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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    NVcL9"ht*@  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 TPvS+_<oL{  
    ]y2(ZTNTs  
    `5=0f}E  
    A_CEpG]  
    设计任务 Ip4CC'  
    f,)[f M4  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 kQsyvE  
    ) e;)9~  
    g$EjIHb  
    9fzbR~s  
    光栅级次分析模块设置 Y \& 4`v'  
                           6wqq"6w  
    Tm.(gK  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 g(;t,Vy,I  
    ( T VzYm y  
    y4C_G?  
    "m3u}!`3  
    ,xn+T)2I  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 *h-_   
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 u;F++$=  
    1Ty{k^%  
    hE/gul?|_  
    衍射分束器表面 <q~&g &&+  
    _E{SGbCCi  
    |GA4fFE=  
    4["$}O5  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 )z=`,\&p:  
    f]h99T  
    TMhUo#`I|  
    kgEGL]G>  
    *QG>U[  
    <ij;^ygYD  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) #]_S{sO  
    TlYeYN5V  
    l=Jbuc  
    `|8)A)ZVT  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ^}ngb Dn  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 )U6T]1  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 &\F`M|c  
    XTG*56IzL  
    h:Q*T*py  
    C o4QWyt:  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 $*Njvr7  
    IR;lt 3  
    Sl/[9- a)  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Ep|W>  
    |O%`-2p]p  
    $A`D p{e"  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 HC@E&t  
    "]f0wLzh  
    wcspqC"_  
                设计与评估结果            相位功能设计 :D-My28'  
                结构设计TEA评价 !_QE|tVeR  
    FMM评估            高度标度(公差) ,P3nZ  
    8`EzvEm  
    通用设置 C_rlbl;T  
    5}x^0 LY  
    8{Bcl5]<  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 6+b!|`?l+  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 02g}}{be8  
    c:.k2u  
    纯相位传输设计 EJ;:O1,6H  
    +/'3=!oyd  
    h.gj4/g  
    Wf^6:  
    结构设计 ~e~iCyW;S  
    .S>:-j'u  
    GS_'&Yj  
    vn}:$|r$J  
    CvW*/d q  
            更深的分析 ^ a#Vp  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 &k*sxW'  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 -.~Dhk  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 1K.i>]}>  
    oswS<t{Z  
    <)ozbv Xk  
    5TqB&GP0  
    使用TEA进行性能评估 )F Q '^  
    dY'/\dJ  
    MA0 }BJoW  
    %;$zR}  
    使用FMM进行性能评估 ;L (dmx?  
    BO)K=gl;8  
    ejP273*ah  
    9aky+  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 <\l@`x96"D  
    p2s*'dab7  
    I/:M~ b  
    !?!~8J~  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 YTP6m9hA+  
    Wm_:1~  
    F)rU* i7  
    3~v' Ev  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 *F7ksLH|q  
    z2p@d1  
     
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