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gB@Xi* 内容简介 TEl:;4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2g1[E_? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jC1mui|Y^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 R6HMi#eF e Ll+F%@ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Pw/Z;N;:V 目录 UKp- *YukT Preface 1 _ngyai1 内容简介 2 knX0b$$ 目录 i a&~_ba+ 1 引言 1 DGr{x}Kq 2 光学薄膜基础 2 3o%,8l, 2.1 一般规则 2 iph>"b$D 2.2 正交入射规则 3 j<>|Hi
#` 2.3 斜入射规则 6 `m?%{ \ 2.4 精确计算 7 jr{C/B} 2.5 相干性 8 B"T Z8(< 2.6 参考文献 10 5Z}]d@ 3 Essential Macleod的快速预览 10 $8o(_8Q) 4 Essential Macleod的特点 32 T6JN@:8 4.1 容量和局限性 33 8<M'~G%CEq 4.2 程序在哪里? 33 7PO3{I 4.3 数据文件 35 cVJ"^wgBt 4.4 设计规则 35 |cStN[97% 4.5 材料数据库和资料库 37 |;_NCy8i3X 4.5.1材料损失 38 `E>HpRcxD 4.5.1材料数据库和导入材料 39 IW3ZHmrpA 4.5.2 材料库 41 OiNzN.}d 4.5.3导出材料数据 43 Xu`c_ 4.6 常用单位 43 $j:$
` 4.7 插值和外推法 46 |WH'aGG 4.8 材料数据的平滑 50
02:] 4.9 更多光学常数模型 54 1eQ9(hzF 4.10 文档的一般编辑规则 55 &=H{ 36i@ 4.11 撤销和重做 56 S!<YVQq 4.12 设计文档 57 9{|JmgO! 4.10.1 公式 58 !/+ZKx("9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 q\ FF)H 4.10.3 沉积密度 59 24PEt%2 4.10.4 平行和楔形介质 60 R;&C6S 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 QU^*(HGip 4.10.4 性能 61 sHD8#t^{ 4.10.5 保存设计和性能 64 W)3?T&` 4.10.6 默认设计 64 ia
1Sf3 4.11 图表 64 r=P)iE: 4.11.1 合并曲线图 67 ){`s&? M0 4.11.2 自适应绘制 68 "OF4#a17 4.11.3 动态绘图 68 |m7U^ 4.11.4 3D绘图 69 \Km!#: 4.12 导入和导出 73 GZ0?
C2\ 4.12.1 剪贴板 73 w naP? |/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]|62l+ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )=l~XV 4.13 背景 77 &C<K|F!j! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 z(2pl} 4.15 生成Rugate 84 dfY(5Wc+f 4.16 参考文献 91 O=UXe]D 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 :;W[@DeO[ 5.1 Jobs 92 O*{<{3 5.2 创建一个新Job(工作) 93 =!T@'P? 5.3 输入材料 94 F8M&.TE_3 5.4 设计数据文件夹 95 '?dO[iQ$: 5.5 默认设计 95 :)VO,b~r 6 细化和合成 97 OV3l)73?t 6.1 优化介绍 97 's> 6.2 细化 (Refinement) 98 >p#` %S 6.3 合成 (Synthesis) 100 eqbQ,, & 6.4 目标和评价函数 101 Fb=(FQ2Y? 6.4.1 目标输入 102 stuj,8 6.4.2 目标 103 koOkm:(, 6.4.3 特殊的评价函数 104 OE' ?3S 6.5 层锁定和连接 104 jGpSECs 6.6 细化技术 104 c} )U:?6 6.6.1 单纯形 105 /aS= vjs 6.6.1.1 单纯形参数 106 -F=?M+9[ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 2Ya)I k{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 -4ry)isYx 6.6.3 模拟退火算法 109 YoyJnl.?u 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gU\pP,a 6.6.4 共轭梯度 111 Ie{98 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 abiZ"?( 6.6.5 拟牛顿法 112 hkV;(Fr&z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &_Kb;UVRj 6.6.6 针合成 113 y4*i
