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t4f\0`jN 内容简介 Md{f,,E'^@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5LH ]B 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 eA^|B zU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +c_CYkHJ/ kO"aE~ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 P*sCrGO% 目录 >(a_9l;q Preface 1 GdY^}TJrh 内容简介 2
jK1!
\j 目录 i 8#B;nyGD1I 1 引言 1 th|Q NG 2 光学薄膜基础 2 :\RB ^3; 2.1 一般规则 2 `q*ABsj 2.2 正交入射规则 3 &p/k VM 2.3 斜入射规则 6 @S):a`J 2.4 精确计算 7 6nhB1Aei 2.5 相干性 8 cXH?'q'vZ 2.6 参考文献 10 ,r4af< 3 Essential Macleod的快速预览 10 b=EZtk6> 4 Essential Macleod的特点 32 \ziF(xTvqG 4.1 容量和局限性 33 zf#&3K 'k 4.2 程序在哪里? 33 1t'\! 4.3 数据文件 35 7X>3WF 4.4 设计规则 35 YgDasKFm' 4.5 材料数据库和资料库 37 '5\1uB PKW 4.5.1材料损失 38 j]^]p;An 4.5.1材料数据库和导入材料 39 `#U6`[[ 4.5.2 材料库 41 Pp!W$C: 4.5.3导出材料数据 43 0T;WN$W| 4.6 常用单位 43 x #g,l2_! 4.7 插值和外推法 46 KQ3
On(d 4.8 材料数据的平滑 50 $i
Tgv?.Q 4.9 更多光学常数模型 54 V"73^ 4.10 文档的一般编辑规则 55 _Qas+8NW 4.11 撤销和重做 56 MvFXVCT# 4.12 设计文档 57 D%v yO_k 4.10.1 公式 58 TmiQq'm[b 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 &5<lQ1 4.10.3 沉积密度 59 kEh# 0 4.10.4 平行和楔形介质 60 GS%Dn^l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 eF@E|kK 4.10.4 性能 61 i`;I"oY4 4.10.5 保存设计和性能 64 D![Twlll 4.10.6 默认设计 64 6G],t)<A'- 4.11 图表 64 uPPe"$ 4.11.1 合并曲线图 67 `OWB@_u5 4.11.2 自适应绘制 68 B^{DCHu/ 4.11.3 动态绘图 68 sEa:p:! 4.11.4 3D绘图 69 oCS NA.z 4.12 导入和导出 73 I\_ R&
v 4.12.1 剪贴板 73 >xN^#$ng} 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \N)FUYoHg 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 x4K5 4.13 背景 77 Oc>-jhx? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 {U9jA_XX 4.15 生成Rugate 84 5I14"Qf 4.16 参考文献 91 &k nnWm" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2_Qzc&"[
4 5.1 Jobs 92 03PVbDq- 5.2 创建一个新Job(工作) 93 B$G8,3 ,: 5.3 输入材料 94 U
Lq%,ca 5.4 设计数据文件夹 95 IP3-lru 5.5 默认设计 95 iu .{L(m 6 细化和合成 97 nJnan,`W 6.1 优化介绍 97 -#r_9HQ,w 6.2 细化 (Refinement) 98 =@'"\
"Nh 6.3 合成 (Synthesis) 100 t9}XO M* 6.4 目标和评价函数 101 ZI1RB fR 6.4.1 目标输入 102 zV]0S o 6.4.2 目标 103 ':=C2x1d| 6.4.3 特殊的评价函数 104 E9i WGSE 6.5 层锁定和连接 104 7)T+!> 6.6 细化技术 104 SO%5ts 6.6.1 单纯形 105 E$T#o{pai 6.6.1.1 单纯形参数 106 U7W ct % 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Z7v~;JzC# 6.6.2.1 Optimac参数 108 2:abe 6.6.3 模拟退火算法 109 .&ZVy{uP 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2a^(8A`7W 6.6.4 共轭梯度 111 qz:OnQv! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 8Xr3q eh+ 6.6.5 拟牛顿法 112 [|YMnV<B 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 wcOAyo5(n 6.6.6 针合成 113 :/3`+&T^/ 6.6.6.1 针合成参数 114 x[X.// : 6.6.7 差分进化 114 Qmrcng}P 6.6.8非局部细化 115 _C4^J 6.6.8.1非局部细化参数 115 1;h>^NOq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 \=@}(<4 6.7.1 细化 116 8|l
