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; <NK 内容简介 s;!_'1pi@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 KHO@"+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (,`R >Dk 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Q4R*yRk ;07>ZH% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 (/ qOY 目录 ;}>g/lw Preface 1 hj4mbL 内容简介 2 _TbQjE&6 目录 i UE\Z]t! 1 引言 1 V zTHW5B 2 光学薄膜基础 2 Kg;u.4.-M 2.1 一般规则 2 `uh+d 2.2 正交入射规则 3 oE.59dx 2.3 斜入射规则 6 yQz6K6p 2.4 精确计算 7 `k;MGs)& 2.5 相干性 8
}N0$DqP 2.6 参考文献 10 S*3*Q l* 3 Essential Macleod的快速预览 10 QWQJSz5 4 Essential Macleod的特点 32 Q94Lq~?YF 4.1 容量和局限性 33 N|5fkx<d^ 4.2 程序在哪里? 33 $o%:ST4 4.3 数据文件 35 DQI
b57j 4.4 设计规则 35 Da3Z>/S 4.5 材料数据库和资料库 37 E#zLm 4.5.1材料损失 38 ^&Vj m 4.5.1材料数据库和导入材料 39 EA``G8Vn> 4.5.2 材料库 41 <zWMTVaC 4.5.3导出材料数据 43 2L(\-]%f 4.6 常用单位 43 t9eEcqMg 4.7 插值和外推法 46 sS{!z@\Lf 4.8 材料数据的平滑 50 SNOML7pd 4.9 更多光学常数模型 54 }.k*4Vw#Wt 4.10 文档的一般编辑规则 55 =nff;Xu 4.11 撤销和重做 56 qokCVI-\ 4.12 设计文档 57 5<$8.a# 4.10.1 公式 58 w!|jL
$5L 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ia#8 ^z 4.10.3 沉积密度 59 e.VQ!)> 4.10.4 平行和楔形介质 60 (jp!q,) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 IgyoBfj\d 4.10.4 性能 61 <Toy8-kj 4.10.5 保存设计和性能 64 y2M]z:Y U 4.10.6 默认设计 64 up!54}qy 4.11 图表 64 -T=sY/O 4.11.1 合并曲线图 67 [pxC3{|d$ 4.11.2 自适应绘制 68 BVzMgn; 4.11.3 动态绘图 68 7CwQmVe+ 4.11.4 3D绘图 69 mJ>msI
@ 4.12 导入和导出 73 JKTn 4.12.1 剪贴板 73 ^xX1G_{ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 8pXqgIbmb 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 d+WNg2#v 4.13 背景 77 S;^'Ek"Z. 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 x8!uI)#tS 4.15 生成Rugate 84 ]o?r(1 4.16 参考文献 91 "lRxatM 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ]4onY> 5.1 Jobs 92 -2B3 xIZJ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 S|
|OSxZ 5.3 输入材料 94 /hSEm.< 5.4 设计数据文件夹 95 lOy1vw' 5.5 默认设计 95 Oy_%U* 6 细化和合成 97 =p2: qSV 6.1 优化介绍 97 5p]V/<r 6.2 细化 (Refinement) 98 P%aNbMg 6.3 合成 (Synthesis) 100 :/R>0 n, 6.4 目标和评价函数 101 tGJJ|mle> 6.4.1 目标输入 102 u<JkP <"S 6.4.2 目标 103 <Rfx`mn 6.4.3 特殊的评价函数 104 &3$FkU^F6 6.5 层锁定和连接 104 6~OJB! 6.6 细化技术 104 Q9Vj8JO"{ 6.6.1 单纯形 105 s`en8% 6.6.1.1 单纯形参数 106
]&OI.p 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ` >loleI 6.6.2.1 Optimac参数 108 FQ>y2n=<d 6.6.3 模拟退火算法 109 ns#v?D9NF 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Y|6gg 6.6.4 共轭梯度 111 M#k$[w}= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 '#a;n 6.6.5 拟牛顿法 112 &NX7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 39~te%;C7 6.6.6 针合成 113 to;^'#B 6.6.6.1 针合成参数 114 O7oq1JI]Y 6.6.7 差分进化 114 mwutv8? 6.6.8非局部细化 115 UPy 4ST 6.6.8.1非局部细化参数 115 7Ue&y8Yf 6.7 我应该使用哪种技术? 116 M(1cf(<+ 6.7.1 细化 116 &2nICAN[ 6.7.2 合成 117 ! u@JH` 6.8 参考文献 117 2^%O%Pc 7 导纳图及其他工具 118 ~^PNMZk 7.1 简介 118 [!#}# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 5<M$ XT 7.2.1 四分之一波长规则 119 z.|[g$F 7.2.2 导纳图 120 cTQ._|M 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 R*?!xDJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 @RZbo@{~ 7.5 斜入射导纳图 141 j;I(w [@P 7.6 对称周期 141 #^tnRfS" 7.7 参考文献 142 `>GXJ~:D[" 8 典型的镀膜实例 143
