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q 8=u.T 内容简介 ITc/aX Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 X=\#n-* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 :
1fik 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 r$v?[x>+K i8B%|[nm 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 % C
3jxt 目录 FYcMvY Preface 1 29sgi" 内容简介 2 4nl>&AV 目录 i E;4Ns 1 引言 1 b7AuKY{L 2 光学薄膜基础 2 w ^<Y5K 2.1 一般规则 2 dWqFP 2.2 正交入射规则 3 m]-8?B1`Y 2.3 斜入射规则 6 uAjGR 2.4 精确计算 7 }uHc7gTBF7 2.5 相干性 8 H;sQ]:.*] 2.6 参考文献 10 u\e#_*> 3 Essential Macleod的快速预览 10 -/gS s<" 4 Essential Macleod的特点 32 Gr6ma*)y~t 4.1 容量和局限性 33 !7xp<= 4.2 程序在哪里? 33 (J$A 4.3 数据文件 35 #dpt= 4.4 设计规则 35 |~HlNUPR 4.5 材料数据库和资料库 37 xu:m~8% 4.5.1材料损失 38 ;n;^f&;sJ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 68HX,t 4.5.2 材料库 41 \PLV]%3, 4.5.3导出材料数据 43 9>i6oF]Oq 4.6 常用单位 43 GVl
u4 4.7 插值和外推法 46 :T\WYKX3C 4.8 材料数据的平滑 50 !GIsmqVY 4.9 更多光学常数模型 54 j&Hn`G 4.10 文档的一般编辑规则 55 4C*3#/TR 4.11 撤销和重做 56 !%u#J:z2 4.12 设计文档 57 zDl, bLiJ 4.10.1 公式 58 ]JD$fS=_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^mum5j 4.10.3 沉积密度 59 *[SsvlFt 4.10.4 平行和楔形介质 60 m_(hCY=Q$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 } )e`0) 4.10.4 性能 61 vR)7qX} 4.10.5 保存设计和性能 64 ^z^>]Qd 4.10.6 默认设计 64 FvJSJ.;E, 4.11 图表 64 b}4/4Z. 4.11.1 合并曲线图 67 Iv<9})2K 4.11.2 自适应绘制 68 -Y[-t; 4.11.3 动态绘图 68 b{I`$E<[ 4.11.4 3D绘图 69 2T3DV])Q 4.12 导入和导出 73 o(``7A@7a 4.12.1 剪贴板 73 S!q}Pn 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 xI<dBg|]+ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )j6>b-H 4.13 背景 77 \Zv =?\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 q8h{-^" 4.15 生成Rugate 84 6J
5)4^bk 4.16 参考文献 91 cik@QN<[0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 'sF563kE 5.1 Jobs 92 yo.SPd="Vx 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {^f0RGJg9 5.3 输入材料 94 H n!vTB 5.4 设计数据文件夹 95 m6x. "jG 5.5 默认设计 95 Qf|}%}%fp 6 细化和合成 97 K D-_~uIF 6.1 优化介绍 97 ^d9raYE`' 6.2 细化 (Refinement) 98 S<_pGz$V 6.3 合成 (Synthesis) 100 1QJ$yr 6.4 目标和评价函数 101 B<XPu=| 6.4.1 目标输入 102 3rY /6{ 6.4.2 目标 103 2A%T!9J3 6.4.3 特殊的评价函数 104 5 WppV3; 6.5 层锁定和连接 104 kV rT? 6.6 细化技术 104 GF!{SO4 6.6.1 单纯形 105 ?03Zy3/ 6.6.1.1 单纯形参数 106 y|Y3,s 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 WHZng QmY 6.6.2.1 Optimac参数 108 B%@!\D# 6.6.3 模拟退火算法 109 "|'`'W 6.6.3.1 模拟退火参数 109 (<C%5xk 6.6.4 共轭梯度 111 ijqdZ+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1:!rw,Jzl` 6.6.5 拟牛顿法 112 \.1b\\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 mY8=qkZE 6.6.6 针合成 113 'h^DI` 6.6.6.1 针合成参数 114 N#)VD\m 6.6.7 差分进化 114 $l;tP 6.6.8非局部细化 115 7=.VqC^ 6.6.8.1非局部细化参数 115 j& o+KV 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I*t)x,~3 6.7.1 细化 116 ^Ai_/! " 6.7.2 合成 117 aF{i
