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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    3YyB0BMW  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 BJgg-z{Y  
     fL9R{=I%  
    'H0b1t1S%  
    X G fLi  
    设计任务 $`:/O A<.  
    {'W\~GnZ  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 8U8l 5r  
    VXforI  
    =W1`FbR  
    T<*i($ [  
    光栅级次分析模块设置 ;eznONNF  
                           ;m{*iKL6{  
    =;.#Bds  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 rA9BY :N@  
    U[\aj;g)  
    [gZd$9a  
    ?MevPy`H  
    g>h5NrD N  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 `A5^D  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 :]%z8,6k  
    ar.w'z  
    \/C-e  
    衍射分束器表面 gd>Op  
    FHVZ/ e  
     WDr'w'  
    m|<j9.iJ  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Fy N@mX  
    ?pdvFM  
    OHeVm-VC  
    K9co_n_L  
    KQ<pQkhv  
    "(/ 1]EH`  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) T"Ph@I<  
    8=x{>&Jr&#  
    7Wg0-{yK4  
     ?C   
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 N%{&%C6{  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 lJ!+n<K+  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 BBy"qkTe  
    mBgMu@zt)  
    ye1kI~LO(  
    CK1Xdyf_S  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 Rt{qbM|b&  
    1P&XG@  
    {.2A+JT,  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 t E/s|v#O  
    }YHoWYR  
    }?xu/C  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 zm rQ7(y  
    ot P7;l  
    _A%} >:q  
                设计与评估结果            相位功能设计 /C29^P  
                结构设计TEA评价 GkjTE2I3  
    FMM评估            高度标度(公差) <\c 5  
    qy6zHw  
    通用设置 QSf{V(fs  
    xfw)0S  
    Oa=0d;_  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 :%qJAjR&  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 DzX5_ kA  
    w@Ut[ ;6^  
    纯相位传输设计 lqe;lWC0Z  
    rgheq<B:  
    <N^2|*3  
    }./__gJ  
    结构设计 Dt\F]\6sd  
    uZ*;%y nQ  
    O$+J{@  
    jI0gQ [  
    L}CjC>R!  
            更深的分析 GYYk3\r  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 L2Uk/E  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 MnUal}MO  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Hw[u Sv8  
    x]6OE]]8L  
    nE)?P*$3Z  
    lCg'K(|"  
    使用TEA进行性能评估 ?cf9q@eAH  
    !Y/$I?13Z  
    W>0 36  
    C0;c'4(  
    使用FMM进行性能评估 X2!vC!4P?L  
    }; !S2+  
    MDa 4U@Q  
    rWEJCFa  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 EXUjdJs"  
    &^^zm9{  
    Js[dT|>.  
    jI!}}K)d  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 )xIk#>)  
    <zH24[  
    g|8G!7O  
    hrPm$`  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 !\.x7N<)0  
    ax&,  
     
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