ZH<qidpR 8.1 单层抗反射薄膜 145 LLL;SNY 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 D&x.io 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 M8IU[Pz4 8.4 W-膜层 148 a ?\:,5= 8.5 V-膜层 149 6~l+wu<$ 8.6 V-膜层高折射基底 150 6tGF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 22*~CIh~x 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .Fx3WryF 8.9 四层抗反射薄膜 153 >2v<;. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 d@tf+_Ih 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Y$#6%`*#>n 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 [_`@V4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *zMt/d*<& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ] &SmeTe 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Tz~a. h@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Q!r&vQ/g 8.17 1/4波长堆栈 162 2St<m-& 8.18 陷波滤波器 163 F2{SC?U 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9e4`N"#,lI 8.20 褶皱 165 j`+{FCB7 8.21 消偏振分光器1 169 lavy?tFer 8.22 消偏振分光器2 171 2D a0*xn{ 8.23 消偏振立体分光器 172 gD;T"^S+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 b`JS&E 8.25 立体偏振分束器1 174 &?TXsxf1Zh 8.26 立方偏振分束器2 177 ]E)D})r`# 8.27 相位延迟器 178 u08j9)
,4 8.28 红外截止器 179 ,fhF-%Q!g 8.29 21层长波带通滤波器 180 eFotV.T!# 8.30 49层长波带通滤波器 181 noLr185 8.31 55层短波带通滤波器 182 I
Bko"|e@ 8.32 47 红外截止器 183 3dJiu 8.33 宽带通滤波器 184 ArScJ\/Nwv 8.34 诱导透射滤波器 186 ^Nu j/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 qL
<@PC.5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #*%?]B= 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0+[3>N y0 8.35 增益平坦滤波器 193 ^*+j7A.n 8.38 啁啾反射镜 1 196 138v{Z 8.39 啁啾反射镜2 198 -0TI7 @ 8.40 啁啾反射镜3 199 hi4-Z=pl 8.41 带保护层的铝膜层 200 )L7[;(gQ 8.42 增加铝反射率膜 201 =*{7G*tS 8.43 参考文献 202 Qn~{TZz 9 多层膜 204 DliDBArxZ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 9g#
62oIg 9.2 内部透过率 204 Vk*XiEfKm> 9.3 内部透射率数据 205 Y]^*mc0fE 9.4 实例 206 XfflD9M 9.5 实例2 210 zqURnsJ 9.6 圆锥和带宽计算 212 Ov4=!o= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Udf\;G@ 10 光学薄膜的颜色 216 !Pt4\ 10.1 导言 216 L,!\PV| 10.2 色彩 216 zo("v*d*q 10.3 主波长和纯度 220 kd_!S[ 10.4 色相和纯度 221 Hzc}NyJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 66sgs16k 10.6 色差 226 rCsC}2O 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 6G#[Mc yn 10.8 颜色渲染指数 234 /D yig 10.9 色差计算 235 K4H27SH 10.10 参考文献 236 .tHjGx
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 }_-tJ. 11.1 短脉冲 238 6)W8H X~+ 11.2 群速度 239 ,L<x=Dg 11.3 群速度色散 241 *M$mAy< 11.4 啁啾(chirped) 245 N"tX K 11.5 光学薄膜—相变 245 Dx=RLiU9 11.6 群延迟和延迟色散 246 0M)\([W9& 11.7 色度色散 246 2pvby`P4 11.8 色散补偿 249 tOte[~, 11.9 空间光线偏移 256 2}bXX'Y 11.10 参考文献 258 hN*v|LFf1 12 公差与误差 260 PW iuM=E 12.1 蒙特卡罗模型 260 u~VXe 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *3OlWnZ? 