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]MA)='~ 内容简介 @
H`QLm Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 R?9Plzt5 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 8^"|-~#< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 \FY De wsGq>F~ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 %/4_|@<' 目录 cSs/XJZ Preface 1 (PrPH/$ 内容简介 2 tAu|8aL 目录 i !RUo:b+ 1 引言 1 fUWm7>6VA> 2 光学薄膜基础 2 #/v_h6$ 2.1 一般规则 2 {e 2.2 正交入射规则 3 +VW]%6+ 2.3 斜入射规则 6 n]{}C.C= 2.4 精确计算 7 B)cb}.N: 2.5 相干性 8 m}'@S+k^ 2.6 参考文献 10 WT
{Cjn 3 Essential Macleod的快速预览 10 S+xGHi) 4 Essential Macleod的特点 32 @k #y-/~? 4.1 容量和局限性 33 ]<_!@J6k 4.2 程序在哪里? 33
p|8Fl 4.3 数据文件 35 ]:#$6D" 4.4 设计规则 35 __n"DLW 4.5 材料数据库和资料库 37 C`_D{r 4.5.1材料损失 38 IlL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [3NV # 4.5.2 材料库 41 COL8YY 4.5.3导出材料数据 43 !skWe~/ 4.6 常用单位 43 Sm_:SF!<D6 4.7 插值和外推法 46 i@j ?< 4.8 材料数据的平滑 50 i&Cqw~.H 4.9 更多光学常数模型 54 u]-El}*[ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Fl>j5[kLZ 4.11 撤销和重做 56 $I0a2Z=dP 4.12 设计文档 57 Cv7RCjMw 4.10.1 公式 58 )3\rp$]1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2}Plr{s9 4.10.3 沉积密度 59 & ~G 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;B7|tajd 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &>4$ [m>n 4.10.4 性能 61 uOUw8 4.10.5 保存设计和性能 64 ;RZa<2 4.10.6 默认设计 64 4GejT(U 4.11 图表 64 I}0- 4.11.1 合并曲线图 67 p
8Hv7* 4.11.2 自适应绘制 68 Z$K%@q,10+ 4.11.3 动态绘图 68 ;ypO' 4.11.4 3D绘图 69 JJOs
L!@ 4.12 导入和导出 73 9>, \QrrH 4.12.1 剪贴板 73 vKLG9ovlY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 62'0 )Cy^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ec/+ 9H6g 4.13 背景 77 xW )8mv?4n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 #^w 1!xXD 4.15 生成Rugate 84 9.}3RAB(cv 4.16 参考文献 91 ]= D 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ky"7 ^ 5.1 Jobs 92 au~gJW- 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jo:p*Q"F 5.3 输入材料 94 w8Vzx8 5.4 设计数据文件夹 95 mM~Q!`Nf. 5.5 默认设计 95 GDe$p;#"9g 6 细化和合成 97 ~i {)J 6.1 优化介绍 97 t~#+--( 6.2 细化 (Refinement) 98 B|w}z1. 6.3 合成 (Synthesis) 100 KiHAm|, 6.4 目标和评价函数 101 Ase 1 R=0 6.4.1 目标输入 102 [vJosbU; 6.4.2 目标 103 .SFwjriZ 6.4.3 特殊的评价函数 104 8u23@? 6.5 层锁定和连接 104 :{i mRa- 6.6 细化技术 104 imuHSxcaV 6.6.1 单纯形 105 !LESRh? 6.6.1.1 单纯形参数 106 XwGJ 8&N 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %tjEVQa 6.6.2.1 Optimac参数 108 7P(:!ce4- 6.6.3 模拟退火算法 109 PkO(Y! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ld0WZj
6.6.4 共轭梯度 111 c9K\K~bk 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 of<OOh%3 6.6.5 拟牛顿法 112 p[IgnO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 eVJL|uI| 6.6.6 针合成 113 ";%1sK 6.6.6.1 针合成参数 114 XiUsaoQm3 6.6.7 差分进化 114 \8H"lcj: 6.6.8非局部细化 115 ;!Mg,jlQ 6.6.8.1非局部细化参数 115 'c]&{-w<i 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -UE-v 6.7.1 细化 116 EkPSG&6RZ 6.7.2 合成 117 iWsIc\!+, 6.8 参考文献 117 WfI~l) 7 导纳图及其他工具 118 ={d\zjI$ 7.1 简介 118 gNBI?xs`p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 zj}efv<e 7.2.1 四分之一波长规则 119 S|i
