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K%\r[NF 内容简介 Mp|Jt Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @NRN#~S,_] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]wU/yc)e 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 oR2?$KF W4^zKnH 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 [8sYE h 目录 h2Nt@ Preface 1 `z(o01y 内容简介 2 3&^hf^yg 目录 i \+R %KA/F 1 引言 1 T(?w}i 2 光学薄膜基础 2 72OqXa* 2.1 一般规则 2 .Q!d[vL 2.2 正交入射规则 3 j9>[^t3U 2.3 斜入射规则 6 Lxp}o7>K 2.4 精确计算 7 MrHJ)x"hy 2.5 相干性 8 :6nD "5( 2.6 参考文献 10 gvuv>A}vJ 3 Essential Macleod的快速预览 10 LVB wWlJ 4 Essential Macleod的特点 32 6T$=(I <4 4.1 容量和局限性 33 =m2_:&@0x 4.2 程序在哪里? 33 (`dz37@* 4.3 数据文件 35 KBB)xez8 4.4 设计规则 35 d*d:-f~q 4.5 材料数据库和资料库 37 ih0a#PB8 4.5.1材料损失 38 =;0-t\w! 4.5.1材料数据库和导入材料 39 940:NOgm 4.5.2 材料库 41 2@ZVEN 4.5.3导出材料数据 43 *0>`XK$mWo 4.6 常用单位 43 /Yy)=~t{ 4.7 插值和外推法 46 'M~`IN` 4.8 材料数据的平滑 50 D5c
8sB 4.9 更多光学常数模型 54 ~6t!)QATnp 4.10 文档的一般编辑规则 55 w UxFE=ia 4.11 撤销和重做 56 ) 1AAL0F\B 4.12 设计文档 57 OK80-/8HI 4.10.1 公式 58 'z8FU~oU 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 NF8<9 4.10.3 沉积密度 59 O.B9w+G= 4.10.4 平行和楔形介质 60 )ovAG O 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 $~b6H]"9 4.10.4 性能 61 gvR]"h 4.10.5 保存设计和性能 64 .gg0rTf=- 4.10.6 默认设计 64 g& e u 4.11 图表 64 }dzdx " 4.11.1 合并曲线图 67 ~Q_7HJ=^$ 4.11.2 自适应绘制 68 _l7_!Il_ 4.11.3 动态绘图 68 >*{k~Y-G 4.11.4 3D绘图 69 'd$RNqe 4.12 导入和导出 73 ~-zIB=TyK 4.12.1 剪贴板 73 W\zZ&*8$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {jO+N+Ez9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (U& 4.13 背景 77 wvq4 P 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 t\ oud{Cv 4.15 生成Rugate 84 Z|E9}Il] 4.16 参考文献 91 v>wN
O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,kJ7c;:i 5.1 Jobs 92 !4a fU: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 %N-aLw\ 5.3 输入材料 94 &qS%~h%2 5.4 设计数据文件夹 95 CO`)XB6W 5.5 默认设计 95 i1uoYb?4(I 6 细化和合成 97 u"qVT9C$= 6.1 优化介绍 97 J|
N 6r 6.2 细化 (Refinement) 98 V,rc&97 6.3 合成 (Synthesis) 100 S#M8}+ZD, 6.4 目标和评价函数 101 QZ&(e2z 6.4.1 目标输入 102 Fy{yg]O" 6.4.2 目标 103 vIJ5iLF 6.4.3 特殊的评价函数 104 !*:g??[T 6.5 层锁定和连接 104 qhY+<S9 6.6 细化技术 104 j_2g*lQ7a 6.6.1 单纯形 105 X\Bl?