Yf%n>j 6.7.2 合成 117 dx~Wm1 6.8 参考文献 117 -nW{$&5AF 7 导纳图及其他工具 118 >iCMjT]4 7.1 简介 118 %bsdC0xM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 }8svd#S+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,%C$~+xjM 7.2.2 导纳图 120 sw&Qks?V 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 y|aWUX/a 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %[0"[ <1a 7.5 斜入射导纳图 141 ^ey\ c1K 7.6 对称周期 141 L \$zr,=C 7.7 参考文献 142 U+ 8[Ia(t 8 典型的镀膜实例 143 S$#Awen"@ 8.1 单层抗反射薄膜 145 B[$e;h*Aw[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 wK3}K 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 B5cTzY.h- 8.4 W-膜层 148 qHj4`& 8.5 V-膜层 149 #\jPBLc 8.6 V-膜层高折射基底 150 IJ0RHDod: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 6?~pWZ&k_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 dU\fC{1Z 8.9 四层抗反射薄膜 153 1{wy%|H\ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 41.+3VP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 pp:+SoyN 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 A;g[G >J 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Ii9vA ^53 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ZpdM[\Q- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 -&&mkK
B! 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 cr!I"kTgD 8.17 1/4波长堆栈 162 Ze~\=X" " 8.18 陷波滤波器 163 ;HC"hEc! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 >3ODqRu 8.20 褶皱 165 |`|b&Rhu 8.21 消偏振分光器1 169 ~5|a9HV: 8.22 消偏振分光器2 171 >!$4nxq2> 8.23 消偏振立体分光器 172 HCP Be2 8.24 消偏振截止滤光片 173 q\~7z1 8.25 立体偏振分束器1 174 QW!'A`*x 8.26 立方偏振分束器2 177 V}(%2W5X+ 8.27 相位延迟器 178 a}fW3+> 8.28 红外截止器 179 { sZrI5 8.29 21层长波带通滤波器 180 \h
yTcFb 8.30 49层长波带通滤波器 181 2|T@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]*@7o^4i 8.32 47 红外截止器 183 * T-XslI 8.33 宽带通滤波器 184 |X sW)/ 8.34 诱导透射滤波器 186 ]/a?:24 [ 8.35 诱导透射滤波器2 188 R38
w!6{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 8FMP)N4+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ^^[,aBu 8.35 增益平坦滤波器 193 $yt|nO 8.38 啁啾反射镜 1 196 0t9G$23 8.39 啁啾反射镜2 198 .v;Npm2 8.40 啁啾反射镜3 199 -uh/W=Q1R 8.41 带保护层的铝膜层 200 $UH_)Q2#J^ 8.42 增加铝反射率膜 201 55AG>j&41 8.43 参考文献 202 ^yX
W.s 9 多层膜 204 =#W{&Te; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 6"wY;E 9.2 内部透过率 204 Ug9o/I@}C 9.3 内部透射率数据 205 >1r>cZn 9.4 实例 206 %=|I;kI? 9.5 实例2 210 j/W#=\xz 9.6 圆锥和带宽计算 212 Z?b.
PC/ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 v\<`" 10 光学薄膜的颜色 216 "XH]B 10.1 导言 216 Ji7A9Hk 10.2 色彩 216 SVR AkP- 10.3 主波长和纯度 220 y_'8m9Qy) 10.4 色相和纯度 221 {!,+C0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 R &-bA3w$ 10.6 色差 226 2^juLXc|R 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3(CUC 10.8 颜色渲染指数 234 Lrk^<:8; 10.9 色差计算 235 :gR`rc! 10.10 参考文献 236 0!^{V:DtQ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {u!,TDt* 11.1 短脉冲 238 lKm?Xu'yH 11.2 群速度 239 \=QG6&_ 11.3 群速度色散 241 s*VZLKO 11.4 啁啾(chirped) 245 Y!SD^Ie7! 11.5 光学薄膜—相变 245 Hj5b.fB 11.6 群延迟和延迟色散 246 UH)A n:9 11.7 色度色散 246 f",B;C 11.8 色散补偿 249 tV<Au 11.9 空间光线偏移 256 SmRU!C$A 11.10 参考文献 258 $1w8GI\J 12 公差与误差 260 KLoHjBq 12.1 蒙特卡罗模型 260 j\W+wnAgk 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &)wQ|{P~k 12.2.1 误差工具 267 fc
