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e~%mY 内容简介 -%nD'qy,. Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rQ;w{8J\t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^Q6J$"Tj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !"<[& ?t#wK}d. 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 :^;c(>u{ 目录 O9=/\Kc Preface 1 h^M_yz-f 内容简介 2 !jCgTo
y 目录 i x#rgFY,TY 1 引言 1 O%bbyR2 2 光学薄膜基础 2 %uW=kr 2.1 一般规则 2 Lb*KEF% s 2.2 正交入射规则 3 e8m,q~%#/ 2.3 斜入射规则 6 Ndmt$(b 2.4 精确计算 7 |)-kUu 2.5 相干性 8 nm'l}/Ug 2.6 参考文献 10 +mQ5\14# 3 Essential Macleod的快速预览 10 |P|B"I<? 4 Essential Macleod的特点 32 ^^y eC|~N: 4.1 容量和局限性 33 c_lHj#A(l 4.2 程序在哪里? 33 v^|U? 4.3 数据文件 35 i\R0+O{ 4.4 设计规则 35 5]xuU.w' 4.5 材料数据库和资料库 37 ^t>mdxuq 4.5.1材料损失 38 ]WT@&F 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Q7%4 `_$! 4.5.2 材料库 41 7[m?\/K~ 4.5.3导出材料数据 43 sI ,!+ 4.6 常用单位 43 dcz?5O_{, 4.7 插值和外推法 46 ^X#y'odtbS 4.8 材料数据的平滑 50 3jmo[<p*x 4.9 更多光学常数模型 54 7Ai?}%b- 4.10 文档的一般编辑规则 55 e#Tv5O 4.11 撤销和重做 56 .*O*@)}Ud 4.12 设计文档 57 KA3U W 4.10.1 公式 58 \pmS*Dt 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qi-XNB`b 4.10.3 沉积密度 59 m[DQ;`Y 4.10.4 平行和楔形介质 60 _Q V=3UWP 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 +WX/4_STV 4.10.4 性能 61 }
ueFy<F 4.10.5 保存设计和性能 64 1? >P3C 4.10.6 默认设计 64 `lhw*{3A 4.11 图表 64 @W,jy$U 4.11.1 合并曲线图 67 MP]<m7669* 4.11.2 自适应绘制 68 'yo@5*x7 4.11.3 动态绘图 68 _e%D/} 4.11.4 3D绘图 69 4u{S?Ryy 4.12 导入和导出 73 <_?zln:4. 4.12.1 剪贴板 73 w)btv{* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 XS<>0YM 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ufr@j` * 4.13 背景 77 )^(*B6;z5 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Sp`l>BL 4.15 生成Rugate 84 {X{R] 4.16 参考文献 91 s t'T._ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $l.*;h * 5.1 Jobs 92 $8EEtr,! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 3m1g" 5.3 输入材料 94 r(,U{bU< 5.4 设计数据文件夹 95 C@M-_Ud>Q 5.5 默认设计 95 V&Y`?Edc 6 细化和合成 97 n@p]v* 6.1 优化介绍 97 ('J/Ww< 6.2 细化 (Refinement) 98 R2bq hSlF 6.3 合成 (Synthesis) 100 fN vQ.; 6.4 目标和评价函数 101 awLvLkQb{ 6.4.1 目标输入 102 WtSs:D 6.4.2 目标 103 U,GSWMI/K 6.4.3 特殊的评价函数 104 h]7_
N, 6.5 层锁定和连接 104 #^FM~5KK 6.6 细化技术 104 -t-f&`S|| 6.6.1 单纯形 105
"Ih3 6.6.1.1 单纯形参数 106 ':4cQ4Z 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e=amh 6.6.2.1 Optimac参数 108 d0J/"< 6.6.3 模拟退火算法 109 8$FH;= 6.6.3.1 模拟退火参数 109 I}$`gUXX8x 6.6.4 共轭梯度 111 vHaM yA- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \PX4>/d@y 6.6.5 拟牛顿法 112 D%>Bj>xQD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q~{)
{t; 6.6.6 针合成 113 w\C1Bh! 6.6.6.1 针合成参数 114 <,vIN,Kl8/ 6.6.7 差分进化 114 4P{|H 6.6.8非局部细化 115 )Q2Ap& 6.6.8.1非局部细化参数 115 lg^'/8^f 6.7 我应该使用哪种技术? 116 U1`5P!ov 6.7.1 细化 116 >t+ ENYb 6.7.2 合成 117 ]3r}>/2( 6.8 参考文献 117 J+D|/^ 7 导纳图及其他工具 118 0d2P 7.1 简介 118 >`QBN1 Y 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ss^a=?~ 7.2.1 四分之一波长规则 119 .G/Rh92 7.2.2 导纳图 120 zDFNx:h 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .jRI
