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t&-c?&FO\; 内容简介 X^C $|: Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 &{8[I3#@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *7qa]i^] 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0Qg%48u JEfhr 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 %5;kNeD\Fq 目录 9lX[rBZ Preface 1 qJ$S3B 内容简介 2 akQb%Wq 目录 i BbI),iP 1 引言 1 Y5TBWcGU% 2 光学薄膜基础 2 w$749jGx 2.1 一般规则 2 Y3xEFqMU 2.2 正交入射规则 3 V{{UsEVO 2.3 斜入射规则 6 z]sQ3"cmX 2.4 精确计算 7 QzYaxNGv 2.5 相干性 8 ve4QS P 2.6 参考文献 10 UHDcheeRD 3 Essential Macleod的快速预览 10 '=IuwCB|; 4 Essential Macleod的特点 32 efh 1-3f 4.1 容量和局限性 33 obw:@i# 4.2 程序在哪里? 33 V.[b${ 4.3 数据文件 35 C|rl",& 4.4 设计规则 35 qt%/0 4.5 材料数据库和资料库 37 K=2j}IPe 4.5.1材料损失 38 & aF'IJC 4.5.1材料数据库和导入材料 39 1'5!")r 4.5.2 材料库 41 Z8pZm`g)T 4.5.3导出材料数据 43 ,=P0rbtK 4.6 常用单位 43 cr{dl\Na 4.7 插值和外推法 46 tI2p-d9B 4.8 材料数据的平滑 50 @T-}\AU 4.9 更多光学常数模型 54 !" : arK 4.10 文档的一般编辑规则 55 +Jc-9Ko\c; 4.11 撤销和重做 56 t*Wxvoxk 4.12 设计文档 57 ,-BZsZ0~ 4.10.1 公式 58 a[gN+DX%L 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 OL[_2m*;9p 4.10.3 沉积密度 59 1 z[blNs& 4.10.4 平行和楔形介质 60 >2)!w 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 I3?:KVa 4.10.4 性能 61 sQT,@'" 4.10.5 保存设计和性能 64 3*b!]^d:D 4.10.6 默认设计 64 < YuI}d~' 4.11 图表 64 !Jo.Un7 4.11.1 合并曲线图 67 UmQ'=@^kR 4.11.2 自适应绘制 68 wT\dzp>/ 4.11.3 动态绘图 68 yDw^xGws 4.11.4 3D绘图 69 L G9#D 4.12 导入和导出 73 II_MY#0X 4.12.1 剪贴板 73 Xgm9>/y 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 o6;VrpaNi 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &nZ.$UK< 4.13 背景 77 )^'wcBod, 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 z9KsSlS ^ 4.15 生成Rugate 84 0 .p $q 4.16 参考文献 91 iAWoKW 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 FkT% -I 5.1 Jobs 92 -OP5v8c
f 5.2 创建一个新Job(工作) 93 +<I1@C 5.3 输入材料 94 Py,@or7n 5.4 设计数据文件夹 95 d_Vwjv&@/" 5.5 默认设计 95 8%#uZG\} 6 细化和合成 97 UJF
}Ye 6.1 优化介绍 97 ;
bDFrG 6.2 细化 (Refinement) 98 1')/ BM2 6.3 合成 (Synthesis) 100 XC{(O:EG 6.4 目标和评价函数 101 H\!u5o&}` 6.4.1 目标输入 102 dUJNr_ 6.4.2 目标 103 -/&6}lD 6.4.3 特殊的评价函数 104 j|WaWnl= 6.5 层锁定和连接 104 Bj7\{x,? 6.6 细化技术 104 >Y< y]vM: 6.6.1 单纯形 105 2=NYBOE 6.6.1.1 单纯形参数 106 I@q>ES!1H 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Qi7^z; 6.6.2.1 Optimac参数 108 (jYs_8; 6.6.3 模拟退火算法 109 9Au+mIN 6.6.3.1 模拟退火参数 109 73(T+6` 6.6.4 共轭梯度 111 et ]*5Y6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 YKvFZH) 6.6.5 拟牛顿法 112 _?_Svx2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7\U1K^q 6.6.6 针合成 113 (A&@
< 6.6.6.1 针合成参数 114 x{*!"a> 6.6.7 差分进化 114 0QIocha 6.6.8非局部细化 115 .^.UJo;4G 6.6.8.1非局部细化参数 115 T[q-$8U 6.7 我应该使用哪种技术? 116 @4B2O"z` 6.7.1 细化 116 {Q(6
.0R 6.7.2 合成 117 a\m10Ih: 6.8 参考文献 117 gkk <-j' 7 导纳图及其他工具 118 /9w}[y*E 7.1 简介 118 W@$p'IBwm 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6l
vx 7.2.1 四分之一波长规则 119 p
