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GL>YJ% 内容简介 hl0X,G+@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]7TOA$Q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 O..{wdZy 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 OpazWcMoo kWa5=BW2f 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 f
tl$P[T 目录 g/68&
M Preface 1
PPy~dp 内容简介 2 WqM| nX 目录 i S W6oaa81 1 引言 1 teb(gUy}L6 2 光学薄膜基础 2 7jxx,#I: 2.1 一般规则 2 o+8H:7,o' 2.2 正交入射规则 3 )w<Z4_!N4s 2.3 斜入射规则 6 2[=3-1c 2.4 精确计算 7 4 7mT 2.5 相干性 8 :J@3:+sr 2.6 参考文献 10 QEut@L 3 Essential Macleod的快速预览 10 N)D+FV29y 4 Essential Macleod的特点 32 a_0I)'
? 4.1 容量和局限性 33 {7DXSe4 4.2 程序在哪里? 33 G0Z5 h 4.3 数据文件 35 IS!OO< 4.4 设计规则 35 NNr6~m)3v 4.5 材料数据库和资料库 37 pl[@U<8aw 4.5.1材料损失 38 D/"velV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 | @ ut/ 4.5.2 材料库 41 >l%8d'=Jl 4.5.3导出材料数据 43 WcT= 5G 4.6 常用单位 43 lw~
V 4.7 插值和外推法 46 w
oIZFus 4.8 材料数据的平滑 50 xDl;
tFI 4.9 更多光学常数模型 54 tw.GBR 4.10 文档的一般编辑规则 55 a6;[Z 4.11 撤销和重做 56 M:oM(K+ 4.12 设计文档 57 d^M*%a z 4.10.1 公式 58 |cnps$fk~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !"yr;t>|Zb 4.10.3 沉积密度 59 5oCg&aT 4.10.4 平行和楔形介质 60 }wp/,\_
> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &L+.5i 4.10.4 性能 61 W 2[]m>; 4.10.5 保存设计和性能 64 }.'rhR+ 4.10.6 默认设计 64 ?ZGsh7<k 4.11 图表 64 S2\;\?]^~ 4.11.1 合并曲线图 67 QD3tM5(Yr 4.11.2 自适应绘制 68 +C~d;p 4.11.3 动态绘图 68 >EFWevT{ 4.11.4 3D绘图 69 $+n6V2^K)7 4.12 导入和导出 73 /i27F2NQm 4.12.1 剪贴板 73 #\=7A 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ff R%@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -8FUR~WJ 4.13 背景 77 6|B9kh} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 w< Xwz`O 4.15 生成Rugate 84 -@_v@]: 4.16 参考文献 91 !Tv3WQ@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 3+uL@LXd 5.1 Jobs 92 OqciZ@#5n 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1,;zX^ 5.3 输入材料 94 ,e9M%VIu6[ 5.4 设计数据文件夹 95 MIr+4L 5.5 默认设计 95 U'9z.2"}9 6 细化和合成 97 i@5Fne 6.1 优化介绍 97 ]OdZlZBsJ 6.2 细化 (Refinement) 98
&qdhxc4 6.3 合成 (Synthesis) 100 m }HaJ 6.4 目标和评价函数 101 %>=6v}f,+ 6.4.1 目标输入 102 K.mxF,H 6.4.2 目标 103 'n-y*f 6.4.3 特殊的评价函数 104 v
;}s`P\" 6.5 层锁定和连接 104 p)iEwl}!j 6.6 细化技术 104 /N_:npbJF 6.6.1 单纯形 105
UsFn! !+ 6.6.1.1 单纯形参数 106 }]mxKz 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 K6-M .I 6.6.2.1 Optimac参数 108 s^eiym P 6.6.3 模拟退火算法 109 /QyKXg6)l 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `q<W %'Tb$ 6.6.4 共轭梯度 111 aif;h!