F
6.6.1.1 单纯形参数 106 .JLJ(WM 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 \eKXsO"d 6.6.2.1 Optimac参数 108 gw"cXny 6.6.3 模拟退火算法 109 OY{fxBb 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nz?[ 6.6.4 共轭梯度 111 ,RR{Y- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 /iO"4%v 6.6.5 拟牛顿法 112 "BSY1?k{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Y|LL]@Lv 6.6.6 针合成 113 X "7CN Td 6.6.6.1 针合成参数 114 7_ix&oVI 6.6.7 差分进化 114 P6GTgQ<'BA 6.6.8非局部细化 115 "j_iq"J 6.6.8.1非局部细化参数 115 w317]-n 6.7 我应该使用哪种技术? 116
!tTv$L> 6.7.1 细化 116 &tZIWV1& 6.7.2 合成 117 &Gh,ROo4 6.8 参考文献 117 mvjx
&+q 7 导纳图及其他工具 118 *:H,-@ 7.1 简介 118 ;9j ]P56 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 0;TiNrzg 7.2.1 四分之一波长规则 119 eWDXV-xD 7.2.2 导纳图 120 anW['!T9{s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 J-<P~9m~I 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +zMhA p 7.5 斜入射导纳图 141 8~O#@hB~3 7.6 对称周期 141 clU ?bF~e1 7.7 参考文献 142 f)_<Ih\/7_ 8 典型的镀膜实例 143 xH2'PEjFM 8.1 单层抗反射薄膜 145 6c]4(%8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 =Oy& f:s 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 n3$=& 8.4 W-膜层 148 F\N0<o 8.5 V-膜层 149 t/t6o& 8.6 V-膜层高折射基底 150 (X@\2M4@T# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 T@ESMPeU:X 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %EU_OS(u.{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 >!1]G"U 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^rfR<Q` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ~:JAWs$\V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 -E\G3/*51 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *N$XQ{o 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 YA@?L!F 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Xi"9y @ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 i{EQjZ 8.17 1/4波长堆栈 162 E?+~S M1~ 8.18 陷波滤波器 163 6kp)'wz` 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 YMu#<ZG 8.20 褶皱 165 _:\rB 8.21 消偏振分光器1 169 |5(un# 8.22 消偏振分光器2 171 UhW{KIW 8.23 消偏振立体分光器 172 E&J<qTH9 8.24 消偏振截止滤光片 173 K7C
<}y 8.25 立体偏振分束器1 174 SHYekX 8.26 立方偏振分束器2 177 g"sb0d9 8.27 相位延迟器 178 #tZ!D^GQHq 8.28 红外截止器 179 9QP= 8.29 21层长波带通滤波器 180 4e>f}u5 8.30 49层长波带通滤波器 181 BywEoS 8.31 55层短波带通滤波器 182 vfqXHc
unj 8.32 47 红外截止器 183 /{buFX2"} 8.33 宽带通滤波器 184 2#$7!`6K 8.34 诱导透射滤波器 186 !KXcg9e 8.35 诱导透射滤波器2 188 BsXF'x<U* 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {G=> WAXo 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N_:!uR 8.35 增益平坦滤波器 193 ;s,1/ kA 8.38 啁啾反射镜 1 196 $xW9)) 8.39 啁啾反射镜2 198 EUt2S_2P 8.40 啁啾反射镜3 199 w@2NXcmw 8.41 带保护层的铝膜层 200 NUnwf
h 8.42 增加铝反射率膜 201 #(qvhoi7lM 8.43 参考文献 202 DOtz 9 多层膜 204 ;PMPXN'z6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 8ZV!ld 9.2 内部透过率 204 G?F!Z"S 9.3 内部透射率数据 205 ksU& q%1 9.4 实例 206 U!+O+( 9.5 实例2 210 y+B iaD!U 9.6 圆锥和带宽计算 212 Z .`+IN(>E 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [i~@X2:Al 10 光学薄膜的颜色 216 ~Fvz&dO 10.1 导言 216 Kc]
GE#~g 10.2 色彩 216 =^M Q 4 10.3 主波长和纯度 220 %}b 10.4 色相和纯度 221 xM)P=y_!M+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Wx/PD=Sf& 10.6 色差 226 lz0dt<8eP 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 W{JR%Sq$ 10.8 颜色渲染指数 234 /tkV/ 10.9 色差计算 235 ]p(es,[ 10.10 参考文献 236 qtVgjT2#H 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 &gV9h>Kc# 11.1 短脉冲 238 [EPRBK`= 11.2 群速度 239 }:?_/$}; 11.3 群速度色散 241 O:V.;q2]U 11.4 啁啾(chirped) 245 HRahBTd(z 11.5 光学薄膜—相变 245 f~?5;f:E 11.6 群延迟和延迟色散 246 $!'Vn)Z7 11.7 色度色散 246 A5fzyG 11.8 色散补偿 249 } 5"Rj< 11.9 空间光线偏移 256 #m7evb5eg* 11.10 参考文献 258 N["M "s(N 12 公差与误差 260 j5hQ;~Fa| 12.1 蒙特卡罗模型 260 ,UVd+rY} 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !x-9A 12.2.1 误差工具 267 P5XUzLV
