o_izl\ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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T6\[iJI| Ytn9B}%o 设计任务 Wf+cDpK y6(Z`lx 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
d[iQ`YW5 h79}qU
E>6MeO P_F30x( 光栅级次分析模块设置 is?{MJZ_ ?g_3 [Fk D}-/c"':} 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
.73X3`P25 G<L;4nA)
{5Q!Y&N.% S,88*F(<^q ?qb}?&1 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
g@d*\ P) 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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)HEa<P^kJl 衍射分束器表面 )*$lp'~7N
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)*u8/U d-oMQGOklb 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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tR#OjkvX l [dK[4
sU=H&D99 =O~_Q- 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) w2?3wrP3
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!Lu2 Z3Og=XHR 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
-{("mR&] 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
R!HXhQ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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dq 2_>N/Z4T 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~?l |
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Jx:Y-$
\P[Y`LYL 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
."g`3tVK Z*F3G#A Lw1Yvtn 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
G0Iw-vf wH*-(*N" d z|or9& 设计与评估结果 相位功能设计
)705V|v 结构设计TEA评价
IYv`IS" FMM评估 高度标度(公差)
b1cy$I 9i:L&dN 通用设置 6%' QjwM_ p:&8sO!m e1yt9@k, 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
+L$Xv 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
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.#)G[* I{|O "8 纯相位传输设计 Cp\6W[2+B Z{*\S0^ST
sJKI! !aUs>1i 结构设计 gt)I(
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-OV&Md:~ G/E+L-N#` /|}EL%a 更深的分析
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•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
t9lPb_70 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
U gat1Pz •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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#F HZE#Ab*L
^^sE: G[ PtkPSJ 使用TEA进行性能评估 @?sRj&w
z(O Nv#}p
&ANf!*<\E .^`{1% 使用FMM进行性能评估 `v!urE/gg%
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:U|1 xgB P\tB~SZ* 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Pm6pv;WK
Q-oktRK
LH.]DVj fUWG*o9 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ,L2ZinU:
6_o*y8s.
6GlJ>r+n 8Al{+gx@? 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P;.W+WN
C}j"Qi`