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DZC@^k \E 内容简介 &R@([=1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 J=$\- 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 YcDKRyrt 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 R^/SBrWve :yD>Tn;1 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0&]1s 目录 7LrmI~P Preface 1 kO3\v)B; 内容简介 2 r*l3Hrho~K 目录 i YVDFcN9v 1 引言 1 ]"{8"+x 2 光学薄膜基础 2 RM `qC 2.1 一般规则 2 u>:(MARsR 2.2 正交入射规则 3 n:`f.jG | 2.3 斜入射规则 6 S$Zi{bU`G 2.4 精确计算 7 ~o%igJ
}.C 2.5 相干性 8 zX&SnT1~ 2.6 参考文献 10 lh"*$.j- 3 Essential Macleod的快速预览 10 ,n8\y9{G 4 Essential Macleod的特点 32 xxu 4.1 容量和局限性 33 J>}J~[ap\J 4.2 程序在哪里? 33 3*=0`}jMJ 4.3 数据文件 35 rjK`t_(= 4.4 设计规则 35 ^r&)@R$V 4.5 材料数据库和资料库 37 _i+@HXR & 4.5.1材料损失 38 s b;q)Rh 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V9v20iX 4.5.2 材料库 41 A'KH_]) 4.5.3导出材料数据 43 PY^#hC5: 4.6 常用单位 43 ciS, 4.7 插值和外推法 46 rYr*D[m] 4.8 材料数据的平滑 50 |sReHt2)d 4.9 更多光学常数模型 54 _5-h\RB) 4.10 文档的一般编辑规则 55 R);Hd1G 4.11 撤销和重做 56 Fa )QDBz) 4.12 设计文档 57 3@gsKtA&H4 4.10.1 公式 58 G*@!M%/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?qaWt/m 4.10.3 沉积密度 59 aaFT 4.10.4 平行和楔形介质 60 9dhEQ=K{3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 lQ;BI~ 4.10.4 性能 61 $QC1l@[sM 4.10.5 保存设计和性能 64 v.jxG{~. 4.10.6 默认设计 64 ?@.v*'qR 4.11 图表 64 l&qnqmW< 4.11.1 合并曲线图 67 !=YKfzE 4.11.2 自适应绘制 68 K] (*l"'U5 4.11.3 动态绘图 68 CP~ZIIip" 4.11.4 3D绘图 69 LTTMa-]Yy 4.12 导入和导出 73 ;KlYiu 4.12.1 剪贴板 73 5 aA*
~\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 g|>LT_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Vb(b3 4.13 背景 77 :u14_^ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 H;1@]|sH# 4.15 生成Rugate 84 @b,Az{EH 4.16 参考文献 91 3#>W\_FY*D 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -r={P_E6 5.1 Jobs 92 y QW7ng7D0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .$18%jH# 5.3 输入材料 94 zsg\|=P 5.4 设计数据文件夹 95 4 O!2nP 5.5 默认设计 95 >qmCjY1 6 细化和合成 97 1 ~zjsi 6.1 优化介绍 97 &J>e;X 6.2 细化 (Refinement) 98 Q 7_5 6.3 合成 (Synthesis) 100 !!y]pMjJa@ 6.4 目标和评价函数 101 {]T?) !Vm 6.4.1 目标输入 102 6Wu*zY_+ 6.4.2 目标 103 JLoF!MK} 6.4.3 特殊的评价函数 104 <q'l7S 6.5 层锁定和连接 104 4dX{an]Cz 6.6 细化技术 104 SiLW[JXd 6.6.1 单纯形 105 kFn/dQ4| 6.6.1.1 单纯形参数 106 k
QuEG5n.- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =nhY;pY3u 6.6.2.1 Optimac参数 108
<\^0!v 6.6.3 模拟退火算法 109 ]M7FIDg 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ~3F'X 6.6.4 共轭梯度 111 yQK{ +w 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 X-c|jn7 6.6.5 拟牛顿法 112 Ie.*x'b?y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4)S99|1 6.6.6 针合成 113 OETo?Wg1Z 6.6.6.1 针合成参数 114 v675C# l( 6.6.7 差分进化 114 .XJ'2yKof 6.6.8非局部细化 115 H7zN|NdNw 6.6.8.1非局部细化参数 115 {&=+lr_h? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V`Cyx^P 6.7.1 细化 116 Xz_WFLq4 6.7.2 合成 117 Bf utmI 6.8 参考文献 117 u m9yO'[C 7 导纳图及其他工具 118 z'YWomfZm 7.1 简介 118 YM}a>o 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .-d'*$