$vm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 i?L=8+9f 7.5 斜入射导纳图 141 74e=zW? 7.6 对称周期 141 XQ1]F{?/H 7.7 参考文献 142 C T~6T&' 8 典型的镀膜实例 143 #.8v[TkKq 8.1 单层抗反射薄膜 145 KXKT5E$ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 n6Oz[7M 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +!).' 8.4 W-膜层 148 A}fm).Wp@ 8.5 V-膜层 149 SQMl5d1d: 8.6 V-膜层高折射基底 150 py6<QoGV
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0kJ8H!~u 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .zb 8.9 四层抗反射薄膜 153 _\AQJ?<M 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .Ys
e/oEo 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 '}agi.z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !~
o%KQt 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 .AN1Yt 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 MqJTRBs% 8.15十五层宽带抗反射膜 159 &5
7c!) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 AKk=XAG W 8.17 1/4波长堆栈 162 @Y0ZW't 8.18 陷波滤波器 163 Q#MB=:0{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 e'b*_Ps' 8.20 褶皱 165 m.++nF 8.21 消偏振分光器1 169 _'D(>e? 8.22 消偏振分光器2 171 `%YMUBaI 8.23 消偏振立体分光器 172 MlTC?Rp# 8.24 消偏振截止滤光片 173 x'EEmjJ 8.25 立体偏振分束器1 174 Kp7DI0~ 8.26 立方偏振分束器2 177 'Agw~
&$ 8.27 相位延迟器 178 cb-IRGF 8.28 红外截止器 179 MkW=sD_ 8.29 21层长波带通滤波器 180 tE%g)hL- 8.30 49层长波带通滤波器 181 fz=8"cDR 8.31 55层短波带通滤波器 182 MKbcJZe 8.32 47 红外截止器 183 QC'Ru'8S 8.33 宽带通滤波器 184 ;R=n<=Axa 8.34 诱导透射滤波器 186 (iKJ~bJ 8.35 诱导透射滤波器2 188 xLed];2G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 S(@kdL 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 l/3=o}8q 8.35 增益平坦滤波器 193 bo<P%$(D 8.38 啁啾反射镜 1 196 *VsGa<V 8.39 啁啾反射镜2 198 KHx2$*E_ 8.40 啁啾反射镜3 199 AL":j6!OQ 8.41 带保护层的铝膜层 200 y`9#zYgqA 8.42 增加铝反射率膜 201 #ss/mvc3 8.43 参考文献 202 n1%2sV)> 9 多层膜 204 NL]_;\ h 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4dixHpq' 9.2 内部透过率 204 75a3hPCZ 9.3 内部透射率数据 205 rC@VMe|0 9.4 实例 206 =%8 yEb*5# 9.5 实例2 210 0SvPr[ > 9.6 圆锥和带宽计算 212 }etdXO_^ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 1IoW}yT 10 光学薄膜的颜色 216 :G>w MMv&z 10.1 导言 216 "R5G^-<hp 10.2 色彩 216 gaN/
kp 10.3 主波长和纯度 220 UIDeMz 10.4 色相和纯度 221 *AV%= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 WVD48}HF- 10.6 色差 226 8XJi }YPQ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 A+^okT37r 10.8 颜色渲染指数 234 lU
62$2 10.9 色差计算 235 =F|9ac9X 10.10 参考文献 236 ~QSX 1w" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 c:7V.. 11.1 短脉冲 238 Hc\C0V< 11.2 群速度 239 #b/L~Bw[ 11.3 群速度色散 241 IP/%=m)\% 11.4 啁啾(chirped) 245 o/3.U=px~ 11.5 光学薄膜—相变 245 rf H1Zl 11.6 群延迟和延迟色散 246 oeg
Bk 11.7 色度色散 246 fY^CIb$Y 11.8 色散补偿 249 +D5gbxZX 11.9 空间光线偏移 256 t Cb34Wpf 11.10 参考文献 258 (s&:D`e 12 公差与误差 260 tAq0Z) 12.1 蒙特卡罗模型 260 =/K)hI!u 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 eP"B3Jw 12.2.1 误差工具 267 :%&
E58 12.2.2 灵敏度工具 271 qkKl;Z?Y: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /-v ; 12.2.2.2 灵敏度分布 275
