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>P~*@>e 内容简介 |{kbc0* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 gR# k' 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,zM@)Q;9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7:?\1a iko>G 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 j
[lS.Lb 目录 }W}( k2r Preface 1 HL4=P,' 内容简介 2 A(E}2iP9= 目录 i d-1D:Hs? 1 引言 1 x;yvv3-$ 2 光学薄膜基础 2 C}mhnU@ 2.1 一般规则 2 ;K\2/"$QD 2.2 正交入射规则 3 hxMRmH[f: 2.3 斜入射规则 6 Eej
Lso#\ 2.4 精确计算 7 tW|0_m>{ 2.5 相干性 8 tdxzs_V,- 2.6 参考文献 10 Rkg8 3 Essential Macleod的快速预览 10 9n\>Yieu 4 Essential Macleod的特点 32 &"K_R(kN 4.1 容量和局限性 33 a($7J6]M 4.2 程序在哪里? 33 r_$*euh@ 4.3 数据文件 35 OgIRI8L 4.4 设计规则 35 uthW
AT & 4.5 材料数据库和资料库 37 "NA<^2W@J 4.5.1材料损失 38 G7" (,L` 5 4.5.1材料数据库和导入材料 39 pZ|{p{_j 4.5.2 材料库 41 *w4#D:g 4.5.3导出材料数据 43 46D`h!7L 4.6 常用单位 43 ) dk|S\ 4.7 插值和外推法 46 vO2WZ7E! 4.8 材料数据的平滑 50 v; i4ZSV^A 4.9 更多光学常数模型 54 .
KLEx]f. 4.10 文档的一般编辑规则 55 |3e+ K. 4.11 撤销和重做 56 ]?1_.Wjtt 4.12 设计文档 57 bKsjbYuo 4.10.1 公式 58 3f^Pr 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 fV>d_6Lf} 4.10.3 沉积密度 59 RR[zvH} E 4.10.4 平行和楔形介质 60 vx($o9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 N`efLOMl]
4.10.4 性能 61 :5CyR3P 4.10.5 保存设计和性能 64 njxLeDe- 4.10.6 默认设计 64 *z69ti/
t 4.11 图表 64 I?PqWG!O 4.11.1 合并曲线图 67 z7IJSj1gQI 4.11.2 自适应绘制 68 <(>t"< 4.11.3 动态绘图 68 i \NV<I
4.11.4 3D绘图 69 f}2}Ta 4.12 导入和导出 73 2mzn{S)nV 4.12.1 剪贴板 73 =U*D.p*%f 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 vc"!3x-G* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 kqih`E9P7B 4.13 背景 77 nQOdM#dP 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 vwu/33 4.15 生成Rugate 84 HBe*wk Pd 4.16 参考文献 91 xSD*e 0
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 asYk#;z\" 5.1 Jobs 92 i,ZEUdd*_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /lUfxc4 5.3 输入材料 94 B;N<{Gb 5.4 设计数据文件夹 95 CBf[$[e 5.5 默认设计 95 FulFEnSV 6 细化和合成 97 #fa,}aj 6.1 优化介绍 97 HJ]v- 6.2 细化 (Refinement) 98 Z qn$ >mG- 6.3 合成 (Synthesis) 100 'k\j[fk/K 6.4 目标和评价函数 101 EP@u4F 6.4.1 目标输入 102 KX9IC5pR 6.4.2 目标 103 $Ah
p4oiE 6.4.3 特殊的评价函数 104 :lo5,B;k 6.5 层锁定和连接 104 P
_fCb 6.6 细化技术 104 %Ve@DF8G 6.6.1 单纯形 105 0yC~"u[N Y 6.6.1.1 单纯形参数 106 5]I)qij
q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 }UsH#!9. 6.6.2.1 Optimac参数 108 Q/?`); 6.6.3 模拟退火算法 109 gNP1UH4m 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Ty&1R? 6.6.4 共轭梯度 111 G(wK(P0j 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9R8q+2
6.6.5 拟牛顿法 112 ~xxq.rL" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 5&Yt=)c\ 6.6.6 针合成 113 2fr%_GNu 6.6.6.1 针合成参数 114 \u`P(fI!K% 6.6.7 差分进化 114 k@lJ8(i^qU 6.6.8非局部细化 115 D%o(HS\E 6.6.8.1非局部细化参数 115 G3TS?u8Q 6.7 我应该使用哪种技术? 116 u]NsCHKlT 6.7.1 细化 116 I"czo9Yspd 6.7.2 合成 117 .q
MxShUU 6.8 参考文献 117 9*s8%pL 7 导纳图及其他工具 118 =nCA=-Jv 7.1 简介 118 DDR4h"Y 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
