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=UT*1-yhR 内容简介 \= =rdW- Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @.@O# 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 zq _*)V 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 E:!?A@Fy oYI7 .w 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 rK7m( 目录 +O8rjVg) Preface 1 )0XJOm 内容简介 2 "30R%oL]= 目录 i ]@A31P4t| 1 引言 1 irooFR[L9 2 光学薄膜基础 2 \AY*x=PF 2.1 一般规则 2 {Rtl<W0 2.2 正交入射规则 3 HDQH7Bs 2.3 斜入射规则 6 'U*Kb 2.4 精确计算 7 y^}00Z+l 2.5 相干性 8 N$! Vm(S 2.6 参考文献 10 M0K+Vz= 3 Essential Macleod的快速预览 10 Qm@v}pD 4 Essential Macleod的特点 32 1X-fiQJe 4.1 容量和局限性 33 yL#2|t( 4.2 程序在哪里? 33 (W'3Zv'f 4.3 数据文件 35 k)TNmpL%" 4.4 设计规则 35 1kczlTF 4.5 材料数据库和资料库 37 aTFT'(O, 4.5.1材料损失 38 lG R6S 4.5.1材料数据库和导入材料 39 cz;gz4d8 4.5.2 材料库 41 wvz_)bN~A 4.5.3导出材料数据 43 R4AKp1Y 4.6 常用单位 43 {GhM,-%e 4.7 插值和外推法 46 q~6((pWi| 4.8 材料数据的平滑 50 -_T@kg[0zB 4.9 更多光学常数模型 54 !g7bkA 4.10 文档的一般编辑规则 55 J_N`D+m 4.11 撤销和重做 56 HwxME%w 4.12 设计文档 57 (aX6jdvo 4.10.1 公式 58 8dCa@r&tz 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 dPb@[k 4.10.3 沉积密度 59 o l8| 4.10.4 平行和楔形介质 60 L@x#:s= 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ByivV2qd{ 4.10.4 性能 61 Zd<8c^@ 4.10.5 保存设计和性能 64 !~QmY,R 4.10.6 默认设计 64 hWAZP=H 4.11 图表 64 0Q5fX} 4.11.1 合并曲线图 67 =x-@-\m 4.11.2 自适应绘制 68 $[M5Vv 4.11.3 动态绘图 68 57rH`UFXH 4.11.4 3D绘图 69 tish%Qnpd 4.12 导入和导出 73 DcX,o*ec! 4.12.1 剪贴板 73 'Ej&zh 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >*e,+ok 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 f{ER]U 4.13 背景 77 c~v(bK 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 egh_1Wg2a 4.15 生成Rugate 84 X~>2iL 4.16 参考文献 91 yQdoy^d/4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 yGX"1Fb?;x 5.1 Jobs 92 FWl'='5L 5.2 创建一个新Job(工作) 93 RJ~I?{yR0[ 5.3 输入材料 94 [.LbX`K: 5.4 设计数据文件夹 95 qIg^R@ 5.5 默认设计 95 [fl^1!3{ 6 细化和合成 97 9xM7X? 6.1 优化介绍 97 D&nVkZP> 6.2 细化 (Refinement) 98 +X4/l"| 6.3 合成 (Synthesis) 100 '/~j!H4q9 6.4 目标和评价函数 101 f,WAl\ 6.4.1 目标输入 102 /><+[\q4LM 6.4.2 目标 103 V^E.9fs, 6.4.3 特殊的评价函数 104 p}9bZKyf 6.5 层锁定和连接 104 \%$z!]S> 6.6 细化技术 104 HRF;qR9v 6.6.1 单纯形 105 /d-d8n 6.6.1.1 单纯形参数 106 h+d3 JM 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
vY'E+M"+@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 pqnZ:'V 6.6.3 模拟退火算法 109 CI~ll=9` 6.6.3.1 模拟退火参数 109 -Gn0TA2/C 6.6.4 共轭梯度 111 0pl | 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .E&-gXJ4 6.6.5 拟牛顿法 112 T Z_](% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *\T
