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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    9A=,E&  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 IJ"q~r$  
    H <l7ZS:  
    eauF ~md,  
    4[e X e$  
    设计任务 3pKQ$\u  
    =H8;iS2R  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 L4HI0Mx  
    wHy!CP%  
    m_]Y{3C  
    8Z~EwY*  
    光栅级次分析模块设置 C'x&Py/#  
                           y)@wjH{6  
    GTd,n=  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 K|, .C[  
    {<KVx9  
    K"MX!  
    mzgfFNm^G)  
    ?@86P|19  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 4Nsp<Kn>  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 W<g1<z\f  
    <5051U Eu  
    !Uo4,g6r+  
    衍射分束器表面 |BXg/gW  
    }K(TjZR  
    mfr|:i  
    <hyKu  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 =s6 opL)  
    Z`i(qCAd(  
    > (<f 0  
    `a/`,N  
    z$sT !QL~  
    tw@X> G1z  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ih3n<gXF  
    ? r4>"[  
    '&b+R`g'  
    {.Jlbi9!  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 "{t$nVJ  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 flx(HJK  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 "AqB$^S9t  
    DEgXQ[  
    Ewz!O`  
    HoAy_7-5  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 A#,ZUOPGH  
    4xj4=C~i  
    2\$oV  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 %BODkc Zh  
    ca9X19NG  
    | -H& o]  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 DY*N|OnqJ  
    ]?4hyN   
    |.dRily+  
                设计与评估结果            相位功能设计 6S #Cl>v  
                结构设计TEA评价 3so %gvY.'  
    FMM评估            高度标度(公差) BA.uw_^4  
    /-s6<e!  
    通用设置 r JB}qYD  
    #-J>NWdt  
    yhJ@(tu.Gd  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ar,7S&s H  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 j>kqz>3  
    +ZV5o&V>  
    纯相位传输设计 t{>q|0  
    wd6owr  
    <UCl@5g&  
    ,!9zrYi}  
    结构设计 `D9$v(Ztr  
    V]^$S"Tv  
    EQ_aa@M7  
    2<3K3uz  
    xSu >  
            更深的分析 F'Z,]b'st3  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 v:#tWEbo-  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 AXB7oV,xt  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 uAk.@nfiEv  
    7EJ+c${e.-  
    < %Y}R\s?  
    =~gvZV-<  
    使用TEA进行性能评估 6\t@)=C,Q  
    |j|rS5  
    <3 uNl  
    ~ri5zb20  
    使用FMM进行性能评估 .\mj4*?/  
    EM_d8o)`B  
    p7 ~!z.)o  
    k:%%/  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Q{/Ef[(a@  
    xD7]C|8o  
    + T+#q@  
    76SXJ9@x  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Y0> @vTUX  
    zm#  ?W  
    qgB_=Q#E  
    n{jGOfc  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 /_.|E]  
    <ZW-QN4  
     
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