/o#!9H 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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PogV(V
>l{<p( ufm`h)N 设计任务 x F7C1g( 4]RGLN 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
72@raA#y ~aa`Y0Ws],
LJDX6]4n rVq=,>M9 光栅级次分析模块设置 Ha9A5Ao}0 1iEZ9J? Urur/_]-% 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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IZYq E6|!G 'm9f:iTr 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
/Za'L#=R 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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~` v7 衍射分束器表面 .g_BKeU
#+p30?r0y
fRC(Yyx EU.vw0}u8 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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|2(z<b&y=
2j8^Z )nU%}Z 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Oi +(`
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oB;EP aG;6^$H~ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
K[Bq,nPo 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
3 G/#OJ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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/WXy!W30< Vc|r(lM 光栅级次和可编程光栅分析仪 de]r9$D
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}yCJ#} 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
9.ZhkvR4A "f\2/4EIl 'gd3 w~ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
[?$ZB),L8 x;"! 6r"uDV #0 设计与评估结果 相位功能设计
c(Zar&z,E 结构设计TEA评价
A,D67G<v` FMM评估 高度标度(公差)
k .? aq xxOo8+kA 通用设置 O~F/{:U ^G%Bj`% bUbM } 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
o8\@R 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
6+"P$Ed#i ZK<kn8JJ
纯相位传输设计 !PUbaF-.6 i>6SY83B}
6dQa|ACX_ .E:[\H" 结构设计 .QOQqU*2I
.b>1u3
+F q`I2l| _KiaeVE ,!_ 更深的分析
"8|y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
'SF+P)Kmz •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
,\Gn •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
B;tU+36nM Vr/UbgucJ
3nv7Uz f'aQ T 使用TEA进行性能评估 b2c% 0C
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5zG6V2 i$[wgvJIV
使用FMM进行性能评估 R_J=x
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rZ<0ks AH`D&V 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;hR!j!3}
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-'+|r] ])h={gI 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 8[5%l7's
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 c.jq?Q k
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