]Z&E" 6.6.6 针合成 113 7^*[ XH 6.6.6.1 针合成参数 114 XfYhLE 6.6.7 差分进化 114 w//L2. 6.6.8非局部细化 115 #t?tt,nc} 6.6.8.1非局部细化参数 115 eZk4$y 6.7 我应该使用哪种技术? 116 %VmHw~xyF: 6.7.1 细化 116 s6.#uT7h 6.7.2 合成 117 cr"AK"TQ 6.8 参考文献 117 xji2#S% 7 导纳图及其他工具 118 a^QyYX}\qR 7.1 简介 118 ?R8wm E[w 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 J-)9>~[E< 7.2.1 四分之一波长规则 119 X0e#w? 7.2.2 导纳图 120 y;1l].L 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 yx&'W_Q@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 P8=!/L2? 7.5 斜入射导纳图 141 |A% Jx__ 7.6 对称周期 141 A0`#n|(Ad! 7.7 参考文献 142 Z+]Uw 8 典型的镀膜实例 143 /`vn/X^?^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 )%D>U 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -
}2AXP2q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 b$k|D)_| 8.4 W-膜层 148 (S=RFd 8.5 V-膜层 149 R0_O/o+{ 8.6 V-膜层高折射基底 150 [6{o13mCWE 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 YNV4' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >4@/x{{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 4 g}'/ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 E0-<-w3' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i |IG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sfwlv^ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 w] =q>p 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }Rx`uRx\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8O_0x)X 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 /Xo8 kC 8.17 1/4波长堆栈 162 ">D7wX,.> 8.18 陷波滤波器 163 %}0B7_6B+@ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \C eP.,< 8.20 褶皱 165 1w/Ur'8we 8.21 消偏振分光器1 169 Z<^TO1xs9B 8.22 消偏振分光器2 171 ]|PDsb"e 8.23 消偏振立体分光器 172 AQ`
`Dp 8.24 消偏振截止滤光片 173 ]H_|E 8.25 立体偏振分束器1 174 <JNiW8 PG 8.26 立方偏振分束器2 177 4<{]_S6"0y 8.27 相位延迟器 178 gvl3NQQ%t 8.28 红外截止器 179 Vim*4^[#L 8.29 21层长波带通滤波器 180 %=GF 8.30 49层长波带通滤波器 181 fu]mxGPc 8.31 55层短波带通滤波器 182 jJOs`'~Q\ 8.32 47 红外截止器 183 cN(Toj'` 8.33 宽带通滤波器 184 >*FH JCe 8.34 诱导透射滤波器 186 U81--'@y 8.35 诱导透射滤波器2 188 jQIb :\0# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4>I >y@^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $VRVMY [q 8.35 增益平坦滤波器 193 +dgHl_,i 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]`, jaD 8.39 啁啾反射镜2 198 Sl7x>= 8.40 啁啾反射镜3 199 Sq Y$\&% 8.41 带保护层的铝膜层 200 FC BsC# 8.42 增加铝反射率膜 201 |*5803h 8.43 参考文献 202 d$}z,~sN 9 多层膜 204 F\G-. 1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 znxP.=GB 9.2 内部透过率 204 _>k&M7OU4 9.3 内部透射率数据 205 jqeR{yo&0b 9.4 实例 206 7u|X