yJ 7.2.1 四分之一波长规则 119 aM}9ZurI 7.2.2 导纳图 120 *f[5rr4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 D*M `qPX~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 *w+'I*QSt~ 7.5 斜入射导纳图 141 5h5izA'0' 7.6 对称周期 141 u<-)C)z 7.7 参考文献 142 JrzPDb`m 8 典型的镀膜实例 143 $1yO Zp5 8.1 单层抗反射薄膜 145 !eW1d0n'+f 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 dli(ckr 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
%?ElC 8.4 W-膜层 148 'ygKP6M 8.5 V-膜层 149 Q{[@n 8.6 V-膜层高折射基底 150 'nCVjO7o 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 m'rDoly"62 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 =zkN63S 8.9 四层抗反射薄膜 153 F@BpAl 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ?doI6N0T 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 F.[%0b E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Tagf7tw4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 $ev+0m_ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O~3
A>j 8.15十五层宽带抗反射膜 159 #l=yD]tPU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 CX|W$b)% 8.17 1/4波长堆栈 162 dGUP|O 8.18 陷波滤波器 163 {wqT$( (< 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }]x \ `}o 8.20 褶皱 165 r,6~%T0 8.21 消偏振分光器1 169 D2$9$xeR 8.22 消偏振分光器2 171 3~>-A= 8.23 消偏振立体分光器 172 RkYdK$|K 8.24 消偏振截止滤光片 173 6/UOzV,[ 8.25 立体偏振分束器1 174 IMf|/a9- 8.26 立方偏振分束器2 177 CTIS}_CWd= 8.27 相位延迟器 178 aI=p_+.h 8.28 红外截止器 179 R(1:I@<?E 8.29 21层长波带通滤波器 180 AdDX_\V,* 8.30 49层长波带通滤波器 181 \+
se%O 8.31 55层短波带通滤波器 182 %*D=ni#(sT 8.32 47 红外截止器 183 5X{|*?>T 8.33 宽带通滤波器 184 _.5{vGyxr 8.34 诱导透射滤波器 186 KF%BX~80C 8.35 诱导透射滤波器2 188 jPWONz(# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %3z[;&*3O 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 DbMVbgz<e 8.35 增益平坦滤波器 193 [\8rh^LFi 8.38 啁啾反射镜 1 196 dbf<k%i6 8.39 啁啾反射镜2 198 (xfc_h*xA 8.40 啁啾反射镜3 199 ]Lv P)0= 8.41 带保护层的铝膜层 200 6.@.k 8.42 增加铝反射率膜 201 =o#Z?Bn5 8.43 参考文献 202 E7X6RB b 9 多层膜 204 cYSn
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 F2N"aQ& 9.2 内部透过率 204 'O<b'}-A 9.3 内部透射率数据 205 G5}_NS/ 9.4 实例 206 kckRHbeU 9.5 实例2 210 Kb; *"@LX 9.6 圆锥和带宽计算 212 kWr1>})' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 'uu*DgEr 10 光学薄膜的颜色 216 de:@/-| 10.1 导言 216 1eI*.pt 10.2 色彩 216 Rhc:szDU 10.3 主波长和纯度 220 \BHZRytQF 10.4 色相和纯度 221 H:.~!
r 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 "f91YX_) 10.6 色差 226 ^/n1hg 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 L3eF BF/ 10.8 颜色渲染指数 234 v5[gFY(? 10.9 色差计算 235 AiHU*dp6 10.10 参考文献 236 "r^RfZ; 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 wB)y@w4k 11.1 短脉冲 238 N9-0b 11.2 群速度 239 d"|_NG` vr 11.3 群速度色散 241 ]it.