go\(K0 7.2.2 导纳图 120 q%:Jmi> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 |PJW2PN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )Y&De)= 7.5 斜入射导纳图 141 sqZHk+<% 7.6 对称周期 141 *u{.K:.I 7.7 参考文献 142 JN KZ'9 8 典型的镀膜实例 143 LMG\jc?, 8.1 单层抗反射薄膜 145 \]OD pi
2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8:xQPd?3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |b3/63Ri-0 8.4 W-膜层 148 }C&c=3V 8.5 V-膜层 149 5PL,~Y 8.6 V-膜层高折射基底 150 B=c^ma 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ^&rbI,D 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 }\*Sf[EMD 8.9 四层抗反射薄膜 153 E0DEFB 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Y)
t}%62 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (P>vI' 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8c|IGC 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }b^lg&$( 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [1UqMkXtf 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >SGSn/AJi 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 GQZUC\cB 8.17 1/4波长堆栈 162 u ?Xku8 1l 8.18 陷波滤波器 163 x/S% NySG 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5#F+-9r 8.20 褶皱 165 Q8~pIv 8.21 消偏振分光器1 169 4#YklVm 8.22 消偏振分光器2 171 5k(#kyP 8.23 消偏振立体分光器 172 t3XMQ'] 8.24 消偏振截止滤光片 173 &sRJ'oc 8.25 立体偏振分束器1 174 l&A` 8.26 立方偏振分束器2 177 mHMej@ 8.27 相位延迟器 178 '} kq@ 8.28 红外截止器 179 3U`.:w` 8.29 21层长波带通滤波器 180 rh
l5r"% 8.30 49层长波带通滤波器 181 IyuT=A~Ki 8.31 55层短波带通滤波器 182 Q}T9NzOH% 8.32 47 红外截止器 183 (~GFd7 8.33 宽带通滤波器 184 C(P$,;6 8.34 诱导透射滤波器 186 D?'y)]( 8.35 诱导透射滤波器2 188 NE4fQi?3 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %dU}GYL_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 p{J_d,JH 8.35 增益平坦滤波器 193 ZD{srEa/a 8.38 啁啾反射镜 1 196 !T{g& f 8.39 啁啾反射镜2 198 v8IL[g6" 8.40 啁啾反射镜3 199 }a1UOScO0 8.41 带保护层的铝膜层 200 RVsN r
rZ 8.42 增加铝反射率膜 201 HKkf+)%)x 8.43 参考文献 202 @ih}x 9 多层膜 204 -CrZ'k;4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 }sU\6~ 9.2 内部透过率 204 z&0V21"l 9.3 内部透射率数据 205 j5O*H_D 9.4 实例 206 Jq#Cn+zW 9.5 实例2 210 {\&"I|dpe 9.6 圆锥和带宽计算 212 gsp7N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 NHF?73: 10 光学薄膜的颜色 216 ,lJ6"J\8. 10.1 导言 216 ^IpiNY/%Q 10.2 色彩 216 9F](%/ 10.3 主波长和纯度 220 k
I~]u 10.4 色相和纯度 221 kk'w@Sn.( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >nDnb4 'C 10.6 色差 226 t>2^!vl 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3>" h*U# 10.8 颜色渲染指数 234 @;}H<&" 10.9 色差计算 235 wjJ1Psnx 10.10 参考文献 236 ,9qB}HG 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 0?xiG SZV 11.1 短脉冲 238 @RIEO%S 11.2 群速度 239 YMTA`T(+ 11.3 群速度色散 241 NR&9:? 11.4 啁啾(chirped) 245 =.hDf<U 11.5 光学薄膜—相变 245 ELF`uWGE 11.6 群延迟和延迟色散 246 ek)(pJ(+# 11.7 色度色散 246 B?yt%f1 11.8 色散补偿 249
77d`N 11.9 空间光线偏移 256 P{!:pxu[ 11.10 参考文献 258 ;x^,t@ xge 12 公差与误差 260 \q|PHl 12.1 蒙特卡罗模型 260 it@} dZ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 >}{-! 12.2.1 误差工具 267 }>~>5jc/Pg 12.2.2 灵敏度工具 271 5]l7Z35 12.2.2.1 独立灵敏度 271 O + &
