.7 插值和外推法 46 ,9o"43D:a| 4.8 材料数据的平滑 50 >#y^;/bb 4.9 更多光学常数模型 54 X.e7A/ClEo 4.10 文档的一般编辑规则 55 {7/0< NG 4.11 撤销和重做 56 Bb"Bg\le,^ 4.12 设计文档 57 n .RhxgC< 4.10.1 公式 58 .8G@%p{, 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 [n$BRk| 4.10.3 沉积密度 59 \<)9?M : 4.10.4 平行和楔形介质 60 9b*nLyYVz 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ut I"\1hQ 4.10.4 性能 61 y7i*s^ys{ 4.10.5 保存设计和性能 64 Os1>kwC 4.10.6 默认设计 64 BFOq8}fX2 4.11 图表 64 w2'f/ 4.11.1 合并曲线图 67 6 jn3`D 4.11.2 自适应绘制 68 3z&Fi;<+j 4.11.3 动态绘图 68 <fFTY130: 4.11.4 3D绘图 69 xsMBC
4.12 导入和导出 73 9BuSN*4 4.12.1 剪贴板 73 Oal3rb 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &mtJRfnu 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 uPl\I6k 4.13 背景 77 D'Y-6W3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %eO0wa$a 4.15 生成Rugate 84 >\Ww;1yV 4.16 参考文献 91 k-{<=>uM 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 H,u<|UMM_ 5.1 Jobs 92 A'&K/) Z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 HEM9E&rL 5.3 输入材料 94 vG"=h% 5.4 设计数据文件夹 95 E`uY1B[c 5.5 默认设计 95 4Q6mo/=H 6 细化和合成 97 Gvr@|{k 6.1 优化介绍 97 trp0V4b8 6.2 细化 (Refinement) 98 z3;*Em8Ir 6.3 合成 (Synthesis) 100 ,~]tg77 6.4 目标和评价函数 101 pv Gf\pu 6.4.1 目标输入 102 (j3xAA 6.4.2 目标 103 VeQg-#&I 6.4.3 特殊的评价函数 104 Nqa&_5" 6.5 层锁定和连接 104 1BpiV-]=
6.6 细化技术 104 xM&Wgei]10 6.6.1 单纯形 105 Z
Z:}AQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 +yD`3`
E 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 y3o25}" 6.6.2.1 Optimac参数 108 B2'i7Ps 6.6.3 模拟退火算法 109 In<n&ib 6.6.3.1 模拟退火参数 109 0p}D(m2B 6.6.4 共轭梯度 111 &bfA.&
` 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ZWKg9 %y7 6.6.5 拟牛顿法 112 #nPQ!NB/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Bx4w)9+3 6.6.6 针合成 113 Z*= $8e@ 6.6.6.1 针合成参数 114 I
,z3xU 6.6.7 差分进化 114 xY^%&n 6.6.8非局部细化 115 9|gr0~j 6.6.8.1非局部细化参数 115 yU-e3O7L 6.7 我应该使用哪种技术? 116 :6 Lx@ 6.7.1 细化 116 )]H-BIuGm 6.7.2 合成 117 s)6U_ 6.8 参考文献 117 l^pA2yh| 7 导纳图及其他工具 118 [8=vv7wS 7.1 简介 118 7KAO+\)H^Y 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 vPTM 7.2.1 四分之一波长规则 119 2;DuHO1 7.2.2 导纳图 120 q$B>|y U 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 iA' lon 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rzm:Yx 7.5 斜入射导纳图 141 ZL&g_jC 7.6 对称周期 141 HiR[(5vnf 7.7 参考文献 142 @W[f1 8 典型的镀膜实例 143 j)/nKh4O 8.1 单层抗反射薄膜 145 opy("qH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 /2=#t-p+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 mR?5G:W~R 8.4 W-膜层 148 %)/P^9I6 8.5 V-膜层 149 hp 5|@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 C8 xZ;V] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |ZRagn30 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 pgQV /6 8.9 四层抗反射薄膜 153 z6jc8Z=O 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ]v]qChZHd 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 qQ?"