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d=`hFwD9 内容简介 }Til $TT%H Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]FP(,:Yw 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 !IF#L0z 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ,iV|^]X3$/ Zgd|
J T7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 mGb,oj7l 目录 Y<odXFIS Preface 1 U*b1yxt 内容简介 2 rxJmK$qd 目录 i bejvw?)S. 1 引言 1 w,n&K6< 2 光学薄膜基础 2 Dm2&}{&K 2.1 一般规则 2 qf-0 | w 2.2 正交入射规则 3 ]hRCB=G 2.3 斜入射规则 6 ')zdI]@M 2.4 精确计算 7 _NA[g:DZ&O 2.5 相干性 8 :+06M@ 2.6 参考文献 10 UU~S{!*+L 3 Essential Macleod的快速预览 10 EVX*YGxx6 4 Essential Macleod的特点 32 8Th{(J_ 4.1 容量和局限性 33 JlR(U." 4.2 程序在哪里? 33 lcO;3CrJ! 4.3 数据文件 35 Wb4+U;C^!' 4.4 设计规则 35 zT4SI'r?f 4.5 材料数据库和资料库 37 3@7IY4>o 4.5.1材料损失 38 xY v@ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 iEjUo,
Y[ 4.5.2 材料库 41 AUBZ7*VO 4.5.3导出材料数据 43 EbXWCD 4.6 常用单位 43 H}vq2 |MN 4.7 插值和外推法 46 GI']&{ 4.8 材料数据的平滑 50 f-$%Ck$%, 4.9 更多光学常数模型 54 @M=xdZNyJ 4.10 文档的一般编辑规则 55 "h58I)O 4.11 撤销和重做 56 s1~&PH^ 4.12 设计文档 57 hUR>NUK@8 4.10.1 公式 58 ;XAj/6pm 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 J?DJA2o 4.10.3 沉积密度 59 , !0-;H.Y 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;l4epN 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 cqXP} 5 4.10.4 性能 61 6)5Akyz4V 4.10.5 保存设计和性能 64 pQ2'0u5w5 4.10.6 默认设计 64 |%\>+/j$ 4.11 图表 64 *{TB<^ * 4.11.1 合并曲线图 67 'qoDFR\v 4.11.2 自适应绘制 68 M4rI]^lJ 4.11.3 动态绘图 68 ZE393FnE 4.11.4 3D绘图 69 % XvJJ 4.12 导入和导出 73 KF!?;q0J 4.12.1 剪贴板 73 ):<9j"Z;At 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #z$g1\v 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 QTe>EJ12 4.13 背景 77 <gfkbDP2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 s[2>r#M 4.15 生成Rugate 84 8>4@g!9E 4.16 参考文献 91 Ah#bj8} 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q/qJkr^2 5.1 Jobs 92 Wy:xiP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 LKX; ^ 5.3 输入材料 94 Yl\p*j"Fid 5.4 设计数据文件夹 95 NLnfCY-h 5.5 默认设计 95 A4Sb(X|j 6 细化和合成 97 jq_E{Dq1 6.1 优化介绍 97 ']Z1n b 6.2 细化 (Refinement) 98 9lU"m_
QT4 6.3 合成 (Synthesis) 100 $- 4 Zi 6.4 目标和评价函数 101 y*oH"]D 6.4.1 目标输入 102 Q95`GuI@ 6.4.2 目标 103 MqKf'6z 6.4.3 特殊的评价函数 104 vXI2u;=y 6.5 层锁定和连接 104 6v1F.u 6.6 细化技术 104 @a~GHG[x 6.6.1 单纯形 105 P[q 'Y^\ 6.6.1.1 单纯形参数 106 2WF7^$^: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 d,y%:F 4 6.6.2.1 Optimac参数 108 J
n~t>? 6.6.3 模拟退火算法 109 X<p'& 6.6.3.1 模拟退火参数 109 J>w3>8!>7 6.6.4 共轭梯度 111 0D==0n 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 XSBh+)0Ww 6.6.5 拟牛顿法 112 Yt3+o< 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 V(#z{! 6.6.6 针合成 113 8
