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x${C[gxq9F 内容简介 y9?*H?f, Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5=8v\q?)c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
5Pq6X 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 [T4{K& WMnSkO 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 mi$C%~]5m 目录 ks sRwe%>; Preface 1 BJ]L@L% 内容简介 2 Y'jgp Vt 目录 i zRmVV}b 1 引言 1 AA)pV- 2 光学薄膜基础 2 -fV\JJ 2.1 一般规则 2 %
>a
/m.$ 2.2 正交入射规则 3 k>Fw2!mA^ 2.3 斜入射规则 6 pGD-K41O] 2.4 精确计算 7 :Cezk D& 2.5 相干性 8 WF*j^ %5 2.6 参考文献 10 n 7B2rRJH 3 Essential Macleod的快速预览 10 8RuW[T? 4 Essential Macleod的特点 32 'v^shGI%Ht 4.1 容量和局限性 33 >r
C*. 4.2 程序在哪里? 33 ~8UMwpl- 4.3 数据文件 35 aCH;l~+U 4.4 设计规则 35 3QKBuo 4.5 材料数据库和资料库 37 ]@cI _n 4.5.1材料损失 38 FeS
,TQ4j 4.5.1材料数据库和导入材料 39 S&-F(#CF^ 4.5.2 材料库 41 #g@4c3um| 4.5.3导出材料数据 43 Ct?xTFb 4.6 常用单位 43 j@#RfVx 4.7 插值和外推法 46 Sh5)36 4.8 材料数据的平滑 50 Vt \g9-[ 4.9 更多光学常数模型 54 -hfkF+=U' 4.10 文档的一般编辑规则 55 !-n*]C 4.11 撤销和重做 56 <+r~?X_ 4.12 设计文档 57 A@?-"=h} 4.10.1 公式 58 rN7JJHV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 'AWWdz 4.10.3 沉积密度 59 BMQ4i&kF| 4.10.4 平行和楔形介质 60 )(yaX 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 2"|7 YI 4.10.4 性能 61 Pzd!"Gl9 4.10.5 保存设计和性能 64 J E5qR2VA 4.10.6 默认设计 64 }+MA*v[06 4.11 图表 64 O(-6Zqk8Q 4.11.1 合并曲线图 67 b@=H$" 4.11.2 自适应绘制 68 z79oj\&[ 4.11.3 动态绘图 68 tUZfQ 4.11.4 3D绘图 69 pO fw *lD 4.12 导入和导出 73 +:jv )4^O 4.12.1 剪贴板 73 +A1*e+/b\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 K$GQc" 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 /qwY/^ 4.13 背景 77 [>_zV.X 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _qk&W_u 4.15 生成Rugate 84 iD%a;] 4.16 参考文献 91 DWx;cP8[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 IO7gq+ 5.1 Jobs 92 (4RtoYWW 5.2 创建一个新Job(工作) 93 uit.r^8l 5.3 输入材料 94 "".a(ZGg 5.4 设计数据文件夹 95 G#f3
WpD 5.5 默认设计 95 G(shZ=fq 6 细化和合成 97 .waj.9&[l 6.1 优化介绍 97 R=48:XG3/K 6.2 细化 (Refinement) 98 -OmpUv-O" 6.3 合成 (Synthesis) 100 p/u 6.4 目标和评价函数 101 C|g1:#0 6.4.1 目标输入 102 ^jb;4nf 6.4.2 目标 103 xzfugW 6.4.3 特殊的评价函数 104 bQ
0Ab"+D 6.5 层锁定和连接 104 U6wy^!_X9 6.6 细化技术 104 a{}#t} 6.6.1 单纯形 105 )M Tf 6.6.1.1 单纯形参数 106 P*}aeu&lnD 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^.g-}r8, 6.6.2.1 Optimac参数 108 50A\Y)i_mZ 6.6.3 模拟退火算法 109 s:_j,/H0A} 6.6.3.1 模拟退火参数 109 t5i58@{~ 6.6.4 共轭梯度 111 2!CL8hG5: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 W?!rqo2SP 6.6.5 拟牛顿法 112 9C Ki$L 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 wL]#]DiE 6.6.6 针合成 113 ~Al3Dv9x 6.6.6.1 针合成参数 114 :yi} CM4 6.6.7 差分进化 114 ,Csjb1 6.6.8非局部细化 115 Jy"\_Vvl 6.6.8.1非局部细化参数 115 sKs`gi2 6.7 我应该使用哪种技术? 116 YwZx{%f 6.7.1 细化 116 =TzJgx 6.7.2 合成 117 5! +{JTXa 6.8 参考文献 117 *}Gys/\!S 7 导纳图及其他工具 118 PBE i"`i 7.1 简介 118 BG.8 q4[
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )a'` 7.2.1 四分之一波长规则 119 VG$;ri> 7.2.2 导纳图 120 kz("LI] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 n_Y7*3/b-o 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 uTJ z"c`F 7.5 斜入射导纳图 141 Sd.Km a 7.6 对称周期 141 31#jLWY'0 7.7 参考文献 142 =b1