//I%_ 7.2.2 导纳图 120 !o7.L%S 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Il[WXt<S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7hQl,v< 5 7.5 斜入射导纳图 141 gnec#j 7.6 对称周期 141 ;* Jd#O 7.7 参考文献 142 AUd}) UR 8 典型的镀膜实例 143 o!N@W 8.1 单层抗反射薄膜 145 MsiSC 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (["u"m% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :\XD.n-n 8.4 W-膜层 148 :2+:(^l 8.5 V-膜层 149 3H2'HO 8.6 V-膜层高折射基底 150 l,3tU|V 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 hHQt4 r'd 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W*#/@/5 8.9 四层抗反射薄膜 153 eAEVpC2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 C$5x*`y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 G%{jU'2 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 g>{=R|uO5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <7+.5iB3 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 o@-cT`HP 8.15十五层宽带抗反射膜 159 HvU)GJ u b 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 w;O '6" 8.17 1/4波长堆栈 162 ]cK@nq) 8.18 陷波滤波器 163 -`JY] H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Smo'&x 8.20 褶皱 165 -rBj-4|" 8.21 消偏振分光器1 169 o>h>#!e 8.22 消偏振分光器2 171 6kk(FVX 8.23 消偏振立体分光器 172 _{8boDX# 8.24 消偏振截止滤光片 173 G9TUU.T
8.25 立体偏振分束器1 174 >jm9x1+C 8.26 立方偏振分束器2 177 F$v
G=3 8.27 相位延迟器 178 7Udr~0_) 8.28 红外截止器 179 >ZT3gp?E 8.29 21层长波带通滤波器 180 TOs|f8ay 8.30 49层长波带通滤波器 181 j&r5oD; 8.31 55层短波带通滤波器 182 G}g+2` 8.32 47 红外截止器 183 gvX7+F=}B 8.33 宽带通滤波器 184 2P*O^-zRp 8.34 诱导透射滤波器 186 u&:jQ:[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 YZd4% zF 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 "lm3o(Dk 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (plOV) 8.35 增益平坦滤波器 193 BR*U9K|W 8.38 啁啾反射镜 1 196 P]G2gDO 8.39 啁啾反射镜2 198 BC3I{Y| 8.40 啁啾反射镜3 199 .$rcTZ 8.41 带保护层的铝膜层 200 l?d*g& 8.42 增加铝反射率膜 201 6[i-Tl 8.43 参考文献 202 "Y6f.rB 9 多层膜 204 sSxra!tv4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 :v+39 9.2 内部透过率 204 &7cy9Z~m 9.3 内部透射率数据 205 6Yu8ReuL 9.4 实例 206 .nnAI@7E 9.5 实例2 210 >A6lX) 9.6 圆锥和带宽计算 212 59|Tmf(dS; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 IcN|e4t^J+ 10 光学薄膜的颜色 216 8Vp"}(Q 10.1 导言 216 %~@}wHMB 10.2 色彩 216 3Dy.mt P
10.3 主波长和纯度 220 `R\0g\ 10.4 色相和纯度 221 2KU[Yd 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ZCa?uzeo] 10.6 色差 226 q;U[f6JjE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |o`TRqs 10.8 颜色渲染指数 234 awUIYAgJ3 10.9 色差计算 235 N?aU<-Tn 10.10 参考文献 236 R lv|DED$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^#Shs^#
11.1 短脉冲 238 e(b*T 11.2 群速度 239 AO/R2a(: 11.3 群速度色散 241 w%htY.- 11.4 啁啾(chirped) 245 sXAXHZ{ 11.5 光学薄膜—相变 245 Oo,<zS=ICk 11.6 群延迟和延迟色散 246 i;cqK&P;] 11.7 色度色散 246 Vki3D'.7N 11.8 色散补偿 249 Gg_i:4F 11.9 空间光线偏移 256 '_2~8w 11.10 参考文献 258 \JX8`]|& 12 公差与误差 260 ?>e-6*. 12.1 蒙特卡罗模型 260 &N,c:dNe 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6g)21Mh# 12.2.1 误差工具 267 qT(j%F 12.2.2 灵敏度工具 271 r>5,U:6Q/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -*3wNGh{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <EJC.WWJa 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;s{rJG{inG 12.3 参考文献 276
