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?QzN\fY; 内容简介 opCQ=G1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ralU9MN. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 q -^Z=,< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 J-Fqw-<aFJ n\YWWW[wf 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 xCm`g{ 目录 uC1v^!D Preface 1 e#4 iue7U 内容简介 2 `Y7&}/OM 目录 i 1;+(HB 1 引言 1 {>#4{D00 2 光学薄膜基础 2 ;[-y>qU0 2.1 一般规则 2 jyjK~!0 2.2 正交入射规则 3 !q*]_1 2.3 斜入射规则 6 PPNZ(j 2.4 精确计算 7 /?:]f 2.5 相干性 8 1
BVpv7@ 2.6 参考文献 10 lb #`f,r> 3 Essential Macleod的快速预览 10 5LxzET"P 4 Essential Macleod的特点 32 %MN>b[z
4.1 容量和局限性 33 bC]GL$ph9* 4.2 程序在哪里? 33 %5?0+~ 4.3 数据文件 35 zMN4cBL9m 4.4 设计规则 35 26c1Yl,DMn 4.5 材料数据库和资料库 37 `
_]tN 4.5.1材料损失 38 3)qtz_,H/g 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {\-IAuM 4.5.2 材料库 41 %g%#=a;]q 4.5.3导出材料数据 43 Yy8%vDdJO 4.6 常用单位 43 A*hc
w 4.7 插值和外推法 46 {2%@I~US 4.8 材料数据的平滑 50 LgS.%Mn 4.9 更多光学常数模型 54 "@E(}z'sM 4.10 文档的一般编辑规则 55 YPsuG -is 4.11 撤销和重做 56 9#niMv9 4.12 设计文档 57 Y<-dd"\ 4.10.1 公式 58 1:lhZFZ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qn R{'d 4.10.3 沉积密度 59 _&6&sp<n 4.10.4 平行和楔形介质 60 !/MHD 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 vc(6lN9> 4.10.4 性能 61 Z"G@I= Q( 4.10.5 保存设计和性能 64 fmj-&6 4.10.6 默认设计 64 ~4+=C\r 4.11 图表 64 #N"K4@]{ 4.11.1 合并曲线图 67 mEe JK3D[ 4.11.2 自适应绘制 68 ? k*s!YCZ 4.11.3 动态绘图 68 ``mW\=fe 4.11.4 3D绘图 69 G@igxnm} 4.12 导入和导出 73 skP2IMa75 4.12.1 剪贴板 73 O486:tF 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mam2]St" 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -kd_gbnr3 4.13 背景 77 `$D2w| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 pV^hZ. 4.15 生成Rugate 84 r$~
f[cA 4.16 参考文献 91 v-@xO&< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,-*oc> 5.1 Jobs 92 rTjV/~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 G.a^nQ@e% 5.3 输入材料 94 )/F1,&/N`e 5.4 设计数据文件夹 95 niV= Ijt{5 5.5 默认设计 95 7:t
*&$ 6 细化和合成 97 (s`yMUC+ 6.1 优化介绍 97 PO[
AP%; 6.2 细化 (Refinement) 98 %maLo RJ 6.3 合成 (Synthesis) 100 RWi~34r 6.4 目标和评价函数 101 438+zU 6.4.1 目标输入 102 Yg6 f 6.4.2 目标 103 =@>[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 qE` 6.5 层锁定和连接 104 )Aky:kM$ 6.6 细化技术 104 xA9{o+ 6.6.1 单纯形 105 s:y=X$&M 6.6.1.1 单纯形参数 106 :8bz+3p 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .^S#h
(A 6.6.2.1 Optimac参数 108 RvF6bIqo 6.6.3 模拟退火算法 109 ^ cn)eA 6.6.3.1 模拟退火参数 109 <tbsQ3 6.6.4 共轭梯度 111 F? kW{,* 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b_]14 v 6.6.5 拟牛顿法 112 X|F([,o 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 MhZT<6 6.6.6 针合成 113 Yl+r>+^ 6.6.6.1 针合成参数 114 =kUN ^hb 6.6.7 差分进化 114 t YmR<^ 6.6.8非局部细化 115 1wl8
