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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    XoJgs$3B  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。  qtzFg#  
    ~Zmi(Ra  
    M\ dO({o  
    b~j~  
    设计任务 l&3ki!  
    dhW<p 5  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ]% Y\ZIS  
    }'TTtV:Q  
    !y%+GwoW  
    x<@kjfm5  
    光栅级次分析模块设置 y^G>{?Tha  
                           #d% vT!Bz~  
    UQ~4c,  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 /$Z m~Mp  
    pqeL%="p;  
    U. (Tl>K|0  
    5DOE3T`^Oc  
    0 I @$ 0Gg  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 >t0%?wj)Y  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 YDFCGA  
    ]^ #`j  
    J\{ $ot  
    衍射分束器表面 ;E#\   
    Q&PB]D{  
    `L\)ahM  
    w" JGO  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 U` hfvTi  
    Fu%X  
    *NlpotW,f  
    f05=Mc&)  
    /EU ; ?O  
    J$QBI&D  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Vho0e V=  
    q^*6C[G B  
    'gDe3@ci!  
    %b =p< h'(  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 xnbsg!`;7W  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 @rwU 1T33  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 DjwQ`MA  
    c 0-w6  
     so fu  
    8%ik853`  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 J &{xP8uq_  
    G52Z)^  
    94{)"w]  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Go <'  
    ^.vmF>$+I  
    8a>SC$8"  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 v"RiPHLT  
    ~;unpym'  
    OJ/SYZ.r  
                设计与评估结果            相位功能设计 *Hs*,}MS  
                结构设计TEA评价 CCqT tp  
    FMM评估            高度标度(公差) _faJB@a_  
    2*u.3,aW  
    通用设置 Z^# ]#f  
    +.@c{5J<  
    "K?Q  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 TvQ^DZbe  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 [AR>?6G-  
     AmcC:5  
    纯相位传输设计 .X `C^z]+  
    OOB^gf}$'  
    >SDp uG&>  
    [U.v:tR   
    结构设计 {Q~7M$  
    ~Ltr.ci  
    JE!("]&  
    \.<KA  
    N:x0w+Ca  
            更深的分析 XmWlv{T+  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 } ` T8A  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 v <Hb-~  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 T?npQA07=  
    (}gcY  
    M"U OgS  
    ;6m;M63z  
    使用TEA进行性能评估 6I|A- h  
    #?&0D>E?k  
    3KcaT5(&  
    ;h~er6&   
    使用FMM进行性能评估 1R*=.i%W  
    SDBt @=Nl  
    #w>~u2W  
    )q3"t2-  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 3z[ $4L'.  
    :a3 xvN-l  
    k+1gQru{d  
    @-"R$HOT  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 G!Zyl^  
    S%l:kKD  
    m 22wF>9  
    `ZGcgO<c\  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 n29(!10Px  
    #a,9B-X  
     
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