A\ 6.8 参考文献 117 /C"s_:m;3 7 导纳图及其他工具 118 ]GtR8w@w 7.1 简介 118 C)96/k 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 W:poUG1UR 7.2.1 四分之一波长规则 119 d+2O^of:T 7.2.2 导纳图 120 0bxvM 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `VFl|o#H 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 C9g~l}=$& 7.5 斜入射导纳图 141 WQLL[{mhS 7.6 对称周期 141 pd>a6 lI` 7.7 参考文献 142 :_\!t45 8 典型的镀膜实例 143 q&$0i 8.1 单层抗反射薄膜 145 wwcwYPeg 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .&Pe7`.BE 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 To8v#.i 8.4 W-膜层 148 v~2XGm 8.5 V-膜层 149 :z} _y&] 8.6 V-膜层高折射基底 150 ,q@(L 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 V=4u7!ha
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 (bFWT_CChz 8.9 四层抗反射薄膜 153 7x7r!rSe, 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _{`'{u
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,o>pmaoLs 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 DET!br'z5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 y5Wqu9C\Io 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &]yJCzo] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 G2+)R^FSC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;Jbc'V'fm 8.17 1/4波长堆栈 162 YV3TxvXMR 8.18 陷波滤波器 163 x$5nLS2. 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
)47j8jL 8.20 褶皱 165 LJNie* 8.21 消偏振分光器1 169 gjegzKU 8.22 消偏振分光器2 171 .xz,pn} 8.23 消偏振立体分光器 172 K?Xo3W%K 8.24 消偏振截止滤光片 173 p-yOiG8b} 8.25 立体偏振分束器1 174 #:vDBP05.m 8.26 立方偏振分束器2 177 :YJ7J4 8.27 相位延迟器 178 [5p7@6:$u 8.28 红外截止器 179 KB,~u*~! 8.29 21层长波带通滤波器 180 /Xu;/MMpd3 8.30 49层长波带通滤波器 181 QVG0>,+}$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 3^A/`8R7K 8.32 47 红外截止器 183 >.O*gv/_ 8.33 宽带通滤波器 184 %I|+_ z&x 8.34 诱导透射滤波器 186 {c\oOM<7 8.35 诱导透射滤波器2 188 ,'1Olu{v[s 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 IGK_1@tq 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 bDZKQ& 8.35 增益平坦滤波器 193 l\sS? 8.38 啁啾反射镜 1 196 H7tQ# 8.39 啁啾反射镜2 198 0(hv #C4 8.40 啁啾反射镜3 199 H81.p 8.41 带保护层的铝膜层 200 C DnR 8.42 增加铝反射率膜 201 LA;V}%y? 8.43 参考文献 202 #lyM+.T 9 多层膜 204 ^iV`g?z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .e FOfV) 9.2 内部透过率 204 KT
lP:pB; 9.3 内部透射率数据 205 +Jo 3rX'` 9.4 实例 206 38*'8=Y#> 9.5 实例2 210 0?6If+AC 9.6 圆锥和带宽计算 212 {7K'<ti 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 E*r 10 光学薄膜的颜色 216 3I;xU(rv 10.1 导言 216 w]W`R. 10.2 色彩 216 38w.sceaT 10.3 主波长和纯度 220 0279g 10.4 色相和纯度 221 (pT(&/\8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 /jjW/lr 10.6 色差 226 }1a <{& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,#P,B;r~ 10.8 颜色渲染指数 234 #Cg}!38 10.9 色差计算 235 ]F"(OWW 10.10 参考文献 236 z<yNG/M1>U 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [V> :`? 11.1 短脉冲 238 daA47`+d 11.2 群速度 239 "RV`L[(P*k 11.3 群速度色散 241 *l> [`U+ 11.4 啁啾(chirped) 245 L@1,7@
11.5 光学薄膜—相变 245 )KaLSL> 11.6 群延迟和延迟色散 246 r
1l/) ; 11.7 色度色散 246 b(.-~c(' 11.8 色散补偿 249 7x[LF ^o 11.9 空间光线偏移 256 fCt^FU 11.10 参考文献 258 .6O52E 12 公差与误差 260 zz(!t eBC 12.1 蒙特卡罗模型 260 :rz9M@7 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )(:+q(m 12.2.1 误差工具 267 *Fa)\.XX 12.2.2 灵敏度工具 271 H4PbO/{xO 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %XEKhy 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !G)mjvEe 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 la