Y.ic=<0H 13 Runsheet 与Simulator 277 jZ)1]Q2 13.1 原理介绍 277 Rgg(rF=K6 13.2 截止滤光片设计 277 #=h~Lr'UH 14 光学常数提取 289 z.FO6y6L 14.1 介绍 289 )g)X~]* 14.2 电介质薄膜 289 A+AqlM+$i 14.3 n 和k 的提取工具 295 vU::dr 14.4 基底的参数提取 302
Rb?6N 14.5 金属的参数提取 306 B#8!8 14.6 不正确的模型 306 iCx}v[;Ol 14.7 参考文献 311 wTG6>l ]H 15 反演工程 313 /K1YDq<= 15.1 随机性和系统性 313 ZPHB$]ri 15.2 常见的系统性问题 314 R'He(x 15.3 单层膜 314 XK>B mq/] 15.4 多层膜 314 0P z"[ 15.5 含义 319 y<MXd,eE 15.6 反演工程实例 319 }k$2r3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 cZi/bIh 15.6.2 反演工程提取折射率 327 n"*A. 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ki39$A'8 16.1 光学性质的热致偏移 329 !CUrpr/* 16.2 应力工具 335 G 7b>r 16.3 均匀性误差 339 3nMXfh/ 16.3.1 圆锥工具 339 ?!KqDI 16.3.2 波前问题 341 ]FP(,:Yw 16.4 参考文献 343 R]H/Jv\' 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,iV|^]X3$/ 17.1 引言 345 r1f## 17.2 操作数 345 NvY%sx, 18 如何在Function中编写脚本 351 26?yEd6^Z 18.1 简介 351 fnl~0 18.2 什么是脚本? 351 Eu2@%2}P 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 A@4sb
W_
18.4 基础 352 w,n&K6< 18.4.1 Classes(类别) 352 =c:K(N qL 18.4.2 对象 352 qf-0 | w 18.4.3 信息(Messages) 352 ]hRCB=G 18.4.4 属性 352 !/2uO5 18.4.5 方法 353 _NA[g:DZ&O 18.4.6 变量声明 353 :+06M@ 18.5 创建对象 354 UU~S{!*+L 18.5.1 创建对象函数 355 EVX*YGxx6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8Th{(J_ 18.5.3 丢弃对象 356 JlR(U." 18.5.4 总结 356 ZjLu qo 18.6 脚本中的表格 357 bLuAe
EA 18.6.1 方法1 357 zT4SI'r?f 18.6.2 方法2 357 &?59{B.mD 18.7 2D Plots in Scripts 358
UDl[ 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,NB?_\$c 18.9 注释 360 |1!RvW:[! 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 oK\{#<gCZ 18.11 一个更高级的脚本 362 O7vJ`K(! 18.12 <esc>键 364 ky R=U`OW 18.13 包含文件 365 /r2*le (H 18.14 脚本被优化调用 366 kbu.KU+ 18.15 脚本中的对话框 368 6_}&
WjU' 18.15.1 介绍 368 <u`m4w 18.15.2 消息框-MsgBox 368 f_'#wc6 18.15.3 输入框函数 370 {-a8^IK, 18.15.4 自定义对话框 371
vf}.) 18.15.5 对话框编辑器 371 4TX~]tEyky 18.15.6 控制对话框 377 {5`=){ 18.15.7 更高级的对话框 380 L{&5Ets 18.16 Types语句 384 ,0k3Qi% 18.17 打开文件 385 PLoD^3uG) 18.18 Bags 387 f i#p('8 18.13 进一步研究 388 A43 mX!g\ 19 vStack 389 T3H\KRe6 19.1 vStack基本原理 389 V[#eeH)/ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ZE393FnE 19.3 五棱镜 393 % XvJJ 19.4 光束距离 396 KF!?;q0J 19.5 误差 399 a>6@1liT 19.6 二向分色棱镜 399 KcPI,.4{ 19.7 偏振泄漏 404 4Kl{^2 19.8 波前误差—相位 405 }:SWgPfc 19.9 其它计算参数 405 ';,Rq9-' 20 报表生成器 406 V
d`}F0WD 20.1 入门 406 h=*eOxR"4^ 20.2 指令(Instructions) 406 }LYK:?_/ 20.3 页面布局指令 406 'j&+Pg)@ 20.4 常见的参数图和三维图 407 1>)q5D 20.5 表格中的常见参数 408 k
z{_H`5. 20.6 迭代指令 408 D^dos`L0b 20.7 报表模版 408 L>@:Xo@ 20.8 开始设计一个报表模版 409 jq_E{Dq1 21 一个新的project 413 ']Z1n b 21.1 创建一个新Job 414 9lU"m_
QT4 21.2 默认设计 415 lJ>OuSd 21.3 薄膜设计 416 <36z,[,kZ@ 21.4 误差的灵敏度计算 420 a|Yry 21.5 显色指数计算 422 #]SiS2lM# 21.6 电场分布 424 }[FP"# 后记 426 DWXxB 有兴趣可以和我联系 FV~ENpncP d$f3Cre
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