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vh\i ^ 内容简介 a/ Ac^!( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Dck/Ea 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 MtJ-pa~n 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ?I?G+(bq EL~$7 J 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 }r,M(Zr 目录 7i($/mNl Preface 1 OD)X7PU 内容简介 2 LhO\a 目录 i 3%*igpj\) 1 引言 1 ,1ev2T 2 光学薄膜基础 2 ^BF}wQb:j 2.1 一般规则 2 xJ3C^b%H 2.2 正交入射规则 3 SXw r$)4_ 2.3 斜入射规则 6 lgews" 2.4 精确计算 7 gC?}1]9c 2.5 相干性 8 r(r(&NU 2.6 参考文献 10 TKnWhB/J 3 Essential Macleod的快速预览 10 &>qUT]w 4 Essential Macleod的特点 32 5qrD~D' 4.1 容量和局限性 33 JwMRquQv 4.2 程序在哪里? 33 9\ "\7S/Z 4.3 数据文件 35 Gj?Zbl < 4.4 设计规则 35 g}%ODa !H 4.5 材料数据库和资料库 37 QYbB\Y 4.5.1材料损失 38 (m3hD)!+y 4.5.1材料数据库和导入材料 39 F?6kkLS/ 4.5.2 材料库 41 {\5(aQ)Vi5 4.5.3导出材料数据 43 -`'|z+V 4.6 常用单位 43 1>e30Ri,g 4.7 插值和外推法 46 jV2H61d 4.8 材料数据的平滑 50 4r$#- 4.9 更多光学常数模型 54 Xy(QK2| 4.10 文档的一般编辑规则 55 LtB5;ByeQ0 4.11 撤销和重做 56 IRg2\Hq 4.12 设计文档 57 M@TG7M7Os 4.10.1 公式 58 [bnu
DS 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 _\>y[e["p 4.10.3 沉积密度 59 L$=R/l 4.10.4 平行和楔形介质 60 cB,^?djJ3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 GXZ="3W | 4.10.4 性能 61 ;"&?Okz 4.10.5 保存设计和性能 64 XKGiw 2
C 4.10.6 默认设计 64 eP2Q2C8g 4.11 图表 64 w9Yx2 4.11.1 合并曲线图 67 tz]0F5 4.11.2 自适应绘制 68 Y@ v][Q 4.11.3 动态绘图 68 &m--} 4.11.4 3D绘图 69 A}Iyl 4.12 导入和导出 73 ~ n<|f 4.12.1 剪贴板 73 eP~3m 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :Ak^M~6a5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 CRo'r/G 4.13 背景 77 OD'~t,St 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /K!)}f(6 4.15 生成Rugate 84 w5z]=dN 4.16 参考文献 91 b]]k\b 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 '5aA+XP| 5.1 Jobs 92 \y7?w*K 5.2 创建一个新Job(工作) 93 cPtDIc, 5.3 输入材料 94 c&T5C,] 5.4 设计数据文件夹 95 ;,-)Z|W 5.5 默认设计 95 u8 k^\Do 6 细化和合成 97 6teu_FS 6.1 优化介绍 97 d*+}_EV)Y3 6.2 细化 (Refinement) 98 Nd>zq 6.3 合成 (Synthesis) 100 Sp[9vlo8 6.4 目标和评价函数 101 N,w6 6.4.1 目标输入 102 >*!T`P}p 6.4.2 目标 103 ^:?z7m 6.4.3 特殊的评价函数 104 R}Zaz3( Hd 6.5 层锁定和连接 104 :vi %7 6.6 细化技术 104 5tv*uz|fv 6.6.1 单纯形 105 f #h0O3 6.6.1.1 单纯形参数 106 u0R[TA3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 w'}s'gGE 6.6.2.1 Optimac参数 108 26~rEOgJ 6.6.3 模拟退火算法 109 m:Rx<E
E 6.6.3.1 模拟退火参数 109 08:K9zr 6.6.4 共轭梯度 111 PE7V1U#$o, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _$*-?*V& 6.6.5 拟牛顿法 112 jEKa9rt 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 07^.Z[(pCt 6.6.6 针合成 113 T\wOGaCW 6.6.6.1 针合成参数 114 h`fZ8|yw 6.6.7 差分进化 114 TPb&";4ROf 6.6.8非局部细化 115 {;bec%pq0 6.6.8.1非局部细化参数 115 r;f\^hVy 6.7 我应该使用哪种技术? 116 J>dj]1I 6.7.1 细化 116 bY`Chb. 6.7.2 合成 117 7#
'j>] 6.8 参考文献 117 XXwIp-' 7 导纳图及其他工具 118 f~d=1 7.1 简介 118 R(Vd[EGY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 *QW.#y>"j 7.2.1 四分之一波长规则 119 _)-2h[ 7.2.2 导纳图 120 W(ZEqH2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 b<fN,U<k 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5YZ\@<|rH 7.5 斜入射导纳图 141 3sBWtz 7.6 对称周期 141 p"\-iY] 7.7 参考文献 142 Y\!:/h]E& 8 典型的镀膜实例 143 PmId #2f 8.1 单层抗反射薄膜 145 ]Gl_L7u` 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 6:r1^q6A9L 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8Pom^QopK 8.4 W-膜层 148 d{!zJ+n 8.5 V-膜层 149 IKp(KlA 8.6 V-膜层高折射基底 150 ziW[qH { 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 $o\Uq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 6O5E4= 8.9 四层抗反射薄膜 153 ,^xsdqpe 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 W6B o\UK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 r'}#usB( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 b(ryk./ogx 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ,v| vgt 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 fZd~},X 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4z|Yfvq 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 cNN_KA 8.17 1/4波长堆栈 162 h^9Ne/s~ 8.18 陷波滤波器 163 '.