n(Nu 7.2.1 四分之一波长规则 119 El9T>!Z 7.2.2 导纳图 120 :'wxm3f 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 wicsf<] 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 c\o_U9=n 7.5 斜入射导纳图 141 @>46.V{P}B 7.6 对称周期 141 B)@Xz<Q 7.7 参考文献 142 _@>*]g 8 典型的镀膜实例 143 </_QldL_ 8.1 单层抗反射薄膜 145 agwbjkU/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 GEy7Vb) 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 J&\Q3_vro9 8.4 W-膜层 148 (v?@evQ 8.5 V-膜层 149 M**Sus87Q 8.6 V-膜层高折射基底 150 >4wigc 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9J7yR}2-F 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 IIY_Q9in 8.9 四层抗反射薄膜 153 TW&s c9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 i5le0lM 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 \m)s"Sh. 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 `?=3[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;/+< N 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =:g\I6'a 8.15十五层宽带抗反射膜 159 hJ8&OCR } 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 LI}e_=E 8.17 1/4波长堆栈 162 no-";{c 8.18 陷波滤波器 163 -5og)ZGVUA 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 83vZRQw 8.20 褶皱 165 e}2?)B`[ 8.21 消偏振分光器1 169 ~`e!$= 8.22 消偏振分光器2 171 -<x% 8.23 消偏振立体分光器 172 [p'2#Et 8.24 消偏振截止滤光片 173 XixjdBFP 8.25 立体偏振分束器1 174
fIpS
P@$< 8.26 立方偏振分束器2 177 aoW2 c1`?Z 8.27 相位延迟器 178 /Hk})o_ 8.28 红外截止器 179 JQbaD- 8.29 21层长波带通滤波器 180 QyTNV 8.30 49层长波带通滤波器 181 dY$nw 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?3DFm 8.32 47 红外截止器 183 T$MXsq 8.33 宽带通滤波器 184 *.w6 =} 8.34 诱导透射滤波器 186 Oi|cTZ@A- 8.35 诱导透射滤波器2 188 {nSgiqd"28 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 WVQHb3Pe0 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 do^=Oq07$ 8.35 增益平坦滤波器 193 uHquJQ4 8.38 啁啾反射镜 1 196 [r7Hcb 8.39 啁啾反射镜2 198 tlO=> 8.40 啁啾反射镜3 199 k2->Z);X 8.41 带保护层的铝膜层 200 t5l<Lm) 8.42 增加铝反射率膜 201 8?L-3/ 8.43 参考文献 202 zhow\l2t} 9 多层膜 204 1H">Rb30@ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 g0jfLv 9.2 内部透过率 204 kS{k=V&hf_ 9.3 内部透射率数据 205 $U ._4 9.4 实例 206 &'e+`\ 9.5 实例2 210 =zAFsRoD_B 9.6 圆锥和带宽计算 212 ~,s'- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;LC|1_ ' 10 光学薄膜的颜色 216 ![{/V,V]~ 10.1 导言 216 )ty>{t 10.2 色彩 216 0?FJ~pu 10.3 主波长和纯度 220 7C2Xy>d~ 10.4 色相和纯度 221 #('R`~ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 BuM#&]s 10.6 色差 226 ~^Al#@ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 K;THYMp/[ 10.8 颜色渲染指数 234 u$nmnd`g 10.9 色差计算 235 G1X73qoHT< 10.10 参考文献 236 cJm}, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 B;Z _'.i,d 11.1 短脉冲 238 Q!-"5PX 11.2 群速度 239 e"EGqn&! 11.3 群速度色散 241 _{if" 11.4 啁啾(chirped) 245 -k>k<bDAI 11.5 光学薄膜—相变 245 4Z{R36 { 11.6 群延迟和延迟色散 246 Pj56,qd>s 11.7 色度色散 246 xZq, kP^ 11.8 色散补偿 249 &> .QDO 11.9 空间光线偏移 256 @ajdO/?(Y 11.10 参考文献 258 FLsJ<C~/~ 12 公差与误差 260 H,;ZFg /v8 12.1 蒙特卡罗模型 260 ={h^X0<s9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 i%f
C`@ 12.2.1 误差工具 267 -{?xl*D 12.2.2 灵敏度工具 271 PCDvEbpG 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !:vQg+S 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \l[AD-CZPh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 g~|x^d^;| 12.3 参考文献 276 Kzt:rhiB 13 Runsheet 与Simulator 277 8PeVHpZ 13.1 原理介绍 277 =RWY0| f 13.2 截止滤光片设计 277 (ux9"r^g;x 14 光学常数提取 289 |tY6+T} 14.1 介绍 289 6>)KiigZ\ 14.2 电介质薄膜 289 qncZpXw^ 14.3 n 和k 的提取工具 295 1G(wESe 14.4 基底的参数提取 302 Q[`2?j? 14.5 金属的参数提取 306 TFbF^Kd#:d 14.6 不正确的模型 306 5M8
14.7 参考文献 311 ex|)3|J 15 反演工程 313 rw@N=`4P 15.1 随机性和系统性 313 rTC| 8e 15.2 常见的系统性问题 314 E>QEI; 15.3 单层膜 314 \"yR[.Q?