R- 11.4 啁啾(chirped) 245 b|i4me@ 11.5 光学薄膜—相变 245 zyPb\/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 9PB%v.t5y 11.7 色度色散 246 m` 1dB%;? 11.8 色散补偿 249 j4XVk@'OX 11.9 空间光线偏移 256 K|%Am4 11.10 参考文献 258 5{=+S] 12 公差与误差 260 :<g0Ho?e 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]
(e ,J 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @X/ 1`Mp 12.2.1 误差工具 267 GCl
*x: 12.2.2 灵敏度工具 271 ^q-%# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 .gO|=E" 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Kbu>U{' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ct\msG }b: 12.3 参考文献 276 Y -it3q'Z 13 Runsheet 与Simulator 277 m*
3ipI{h 13.1 原理介绍 277 :!Ci#[g 13.2 截止滤光片设计 277 =%` s-[5b 14 光学常数提取 289 "}()/ 14.1 介绍 289 d9[j4q_ 14.2 电介质薄膜 289 <zXG}JuL@T 14.3 n 和k 的提取工具 295 Do4hg $:40 14.4 基底的参数提取 302 -nGcm"'6F 14.5 金属的参数提取 306 ?s, oH 14.6 不正确的模型 306 .>W [ 14.7 参考文献 311 vjX,7NY? 15 反演工程 313 .=:f]fs 15.1 随机性和系统性 313 i$kB6B#== 15.2 常见的系统性问题 314 oG)T>L[& 15.3 单层膜 314 q
4Pv\YO 15.4 多层膜 314 "rMfe>;FJ 15.5 含义 319 (Z<@dkO?) 15.6 反演工程实例 319 b_sasZo 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 <VZ43I 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8Yc-3ozH 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 DOyO`TJi 16.1 光学性质的热致偏移 329 ^p(aZj3k 16.2 应力工具 335 ((gI OTV 16.3 均匀性误差 339 .6MG#N 16.3.1 圆锥工具 339 tQ@7cjq8bA 16.3.2 波前问题 341 X>$Wf3 16.4 参考文献 343 gw)z*3]~s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 c&PsT4Wh 17.1 引言 345 :?~)P!/xl5 17.2 操作数 345 e!J5h<: 18 如何在Function中编写脚本 351 YWU@e[ 18.1 简介 351 )VQ[}iT 18.2 什么是脚本? 351 "d<ucj 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 )ThNy:4 18.4 基础 352 qG,h
1 18.4.1 Classes(类别) 352 l^I?@{W 18.4.2 对象 352 SE*;6&yL 18.4.3 信息(Messages) 352 #_^p~: 18.4.4 属性 352 <yl@!-'J7 18.4.5 方法 353 }V]*FCpQ 18.4.6 变量声明 353 %3dc_YPS 18.5 创建对象 354 r.)n>
18.5.1 创建对象函数 355 d"5_x]Z; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Q>Ct]JW& 18.5.3 丢弃对象 356 dWzf C@] 18.5.4 总结 356 XR",.3LD 18.6 脚本中的表格 357 X.{xHD&_ 18.6.1 方法1 357 OybmyGHY 18.6.2 方法2 357 > 3x^jh 18.7 2D Plots in Scripts 358 uPl7u1c 18.8 3D Plots in Scripts 359 ;|K
} 18.9 注释 360 {;Hg1=cm 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 GTOA>RB2 18.11 一个更高级的脚本 362 64b AWHv 18.12 <esc>键 364 1q;R+65 18.13 包含文件 365 MMk9rBf 18.14 脚本被优化调用 366 V=fu[#<@Ig 18.15 脚本中的对话框 368 E
uO:}[ 18.15.1 介绍 368 V}TPt6C2 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]*]*O|w 18.15.3 输入框函数 370 H.M:
cD: 18.15.4 自定义对话框 371 ax5n} 18.15.5 对话框编辑器 371 _S[@?]=`b 18.15.6 控制对话框 377 *CGHp8 18.15.7 更高级的对话框 380 #IGcQY 18.16 Types语句 384 o_\vudXK 18.17 打开文件 385 E`LaO 18.18 Bags 387 t ^>07#z 18.13 进一步研究 388 `hY%HzV= 19 vStack 389 4 dHGU^#WZ 19.1 vStack基本原理 389 wx-&(f 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 el<Gd.p.d 19.3 五棱镜 393 wL3BgCxqDL 19.4 光束距离 396 B t3++ Mj 19.5 误差 399 %@(+`CCA 19.6 二向分色棱镜 399 #k<l5x` 19.7 偏振泄漏 404 8yYag[m8 19.8 波前误差—相位 405 }JOz,SQHP 19.9 其它计算参数 405 rc:UG "[ 20 报表生成器 406 B^M
L}$ 20.1 入门 406 tag)IWAiE 20.2 指令(Instructions) 406 _`C|K>: 20.3 页面布局指令 406 fWJOP sp*/ 20.4 常见的参数图和三维图 407 W;yg{y 20.5 表格中的常见参数 408 9(X~ 20.6 迭代指令 408 xP9R
d/xa| 20.7 报表模版 408 wmK;0 )|H 20.8 开始设计一个报表模版 409 zZ9Ei-Q 21 一个新的project 413 dC4`xUv 21.1 创建一个新Job 414 I|bX;l 21.2 默认设计 415 EhD% 21.3 薄膜设计 416 0n X5Vo 21.4 误差的灵敏度计算 420 7^)yo#i4 21.5 显色指数计算 422 SANbg&$ 21.6 电场分布 424 _ZWU~38PM 后记 426 U4a8z<l$
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