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内容简介 ~A>3k2N/e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !\+SE"ml 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $].< / 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 C0KP,JS& |hOqz2| 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |F9/7 z\5+ 目录 m'z <d Preface 1 mbJ#-^}V 内容简介 2 z}u 目录 i u+XZdV 1 引言 1 ~`8`kk8 2 光学薄膜基础 2 (p^q3\ 2.1 一般规则 2 ;t[<! 2.2 正交入射规则 3 _U#ue 2.3 斜入射规则 6 @qg=lt|(F 2.4 精确计算 7 &[23DrI8 2.5 相干性 8 L{<E'#@F 2.6 参考文献 10 Ms^,]Q1{ 3 Essential Macleod的快速预览 10 VGq2ITg9eE 4 Essential Macleod的特点 32 vTP'\^; 4.1 容量和局限性 33 c_HYB/' 4.2 程序在哪里? 33 ]5uCs[ 4.3 数据文件 35 \T<?=A 4.4 设计规则 35 Wa,[#H 4.5 材料数据库和资料库 37 19;\:tN 4.5.1材料损失 38 B>|@XfPM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 |w:7).P 4.5.2 材料库 41 `Z/"Dd;F^3 4.5.3导出材料数据 43 vIz~B2%x 4.6 常用单位 43 a"#5JcR3 4.7 插值和外推法 46 tw\/1wa. 4.8 材料数据的平滑 50 "d%":F( 4.9 更多光学常数模型 54 o`h F1*yp 4.10 文档的一般编辑规则 55 %UgyGQeo 4.11 撤销和重做 56
CW, Kw 4.12 设计文档 57 M0"xDvQ 4.10.1 公式 58 $p}7CP 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S(9fGh 4.10.3 沉积密度 59 /v=MGX@r 4.10.4 平行和楔形介质 60 XZIj' a0d 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 C!~&c7 4.10.4 性能 61 (Cqhk:F 4.10.5 保存设计和性能 64 Q6"r^wWx 4.10.6 默认设计 64 )P\ec 4.11 图表 64 UT]LF#.( 4.11.1 合并曲线图 67 ,58D=EgFy 4.11.2 自适应绘制 68 5
EDGl 4.11.3 动态绘图 68 ze!7qeW 4.11.4 3D绘图 69 b.;F)( 4.12 导入和导出 73 ~{RXc+ 4.12.1 剪贴板 73 M nH4p 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 V
mKMj' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 U1J?o#( 4.13 背景 77 G#3 O^,m 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 80
i<Ij8J 4.15 生成Rugate 84 n uhKM.a{ 4.16 参考文献 91 0.t;i4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 W@#)8];> 5.1 Jobs 92 u=
!?<Q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 vezX/x D? 5.3 输入材料 94 F|%[s|s 5.4 设计数据文件夹 95 A$[@AY$MI 5.5 默认设计 95 F.^1|+96 6 细化和合成 97 r5tv9#4] 6.1 优化介绍 97 6\/C]![% 6.2 细化 (Refinement) 98 iI&J_Y{1a_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 |u7vY/ 6.4 目标和评价函数 101 h68sQd 6.4.1 目标输入 102 /&cb`^"U^ 6.4.2 目标 103 ON]
z- 6.4.3 特殊的评价函数 104 MXSPD#gN 6.5 层锁定和连接 104 b2r@vZ]D 6.6 细化技术 104 {b=]JPE 6.6.1 单纯形 105 "4oY F:h 6.6.1.1 单纯形参数 106 0bS\VUB( 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 OUS@)Tyh 6.6.2.1 Optimac参数 108 3dQV5E. 6.6.3 模拟退火算法 109 qZG "{8 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^szCf|SM 6.6.4 共轭梯度 111 5e6]v2 k 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ^)D[ W(* 6.6.5 拟牛顿法 112 O: :X$O7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 50uNgLs 6.6.6 针合成 113 Y(-4Agq 6.6.6.1 针合成参数 114 8u!!a^F 6.6.7 差分进化 114 ^MKvZ DOP 6.6.8非局部细化 115 bAGQ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,eF}` 6.7 我应该使用哪种技术? 