&,.E&{$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }=3W(1cu- 8.20 褶皱 165 JvUHoc$sI 8.21 消偏振分光器1 169 >|T?87 8.22 消偏振分光器2 171 Jf2:[Mq 8.23 消偏振立体分光器 172 DA4!-\bt@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 U|h@Pw z 8.25 立体偏振分束器1 174 Iq":
U 8.26 立方偏振分束器2 177 S67T:ARS 8.27 相位延迟器 178 8&f"")m 8.28 红外截止器 179 UE\@7 8.29 21层长波带通滤波器 180 .yj=*N. 8.30 49层长波带通滤波器 181 {&(bKQ 8.31 55层短波带通滤波器 182 [dL?N 8.32 47 红外截止器 183
aEZn6k1 8.33 宽带通滤波器 184 a( {`<F 8.34 诱导透射滤波器 186 ")M.p_b[Z= 8.35 诱导透射滤波器2 188 *t |j+*c}
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /[#{#:lo2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 I0jEhg%JZ 8.35 增益平坦滤波器 193 `TsfscN 8.38 啁啾反射镜 1 196 Q+ST8 8.39 啁啾反射镜2 198 s_h< 8.40 啁啾反射镜3 199 *&2#;mf3 8.41 带保护层的铝膜层 200 .y[K =p3 8.42 增加铝反射率膜 201 z06pX$Q.< 8.43 参考文献 202 :* /`` 9 多层膜 204 :U[_V4?7 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 yZ)ScB^ 9.2 内部透过率 204 RBgkC+2 9.3 内部透射率数据 205 5BCaE)J 9.4 实例 206 $BBfsaJPT 9.5 实例2 210 |)JoxqR 9.6 圆锥和带宽计算 212 @x J^JcE 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 hJ4.: 10 光学薄膜的颜色 216 x?<5=, 10.1 导言 216 ?h3Ow`1G 10.2 色彩 216 !<6wrOMa O 10.3 主波长和纯度 220 ti#sh{t 10.4 色相和纯度 221 yRi/YR# 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f"0H9 10.6 色差 226 &{=~)>h 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 %Z5k8 10.8 颜色渲染指数 234 S+>]8ZY 10.9 色差计算 235 &s;%(c04A 10.10 参考文献 236 XP;&iZJ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 CijS=- 11.1 短脉冲 238 gX _BJ6 11.2 群速度 239 ^{K8uN7 11.3 群速度色散 241 kL|Y-(FPo% 11.4 啁啾(chirped) 245 r;T/ 11.5 光学薄膜—相变 245 cnPXvD^kY 11.6 群延迟和延迟色散 246 9G8QzIac 11.7 色度色散 246 IP;@unBl 11.8 色散补偿 249 ,]{NZ9 11.9 空间光线偏移 256 d$,i?d, 11.10 参考文献 258 _TXV{<E6 12 公差与误差 260 q
|^O 12.1 蒙特卡罗模型 260 :{
T#M$T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rlIEch^wZ 12.2.1 误差工具 267 U?lu@5 ^Z 12.2.2 灵敏度工具 271 \
+xIH 12.2.2.1 独立灵敏度 271
E$>e<
T 12.2.2.2 灵敏度分布 275 2,;t%GB 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 fBOPd= 12.3 参考文献 276 rpT<cCem1 13 Runsheet 与Simulator 277 uY~A0I5Z 13.1 原理介绍 277 |YFD| 13.2 截止滤光片设计 277
U44H/5/ 14 光学常数提取 289 _z 5CplO 14.1 介绍 289 ed*AU,^@v 14.2 电介质薄膜 289 e,*[5xQ 14.3 n 和k 的提取工具 295 /a|NGh% 14.4 基底的参数提取 302 c6m,oS^ 14.5 金属的参数提取 306 Xh/av[Q 14.6 不正确的模型 306 fx-*') 14.7 参考文献 311 5l}h8So4 15 反演工程 313 bN&da
[K 15.1 随机性和系统性 313 K)@}Ok"#\4 15.2 常见的系统性问题 314 7:<Ed"rdE 15.3 单层膜 314 U}0/V
c26 15.4 多层膜 314 w$ { 15.5 含义 319 6v#G'M#r 15.6 反演工程实例 319 R7{hoqI2 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 G]1pGA; 15.6.2 反演工程提取折射率 327 i?/?{p$#a- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 UG_0Y8$ 16.1 光学性质的热致偏移 329 [AzN&yACE 16.2 应力工具 335 \(FDR 16.3 均匀性误差 339 1F,_L}=o1s 16.3.1 圆锥工具 339 B^?XE(. 16.3.2 波前问题 341 (`+Z'Y 16.4 参考文献 343 ACYn87tq 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 fO>~V1 17.1 引言 345 |]cDz
17.2 操作数 345 OP}p;( 18 如何在Function中编写脚本 351 5,ahKB8 18.1 简介 351 vB*oI~< 18.2 什么是脚本? 351 )x &@j4, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8w[EyVHA 18.4 基础 352 se HbwO3 b 18.4.1 Classes(类别) 352 =3C)sz} 18.4.2 对象 352 W@dY:N} 18.4.3 信息(Messages) 352 "J{zfWr 18.4.4 属性 352 DZ.trtK 18.4.5 方法 353 5z ^UQq 18.4.6 变量声明 353 Fd&!-`T? 18.5 创建对象 354 j]"xck 18.5.1 创建对象函数 355 34kd|!e, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 )"uG*}\?b 18.5.3 丢弃对象 356 xN8JrZE& 18.5.4 总结 356 )N6[rw< |