xb 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J*!:ar 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 FT>~ES]cQd 12.3 参考文献 276 7$W;4!BN* 13 Runsheet 与Simulator 277 d$rUxqB. 13.1 原理介绍 277 q{/Jw"e 13.2 截止滤光片设计 277 s@LNQ|'kO 14 光学常数提取 289 /2Lo{v=0[ 14.1 介绍 289 :V~*vLvR 14.2 电介质薄膜 289 ,l .U^d6> 14.3 n 和k 的提取工具 295
t} i97 ; 14.4 基底的参数提取 302 {IHK<aW 14.5 金属的参数提取 306 lp-Zx[#`}C 14.6 不正确的模型 306 oz6+rM6MY 14.7 参考文献 311 F ssEs!# 15 反演工程 313 Ygi1"X} 15.1 随机性和系统性 313 RIEv*2_O 15.2 常见的系统性问题 314 .l=*R7~EU 15.3 单层膜 314 u?;Vxh3@| 15.4 多层膜 314 zWs*kTtA 15.5 含义 319 Rgfhs[Z 15.6 反演工程实例 319 s.^9HuM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 QlYs7zZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 p_qm}zp
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 K6{bYho 16.1 光学性质的热致偏移 329 pJIE@Q|hi 16.2 应力工具 335 Vt=(2d5:p 16.3 均匀性误差 339 +^ DRto= 16.3.1 圆锥工具 339 )_^WpyzF1 16.3.2 波前问题 341 ~]W[ {3 ; 16.4 参考文献 343 `XSc > 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (:-Jl"&R@ 17.1 引言 345 aXbNDj
][ 17.2 操作数 345 :~3{oZGX& 18 如何在Function中编写脚本 351 )d(0Y<e@ 18.1 简介 351 0\Yx.\X, 18.2 什么是脚本? 351 |1+(Ny.%k 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 s"',370 18.4 基础 352 +'['HQ) 18.4.1 Classes(类别) 352 +#qt^NO 18.4.2 对象 352 sh(kRrdY3 18.4.3 信息(Messages) 352 }u-S j/K 18.4.4 属性 352 MkW1FjdP 18.4.5 方法 353 5`"*y iv 18.4.6 变量声明 353 4l
ZJb 18.5 创建对象 354 {LT4u]# 18.5.1 创建对象函数 355 0^}'+t,lc 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Ue3B+k9w 18.5.3 丢弃对象 356 Vv]$\`d# 18.5.4 总结 356 |Sr\jUIWn 18.6 脚本中的表格 357 2rO)qjiH 18.6.1 方法1 357 7mn,{2 18.6.2 方法2 357 6I&j
cHH 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;Lsjh# 18.8 3D Plots in Scripts 359 x\`RW3 K 18.9 注释 360 n4WSV 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 w.D4dv_H 18.11 一个更高级的脚本 362 0ck&kpL:9 18.12 <esc>键 364 L8:]`MQ0 18.13 包含文件 365 <+\k&W&Y|y 18.14 脚本被优化调用 366 pfL2v,]g 18.15 脚本中的对话框 368 ~Un64M? 18.15.1 介绍 368 u%=bHg 18.15.2 消息框-MsgBox 368 EvqUNnjR 18.15.3 输入框函数 370 ]HyHz9QkL 18.15.4 自定义对话框 371 @TA8^ND 18.15.5 对话框编辑器 371 ..jq[(;N 18.15.6 控制对话框 377 }O.LPQ0 18.15.7 更高级的对话框 380 K5!";V 18.16 Types语句 384 ]{|fYt_- 18.17 打开文件 385 BH&/2tO% 18.18 Bags 387 &@4.;u 18.13 进一步研究 388 V;iL[ 19 vStack 389 B:O+*3j 19.1 vStack基本原理 389 66~e~F}z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 !K3i-zY 19.3 五棱镜 393 NV8]#b 19.4 光束距离 396 FgOUe 19.5 误差 399 068WlF cWV 19.6 二向分色棱镜 399 N 8:"&WM 19.7 偏振泄漏 404 *|];f#^9 19.8 波前误差—相位 405 X)Dqeb6 19.9 其它计算参数 405 v9E+(4I9_ 20 报表生成器 406 k40Ep(M} 20.1 入门 406 BgJkrv7~ 20.2 指令(Instructions) 406 MV0<^/p| 20.3 页面布局指令 406 z}>4,d 20.4 常见的参数图和三维图 407 e1%rVQ(v 20.5 表格中的常见参数 408 ;JOD!| 20.6 迭代指令 408 t/JOERw 20.7 报表模版 408 fDU+3b 20.8 开始设计一个报表模版 409 F~z_>1lpP& 21 一个新的project 413 UvPp~N7, 21.1 创建一个新Job 414 fd?bU|I_2 21.2 默认设计 415 DH\wDQ 21.3 薄膜设计 416 W
*YW6 21.4 误差的灵敏度计算 420 5R,la\!bQ 21.5 显色指数计算 422 f\h%; X 21.6 电场分布 424 E x_L!9>! 后记 426 C!!mOAhJ 更多详情,可以扫码加微! D3%l4.h
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