iNha<iS+ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
2/I^ :*e Rj-<tR{
#[2]B8NZ o-R;EbL 设计任务 zK33.HY 9NVe>\s_ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
O||M
| .'
#_Z.zr
D\>CEBt m"`&FA 光栅级次分析模块设置 %U'YOE6 V\Rbnvq o XA*K.X< 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
7\5;;23N4 1}9@aKM
\9!W^i[+ m"NZ; *d ' ><dSwwu 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
OLlNCb#t 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
:FB#,AOa_ G=(F-U;*
GYZzWN}U 衍射分束器表面 Rm{S,
N^B
YNqr
90&ld :97 e!Y:UB2
7u 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
}_Jr[iaB byoDGUv
<Jv %}r g*TAaUs|n
{!@Pho) Q l}># p'$ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) V07e29w
._Wm%'uX
\XD&0inv zaf%% 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
ul1#_xp 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
nJNdq`y2 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
J[du>1D k/ls!e?
Pl9/1YhD/ kK>PFk( 光栅级次和可编程光栅分析仪 .|;`qUo
]N,n7v+}
7'k+/rAO 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
,~p'p) eJIBkFW/3y MPhO#;v 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
B>Mr/' LcI,Dy|P l
2y_Nz-; 设计与评估结果 相位功能设计
|MY6vRJ( 结构设计TEA评价
O|}97a^ FMM评估 高度标度(公差)
J.N%=-8 =0c yGo 通用设置 be}^}w= < {$zOF} Xkk m~sM6 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
$fR[zBxA 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
Zu951+&` #XE`8$
纯相位传输设计 x|&A^hQ 9
N[k ?kUZ
,IX:u1mO .gh3" 结构设计
I4.^I/c(
I"eXoqh
icLf;@ &W)Lzpx8c :80!-F*\ 更深的分析
3R>U^
Y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
cD{I*t$ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
]~iOO
%&R •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
;"l>HL:^ Nz %{T
W7r1!/ccj q^ lx03 使用TEA进行性能评估 z'GYU=
)>abB?RZ
O:3LA-vA ]U.1z 使用FMM进行性能评估 h)2W}p{a4=
&>y[5#qOl
*(5y;1KU |7KW'=O 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 x2/L`q"M?=
?UuJk
2YI#J.6]H P0WI QG+ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 c~bi
~ f
sJu^deX
o\6A]T=R oVk*G 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 R%B"Gtl)
No#1Ik w