@>PALD 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 d9;g]uj` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )GM41t1i 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &3J_^210 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }dWq=)* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 SEGri#s 8.17 1/4波长堆栈 162 %t" CX5n 8.18 陷波滤波器 163 ~M7y*'oY 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 7Z\--=;|[: 8.20 褶皱 165 <b`E_ 8.21 消偏振分光器1 169 VcSVu 8.22 消偏振分光器2 171 K1\a#w 8.23 消偏振立体分光器 172 x,|hU@h 8.24 消偏振截止滤光片 173 ND>r#(_\ 8.25 立体偏振分束器1 174 Z{ X|6. 8.26 立方偏振分束器2 177 ?fUlgQ}N 8.27 相位延迟器 178 <UV1!2nv* 8.28 红外截止器 179 *E/`KUG] 8.29 21层长波带通滤波器 180 'B 43_ 8.30 49层长波带通滤波器 181 `_` QxM 8.31 55层短波带通滤波器 182 :U3kW8;UMP 8.32 47 红外截止器 183 vd
0ljA 8.33 宽带通滤波器 184 >0ph9$ 8.34 诱导透射滤波器 186 x7:s]<kE 8.35 诱导透射滤波器2 188 GT }F9F~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 XWS%zLaK 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,9}h 8.35 增益平坦滤波器 193 A+"ia1p,} 8.38 啁啾反射镜 1 196 {|&5_][ 8.39 啁啾反射镜2 198 GqaDL3Niqs 8.40 啁啾反射镜3 199 Jq&uF*! 8.41 带保护层的铝膜层 200 .TND a& 8.42 增加铝反射率膜 201 zr+zhpp 8.43 参考文献 202 u09:Z{tL;@ 9 多层膜 204 F+,~v- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 '_w=k4 9.2 内部透过率 204 Ma.`A 9.3 内部透射率数据 205 P@$/P99 9.4 实例 206 xLNtIzx 9.5 实例2 210 Tx|Ir+f6L 9.6 圆锥和带宽计算 212 juka0/ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 hb zC#@q 10 光学薄膜的颜色 216 a(kg/s 10.1 导言 216 }XV+gyG=@ 10.2 色彩 216 EQb7-vhg 10.3 主波长和纯度 220 :PIF07$xl 10.4 色相和纯度 221 >/kcdWl 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 tyXuG< 10.6 色差 226 Kwefs;<E? 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Rot@x r7Hc 10.8 颜色渲染指数 234 ~$:|VHl 10.9 色差计算 235 q>$ev)W 10.10 参考文献 236 M dZ&A}S 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -+ SF 11.1 短脉冲 238 Co (.:z~ 11.2 群速度 239 /y _O4 11.3 群速度色散 241 l6YtEHNG 11.4 啁啾(chirped) 245 e+$p9k~ 11.5 光学薄膜—相变 245 k2c}3 MeP 11.6 群延迟和延迟色散 246 k7?N ?7w 11.7 色度色散 246 SM0~fAtE 11.8 色散补偿 249 h U`wVy 11.9 空间光线偏移 256 #!aN{nK0 11.10 参考文献 258 gVq;m>\|F 12 公差与误差 260 UDL!43K 12.1 蒙特卡罗模型 260 x(hE3S#+ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 e,F1Xi#d 12.2.1 误差工具 267 1rv)&tKs 12.2.2 灵敏度工具 271 lD^]\;? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 LR.Hh 12.2.2.2 灵敏度分布 275 & -{DfNK c 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 9o;^[Ql- 12.3 参考文献 276 _hRcc"MS` 13 Runsheet 与Simulator 277 !/}O>v~o 13.1 原理介绍 277 qfL~Wp2E; 13.2 截止滤光片设计 277 4wID]bKM 14 光学常数提取 289 T*#/^%HSG 14.1 介绍 289 As 3.Q(#Z 14.2 电介质薄膜 289 c_-drS 14.3 n 和k 的提取工具 295 0y
7"SiFY 14.4 基底的参数提取 302 QW$G 14.5 金属的参数提取 306 3HLNCt09 14.6 不正确的模型 306 ]w;rfn9D 14.7 参考文献 311 +W:=e,= 15 反演工程 313 Wc,~ { 15.1 随机性和系统性 313 yRSTk2N@ 15.2 常见的系统性问题 314 #JgH}|&a$ 15.3 单层膜 314 KNS.Nw7 15.4 多层膜 314 g#F?!i-[F 15.5 含义 319 h\5OrD@L 15.6 反演工程实例 319 +?u~APjNN 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 D B-l$rj 15.6.2 反演工程提取折射率 327 AvdXEY(- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 plb!.g 16.1 光学性质的热致偏移 329 Y' %^NP}o 16.2 应力工具 335 o_@4Sl8 16.3 均匀性误差 339 Gnfd;.
