#4hxbRN k?(x}IZdG
j7L uN .Up\ 0|b 由于相位和
结构之间的直接关系,
衍射分束镜通常采用一定的傍轴近似来设计,这些算法也提供了这种近似,反之亦然。在非傍轴或甚至高NA分束器的情况下,这些近似将引入一些不准确性,因此,如果不进行额外严格的后
优化,至少建议进行严格的分析。在这个用例中,使用奇数衍射级对典型的二元1:6分束器执行这样严格的评估。为此,对初始
系统的结构进行了
参数化,并通过可编程
光栅分析器定义了一组自定义的评价函数。对于参数优化和后续的公差分析,使用严格的傅里叶模态法 (FMM)。
poJ7q ( b4TZnO 建模任务 9A|deETa-
z1wJ-l
3FWl_d~uD 0
#*M'C# 衍射分束面初始设计(*) <'s_3AC
TL^af-
BS-nn y %x$1g) 1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里叶变换算法(IFTA)设计工具计算了分束器的初始相位函数。
| %E\?-TK 2. 对于高度轮廓的转换,采用了基于薄元件近似(TEA)的结构设计。
sK1YmB :~a bbGSh|u+P (*)不是这个用例的一部分 (**)这些会话编辑器在衍射
光学工具箱银版中可用。
,&+"|,m .KzGb4U TEA和等距抽样结构的局限性 j_=A)B?
ii0{$}eoh
pwj ? &