o^ h\9I 6.6.6.1 针合成参数 114 hH.X_X?d% 6.6.7 差分进化 114 L;%_r) 6.6.8非局部细化 115 )}3!iDA 6.6.8.1非局部细化参数 115 +-$Hx5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 u#bd*( 6.7.1 细化 116 7c8A|E0\mF 6.7.2 合成 117 GeydVT- 6.8 参考文献 117 0r/pZ3/ 7 导纳图及其他工具 118 5`tMHgQO 7.1 简介 118 1&2X*$]y 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 8n'"RaLQ8 7.2.1 四分之一波长规则 119 lk(.zYaaN 7.2.2 导纳图 120 ,Nk{AiiN 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 9*&RvsrX 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 m ,|)$R 7.5 斜入射导纳图 141 _(zPA4q8q 7.6 对称周期 141 WAzn`xGxR" 7.7 参考文献 142 =jEh# 8 典型的镀膜实例 143 *f ;">(`o* 8.1 单层抗反射薄膜 145 F?y4 L9|e 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 iVdY\+N!< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ^hy Y,X 8.4 W-膜层 148 0Z,a3)jcc 8.5 V-膜层 149 ~9Jlb-*I5 8.6 V-膜层高折射基底 150 9vL n#_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 GYJ
lX 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Li2-G 8.9 四层抗反射薄膜 153 {37v.4d; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2leTEs5aK` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 *p !F+" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 vCe]iB 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 p*ic@n*G 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 *wu:fb2[(
8.15十五层宽带抗反射膜 159 =ICakh!TO 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Lbwc2Q,.- 8.17 1/4波长堆栈 162 }bA@QEJ 8.18 陷波滤波器 163 S#[w).7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]hHL[hoFC 8.20 褶皱 165 SSH 1Ge5| 8.21 消偏振分光器1 169 m2esVvP 8.22 消偏振分光器2 171 c8<qn+=%? 8.23 消偏振立体分光器 172 ]8~{C>ch$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 7}%Z> 8.25 立体偏振分束器1 174 i"Z 8.26 立方偏振分束器2 177 l.3|0lopX) 8.27 相位延迟器 178 Z!eW_""wp 8.28 红外截止器 179 /$Ca}> 8.29 21层长波带通滤波器 180 YQ
_]Jv k 8.30 49层长波带通滤波器 181 I|eYeJ3 8.31 55层短波带通滤波器 182 XhEJF ! 8.32 47 红外截止器 183 [!'fE#"a 8.33 宽带通滤波器 184 ,)beK*Iw 8.34 诱导透射滤波器 186 }\Ri:&? 8.35 诱导透射滤波器2 188 6-6ha7]s 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #*|Gp_l+% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 G.l
~!; 8.35 增益平坦滤波器 193 T-)lnrs^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 !=SBeq 8.39 啁啾反射镜2 198 E#A%aLp0E 8.40 啁啾反射镜3 199 i+XHXpk 8.41 带保护层的铝膜层 200 tOT(!yz 8.42 增加铝反射率膜 201 7AouiL 2-W 8.43 参考文献 202 NG\g_^.M 9 多层膜 204 {I^@BW- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 79MF;>=tV 9.2 内部透过率 204 %}/ |/= 9.3 内部透射率数据 205 V
X"!a 9.4 实例 206 f:u3fL 9.5 实例2 210 \&#IK9x{ 9.6 圆锥和带宽计算 212 EH~t< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 2, R5mL$ 10 光学薄膜的颜色 216 3-6Lbe9H 10.1 导言 216 C;jV)hr6P 10.2 色彩 216 A(v5VvgZE 10.3 主波长和纯度 220 S|pf.l 10.4 色相和纯度 221 8%Eemk >G{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Zv|TvlyT" 10.6 色差 226
U
rL|r. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5SQqE@g% 10.8 颜色渲染指数 234 3z~d7J 10.9 色差计算 235 sn-P&"q 10.10 参考文献 236 "fN=Y$G 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 t;/s^-} 11.1 短脉冲 238 tcD DX'S 11.2 群速度 239 8H@] v@Z2 11.3 群速度色散 241 $ts1XIK% 11.4 啁啾(chirped) 245 SDHJX8Hq 11.5 光学薄膜—相变 245 Bp9_\4 11.6 群延迟和延迟色散 246 9ymx; 11.7 色度色散 246 >p?Vv0* 11.8 色散补偿 249 9kby-A4 11.9 空间光线偏移 256 ({!S!k 11.10 参考文献 258 #BhDC.CcW 12 公差与误差 260 rF\L}& Sw 12.1 蒙特卡罗模型 260 YQN@; 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,qu7XFYrY 12.2.1 误差工具 267 e754g(|>b 12.2.2 灵敏度工具 271 &OXm^f)K 12.2.2.1 独立灵敏度 271 F!qt=)V@w 12.2.2.2 灵敏度分布 275
