;J?zD9 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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y^t I h 19&D
'v&f XSo$;q\ 设计任务 Eg]tDPN1 /p[lO g 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
*W1:AGpz Hl*/s
zT _[pa)O` roWg~U(S 光栅级次分析模块设置 Ap%tm)@1 aK'%E3!~=x qMmhmH)Gp 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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?\T):o;/ ]1i1_AR'` /Os;, g 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
*Zk$P.] 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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|),3`*N 衍射分束器表面 eTY""EWU
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;{Su:Ixg vKcc|# 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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>KnXj7 YW UCrnr 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) a?X{k|;!7u
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Cdbh7 "A%JT3 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
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薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
Oxhc!9F 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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o+.LG($+U w%Tjn^ d 光栅级次和可编程光栅分析仪 *we*IhIP
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Y1h)0_0 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
Wk&g!FR zz~AoX7V6 BjyGk+A 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
Z4'8x h)- |oI] %Ut7%obpi 设计与评估结果 相位功能设计
2n8spLZYGY 结构设计TEA评价
;p4|M FMM评估 高度标度(公差)
0h",. g4
G?hv`R 通用设置 \z>L,U q_|YLs` ('7qJkV 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
!XJS"o wr 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
Fj~,> V]$J&aD 纯相位传输设计 XrD@q v*k}{M
\ZPmPu9^( *D$[@-7 结构设计 )cd5iE:FO
BLskUrPF
iO_6>&( hs m%o\ ZdjmZx%% 更深的分析
Xitsbf=Gg •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
G`1FD •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
Sx", Zb •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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R5<D'cEN 使用TEA进行性能评估 _:0
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k&h3" R8U?s/* 使用FMM进行性能评估 fxKhe[;
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?i8a)!U -U"h3Ye^ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 zJ2dPp~u
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!^:)zORYR @d]a#ypU 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 7"c^$fj
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:t36]NM oju}0h'1 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 l&f"qF?
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