116 `SZ^~O 6.7.1 细化 116 ]fnc.^{ 6.7.2 合成 117 [8(e`6xePb 6.8 参考文献 117 Iyz} ;7yVI 7 导纳图及其他工具 118 <Gr{h>b 7.1 简介 118 8{(;s$H~ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Gt2NUGU 7.2.1 四分之一波长规则 119 xQ-]Iw5 7.2.2 导纳图 120 oV&AJ=|\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +F]X 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 XjuAVNY 7.5 斜入射导纳图 141
(/-2bO 7.6 对称周期 141 J-au{eP^
7.7 参考文献 142 Y2"X;`< 8 典型的镀膜实例 143 =*~]lz__M 8.1 单层抗反射薄膜 145
R%"wf 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1I<D
`H% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p.SEW5 8.4 W-膜层 148 TG=) KS 8.5 V-膜层 149 :{E;*v_!v 8.6 V-膜层高折射基底 150 W}50E.\# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {AoH 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <=W;z=$!Bb 8.9 四层抗反射薄膜 153 yCwBZ/C 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 w[S2
]< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,JYvfCA 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 2,{m>fF 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 KnaQhZ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {r?O>KDQf( 8.15十五层宽带抗反射膜 159 /U4F\pZl 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &}_E~jKK 8.17 1/4波长堆栈 162 y)0r%= 8.18 陷波滤波器 163 3P2H!r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 m-xSF]q=< 8.20 褶皱 165 iSCv/Gb:, 8.21 消偏振分光器1 169 ^i&sQQ({ 8.22 消偏振分光器2 171 "t$c'` 8.23 消偏振立体分光器 172 )$p<BL U 8.24 消偏振截止滤光片 173 "94e-Nx 8.25 立体偏振分束器1 174 swss#?.se 8.26 立方偏振分束器2 177 f02<u 8.27 相位延迟器 178 U p=J&^. 8.28 红外截止器 179 .]SE>3 8.29 21层长波带通滤波器 180 0,a\vs%@X 8.30 49层长波带通滤波器 181 5(W`{{AW 8.31 55层短波带通滤波器 182 }1=V`N( 8.32 47 红外截止器 183 7s+3^' 8.33 宽带通滤波器 184 u,mC`gz 8.34 诱导透射滤波器 186 )kfj+/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 vq-Tq> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 [xe(FFl+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 kq&xH;9=. 8.35 增益平坦滤波器 193 u(iEuF;7 8.38 啁啾反射镜 1 196 h;?=:( 8.39 啁啾反射镜2 198 *p0n{F9 8.40 啁啾反射镜3 199 P1tc*2Z 8.41 带保护层的铝膜层 200 ZV=O oLt, 8.42 增加铝反射率膜 201 ca%s$' d 8.43 参考文献 202 L 1iA
^x 9 多层膜 204 Y3KKskhLx 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 z UN&L7D 9.2 内部透过率 204 p_pI=_: 9.3 内部透射率数据 205 DC4O@" 9.4 实例 206 cy T,tN 9.5 实例2 210 \wwY?lOe 9.6 圆锥和带宽计算 212 fG_.&!P 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =aR'S\< 10 光学薄膜的颜色 216 Gw%P5 r}Y 10.1 导言 216 1W*%}!&Gm 10.2 色彩 216 lJ1_Zs ` 10.3 主波长和纯度 220 |+K3\b 10.4 色相和纯度 221 \ t4:(Jp 3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Z7>pz:, 10.6 色差 226 ?"-%>y@w 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,kS3Ioj 10.8 颜色渲染指数 234 U\dq