6.6.8.1非局部细化参数 115 Cu0N/hBT 6.7 我应该使用哪种技术? 116 $!<J_d* 6.7.1 细化 116 SPxgIP;IR 6.7.2 合成 117 6t|FuTC 6.8 参考文献 117 ZgL4$% 7 导纳图及其他工具 118 [*O#6Xu 7.1 简介 118 40}8EP k) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 shwKB 5 7.2.1 四分之一波长规则 119 HKk;oG 7.2.2 导纳图 120 HPGi5rU 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 n;0bVVMV 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )IGE2k| 7.5 斜入射导纳图 141 9i8D_[ 7.6 对称周期 141 `n]y"rj' 7.7 参考文献 142 SR#X\AWM 8 典型的镀膜实例 143 >`a)gky%~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 _W4i?Bde 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8]Xwj].^C 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 O1Gd_wDC/i 8.4 W-膜层 148 w<<G}4~u| 8.5 V-膜层 149 ~\c]!%)o 8.6 V-膜层高折射基底 150 QW.VAF\6* 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 'Lft\.C 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 AfG!(AF` 8.9 四层抗反射薄膜 153 |*0oz= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 `Njv#K} U 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1o7
pMp= 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 AAkdwo 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 W;coi4
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 hSc$Sa8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _gK@),de 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 BlS0I%SN 8.17 1/4波长堆栈 162 m&DDz+g 8.18 陷波滤波器 163 Pq~"`-h7: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <L@0w8i` 8.20 褶皱 165 >A|6kzC 8.21 消偏振分光器1 169 8@|_];9#. 8.22 消偏振分光器2 171 . \*Z: 8.23 消偏振立体分光器 172 .!Kdi| a) 8.24 消偏振截止滤光片 173 KL!k'4JNY 8.25 立体偏振分束器1 174 ^9o;=!D!9 8.26 立方偏振分束器2 177 \Nu(+G?e 8.27 相位延迟器 178 MI|DOp 8.28 红外截止器 179 lDNB0Ad 8.29 21层长波带通滤波器 180 *plsZ*Q8 8.30 49层长波带通滤波器 181 '8~7Ru\KyX 8.31 55层短波带通滤波器 182 G8@({EY 8.32 47 红外截止器 183 ~zFs/(k 8.33 宽带通滤波器 184 B&#TbKp 8.34 诱导透射滤波器 186 ?'p`Qv 8.35 诱导透射滤波器2 188 OC9_EP\" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 M ]W'>g)G 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 59O;`y0 8.35 增益平坦滤波器 193 q[Hxy 8.38 啁啾反射镜 1 196 8zGe5Dn9 8.39 啁啾反射镜2 198 ZVJbpn<lo) 8.40 啁啾反射镜3 199 "?V4Tl~uu 8.41 带保护层的铝膜层 200 B5u06O 8.42 增加铝反射率膜 201 {IJV(%E 8.43 参考文献 202 7rc^-!k 9 多层膜 204 I@a7AuOw 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 f3s0.G#l 9.2 内部透过率 204 |cJyP9}n 9.3 内部透射率数据 205 C<2vuZD 9.4 实例 206 H=z@!rJc. 9.5 实例2 210 ~Rk%M$E9 9.6 圆锥和带宽计算 212 a_m P$4T 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 F'W{\4 10 光学薄膜的颜色 216
9k ]$MR 10.1 导言 216 D,d mlv 10.2 色彩 216 4hg]/X"H# 10.3 主波长和纯度 220 ;_M .(8L 10.4 色相和纯度 221 3k5OYUk 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {*As-Y:'F 10.6 色差 226 Vp\BNq_!s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Ec[=~>;n{l 10.8 颜色渲染指数 234 \y{Bnp5h 10.9 色差计算 235 x
SF#ys4v 10.10 参考文献 236 C
7YZ;{t 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *f$mSI= 11.1 短脉冲 238 =-~82% 11.2 群速度 239 x:O?Fj 11.3 群速度色散 241 rAwq$!x x 11.4 啁啾(chirped) 245 \f1r/e(G| 11.5 光学薄膜—相变 245 @$gvV]dA 11.6 群延迟和延迟色散 246 *Eu
ca~%= 11.7 色度色散 246 bQow,vf 11.8 色散补偿 249 |!i3Y=X 11.9 空间光线偏移 256 j./3 ) 11.10 参考文献 258 GptJQ=pV 12 公差与误差 260 #QQ\xj 12.1 蒙特卡罗模型 260 BHOxwW{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yJc<;Qx 12.2.1 误差工具 267 uO>$,s 12.2.2 灵敏度工具 271 4\x'$G 12.2.2.1 独立灵敏度 271 .6+j&{WNo! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 R8F[
