$ly#zQR 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Q*mMF@-: Hm.&f2|(
=hOj8;2 N>cp>&jV 设计任务 <manv8*6 FJn~
=hA 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
2heWE Q)%8NVs
cW~6@&zp T ?<'= 光栅级次分析模块设置 ;*j6d3E A^= Hu,"e t`Y1.]@U 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
D
7;~x]* O_s9
w ufKb.4` Chb4VoE bz}AO))Hk 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
9m#H24{V' 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
&ESR1$)'P ,,C~j`F
]X"i~$T1 S 衍射分束器表面 SCI-jf3WN
k?|zIu
x=)30y3*; I")"s 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
?O.6 r" kw-Kx4 )
nkCRe i-"h"nF"
u%gm+NneK [pC-{~ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) (8m\#[T+R
jQK2<-HZ3
aP6%OI #`6OC)1J 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
O7<V@GL+ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
1 [~| 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
\.{pZMM YRM6\S)py
)8N)Z~h w4<u@L 光栅级次和可编程光栅分析仪 7PQj7&m
)l!&i?h%
xUYN\Pc- 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
U0|j^.) y
4,T b09#+CH? 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
1rm$@L enD C# zk^7gx3x 设计与评估结果 相位功能设计
a\.O L}"
结构设计TEA评价
r<f-v_bxF FMM评估 高度标度(公差)
/wCxf5q0 hoD[wAC 通用设置 GF.g'wYc)Y {*=5qV} )>A%FL9 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
px(1Ppb9 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
bM3'm$34 kp
&XX| 纯相位传输设计 B& f~.UH K?9H.#(
'?!<I {D2d({7 结构设计 C`1\$U~%
~zOU/8n
,F
;uo|4?E:\( [r<
Y0|l,m xyJgHbml 更深的分析
[]fj~hj •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
T.Y4L •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
r Xk
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。
&WWO13\qd 6`$z*C2{
M+&eh*:z: "e};?|y 使用TEA进行性能评估 c$Nl-?W
_q!ck0_
0PX@E-n H-y-7PW*~ 使用FMM进行性能评估 F9G$$%Q-Z
YwTtI ID%
_@3O` "kuBjj2 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Fe>#}-`
{ dxyBDK
WRyv
>Y KB-#):' 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 E]Gq!fA&<
9!OCilG
|`9zE] eMMiSO!3 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 :QY 9p T
v?' k)B