y*? 8 典型的镀膜实例 143 <s|.2~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ?|}qT05 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (]&B'1b 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3,*A VcQA 8.4 W-膜层 148 :f_oN3F p 8.5 V-膜层 149 :9x]5;ma 8.6 V-膜层高折射基底 150 ;.=0""-IF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 c(b`eUOO 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9jx>&MnWs 8.9 四层抗反射薄膜 153 7i02M~*uS 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 L*4=b
(3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 y@2"[fo3~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 U,fPG/9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 +7
j/.R 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {-]K!tWda 8.15十五层宽带抗反射膜 159 w~pe?j_F$ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 !Z{7X ^ 8.17 1/4波长堆栈 162 (G$Q\> 8.18 陷波滤波器 163 Buq(L6P9r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lZ2gCZ 8.20 褶皱 165 b
KDD29 8.21 消偏振分光器1 169 n+< 8.22 消偏振分光器2 171 Qz2jV 8.23 消偏振立体分光器 172 -?{g{6 8.24 消偏振截止滤光片 173 4k<U5J 8.25 立体偏振分束器1 174 )#hR}| 8.26 立方偏振分束器2 177 <m{#u4FC' 8.27 相位延迟器 178 DR]oK_ 8.28 红外截止器 179 $rbr&TJ 8.29 21层长波带通滤波器 180 KiE'O{Y 8.30 49层长波带通滤波器 181 v6! `H 8.31 55层短波带通滤波器 182 v"%>ms"n 8.32 47 红外截止器 183 )Wt&*WMFXl 8.33 宽带通滤波器 184 8NE[L#k 8.34 诱导透射滤波器 186 ;<+Z}d/g9 8.35 诱导透射滤波器2 188 a~JZc<ze 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 H+gB| 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 V,[[#a)y 8.35 增益平坦滤波器 193 "qZTgCOY2 8.38 啁啾反射镜 1 196 7`)RBhGB 8.39 啁啾反射镜2 198 xH,e$t#@@~ 8.40 啁啾反射镜3 199 b`DPlQHj 8.41 带保护层的铝膜层 200 > hGB
o 8.42 增加铝反射率膜 201 I)r6*|mz 8.43 参考文献 202 %X%f0J 9 多层膜 204 zA$ f$J7\^ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rG[2.\& 9.2 内部透过率 204 b{x/V 9&| 9.3 内部透射率数据 205 E6T=lwOZ 9.4 实例 206 V;)+v#4{ 9.5 实例2 210 L/GVQjb 9.6 圆锥和带宽计算 212 P-yVc2YH 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d}Y#l}!E6 10 光学薄膜的颜色 216 A%&lW9z7 10.1 导言 216 Zm6jF 10.2 色彩 216 od,,2pwK+ 10.3 主波长和纯度 220 .+u r+"i 10.4 色相和纯度 221 auY?Cj'"fs 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jSdC1,wR 10.6 色差 226 eE\T,u5: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 XGYsTquSe 10.8 颜色渲染指数 234 oGbh* 10.9 色差计算 235 fmLDufx 10.10 参考文献 236 =t~]@?]1D 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [IHG9Xg 11.1 短脉冲 238 5dX0C 11.2 群速度 239 w=ufJRj 11.3 群速度色散 241 *`Ge8?qC 11.4 啁啾(chirped) 245 hX-^h2eV 11.5 光学薄膜—相变 245 'fzJw 11.6 群延迟和延迟色散 246 'cK{FiIT 11.7 色度色散 246 $t5>1G1j7 11.8 色散补偿 249 ox";%|PP1 11.9 空间光线偏移 256 a%an={ 11.10 参考文献 258 ;{e'q?Y
12 公差与误差 260 EVLDP\w{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 a|]}uFr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )WvOa] : 12.2.1 误差工具 267 p"*xyex 12.2.2 灵敏度工具 271 G \$x. 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %_>8.7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .H&XPW 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U:PtRSdn!b 12.3 参考文献 276 <<@F{B7h 13 Runsheet 与Simulator 277 ys7Tq+ 13.1 原理介绍 277 2@N-#x' 13.2 截止滤光片设计 277 (&_~eYZU 14 光学常数提取 289 [8acan+