?y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 qT(6T P 6.6.5 拟牛顿法 112 h,m 90Hd+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 37jxl+ 6.6.6 针合成 113 0] 6.6.6.1 针合成参数 114 Z#H<+S( 6.6.7 差分进化 114
JL1A3G 6.6.8非局部细化 115 ?hkOL$v<9} 6.6.8.1非局部细化参数 115 v
'+]T= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *QiQ,~Ep 6.7.1 细化 116 < z2wt 6.7.2 合成 117 1s.2z[B~ 6.8 参考文献 117 If,p!L 7 导纳图及其他工具 118 9|}Pf_5]%[ 7.1 简介 118 )'U0n`= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 R'tKJ_VI 7.2.1 四分之一波长规则 119 m]AT-]*f 7.2.2 导纳图 120 ]$lt 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vsj4?0= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6ABK)m-y 7.5 斜入射导纳图 141 *l+Dbm,u 7.6 对称周期 141 h.PBe 7.7 参考文献 142 LQ# E+id& 8 典型的镀膜实例 143 ,u2Qkw 8.1 单层抗反射薄膜 145 8\lh'8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 gk%@& TB/ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 1Q>nS[ 8.4 W-膜层 148 GcdJf/k 8.5 V-膜层 149 G7nhUg 8.6 V-膜层高折射基底 150 <ErX<(0`ig 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 I}
jgz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 MY@&^71i4 8.9 四层抗反射薄膜 153
zd=O;T;. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _rwJ:r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9dhEQ=K{3 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 c lB K 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 6UeY Z g 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 |]*3En: 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $mn0I69 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h<Aq|* 8.17 1/4波长堆栈 162 Z]]Ur 8.18 陷波滤波器 163 4D0jt$== 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;v:( 8.20 褶皱 165 IA@>'O 8.21 消偏振分光器1 169 wu)+n\mt' 8.22 消偏振分光器2 171 w*ans}P7 8.23 消偏振立体分光器 172 4a-JC" 8.24 消偏振截止滤光片 173 I x%>aee 8.25 立体偏振分束器1 174 pUXoSnIq: 8.26 立方偏振分束器2 177 U-I,Q+[C[^ 8.27 相位延迟器 178 e|\xFV=4 8.28 红外截止器 179 kyJbV[o<# 8.29 21层长波带通滤波器 180 %tyo(HZQ 8.30 49层长波带通滤波器 181 /kbU< 8.31 55层短波带通滤波器 182 -!j6& 8.32 47 红外截止器 183 i41~-?Bc 8.33 宽带通滤波器 184 7 $e 6H|j@ 8.34 诱导透射滤波器 186 G.rz6o; 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^viabkf C 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 mn/)_1', 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 cq4~(PXTg 8.35 增益平坦滤波器 193 VVas>/0qr 8.38 啁啾反射镜 1 196 SO$Af!S:bB 8.39 啁啾反射镜2 198 U)/.wa> 8.40 啁啾反射镜3 199 :RIz6Tz 8.41 带保护层的铝膜层 200 6O7s^d&K 8.42 增加铝反射率膜 201 5 #K*75> 8.43 参考文献 202 C`[<6>&y
9 多层膜 204 {o}U"b<+Ra 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $4nAb^/ 9.2 内部透过率 204 @8|*Ndx2 9.3 内部透射率数据 205 bv[#|^/ 9.4 实例 206 s@F&N9oh 9.5 实例2 210 +OE!Uqnt 9.6 圆锥和带宽计算 212 l P F326e 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Lx0nLJ\ 10 光学薄膜的颜色 216 {zwH3)|Hn 10.1 导言 216 "v8p<JfB` 10.2 色彩 216 s#9q3JV0 10.3 主波长和纯度 220 \MP~}t}c 10.4 色相和纯度 221 wjA
wJOw| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Eomfa:WL 10.6 色差 226 }
oPO` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 +>Wo:kp3 10.8 颜色渲染指数 234 4&}%GH>} 10.9 色差计算 235 pU$k{^'UK 10.10 参考文献 236 mmTpF]t
?` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *N">93: 11.1 短脉冲 238 @Rr=uf G 11.2 群速度 239 gP2zDI 11.3 群速度色散 241 M@Th^yF+8H 11.4 啁啾(chirped) 245 V}jGxt0 11.5 光学薄膜—相变 245 I/O3OD 11.6 群延迟和延迟色散 246 `6Bx8CZ'I 11.7 色度色散 246 >,e^}K}C 11.8 色散补偿 249 PG&t~4QM` 11.9 空间光线偏移 256 1Bj.MQ^ 11.10 参考文献 258 5,"c1[`- 12 公差与误差 260 RM;a]g* 12.1 蒙特卡罗模型 260 VOEV[?>ss 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 xfYKUOp/ 12.2.1 误差工具 267 1'~Xn
4
f 12.2.2 灵敏度工具 271 $n\P w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 J(7#yg%5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,mHME~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Ykxk`SJ 12.3 参考文献 276 6'^_*n 13 Runsheet 与Simulator 277 m5K?oV@n 13.1 原理介绍 277 ,!#Am13 13.2 截止滤光片设计 277 'C]w3Rh' 14 光学常数提取 289 B=|R?t (* 14.1 介绍 289 V]7/hN-Y} 14.2 电介质薄膜 289 O$ *lPA[ 14.3 n 和k 的提取工具 295 qSY\a\.< 14.4 基底的参数提取 302 D=e*rrL7a 14.5 金属的参数提取 306 2W,9HSu8 14.6 不正确的模型 306 giakEPl 14.7 参考文献 311 l6 G6H$ 15 反演工程 313 @{Rb]d?&F? 15.1 随机性和系统性 313 @8L5UT 15.2 常见的系统性问题 314 O_FB^BB 15.3 单层膜 314 b>ai"! 15.4 多层膜 314 +A}t_u3< 15.5 含义 319 qM\
2f<) 15.6 反演工程实例 319 6,>$Jzs)5E 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Hjm> I'9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^ZwZze:2 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 5YY5t^T 16.1 光学性质的热致偏移 329 sxNf"C=-. 16.2 应力工具 335 Y2`sL,'h 16.3 均匀性误差 339 r2-iISxg+ 16.3.1 圆锥工具 339 dyQ7@K.E 16.3.2 波前问题 341 gIB3DuUo 16.4 参考文献 343 ?;XO1cs 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |E8sw a 17.1 引言 345 %2QGbnt_* 17.2 操作数 345 m
Q2i$ 0u 18 如何在Function中编写脚本 351 DQG%`-J 18.1 简介 351 ha
:l-<a 18.2 什么是脚本? 351 cY?|RXNmZ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 M':-f3aT% 18.4 基础 352 ~+Wx\:TT 18.4.1 Classes(类别) 352 4 &bmt 18.4.2 对象 352 wm5&5F4: 18.4.3 信息(Messages) 352 WVP?Ie8 18.4.4 属性 352 f_~T 18.4.5 方法 353 YVIE v 18.4.6 变量声明 353 Kb; *"@LX 18.5 创建对象 354 kWr1>})' 18.5.1 创建对象函数 355 'uu*DgEr 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 de:@/-| 18.5.3 丢弃对象 356 1eI*.pt 18.5.4 总结 356 Rhc:szDU 18.6 脚本中的表格 357 \BHZRytQF 18.6.1 方法1 357 6H|SiO9 18.6.2 方法2 357 |`T7}U 18.7 2D Plots in Scripts 358 ^/n1hg 18.8 3D Plots in Scripts 359 L3eF BF/ 18.9 注释 360 v5[gFY(? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 AiHU*dp6 18.11 一个更高级的脚本 362 "r^RfZ; 18.12 <esc>键 364 wB)y@w4k 18.13 包含文件 365 N9-0b 18.14 脚本被优化调用 366 d"|_NG` vr 18.15 脚本中的对话框 368 ]it.
R- 18.15.1 介绍 368 ZqclmCi 18.15.2 消息框-MsgBox 368 e$9a9twl 18.15.3 输入框函数 370 a*p|Ij 18.15.4 自定义对话框 371 Ag8/%a~( 18.15.5 对话框编辑器 371 >CvhTrPI 18.15.6 控制对话框 377 &M|rRd~* 18.15.7 更高级的对话框 380 j2G^sj"| 18.16 Types语句 384 ffP]U4 18.17 打开文件 385 RP~nLh3=\ 18.18 Bags 387 u`v&URM 18.13 进一步研究 388 3zsp6k V 19 vStack 389 klKUX/g 19.1 vStack基本原理 389 +$C9@CZM9 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 <X*oW ". 19.3 五棱镜 393 0>Y3xNb 19.4 光束距离 396 .@{v{ 19.5 误差 399 ip?]&5s 19.6 二向分色棱镜 399 `l45T~`]$ 19.7 偏振泄漏 404 An_(L*Qz 19.8 波前误差—相位 405 lWRl 19.9 其它计算参数 405 d/
Lz" 20 报表生成器 406 /
&Z8g4vc 20.1 入门 406 gP>pbW_ 20.2 指令(Instructions) 406 4U dk# 20.3 页面布局指令 406 !Q\*a-C 20.4 常见的参数图和三维图 407 L}
R"1O 20.5 表格中的常见参数 408 4b<|jVl\ 20.6 迭代指令 408 "G%S
m") 20.7 报表模版 408 cW^LmA 20.8 开始设计一个报表模版 409 d>[i*u,]/ 21 一个新的project 413 3P!OP{` 21.1 创建一个新Job 414 db 99S 21.2 默认设计 415 `R0~mx&6G 21.3 薄膜设计 416 0er|QC 21.4 误差的灵敏度计算 420 j& |