M~4yP? 12.2.2 灵敏度工具 271 Sd{>(YWx~ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 6#.R'O 12.2.2.2 灵敏度分布 275 l jNd!RaB 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8sL7p4 12.3 参考文献 276 `]fY9ZDKs 13 Runsheet 与Simulator 277 0z,c6MjM+ 13.1 原理介绍 277 lD{9o2 13.2 截止滤光片设计 277 k1]?d7g$w 14 光学常数提取 289 44n^21k 14.1 介绍 289 HC$_p,9OV 14.2 电介质薄膜 289 H
>RGX#| 14.3 n 和k 的提取工具 295 lfCoL@$6D 14.4 基底的参数提取 302 $#0%gs/x 14.5 金属的参数提取 306 d`2VbZC` 14.6 不正确的模型 306 n0EKNMO 14.7 参考文献 311 yvVs9"|0 15 反演工程 313 Ex~OT 15.1 随机性和系统性 313 oW-luC+ 15.2 常见的系统性问题 314 D
F0~A 15.3 单层膜 314 &oAuh?kTq 15.4 多层膜 314 7^:s/xHO* 15.5 含义 319 Vls*fY:W 15.6 反演工程实例 319 ty(F;M( 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $o-s?"; 15.6.2 反演工程提取折射率 327 R(Z2DEt</ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 mvYr"6f8 16.1 光学性质的热致偏移 329 ]2v31' 16.2 应力工具 335 Ii;~ xc 16.3 均匀性误差 339 ;Ni+TS 16.3.1 圆锥工具 339 qG~O]($ 16.3.2 波前问题 341 |JrG?:n 16.4 参考文献 343 Yj;$hV8j( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 B:Msn)C~ 17.1 引言 345 3:S
Ex;d+ 17.2 操作数 345 g{dyDN$5|w 18 如何在Function中编写脚本 351 "&7v.-Yk( 18.1 简介 351 /\C9FGS 18.2 什么是脚本? 351 j_Dx4*vg 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 IUI>/87u 18.4 基础 352 /SZsXaC ' 18.4.1 Classes(类别) 352 tV%M2DxS 18.4.2 对象 352 W4T>@b. 18.4.3 信息(Messages) 352 xUj[ d(q 18.4.4 属性 352 5.idC-\ 18.4.5 方法 353 tZ4W]od 18.4.6 变量声明 353 0hCJovSG% 18.5 创建对象 354 Rh,*tS 18.5.1 创建对象函数 355 qksN {t 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 LkNC8V 18.5.3 丢弃对象 356 1P&c:n 18.5.4 总结 356 .LdLm991,Y 18.6 脚本中的表格 357 YQ2ie>C8 18.6.1 方法1 357 ]yA|
m3^2 18.6.2 方法2 357 [O9(sWL' 18.7 2D Plots in Scripts 358 0E{$u 18.8 3D Plots in Scripts 359 ]w! x 18.9 注释 360 X+Xjf( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 v?5Xx{ym 18.11 一个更高级的脚本 362 .#Z}}W# 18.12 <esc>键 364 E WOn" 18.13 包含文件 365 )k=8.j4 18.14 脚本被优化调用 366 7G!SlC
X}W 18.15 脚本中的对话框 368 Lab{?!E>U 18.15.1 介绍 368 iiKFV>;t/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 mI"`. 18.15.3 输入框函数 370 8gr&{-5 18.15.4 自定义对话框 371 cKdy)T%; 18.15.5 对话框编辑器 371 CQQX7Y\ 18.15.6 控制对话框 377 U*1rA/"n 18.15.7 更高级的对话框 380 @4_W}1W 18.16 Types语句 384 I3p ~pt2 18.17 打开文件 385 (\>_{"*= 18.18 Bags 387 "\]kK@, 18.13 进一步研究 388 K4snpuhC 19 vStack 389 Ond"Eq=r 19.1 vStack基本原理 389 :>;-uve8' 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 K-(,,wS 19.3 五棱镜 393 0X~Dxs 19.4 光束距离 396 'BcxKqC 19.5 误差 399 |l`X]dsfQ 19.6 二向分色棱镜 399 D9+a"2|3< 19.7 偏振泄漏 404 i%D/@$\D6 19.8 波前误差—相位 405 +7^{T:^ht 19.9 其它计算参数 405 B$_F)2%m; 20 报表生成器 406 V! a|rTU6 20.1 入门 406 CSR6 20.2 指令(Instructions) 406 9c4 6| 20.3 页面布局指令 406 &>p2N 20.4 常见的参数图和三维图 407 &(IL`% 20.5 表格中的常见参数 408 O=G2bdY{, 20.6 迭代指令 408 t-3wjS1v 20.7 报表模版 408 O"nY4 20.8 开始设计一个报表模版 409 J9mLW}I?NW 21 一个新的project 413 WOzdYeeG 21.1 创建一个新Job 414 o#4Wn'E 21.2 默认设计 415 \$<kJ||lS 21.3 薄膜设计 416 #AFr@n 21.4 误差的灵敏度计算 420 av&dGsFP 21.5 显色指数计算 422 =
r_&R#~GT 21.6 电场分布 424 9v_gR52vh 后记 426 *Iyv${ 有兴趣加微咨询 *<OWd'LI
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