15.4 多层膜 314 f4X}F|!h 15.5 含义 319 oqK:
5| 15.6 反演工程实例 319 M-!#-l 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]/R>nT 15.6.2 反演工程提取折射率 327 rhQO#_` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =/xXB 16.1 光学性质的热致偏移 329 ZkMHy1 16.2 应力工具 335 4g.S!-H@R 16.3 均匀性误差 339 5(\[Gke 16.3.1 圆锥工具 339 Df1eHa5-7 16.3.2 波前问题 341 <dk9n}y<, 16.4 参考文献 343 T(q Hi?Y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 F zBny[F 17.1 引言 345 ryd}-_LL 17.2 操作数 345 Z%-uyT@a 18 如何在Function中编写脚本 351 w6B`_Z'f 18.1 简介 351 b` 9Zin 18.2 什么是脚本? 351 ~3Z(0gujD 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Oo\~'I 18.4 基础 352 ;ZrFy=Iv 18.4.1 Classes(类别) 352 `UkjrMO 18.4.2 对象 352 r7)iNTQ1 18.4.3 信息(Messages) 352 A_6Dol=J@ 18.4.4 属性 352 O_SM! !, 18.4.5 方法 353 8,m: 18.4.6 变量声明 353 Qbj:^{`>( 18.5 创建对象 354 Gg7ZSB 7 18.5.1 创建对象函数 355 LGCeYXic 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 NL ceBok 18.5.3 丢弃对象 356 cja-MljD 18.5.4 总结 356 Rn whkb&& 18.6 脚本中的表格 357 %cMayCaI!@ 18.6.1 方法1 357 m)<N:| 18.6.2 方法2 357 tkix@Q!;\ 18.7 2D Plots in Scripts 358 qSVg.<+ 18.8 3D Plots in Scripts 359 <DdzDbgax 18.9 注释 360 E~Y%x/oX 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 z<<aT 18.11 一个更高级的脚本 362 ewinG-hX_ 18.12 <esc>键 364 o\yqf:V8 18.13 包含文件 365 rmnnV[@o 18.14 脚本被优化调用 366 =u&NdMy 18.15 脚本中的对话框 368 |1 LKdP 18.15.1 介绍 368 23UXOY0BW 18.15.2 消息框-MsgBox 368 `VOLw*Ci 18.15.3 输入框函数 370 Z~7} 18.15.4 自定义对话框 371 _ID =]NJ_ 18.15.5 对话框编辑器 371 _k
W:FB 18.15.6 控制对话框 377 y\[GS2nTX 18.15.7 更高级的对话框 380 "}UYsXg 18.16 Types语句 384 ]jJ4\O` 18.17 打开文件 385 yz=6 V% 18.18 Bags 387 f]^ @z<FC 18.13 进一步研究 388 }pPt- k 19 vStack 389 i>rsq[l 19.1 vStack基本原理 389 [k6,!e[/uG 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 C)s*1@af 19.3 五棱镜 393 ["?WVXCF8| 19.4 光束距离 396 a<V* ) 19.5 误差 399 v]KI=!Gs 19.6 二向分色棱镜 399 `_+m3vHG 19.7 偏振泄漏 404 X`n*M] 19.8 波前误差—相位 405 ~f%AbDye 19.9 其它计算参数 405 0 :1ldU
4 20 报表生成器 406 6I\mhw!pQ 20.1 入门 406 \U'TL_Ql 20.2 指令(Instructions) 406 }=."X8zOI8 20.3 页面布局指令 406 4K*DEVS 20.4 常见的参数图和三维图 407 &@xeWB 20.5 表格中的常见参数 408 Hz<)a(r!J 20.6 迭代指令 408 nnO@$T 20.7 报表模版 408 ZZl4| 20.8 开始设计一个报表模版 409 rO{"jJ
21 一个新的project 413 ,TxZ:f`" 21.1 创建一个新Job 414 p}swJ;S 21.2 默认设计 415 U^X8{,8O 21.3 薄膜设计 416 }u7&SU 21.4 误差的灵敏度计算 420 3# T_( 21.5 显色指数计算 422 Ti9cN)lq& 21.6 电场分布 424 -x1O|q69 后记 426 gb0ZGnI 有兴趣可以和我联系 &U/~*{ 0H{0aQQ
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