(. 16.3.1 圆锥工具 339 :uWw8` 16.3.2 波前问题 341 *
mOo@+89 16.4 参考文献 343 c0%"&a1]]V 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 1QLbf*zeIW 17.1 引言 345 FN\E*@>X= 17.2 操作数 345 A6:es_ 18 如何在Function中编写脚本 351 BFL`!^ 18.1 简介 351 t?}zdI(4 18.2 什么是脚本? 351 ]z l[H7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B$b +Ymu 18.4 基础 352 AtdlZ 18.4.1 Classes(类别) 352 A%`[mc]4# 18.4.2 对象 352 -i)ZQCE 18.4.3 信息(Messages) 352 ptDY3n~' 18.4.4 属性 352 Z8rvWH9 18.4.5 方法 353 m=}B,']O 18.4.6 变量声明 353 =at@ Vp/y 18.5 创建对象 354 gW-V=LV ( 18.5.1 创建对象函数 355 p1&b!*o- & 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [-\%4 18.5.3 丢弃对象 356 kKAP"'v 18.5.4 总结 356 (vb
SM}P 18.6 脚本中的表格 357 ;?8_G%va 18.6.1 方法1 357 _(h&7P9 18.6.2 方法2 357 K{[%7AM 18.7 2D Plots in Scripts 358
|QU <e 18.8 3D Plots in Scripts 359 ~xD={9BL 18.9 注释 360 yp$_/p O=2 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 {5F-5YL+> 18.11 一个更高级的脚本 362 oJ4AIQjB 18.12 <esc>键 364 eu(:`uu 18.13 包含文件 365 ~C>?W[Y 18.14 脚本被优化调用 366 BaSZ71>9]r 18.15 脚本中的对话框 368 5<UVD:~z 18.15.1 介绍 368 S4G^z}{_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 v#.r.{t 18.15.3 输入框函数 370 j#+!\ft5 18.15.4 自定义对话框 371 ;j^H)."A\ 18.15.5 对话框编辑器 371 (>r[-Bft 18.15.6 控制对话框 377 )rekY; 18.15.7 更高级的对话框 380 R:#k%}W 18.16 Types语句 384 Z@3i$8 18.17 打开文件 385 s;3= {e. 18.18 Bags 387 n2oz"<?$S 18.13 进一步研究 388 J[4mLU 19 vStack 389 mT.u0KUIy 19.1 vStack基本原理 389 ApAO/q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 \'|>p/5I 19.3 五棱镜 393 JwAYG5W 19.4 光束距离 396 BFo5\l:q8 19.5 误差 399 V+VkY3 19.6 二向分色棱镜 399 prTw'~(B 19.7 偏振泄漏 404 U-R6xxPZ 19.8 波前误差—相位 405 maXG:l| 19.9 其它计算参数 405 q U]gj@R 20 报表生成器 406 l]8D7(g 20.1 入门 406 `NgAT
3zq 20.2 指令(Instructions) 406 a=hxJ1O 20.3 页面布局指令 406 )?X-(4 20.4 常见的参数图和三维图 407 Uc@Ao: 20.5 表格中的常见参数 408 QWzB6H] 20.6 迭代指令 408 O"F_* 20.7 报表模版 408 J2'Nd' 20.8 开始设计一个报表模版 409 |Z=^`J 21 一个新的project 413 [%77bv85.G 21.1 创建一个新Job 414 A^)?Wt%* 21.2 默认设计 415 a{
?`t| 21.3 薄膜设计 416 $`)/0{qY- 21.4 误差的灵敏度计算 420 rvXWcu -" 21.5 显色指数计算 422 kPF9Z "l 21.6 电场分布 424 J"=vE= 后记 426 P!+'1KR 有兴趣加微咨询 STxKE %l
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