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直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Hw&M2a }3w b*,Sbz B_glyC (B<AK4G 设计任务 @~3c"q;i7 y>|XpImZ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
:g[x;Q[@ "|`9{/] EG4bFmcs .N&}<T[ 光栅级次分析模块设置 :n9~H+! Y{RB\}f( !#1A7[WN 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
30+l0\1 =hIT?Z6A y51D-vj yMl'1W 5C1Rub) 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
L]N2rMM 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
8p{ #l# [\6 /? 1Yf 衍射分束器表面 jMui+G(h
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9Pk3}f)a 5dw@g4N %^ 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
ZM`P~N1?)g I A#*T` +WN>9V0H ~PW}sN6ppG 7u5\#|yL KGmc*Jwy 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 9w;J7jgOT!
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g}|C_ &d3 '{~: 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
u;ooDIq@ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
XW_xNkpL5c 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
Bi:wP/>v ^@lg5d3F a {$k<@Ww `W$0T;MPF 光栅级次和可编程光栅分析仪 ]!G>8Rc
G4%M$LJh
|z.GSI_!) 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
vs)I pV( 8G l5)=2 3hf;4Mb 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
o / g+Z :8Ts'OGwI - b\V(@5 设计与评估结果 相位功能设计
qvU$9cTY 结构设计TEA评价
j /dE6d FMM评估 高度标度(公差)
^Z4q1i)JO k-cIb@+" 通用设置 ]n]uN~)9 %>9+1lUhV Y:!/4GF 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
K1/gJ9+(\ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
K*U=;*p) `I vw`} L 纯相位传输设计 /z)3gsF >+jbMAYSq Fr3d#kVR oz0n$`O$/ 结构设计 +.(}u ,:8
|Iok(0V
_E1]cbIo lc3S|4 W^d4/] 更深的分析
B#k3"vk# •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
5
2@udp •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
ZA_zKJ[[7 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
AJ?}Hel[0 }y-;>i#m=g Z"n'/S:q R2Rstk 使用TEA进行性能评估 cbu nq"
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+)JNFy- 7Z`Mt9:Ht 使用FMM进行性能评估 A|taP$%
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@W1WReK]f &J;H@d|| 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 !M]%8NTt2
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UR/qVO? x7KcO0F{ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Z(LxB$^l[
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bQXc IIa{ ~~xyFT+{F 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 }c35FM,
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