G$v-r 12.3 参考文献 276 F\-B3i%0 13 Runsheet 与Simulator 277 :X'*8,]KHH 13.1 原理介绍 277 E;6Y? vJ 13.2 截止滤光片设计 277 54
M!Fq- 14 光学常数提取 289 .-SDo"K.h 14.1 介绍 289 !Y ;H(.A/ 14.2 电介质薄膜 289 2-vJv+- 14.3 n 和k 的提取工具 295
'O.+6`& 14.4 基底的参数提取 302 y-w2O] 14.5 金属的参数提取 306 `ir&]jh.A 14.6 不正确的模型 306 *'UhlFed 14.7 参考文献 311 U0NOU# 15 反演工程 313 >.DF"]XM 15.1 随机性和系统性 313 0Y2\n-`z 15.2 常见的系统性问题 314 eV[`P&j_C 15.3 单层膜 314 JP{UgcaF 15.4 多层膜 314 9
9Ba{qj 15.5 含义 319 cZNi~ 15.6 反演工程实例 319 0lX)Cl 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?8 SK\{9r6 15.6.2 反演工程提取折射率 327 k_,MoDz 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 4`'8fe/" 16.1 光学性质的热致偏移 329 H7{Q@D8 16.2 应力工具 335 Ze-MAt 16.3 均匀性误差 339 U8CWz!;Qz 16.3.1 圆锥工具 339 GE%2/z p 16.3.2 波前问题 341 -'I _*fu 16.4 参考文献 343 UH5w7M 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Sa%zre@ 17.1 引言 345 uz ]E_&2 17.2 操作数 345 @O@fyAz 18 如何在Function中编写脚本 351 `@h:_d 18.1 简介 351 .CVUEK@Z4 18.2 什么是脚本? 351 <A)+|Y"^h6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 .qSBh
hH\ 18.4 基础 352 ;knd7SC 18.4.1 Classes(类别) 352 Nc{]zWL9 18.4.2 对象 352 ;(K 18.4.3 信息(Messages) 352 1s Br.+p 18.4.4 属性 352 -@rxiC:Q 18.4.5 方法 353 dSwm|kIa 18.4.6 变量声明 353 ,VAp>x+O 18.5 创建对象 354 GtF2@\ 18.5.1 创建对象函数 355 kt:)W])V 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 %moJF1 18.5.3 丢弃对象 356 vKU`C?,L 18.5.4 总结 356 3AK(dC[ri 18.6 脚本中的表格 357 c\M#5+ 1j 18.6.1 方法1 357 ,
Hn7(^t 18.6.2 方法2 357 ue@8voZhS/ 18.7 2D Plots in Scripts 358 wuKl-:S;Vs 18.8 3D Plots in Scripts 359 (Up'$J} 18.9 注释 360 HzE1r+3Q@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 H6_xwuw: 18.11 一个更高级的脚本 362 x"vwWJNQ 18.12 <esc>键 364 Wdo#?@m 18.13 包含文件 365 nB=0T`vQ 18.14 脚本被优化调用 366 kGm:VYf% 18.15 脚本中的对话框 368 #Rc5c+/(
18.15.1 介绍 368 )%s +? 18.15.2 消息框-MsgBox 368 aM), M]m[ 18.15.3 输入框函数 370 =HMmrmz: 18.15.4 自定义对话框 371 X:Q$gO?[4 18.15.5 对话框编辑器 371 Rvvh{U;t 18.15.6 控制对话框 377 }'lNi^"XL 18.15.7 更高级的对话框 380 z!:'V] 18.16 Types语句 384 job[bhK'Jt 18.17 打开文件 385 NgHpIonC 18.18 Bags 387 p'&*r2_ram 18.13 进一步研究 388 eZNitGaU 19 vStack 389 @;m$ua*|: 19.1 vStack基本原理 389 \OcMiuw 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Z v4<b 19.3 五棱镜 393 O-j$vzHpdY 19.4 光束距离 396 l)Zs-V!M^\ 19.5 误差 399 ]M3#3Ha" 19.6 二向分色棱镜 399 >!}`%pk( 19.7 偏振泄漏 404 ?vu_k 'io 19.8 波前误差—相位 405 ^n9a" qz 19.9 其它计算参数 405 M/{g(|{ 20 报表生成器 406 M-Y0xWs 20.1 入门 406 x5OC;OQc 20.2 指令(Instructions) 406 B;!f<"a8 20.3 页面布局指令 406 L,~MicgV 20.4 常见的参数图和三维图 407 y? "@v. 20.5 表格中的常见参数 408 YX*0?S 20.6 迭代指令 408 Zn&k[?;Al 20.7 报表模版 408 ID4~Gn 20.8 开始设计一个报表模版 409 f7J,&<<5w 21 一个新的project 413 r~8;kcu7 21.1 创建一个新Job 414 `U{mbw, 21.2 默认设计 415 !8*McOI 21.3 薄膜设计 416 B
wC+ov= 21.4 误差的灵敏度计算 420 `5'2Hg+ 21.5 显色指数计算 422 m_*R.a 21.6 电场分布 424 ioV_oR9I 后记 426 dn,g Z"< 有兴趣可以和我联系 6z?gg3GV knT.l"
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