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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    9ALE6  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 aqq7u5O1r  
    3+mC96wN  
    )UA$."~O  
    lP*_dt9  
    设计任务 %$/t`'&o-  
    7%C6hEP/*W  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 H79XP.TtE  
    iaAVGgA9+  
    '_& Xemz  
    D_oGhQYY4  
    光栅级次分析模块设置 cn&\q.!fh  
                           _-aQ.p ?T  
    +uMOT#KjR  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 j4j %r(  
    Ws"eF0,'Z  
    ?N2/;u>  
    ~kUdHne (  
    R)% Jr.U  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 vL"U=Q+/eY  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 T =r7FU  
    %a%x`S3  
    UxI0Of&:  
    衍射分束器表面 fZU#%b6G  
    l:v:f@M&  
    t(69gF\"  
    %[(DFutJY+  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 #L[-WC]1y  
    ?0_Bs4O\  
    7'pCFeA>=T  
    }LLnJl~Z  
    YEF|SEon0  
    >[TB8  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 40cgsRa|  
    e573UB  
    MxMrLiqU6l  
    SE= 3`rVJ  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 6'6 "Ogu%'  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Q+(}nz4  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 smEKQHB  
    k,o|"9H  
    t5dk}sRF  
    \DsP '-t  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 u4QPO:,a4  
    KLv`Xg\  
    ,c#IxB/0  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 $Lpt2:.((  
    !~5;Jb>s[/  
    Bw2-4K\"kc  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 f,GF3vu"  
    _^cDB1I ?  
    8z&7wO  
                设计与评估结果            相位功能设计 rZ<n0w  
                结构设计TEA评价 .kWMr^ g  
    FMM评估            高度标度(公差) $]:yc n9l  
    \sB a  
    通用设置 ]jNv}{  
    ,-7w\%*  
    eqz#KN`n#  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 _[|~(lDJl  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 :wiQ^ea  
    u,i~,M  
    纯相位传输设计 JSXudz5 c  
    nO^aZmSu  
    g.-{=kZ   
    K3jKOV8   
    结构设计 a4HUP*  
    Oga/  
    aw9/bp*N  
    l}-JtZ?[?  
    Vae}:8'}  
            更深的分析 8[  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 n}?XFx!%  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。  QDCu  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 -r%4,4  
    JWhi*je  
    $j61IL3+  
    d?dZ=]~C  
    使用TEA进行性能评估 O>]I!n`!!A  
    LQ T^1|nq  
    po@=$HK  
    N"d M+  
    使用FMM进行性能评估 ]AoRK=aH  
    ] ?!#*<t r  
    LE^kN<qMK  
    qcau(#I9.  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 '0QrM,B9  
    !{'C.sb?~  
    GSzb  
    bup)cX^  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 $X1T!i[.X  
    !#l>+9  
    IC&>PwXb  
    G9'Wo.$ t  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Jq0aDf f  
    13 `Or(>U  
     
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