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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    {g1"{  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 /huh}&NNu  
    dWkQ NFKF  
    ]58~b%s  
    Vf~-v$YI  
    设计任务 " Zhh>cz  
    ?M&@# lbG  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ],0I`!\  
    B-]bhA4|:  
    5PZ7-WJ/  
    3Fn}nek  
    光栅级次分析模块设置 yp$jLBA  
                           #~/9cVm$  
    As>Og  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 /iM1   
    1ow,'FztPt  
    N}%AUm/L  
    K)    
    7L&,Na  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 9y&;6V.'  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 0n6eWwY  
    :Bt,.uN C  
    4(P<'FK $  
    衍射分束器表面 HAI) +J   
    WgR%mm^  
    C^,b aCX  
    #tHYCSr]  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 :Ob^b3<t  
    GqsV 6kH  
    E_A5KLP  
    aWRi`poZT  
    v&;JVai  
    0_ST2I"Ln  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) <)a$5"AP  
    -QJ8\/1>  
    /v<Gt%3X  
    h>*3i#  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ,N,@9p  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 3=oxT6"k  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 |pBFmm*  
    r vq{Dfo=  
    m%})H"5  
    m?yztm~u  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 HxW/t7Z(  
    P3W3+pwq  
    YI*H]V%w  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 @<$m`^H  
    G)NqIur*Z  
    q({-C  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 YU6|/ <8  
    cE`qfz  
    TAOsg0  
                设计与评估结果            相位功能设计 +RM!j9Rq  
                结构设计TEA评价 +924_,zF  
    FMM评估            高度标度(公差) ^4 ,LIIUj  
    r ^*D8  
    通用设置 { g[kn^|  
    vs+aUT C\  
    9pj6`5Zn@6  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 <>$CYTb  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ?o6#i3k#'  
    zmD7]?|  
    纯相位传输设计 q'y< UyT6  
    G?LC!9MB  
    NQuqM`LSQ  
    4noy!h  
    结构设计 >h~ik/|*  
    p>J@"?%^  
    -{Ar5) ?='  
     _}JMBIq$  
    gzvgXZ1q"  
            更深的分析 [OOQ0c~  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 4Ng:7C2  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 >0iCQKq  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 XefmC6X  
    [+W<;iep  
    \Ezcr=0z{j  
    sd B(sbSF  
    使用TEA进行性能评估 C .B=E"e  
    -CFy   
    60ciI,_`  
    H{i|?a)  
    使用FMM进行性能评估 fyT|xI`iD  
    Vh=U/{Rp1  
    >L "+8N6  
    ]LxE#R5V  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 qgfP6W$  
    '`<Fys&:  
    Fkpaou  
    H0])>1sWB  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 IaO R%B g  
    m:0[as=  
    .w{Y3,dd>  
    ,H.5TQ#  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P4{~fh(  
    .=-a1p/  
     
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