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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-09-06
    )$1>6C\  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 #UhH  
    1;H"4u_IG&  
    hlDB'8  
    \=7jp|{Yl  
    设计任务 d,?Tq  
    nJGs,~"  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 1]eRragm"  
    7F6 B  
    [`oVMR  
    <e?Eva%t`  
    光栅级次分析模块设置 [61*/=gWe  
                           "TJ*mN.i{}  
    g&85L$   
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 A=5Ebu!z  
    ,oh;(|=  
    8I *N  
    $xbW*w  
    \Dy|}LE  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 b0YEIV<$  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 IhBc/.&RL  
    |oke)w=gn  
    2jC`'8  
    衍射分束器表面 /1v9U|j  
    mHHlm<?]  
    )t"-#$,@  
    "GQ Q8rQ  
        为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Y}v3J(l  
    Hj|&P/jY]*  
    TKv!wKI  
    w $6Z}M1d  
    iGu%_-S  
    n\l?+)S *  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) |[IyqWG9  
    Y55u -9|N  
    P|bow+4  
    QJRnpN/  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Tk4>Jb  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 >*8V]{f9  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 )\=xPfs  
    L;%w{,Ji  
    *k}m?;esb  
     '2*OrY  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 "H).2{3(x  
    wuA?t  
    z'_Fg0kR{  
        光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ur\6~'l4  
    nYj rEy)Q  
    o #e8 Piw  
            使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 32<D9_  
    /oHCV0!0  
    &Y=0 0  
                设计与评估结果            相位功能设计 ERV]N:(  
                结构设计TEA评价 d@$| zr6  
    FMM评估            高度标度(公差) > 0MP[  
    G/<zd)  
    通用设置 #@$80eFq  
    fUkqhqe  
    M}x%'=Pox  
            提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 |(z{)yWbC[  
            通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ],pB:=  
    {fzX2qMZ]  
    纯相位传输设计 + U5Q/g  
    1N8] ~ j  
    5]N0p,f  
    N3|:MMl  
    结构设计 Yt]`>C[|D  
    d#rr7O  
    !H\o Qv-I  
    y9 {7+]  
    /GIGE##1F  
            更深的分析 Qh1pX}X  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 n[iwi   
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 S)WxTE9  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 O8@65URKx  
    t<p#u=jOa  
    DQQ]grU  
    })/P[^  
    使用TEA进行性能评估 @|anu&Hm  
    #c^]p/  
    .[O{,r  
    '^m.vS!/  
    使用FMM进行性能评估 kg7F8($  
    89FAh6uE  
    ,=u;1  
    /grTOf&  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 [`\VgKeu  
    ]<>cjk.ya  
    rv*{[K  
     pux IJ  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 |u>(~6  
    .5 . (S^u  
    2?t@<M]  
    oe|#!SM(  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 V!He2<  
    5~[7|Y  
     
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