H_vGa!_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]@wKm1%v 12.3 参考文献 276 +"GBuNh 13 Runsheet 与Simulator 277 dBb
&sA-A 13.1 原理介绍 277 yBkcYHT 13.2 截止滤光片设计 277 wY xk[)&Y 14 光学常数提取 289 5KgAY;| 14.1 介绍 289 h\lyt(.s 14.2 电介质薄膜 289 ./@C 14.3 n 和k 的提取工具 295 ,*m{Q 14.4 基底的参数提取 302 mV++7DY 14.5 金属的参数提取 306 PFI^+'; 14.6 不正确的模型 306 H84Zg/ ^ 14.7 参考文献 311 PTP0 _|K 15 反演工程 313 3{H&{@Q 15.1 随机性和系统性 313 S(#v<C,hd 15.2 常见的系统性问题 314 vf0
fa46 15.3 单层膜 314 Ev]oPCeA 15.4 多层膜 314 BG^)?_69 15.5 含义 319 9r=yfc!cS 15.6 反演工程实例 319 vB Vg/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Zt
;u8O 15.6.2 反演工程提取折射率 327 z*e`2n#\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 DDBf89$\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 XE($t2x,M 16.2 应力工具 335 vn1*D-? 16.3 均匀性误差 339 XDyFe'1I 16.3.1 圆锥工具 339 {xu~Dx 16.3.2 波前问题 341 #ja6nt8GC 16.4 参考文献 343 ;U[W $w[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 %(A@=0r# 17.1 引言 345 Pj^O8 17.2 操作数 345 2Kz407|' 18 如何在Function中编写脚本 351 -7u_ \XFk 18.1 简介 351 %0q)PT\ 18.2 什么是脚本? 351 s8+{##"1
q 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 yi:1cLq2 18.4 基础 352 t*wV<b 18.4.1 Classes(类别) 352 OLE@35"v] 18.4.2 对象 352 ge|Cvv 18.4.3 信息(Messages) 352 CF]#0*MI 18.4.4 属性 352 FV\$M6
_ 18.4.5 方法 353 )^7- qy 18.4.6 变量声明 353 3(3-#MD0 18.5 创建对象 354 F0KNkL>&g 18.5.1 创建对象函数 355 8d[!"lL 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 }WnoI2 18.5.3 丢弃对象 356 WQBpU?O 18.5.4 总结 356 f"Kl?IN8 18.6 脚本中的表格 357 d;v<rw 18.6.1 方法1 357 >2ny/AK| 18.6.2 方法2 357 !~`aEF3 18.7 2D Plots in Scripts 358 GzjC;+W 18.8 3D Plots in Scripts 359 L8?;A9pc() 18.9 注释 360 g?{7DI` 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 kb[+II 18.11 一个更高级的脚本 362 e$N1m:1* 18.12 <esc>键 364 EfqC_,J*3 18.13 包含文件 365 ^~W s4[Guo 18.14 脚本被优化调用 366 Y@MFH>* 18.15 脚本中的对话框 368 UQO?hZ!y/. 18.15.1 介绍 368 S4D~`"4$/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;"]?&ri 18.15.3 输入框函数 370 kk ZMoK 18.15.4 自定义对话框 371 O#`y;% 18.15.5 对话框编辑器 371 3Y=uBl 18.15.6 控制对话框 377 So]O`RJv 18.15.7 更高级的对话框 380 /vAA]n8 18.16 Types语句 384 T1M>N 18.17 打开文件 385 Y0g6zHk7 18.18 Bags 387 kY#sQz}8 18.13 进一步研究 388 $: qrh66 19 vStack 389 Idr|-s%l6' 19.1 vStack基本原理 389 eb7~\|9l1i 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 `q+Ug 19.3 五棱镜 393 %:Y'+!bX 19.4 光束距离 396 ew1bb K> 19.5 误差 399 LEA^o"NW. 19.6 二向分色棱镜 399 v2 }>/b) 19.7 偏振泄漏 404 7%yP5c
B 19.8 波前误差—相位 405 |3=tF"h 19.9 其它计算参数 405 @pV&{Vp 20 报表生成器 406 iJzW3%E 20.1 入门 406 |VmQ 20.2 指令(Instructions) 406 cWp5pGIzfp 20.3 页面布局指令 406 6&L8{P 20.4 常见的参数图和三维图 407 M9/J!s 20.5 表格中的常见参数 408 %i@Jw 20.6 迭代指令 408 A2"$B\j1 20.7 报表模版 408 j,v2(e5: 20.8 开始设计一个报表模版 409 g&O!w!T
21 一个新的project 413 ;c|G 21.1 创建一个新Job 414 vf?m-wh 21.2 默认设计 415 yOE N*^6 21.3 薄膜设计 416 M][Zu[\* 21.4 误差的灵敏度计算 420 H#B97IGT 21.5 显色指数计算 422 wu19Pg?F 21.6 电场分布 424 aKw7m={ 后记 426 :+UahwiRD"
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