||L^yI~_d 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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a!EW[|[Q ~.>8ww 设计任务 yl&s!I j#Qnu0D 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
G8zbb D\Y,2!I
IhN^*P:Fo :uJHFF xg 光栅级次分析模块设置 DheQcM 4jc?9(y% FTr'I82m( 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
FJ{/EloF AhkDLm+
$;&l{=e2) jK".iqx2L (*b<IGi; 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
_K&Hiz/' 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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%LM6=nt 衍射分束器表面 $Dd-2p
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为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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XjdHH.) S 8A5/jqnqt
E%(s=YhW 61b*uoq0w? 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) NMQG[py!f
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XUKlgl!+. =j{tFxJ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
`*elzW 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
A*vuS Qt( 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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rd<43 LuHRB}W 光栅级次和可编程光栅分析仪 }n
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:b*7TJ\grN 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。
q7<d|s F,A+O+ qpMcVJL 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
&AOGg\ =36fS/Gb ya{`gjIlW 设计与评估结果 相位功能设计
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Fe7<y 结构设计TEA评价
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Y|~ FMM评估 高度标度(公差)
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r{ M^Y[Y@U=p 通用设置 wP*3Hx;S >~Xe` }' 2Wu`Dp;&l 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
iC5HrOl6U 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
0j;ZPqEf3 R<Mc+{*> 纯相位传输设计 N$=9R #g0_8>t
;ne`ppz0 Pc =ei 结构设计 |(ab0b #
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!'~L dl tq~4W% p/ z@,(^~C_ 更深的分析
u:lBFVqk •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
6u #eLs •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
%qz-b. •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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U3z23LgA auc:|?H~1n 使用TEA进行性能评估 P8}IDQ9
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K}cA%Y Q-V8=. 使用FMM进行性能评估 G![d_F"e
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3o[(pfcU _hyqHvP 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 z[1uub,)1
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K<:%ofB"S f.uuXK 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ?wPTe^Qtv
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']eN4H&=?} } =)u_q 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 \fEG5/s}T
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