Mp#Wy 10.9 色差计算 235 YL*yiZ9 10.10 参考文献 236 /o%J /| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6^_:N1@ 11.1 短脉冲 238 qYjR 11.2 群速度 239 X <QSi
11.3 群速度色散 241 /=4 m4
11.4 啁啾(chirped) 245 0*G
=~: 11.5 光学薄膜—相变 245 H?A&P4nZ 11.6 群延迟和延迟色散 246 _nW{Q-nh 11.7 色度色散 246 =qG%h5]n 11.8 色散补偿 249 8NU <lV` 11.9 空间光线偏移 256 lAYyxG# 11.10 参考文献 258 |Rk9W 12 公差与误差 260 g+'=#NS} 12.1 蒙特卡罗模型 260 za$v I?ux 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !Q(x A,p 12.2.1 误差工具 267 CRXIVver 12.2.2 灵敏度工具 271 .&Tcds 12.2.2.1 独立灵敏度 271 oTS/z\C"<u 12.2.2.2 灵敏度分布 275 y*ux7KO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?VUW.- 12.3 参考文献 276 ;J<K/YdI 13 Runsheet 与Simulator 277 oZVq}}R 13.1 原理介绍 277 L>:YGM"sL 13.2 截止滤光片设计 277 dZ]['y% 14 光学常数提取 289 ,gY bi-E 14.1 介绍 289 abAX)R' 14.2 电介质薄膜 289 NmbA~i 14.3 n 和k 的提取工具 295 fSR+~Vy 14.4 基底的参数提取 302 )P>-~G2P 14.5 金属的参数提取 306 O>FE-0rW}e 14.6 不正确的模型 306 G_m$W3 zS 14.7 参考文献 311 MLVrL r t 15 反演工程 313 z#DgoA 15.1 随机性和系统性 313 04npY+1
8% 15.2 常见的系统性问题 314 (tY0 /s 15.3 单层膜 314 Eu;f~ V 15.4 多层膜 314 b#
v+_7 15.5 含义 319 |/!3 N 15.6 反演工程实例 319 qGezmkNFm 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 CSu}_$wC# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Xo,}S\wcn 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 pGO=3=O 16.1 光学性质的热致偏移 329
:oN$w\A 16.2 应力工具 335 5}v<?<l9\ 16.3 均匀性误差 339 Xu[(hT6 16.3.1 圆锥工具 339 MTyBGrs( 16.3.2 波前问题 341 ,\".|m1o. 16.4 参考文献 343 J]m[0g7O_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3Ql77?&k 17.1 引言 345 VgBZ@*z(x 17.2 操作数 345 ?^f=7e8] 18 如何在Function中编写脚本 351 0-VC$)S 18.1 简介 351 ]; CTr0 18.2 什么是脚本? 351 n\/ JNzd3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B:?MMXB 18.4 基础 352 T ?HG}(2 18.4.1 Classes(类别) 352 *{K?JB#W 18.4.2 对象 352 PjxZ3O 18.4.3 信息(Messages) 352 #.KVT#%~{ 18.4.4 属性 352 =eHoJq 18.4.5 方法 353 y'{*B( 18.4.6 变量声明 353 \x(ILk|'c 18.5 创建对象 354 |O!G[|/3 18.5.1 创建对象函数 355 m
N&G 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8gIf 18.5.3 丢弃对象 356 mBtXa|PJ 18.5.4 总结 356 -G|?Kl 18.6 脚本中的表格 357 16cc9%
18.6.1 方法1 357 78u9> H 18.6.2 方法2 357 D~^P}_e. 18.7 2D Plots in Scripts 358 |<2g^ZK) 18.8 3D Plots in Scripts 359 QGq8r> 18.9 注释 360 ,SZYZ 25 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 e]!`Cl-f80 18.11 一个更高级的脚本 362 6\BZyry3* 18.12 <esc>键 364 LA9'HC(5 18.13 包含文件 365 3<"!h1x5 18.14 脚本被优化调用 366 (gQr?K 18.15 脚本中的对话框 368 1x'H# 18.15.1 介绍 368 vB<2f*U 18.15.2 消息框-MsgBox 368 :4\=xGiY 18.15.3 输入框函数 370 mD"[z}r) 18.15.4 自定义对话框 371 `|2p1Ei 18.15.5 对话框编辑器 371 %@,!
( 18.15.6 控制对话框 377 .@`5>_ 18.15.7 更高级的对话框 380 ^T< HD 18.16 Types语句 384 @
=XJ< 18.17 打开文件 385 Uv|?@zy# 18.18 Bags 387 bd$``(b`v 18.13 进一步研究 388 < |