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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    rm|,+ {  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 RtDTcaW/  
    uOZSX.o^  
    *)HVK&'  
    NvpDi&i  
    设计任务 M.C`nI4  
    !9j6l 0  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 c^5fhmlt  
    <\d2)Iv  
    c]ga) A(  
    <YCR^?hJSi  
    光栅级次分析模块设置 eQqCRXx  
                           =OKUSHu@V  
    W4h]4X  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 e%0IE X  
    KQ(S\  
    f&&Ao  
    x@> ~&eP  
    @9k/od@mW  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 m&s;zQ  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 qi8AK(v  
    =2} bQW  
    zXwdU5 8  
    衍射分束器表面 +hlR  
    Q H>g-@  
     FE1En  
    'p%w_VbI  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 *$mb~k^R  
    Ie8K [ >  
    u=(.}  
    M?['HoRo  
    9G6auk.m.O  
    '6T  *b  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) -W|~YK7e  
    zT hut!O  
    HEK?z|Ne  
    Y)M-?|4  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 vgr 5j  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 u(`7F(R  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 &kH7_Lz  
    clIn}wQ  
    =[gFaB_H  
    $! g~pV  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 oV~S4|9:  
    HLE%f;  
    owO &[D/  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 mt-t8~A  
    w&&)v~Y_  
    mDWRYIuN  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 DuC_uNJ  
    RF\h69]:I  
    MLmv+  
                设计与评估结果            相位功能设计 2nSz0 .  
                结构设计TEA评价 @\=4 Rin/q  
    FMM评估            高度标度(公差) tZr_{F@  
    U8zs=tA  
    通用设置 P;ZVv{mT  
    8%b-.O:_$  
    JS&;7Z$KX  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 G4uOY?0N  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 \F7NuG:m,  
    \6/!{D,  
    纯相位传输设计 !Jaj2mS.N  
    df$pT?o  
    ]pVuRj'pP  
    9;A9Q9Yr  
    结构设计 '5 9{VA6h  
    NRe=O*O  
    9['>$ON  
    (%{!TJgZR  
    O+~@ S~  
            更深的分析 cvV8 ;  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 YXGxE&!  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 h;J%Z!Rjw  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 $rQi$w/  
    =jRC4]M})  
    QEY#U|  
    YUlH5rO3  
    使用TEA进行性能评估 biH ZyUJ  
    -Z:nImqzc  
    {=P}c:i W  
    ,WS{O6O7  
    使用FMM进行性能评估 P m|S>r  
    Ntpw(E<$f  
    v&"sTcS|  
    +?0r%R%\  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 er>@- F7w  
    u9ue>I /  
    VQ4rEO=t  
    K- TLzoYA  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 <\?dPRw2>  
    ^ }|$_  
    twql)lbx  
    E,|OMK#   
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 x<) T,c5Y  
    HgOrrewj  
     
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