g*a+$' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -$"$r ~ad 12.3 参考文献 276 z'l
HL 13 Runsheet 与Simulator 277 wH8J?j"5> 13.1 原理介绍 277 c #TY3Z| 13.2 截止滤光片设计 277 uGz)Vz&3 14 光学常数提取 289 T/E=?kBR 14.1 介绍 289 e_e\Ie/pDc 14.2 电介质薄膜 289 {ol7*% u 14.3 n 和k 的提取工具 295 O|sk"YXF 14.4 基底的参数提取 302 >%;i@" 14.5 金属的参数提取 306 W:8MqVm34 14.6 不正确的模型 306 ]=t}8H 14.7 参考文献 311 QL8C!&= 15 反演工程 313 n
6pJ]Ce 15.1 随机性和系统性 313 q;bw}4 15.2 常见的系统性问题 314 Xr=BxBttp 15.3 单层膜 314 #&T O(bk 15.4 多层膜 314 C W#:' 15.5 含义 319 @]q^OMLY 15.6 反演工程实例 319 W+;=8S 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 3"m]A/6C} 15.6.2 反演工程提取折射率 327 -XXsob}/8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
i=\)[;U 16.1 光学性质的热致偏移 329 C]2-V1,ZX 16.2 应力工具 335 RAl/p9\A+ 16.3 均匀性误差 339 [ne51F5_ 16.3.1 圆锥工具 339 FWJ**J 16.3.2 波前问题 341 !.,J;Qt 16.4 参考文献 343 Ik^^8@z 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .Pj<Pe 17.1 引言 345 [hSJ)IZh 17.2 操作数 345 h#Z["BG 18 如何在Function中编写脚本 351 aC`>~uX##V 18.1 简介 351 Bk\Y v0 18.2 什么是脚本? 351 |P]W#~Y- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B>c$AS\5y 18.4 基础 352 5e.aTW;U 18.4.1 Classes(类别) 352 ]}lt^7\= 18.4.2 对象 352 N$kxf 18.4.3 信息(Messages) 352 :0:Tl/)) 18.4.4 属性 352 ,2$<Pt; 18.4.5 方法 353 LUD. 18.4.6 变量声明 353 SI~jM:S} 18.5 创建对象 354 .x%w# 18.5.1 创建对象函数 355 i*/i"W< 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Ez~5ax7x 18.5.3 丢弃对象 356 )KE 18.5.4 总结 356 yn}Dj9(q 18.6 脚本中的表格 357 4*qBu}( 18.6.1 方法1 357 iGSJ\ 18.6.2 方法2 357 nfF$h}<o+ 18.7 2D Plots in Scripts 358 BJwuN 18.8 3D Plots in Scripts 359 %Zk6K!MY# 18.9 注释 360 ;iuwIdo6c 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =_#b
.8K 18.11 一个更高级的脚本 362 pp"#pl 18.12 <esc>键 364 U4=l`{5on 18.13 包含文件 365 k5E2{&wZ 18.14 脚本被优化调用 366 Qwpni^D8j 18.15 脚本中的对话框 368 OU UV8K 18.15.1 介绍 368 <z\SKR[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 PolJo?HZ 18.15.3 输入框函数 370 W"Y)a|rG% 18.15.4 自定义对话框 371 *"WP*A\1 18.15.5 对话框编辑器 371 53{\H&q 18.15.6 控制对话框 377 9oJM?&i 18.15.7 更高级的对话框 380 IMwV9rF 18.16 Types语句 384 {WV"]O8IV 18.17 打开文件 385 =KHb0d |. 18.18 Bags 387 Cd)g8< 18.13 进一步研究 388 j%s,%#al 19 vStack 389 N_K9H1r 19.1 vStack基本原理 389 -$<oY88 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 pL1ABvBB 19.3 五棱镜 393 9k ~8n9 19.4 光束距离 396 ~'lT8 n_ 19.5 误差 399 Axsezr/ 19.6 二向分色棱镜 399 ={%'tv` 19.7 偏振泄漏 404 r1< 'l 19.8 波前误差—相位 405 FTCIfW 19.9 其它计算参数 405 Zq8 5q 20 报表生成器 406 cxs@ph&Wk 20.1 入门 406 fE~KWLm 20.2 指令(Instructions) 406 `{!A1xKZ 20.3 页面布局指令 406 L@GICW~ 20.4 常见的参数图和三维图 407 ?YR;o4 20.5 表格中的常见参数 408 cEu_p2(7!B 20.6 迭代指令 408 0a89<yX 20.7 报表模版 408 `f}s<At 20.8 开始设计一个报表模版 409 HNS^:XR 21 一个新的project 413 m8F$h- 21.1 创建一个新Job 414 MS;^:t1` 21.2 默认设计 415 n{!{,s 21.3 薄膜设计 416 a%Q`R;W 21.4 误差的灵敏度计算 420 S. `y%t.GP 21.5 显色指数计算 422 +pqbl*W;1 21.6 电场分布 424 8_!qoW@B 后记 426 "qq$i35x 有兴趣加微咨询 8*u'D@0
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