9ALE6 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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)UA$."~O lP*_dt9 设计任务 %$/t`'&o- 7%C6hEP/*W 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
H79XP. TtE iaAVGgA9+
'_& Xemz D_oGhQYY4 光栅级次分析模块设置 cn&\q.!fh _-aQ.p ?T +uMOT#KjR 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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?N2/;u> ~kUdHne( R)% Jr.U 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
vL"U=Q+/eY 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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UxI0Of&: 衍射分束器表面 fZU#%b6G
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t(69gF\" %[(DFutJY+ 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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YEF|SEon0 >[TB8 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 40cgsRa|
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MxMrLiqU6l SE=3`rVJ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
6'6"Ogu%' 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
Q+(}nz4 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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t5dk}sRF \DsP'-t 光栅级次和可编程光栅分析仪 u4QPO:,a4
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,c#IxB/0 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
$Lpt2:.(( !~5;Jb>s[/ Bw2-4K\"kc 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
f,GF3vu" _^cDB1I? 8z&7wO 设计与评估结果 相位功能设计
rZ<n0w 结构设计TEA评价
.kWMr^ g FMM评估 高度标度(公差)
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a 通用设置 ]jNv}{ ,-7w\%* eqz#KN`n# 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
_[|~(lDJl 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
:wiQ^ea u,i~,M 纯相位传输设计 JSXudz5c nO^aZmSu
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K3jKOV8 结构设计 a4HUP*
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aw9/bp*N l}-JtZ?[? Vae}:8'} 更深的分析
8[ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
n}?XFx!% •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
QDCu •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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$j61IL3+ d?dZ=]~C 使用TEA进行性能评估 O>]I!n`!!A
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M+ 使用FMM进行性能评估 ]A oRK=aH
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LE^kN<qMK qcau(#I9. 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 '0QrM,B9
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