2l 14.1 介绍 289 VjeF3pmBa 14.2 电介质薄膜 289 (~"#=fs.L 14.3 n 和k 的提取工具 295 PbV1FB_ 14.4 基底的参数提取 302 jF#Dc[* 14.5 金属的参数提取 306 .8[uEQ_L 14.6 不正确的模型 306 usi3z9P>n 14.7 参考文献 311 LW!4KA] 15 反演工程 313 yio8BcXH54 15.1 随机性和系统性 313 PHH,vO[eO 15.2 常见的系统性问题 314 yi -0CHo 15.3 单层膜 314 S]&aDg1y} 15.4 多层膜 314 25W #mh,' 15.5 含义 319 T w1&<S 15.6 反演工程实例 319 PT4iy< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 G) 37?A) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 <J}JYT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 lpbcpB 16.1 光学性质的热致偏移 329 a`U/|[JM 16.2 应力工具 335 g/w<T+v 16.3 均匀性误差 339 I &%
Z*H 16.3.1 圆锥工具 339 g-/ }*ml 16.3.2 波前问题 341 _.m|Ml,`{ 16.4 参考文献 343 @)ls+}=Y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 $L'[_J 17.1 引言 345 2f rwU~y 17.2 操作数 345 !_iv~Q zv 18 如何在Function中编写脚本 351 Jgq#m~M6 18.1 简介 351 ~svea>Fmr 18.2 什么是脚本? 351 )]zsAw`/ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [[ll4| 18.4 基础 352 mWMtz]M} 18.4.1 Classes(类别) 352 jZe/h#J)[ 18.4.2 对象 352 J7kqyo" 18.4.3 信息(Messages) 352 gL7rX a j 18.4.4 属性 352 r\ C"Fx^ 18.4.5 方法 353 .k,,PuP 18.4.6 变量声明 353 [z'jL'\4 18.5 创建对象 354 B @8lD\ 18.5.1 创建对象函数 355 ~bw=;xF{3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 q0nIJ( 18.5.3 丢弃对象 356 zXIdup@ 18.5.4 总结 356 v&sl_w/tn 18.6 脚本中的表格 357 {s:"mkR 18.6.1 方法1 357 o"p['m*g 18.6.2 方法2 357 4Q,|7@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 |[)pQGw 18.8 3D Plots in Scripts 359 L=I;0Ip9y 18.9 注释 360 zu,Yuq 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 e?KzT5j: 18.11 一个更高级的脚本 362 Ns\};j?TU* 18.12 <esc>键 364 }>b@=5O 18.13 包含文件 365 p?4,YV|# 18.14 脚本被优化调用 366 NLt"yD3t 18.15 脚本中的对话框 368 `~NjBtQ 18.15.1 介绍 368 Q&w"!N 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ,}l|_GGj 18.15.3 输入框函数 370 @z`eqG,'] 18.15.4 自定义对话框 371 9&Z+K'$= 18.15.5 对话框编辑器 371 z0|-OCmL 18.15.6 控制对话框 377 " z -tL 18.15.7 更高级的对话框 380 O;0VKNn[' 18.16 Types语句 384 D&OskM60 18.17 打开文件 385 y-~_ W 6\ 18.18 Bags 387 w,OPM}) il 18.13 进一步研究 388 Ou+b ce 19 vStack 389 _SMi`ie# 19.1 vStack基本原理 389 <00=bZzX 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 tHr4/
19.3 五棱镜 393 ` ^;J<l 19.4 光束距离 396 #S[Y}-]T 19.5 误差 399 Th$xk9TK^@ 19.6 二向分色棱镜 399 )&%Y{a# 19.7 偏振泄漏 404 E,Xl8rC 19.8 波前误差—相位 405 6;(b-Dhi 19.9 其它计算参数 405 "@t bm[ 20 报表生成器 406 ;
FHnu| 20.1 入门 406 l9&L$,= 20.2 指令(Instructions) 406 _\{/#J;lN 20.3 页面布局指令 406 Z1]4: 20.4 常见的参数图和三维图 407 }%D${.R] 20.5 表格中的常见参数 408 ~Q}!4LH 20.6 迭代指令 408 A.~wgJDO 20.7 报表模版 408 (U\D7ItMG 20.8 开始设计一个报表模版 409 $Z8riVJ7j- 21 一个新的project 413 ^UFNds'q 21.1 创建一个新Job 414 .9UrWBW\I 21.2 默认设计 415 gu&W:FY 21.3 薄膜设计 416 0 1NP 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;jBS:k? 21.5 显色指数计算 422 (i1p6 21.6 电场分布 424 uavyms^ 后记 426 alBnN<UM 更多详情,可以扫码加微!
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