.X 9.5 实例2 210 >ukn< 9.6 圆锥和带宽计算 212 :psP|7%| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 i3[%]_eP. 10 光学薄膜的颜色 216 D{) K00mm 10.1 导言 216 P56B~M_ 10.2 色彩 216 :U!@ 10.3 主波长和纯度 220 5zf bI 10.4 色相和纯度 221 a(Fx1`} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >L_nu.x 10.6 色差 226 lH#C:n 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |DBj<|SX 10.8 颜色渲染指数 234 }#Gq*^w 10.9 色差计算 235 2 f8\Osn>m 10.10 参考文献 236 G9
g
-EP\ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ><Awk~KR 11.1 短脉冲 238 %&[=%zc 11.2 群速度 239 4v?}K 11.3 群速度色散 241 q@(MD3OE 11.4 啁啾(chirped) 245 HZJ)q`1E 11.5 光学薄膜—相变 245 &h<\jqN/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 i]
I{7k 11.7 色度色散 246 gL(_!mcwu 11.8 色散补偿 249 :H(wW
11.9 空间光线偏移 256 hzcSKRm 11.10 参考文献 258 =lOdg3#\a 12 公差与误差 260 3Ud{W$Ym 12.1 蒙特卡罗模型 260 z9qF<m 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 mNk@WY_F 12.2.1 误差工具 267 n)t'?7 12.2.2 灵敏度工具 271 Qt+i0xd 12.2.2.1 独立灵敏度 271 s,;7m 12.2.2.2 灵敏度分布 275 nQaryL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &ra2(S45 12.3 参考文献 276 uy'qIq 13 Runsheet 与Simulator 277 pt_]&3\e 13.1 原理介绍 277 ~LF1$Cai 13.2 截止滤光片设计 277 F(DM$5z[ 14 光学常数提取 289 h2P&<gg qX 14.1 介绍 289 O/b1^
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14.2 电介质薄膜 289 LFX[v 14.3 n 和k 的提取工具 295 GvTA/zA 14.4 基底的参数提取 302 <Eu/f`8 14.5 金属的参数提取 306 qp{3I("_ 14.6 不正确的模型 306 ZuNUha&a 14.7 参考文献 311 *bl|[(pP 15 反演工程 313 ,~G:>q$ad 15.1 随机性和系统性 313 7:'5q]9 15.2 常见的系统性问题 314 cof+iI~9O% 15.3 单层膜 314 E|"QYsi.Ck 15.4 多层膜 314 P/,ezVb= 15.5 含义 319 %{B4M#~ 15.6 反演工程实例 319 ZYLPk<< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 o\N^Uu 15.6.2 反演工程提取折射率 327 sUk&NM%> 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Pah*, 16.1 光学性质的热致偏移 329 :qvA'.L/;z 16.2 应力工具 335 95.s,'0 16.3 均匀性误差 339 k[a5D/b 16.3.1 圆锥工具 339 ?`3G5at)9f 16.3.2 波前问题 341 Z\S'HNU 16.4 参考文献 343 q-r5z GI 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0
} |21YED 17.1 引言 345 ? ]H'egG6 17.2 操作数 345 !N74y%=M 18 如何在Function中编写脚本 351 z0 J:"M 18.1 简介 351 30{+gYA 18.2 什么是脚本? 351 TeHxqWx 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 nkkUby9 18.4 基础 352 *t bgIW+h 18.4.1 Classes(类别) 352 xgJyG.? 18.4.2 对象 352 +HF*X~},i 18.4.3 信息(Messages) 352 ]T>|Y0 | 18.4.4 属性 352 V;(Rg=5 18.4.5 方法 353 I3AxKA 18.4.6 变量声明 353 7,3 g{8 18.5 创建对象 354 hY/i)T{ 18.5.1 创建对象函数 355 }w5`Oig[ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 yPks,7U 18.5.3 丢弃对象 356 kf1 ( 18.5.4 总结 356 (AT)w/ 18.6 脚本中的表格 357 DcsQ 6 18.6.1 方法1 357 (Eo#oX 18.6.2 方法2 357 \]qwD m/ 18.7 2D Plots in Scripts 358 OyATb{`' 18.8 3D Plots in Scripts 359 _Kv;hR> 18.9 注释 360 1Ba.'~: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 {W%/?d9m 18.11 一个更高级的脚本 362 c HUj6'neO 18.12 <esc>键 364 l TJM}K 18.13 包含文件 365 D'
`[y 18.14 脚本被优化调用 366 IRbZ ;*3dO 18.15 脚本中的对话框 368 V&R_A |