L 12.2.2 灵敏度工具 271 vEt=enQ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 `aMnTF5: 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yYJ +vs 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 R,!aX"]| 12.3 参考文献 276 A@.ruG$ 13 Runsheet 与Simulator 277 2sBYy 8.r 13.1 原理介绍 277 >0N$R|B& 13.2 截止滤光片设计 277 vO zUAi 14 光学常数提取 289 ODCN~7-@ 14.1 介绍 289 NCkrf]*F- 14.2 电介质薄膜 289 nm|"9|/
14.3 n 和k 的提取工具 295 :d<F7`k
H 14.4 基底的参数提取 302 >4lA+1JYk 14.5 金属的参数提取 306 ,mp^t2 14.6 不正确的模型 306 <ihJp^kgQ 14.7 参考文献 311 ^7kYG7/ 15 反演工程 313 's8LrO(= 15.1 随机性和系统性 313 k~Y_%#_
15.2 常见的系统性问题 314 pkIJbI{aS 15.3 单层膜 314 noWwX 15.4 多层膜 314 O,&p"K&Z 15.5 含义 319 BYI13jMH+Y 15.6 反演工程实例 319 "8[Vb#=*e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 gepYV} 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .GDY
J9vi 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 vf<Tq 16.1 光学性质的热致偏移 329 x5yZ+`Gc 16.2 应力工具 335 hG/Z65`& 16.3 均匀性误差 339 fJ-8$w\uL 16.3.1 圆锥工具 339 FbPoyh 16.3.2 波前问题 341 P-N+ 16.4 参考文献 343 oH
[-fF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 W<H^V"^ 17.1 引言 345 V,3$>4x 17.2 操作数 345 X 2('@Yh 18 如何在Function中编写脚本 351 wdgC{WGl 18.1 简介 351 nR?m,J 18.2 什么是脚本? 351 yc$8X sns 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 KMkX0+Ao 18.4 基础 352 75H5{#) 18.4.1 Classes(类别) 352 :B_ itl0{e 18.4.2 对象 352 x6~`{N1N
M 18.4.3 信息(Messages) 352 Dmk~t="Y 18.4.4 属性 352 X@7e7 18.4.5 方法 353 /I'
np 18.4.6 变量声明 353 +(2mHS0_a 18.5 创建对象 354 N5GQ2V 18.5.1 创建对象函数 355 T$xY]hqr 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !eB&3J 18.5.3 丢弃对象 356
^pZ\: 18.5.4 总结 356 W-U[7n 18.6 脚本中的表格 357 @y\M8C8 18.6.1 方法1 357 !TuMrA* 18.6.2 方法2 357 I'RhA\` 18.7 2D Plots in Scripts 358 yu62$d 18.8 3D Plots in Scripts 359 WAbt8{$D 18.9 注释 360 ?IV3"\5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 O!\\m0\e 18.11 一个更高级的脚本 362 K1Wiiw 18.12 <esc>键 364 1=%\4\ 18.13 包含文件 365 HveOG$pT 18.14 脚本被优化调用 366 DW~< 8 18.15 脚本中的对话框 368 T#sKld 18.15.1 介绍 368 i;B)@op.# 18.15.2 消息框-MsgBox 368 H@,(
18.15.3 输入框函数 370 cw{[% 7 18.15.4 自定义对话框 371 j"8|U
E 18.15.5 对话框编辑器 371 ^cF_z}Zi+ 18.15.6 控制对话框 377 :Keek-E`e= 18.15.7 更高级的对话框 380 "8Y4;lbN.q 18.16 Types语句 384 U_c.Z{lC4 18.17 打开文件 385 g"sW_y_O 18.18 Bags 387 W.u}Q@ 18.13 进一步研究 388 hK&/A+* 19 vStack 389 J Covk1 19.1 vStack基本原理 389 }@:vq8%Q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @dCoh-Q3 19.3 五棱镜 393 pTlNJ!U> 19.4 光束距离 396 [MKL>\U 19.5 误差 399 $fA%_T_P'P 19.6 二向分色棱镜 399 <M|kOi 19.7 偏振泄漏 404 @9^ozgg 19.8 波前误差—相位 405 H)5v X+9D 19.9 其它计算参数 405 a:tCdnK/ 20 报表生成器 406 lclSzC9 20.1 入门 406 R1X{=ct 20.2 指令(Instructions) 406 Yvu!Q 20.3 页面布局指令 406 U_HOfix 20.4 常见的参数图和三维图 407 P'6eK? 20.5 表格中的常见参数 408 -&*
4~ 20.6 迭代指令 408 7"`%-a$7 20.7 报表模版 408 -%lA=pS{Fq 20.8 开始设计一个报表模版 409 UmSy p\i 21 一个新的project 413
wBUn*L 21.1 创建一个新Job 414 c_li.]P 21.2 默认设计 415 lXS.,#lp 21.3 薄膜设计 416 ch}t++`l] 21.4 误差的灵敏度计算 420 gSP]& _9j 21.5 显色指数计算 422 Ph'P<h:V 21.6 电场分布 424 Vs)Pg\B? 后记 426 {re<S<j& 更多详情,可以扫码加微! tN=B9bm3j
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