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U/Xi 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
*Jsb~wta 05wkUo:9
5A0]+)5E8 KhR3$|fH< 设计任务 clvg5{^q[ Qt.*Z;Gs 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
dmF=8nff +f/
I>9G
?|5M'o|9 apL$`{>US 光栅级次分析模块设置 \IL)~5d ~5P9^`KNH z*},N$2= 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
~@'wqGTp yj:@Fg-3g
i@rtt
M m*y&z'e\ x1 |/ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
mx9vjWfy 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
W8& )UtWQ h.Qk{v
}b2YX+/e$f 衍射分束器表面 c+FTt(\8.
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pT,8E(*l2 zH1;h 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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#L.,aTA< chICc</l&
/h53;$zK x;?8Zr 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) FJ0I&FyWs
Q/|.=:~FO
(2b${ Q@V &2W"4SE]6 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
YrL(4 Nt8 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
fw&*;az 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
QT c{7& ,b5'<3\
b+~_/;Y9 T<*)Cdid 光栅级次和可编程光栅分析仪 h3`}{
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vEI{AmogRx
.=eEuH 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
gXI-{R7Me {Zc8,jm 3k'Bje?9~ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
D&FDPaJM 1'f_C<.0 +2iD9X{$MX 设计与评估结果 相位功能设计
;a?<7LIx 结构设计TEA评价
v?."`,e FMM评估 高度标度(公差)
O|t>.<T? r|l?2 eO~ 通用设置 1o&z