7&( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]T}G - 12.3 参考文献 276 W`^'hka 13 Runsheet 与Simulator 277 <33[qt~ 13.1 原理介绍 277 cBBc^SR 13.2 截止滤光片设计 277 PQ<""_S|| 14 光学常数提取 289 49^;T;'v 14.1 介绍 289 BJ<hP9# 14.2 电介质薄膜 289 rXuhd [!(P 14.3 n 和k 的提取工具 295 JGX E{FT 14.4 基底的参数提取 302 2PE|4zG 14.5 金属的参数提取 306 Yvs)H'n= 14.6 不正确的模型 306 ~t n*y4uK 14.7 参考文献 311 }RYr) 15 反演工程 313 t@QaxZIlt; 15.1 随机性和系统性 313 T|Sz~nO}f 15.2 常见的系统性问题 314 b/5?)!I 15.3 单层膜 314 Ovv~ymj 15.4 多层膜 314 e3"GC_*# 15.5 含义 319 1T!b#x4 15.6 反演工程实例 319 Jm0P~E[n 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $Lv,e\] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 eZIqyw 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 fAm^-uq[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 AIR,XlD 16.2 应力工具 335 O;9u1,%w 16.3 均匀性误差 339 I!dA{INN 16.3.1 圆锥工具 339 G)]'>m<y
16.3.2 波前问题 341 b4ZZyw 16.4 参考文献 343 A&jkc ' 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 cKdn3 2Y4 17.1 引言 345 0z #'=XWk 17.2 操作数 345 >A|(mc 18 如何在Function中编写脚本 351 IP7j)SM! 18.1 简介 351 ynvU$}w ~' 18.2 什么是脚本? 351 !qS~YA 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 z6]dF"N 18.4 基础 352 >0DQ<@ot: 18.4.1 Classes(类别) 352 J:Ea|tXK^ 18.4.2 对象 352 0f&B;?)! 18.4.3 信息(Messages) 352 D+P( 18.4.4 属性 352 Ci4`, 18.4.5 方法 353 M(KsLu1
18.4.6 变量声明 353 @)1>ba 18.5 创建对象 354 7n9&@D3:P 18.5.1 创建对象函数 355 f_Ma~'3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 :JH#*5%gQ: 18.5.3 丢弃对象 356 y^zII5|s 18.5.4 总结 356 <k!M+}a 9V 18.6 脚本中的表格 357 'i;1n 18.6.1 方法1 357 1"YN{Ut;G 18.6.2 方法2 357 X]8(_[Y
18.7 2D Plots in Scripts 358 JFH3)Q 18.8 3D Plots in Scripts 359 FeoI+KA 18.9 注释 360 r&oR|-2hRk 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 3O7]~5 j1 18.11 一个更高级的脚本 362 x? tC2L 18.12 <esc>键 364 _8A 18.13 包含文件 365 !iA3\Ai" 18.14 脚本被优化调用 366 Z<L}ur 18.15 脚本中的对话框 368 ^MIF+/bQ 18.15.1 介绍 368 S"'0lS
18.15.2 消息框-MsgBox 368 qmqWMLfC 18.15.3 输入框函数 370 rV84?75(Y 18.15.4 自定义对话框 371 )12.W=p 18.15.5 对话框编辑器 371 q;Tdqv!Ju 18.15.6 控制对话框 377 "5
;fuM1 18.15.7 更高级的对话框 380 3}dTbr4y 18.16 Types语句 384 J{;XNf = 18.17 打开文件 385 LvtHWt 18.18 Bags 387 .a2b&}/.d 18.13 进一步研究 388 ?C)a0>L 19 vStack 389 SW5V:|/ 19.1 vStack基本原理 389 Gu+9R> 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 %]7'2 19.3 五棱镜 393 01=nS? 19.4 光束距离 396 7irpD7P>
19.5 误差 399 >*s_)IH2 19.6 二向分色棱镜 399 k%uR!cL 19.7 偏振泄漏 404 ,1/O2aQ%\0 19.8 波前误差—相位 405 '&hz*yk 19.9 其它计算参数 405 S&/,+x'c| 20 报表生成器 406 !C\$=\$ 20.1 入门 406 fwQVx Je 20.2 指令(Instructions) 406 A,67)li3 20.3 页面布局指令 406 9gq+,g>E_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 2[|52+zhc 20.5 表格中的常见参数 408 `#HtVI 20.6 迭代指令 408 V=^B7a.;> 20.7 报表模版 408 F!7dGa$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 /2^"c+/'p 21 一个新的project 413 !LI6_Oq 21.1 创建一个新Job 414 r$[`A_ 21.2 默认设计 415 fi%)520 21.3 薄膜设计 416 n(I,pF 21.4 误差的灵敏度计算 420 P5Lb)9_Jw 21.5 显色指数计算 422 M~%P1@% 21.6 电场分布 424 _%g L 后记 426 r{>Q{$Q 更多详情,可以扫码加微! 5aj%<r
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