12.2.1 误差工具 267 q2OF-.rE 12.2.2 灵敏度工具 271 c<~DYe;; 12.2.2.1 独立灵敏度 271 eu8a< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 U>00B|<GJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]Nw]po+ 12.3 参考文献 276 #%8)'=1+4? 13 Runsheet 与Simulator 277 MRZN4<}9 13.1 原理介绍 277 O2yD{i#l*# 13.2 截止滤光片设计 277 <AiE~l| D 14 光学常数提取 289 :7X{s4AU6 14.1 介绍 289 LOu9 #w" 14.2 电介质薄膜 289 lqgR4 ! 14.3 n 和k 的提取工具 295 b|may/xWH 14.4 基底的参数提取 302 !KT.p2\ 14.5 金属的参数提取 306 QFN 9j 14.6 不正确的模型 306 tUW^dGo. 14.7 参考文献 311 nv7)X2jja 15 反演工程 313 h,-i\8gq 15.1 随机性和系统性 313 9b&;4Yq!f 15.2 常见的系统性问题 314 ke KsLrd 15.3 单层膜 314 *a0#PfS[ 15.4 多层膜 314 O'xp" e, 15.5 含义 319 3u 7A( 15.6 反演工程实例 319 %KN2iNq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]/3!t=La 15.6.2 反演工程提取折射率 327 f_;tFP
B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 m*h O@M 16.1 光学性质的热致偏移 329 ^vv1cft 16.2 应力工具 335 E7.{SGH} 16.3 均匀性误差 339 ,`'A"]" 16.3.1 圆锥工具 339 0,):;OI 16.3.2 波前问题 341 +z#+}'mT% 16.4 参考文献 343 V\Y,4&bI 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [9}<N2,9z 17.1 引言 345 7L6^IK 17.2 操作数 345 MSp)Jc 18 如何在Function中编写脚本 351 #,FXc~ V 18.1 简介 351 [H9<JdUZ 18.2 什么是脚本? 351 Xk:3w, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 $GQEdVSNo 18.4 基础 352 G9#3
|B-? 18.4.1 Classes(类别) 352 M\Wg|gpy 18.4.2 对象 352 teLZplC=f 18.4.3 信息(Messages) 352 E0aFHC[ 18.4.4 属性 352 { i4`-w 18.4.5 方法 353 : Q2=t! 18.4.6 变量声明 353 [Z;H=` 18.5 创建对象 354 3RD+;^}q3 18.5.1 创建对象函数 355 Nr"GxezU+A 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 h+cOOm-) 18.5.3 丢弃对象 356 )(1tDQ`L> 18.5.4 总结 356 t: ,lz8Y~ 18.6 脚本中的表格 357 vfVF^
WOd 18.6.1 方法1 357 Wcl =YB% 18.6.2 方法2 357 Dr(;A>?qG 18.7 2D Plots in Scripts 358 lQt,(@7] 18.8 3D Plots in Scripts 359 CSwB+yN 18.9 注释 360 ]n'.}"8Kn 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 x[BA <UNO 18.11 一个更高级的脚本 362 >>;He7 18.12 <esc>键 364 .#K\u![@N 18.13 包含文件 365 N
;n55N 18.14 脚本被优化调用 366 .Rb1%1bdc 18.15 脚本中的对话框 368 D.a\O9q"&{ 18.15.1 介绍 368 41rS0QAM 18.15.2 消息框-MsgBox 368 bHTTxZ-% 18.15.3 输入框函数 370 ;L$l0(OO 18.15.4 自定义对话框 371 WS1Y maV 18.15.5 对话框编辑器 371 BHNJH 18.15.6 控制对话框 377 QYAt)Ik9q 18.15.7 更高级的对话框 380 \9sJ`,T? 18.16 Types语句 384 62[_u]<Yub 18.17 打开文件 385 EU Oa8Z 18.18 Bags 387 MQy,[y7I 18.13 进一步研究 388 b=L|GV@$ 19 vStack 389 /"R{1 19.1 vStack基本原理 389 =~dXP 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ?fpI,WFu 19.3 五棱镜 393 ,ob)6P^rw 19.4 光束距离 396 y>r^ MQ 19.5 误差 399 k4^!"~<+0 19.6 二向分色棱镜 399 ? fM_Y 19.7 偏振泄漏 404 :0o]#7 19.8 波前误差—相位 405 78]( ZYJV 19.9 其它计算参数 405 C6D
Eq>v 20 报表生成器 406 <c
[X^8 20.1 入门 406 `YBHBTG'o! 20.2 指令(Instructions) 406 sE^=]N 20.3 页面布局指令 406 F)S?>P& 20.4 常见的参数图和三维图 407 _Pl5?5eZj 20.5 表格中的常见参数 408 xp\6,Jyh 20.6 迭代指令 408 {Z~ze` N/ 20.7 报表模版 408 rC ,ZRFF 20.8 开始设计一个报表模版 409 G49`a*Jn 21 一个新的project 413 ;`a~9uG 21.1 创建一个新Job 414 i*+N[#yp 21.2 默认设计 415 /AUX7
m.8 21.3 薄膜设计 416 8` WaUB% 21.4 误差的灵敏度计算 420 NnY+=#j7L 21.5 显色指数计算 422 \YsLVOv%:d 21.6 电场分布 424 sHSg _/| 后记 426 LcHe5Bv% 有兴趣加微咨询 v0pev;C
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