V;" 6.6.6.1 针合成参数 114 su;u_rc, 6.6.7 差分进化 114 U-Ia$b-5! 6.6.8非局部细化 115 8G$ %DZ $ 6.6.8.1非局部细化参数 115 \7rAQ[\#V 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8:=&=9% 6.7.1 细化 116 m>yb}+ 6.7.2 合成 117 <T]%Gg8 6.8 参考文献 117 Uytq,3Gj6 7 导纳图及其他工具 118 _M'WTe 7.1 简介 118 kQ~2mU 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?;84 M@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 1o"/5T:S[ 7.2.2 导纳图 120 ql"&E{u? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Zoe>Ow8mE` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 iV9wqUkMv 7.5 斜入射导纳图 141 H$'|hUwds% 7.6 对称周期 141 N(i%Oxp1 7.7 参考文献 142 \f| Hk*@ 8 典型的镀膜实例 143 U%%fKL=S 8.1 单层抗反射薄膜 145 wM.z/r\p 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ]xGo[:k|E 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /`(Kbwh 8.4 W-膜层 148 .*XELP=BT 8.5 V-膜层 149 EWOS6Yg7 8.6 V-膜层高折射基底 150 kc*zP= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ^n8ioL\*i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 |OW/-&) 8.9 四层抗反射薄膜 153 !ieMhJ5r 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 N>h/!#
ZC 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 C]S~DK1 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 @ig'CF%( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 590.mCm 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ?%RAX CK 8.15十五层宽带抗反射膜 159 fP 1V1ao 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 (Hk4~v6pqC 8.17 1/4波长堆栈 162 bVfFhfh* 8.18 陷波滤波器 163 V11(EZJ/j 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 nW)-bAV< 8.20 褶皱 165 &UzeNL"] 8.21 消偏振分光器1 169 hxG=g6:G 8.22 消偏振分光器2 171 /|7@rH([{ 8.23 消偏振立体分光器 172 BR&T,x/d 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^RL#(O 8.25 立体偏振分束器1 174 ~K'e}<-G 8.26 立方偏振分束器2 177 w+A:]SU 8.27 相位延迟器 178 pypW 8.28 红外截止器 179 k+-IuO 8.29 21层长波带通滤波器 180 2MT_5j5[N 8.30 49层长波带通滤波器 181 FHztF$Z 8.31 55层短波带通滤波器 182 mL5 Nu+# 8.32 47 红外截止器 183 b\6)whh 8.33 宽带通滤波器 184 Yz<,`w5/6~ 8.34 诱导透射滤波器 186 ?yAp&Ad 8.35 诱导透射滤波器2 188 So?.V4aD_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (pBPf 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 @8keLrp 8.35 增益平坦滤波器 193 [tN^)c`s/ 8.38 啁啾反射镜 1 196 MmIVTf4 8.39 啁啾反射镜2 198 b:%z<vo 8.40 啁啾反射镜3 199 '5^$v{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 N5W;Zx] 8.42 增加铝反射率膜 201 _(J;!, 8.43 参考文献 202 IE;Fu67wi 9 多层膜 204 4Vv~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 By3y.}'Ub9 9.2 内部透过率 204 P:~Xaz\F 9.3 内部透射率数据 205 T6/d[SH> 9.4 实例 206 (tZ#EL0 9.5 实例2 210 \R!.VL3Tx$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 Qu 7#^%= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Iw07P2 10 光学薄膜的颜色 216 >Xz=E0;^Ua 10.1 导言 216 bxxazsj^ 10.2 色彩 216 ]lBe 10.3 主波长和纯度 220 oAnNdo 10.4 色相和纯度 221 L&D+0p^lI 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :eK(9o 10.6 色差 226 ioIOyj 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 M<Gr~RKmAn 10.8 颜色渲染指数 234 b*;zdGX.A9 10.9 色差计算 235 %:jVx 10.10 参考文献 236
24Y8n 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *HT)Au"5 11.1 短脉冲 238 #=}dv8 11.2 群速度 239 d3nx"=Cy0I 11.3 群速度色散 241 @M]uUL-ze 11.4 啁啾(chirped) 245 iTX:*$~I 11.5 光学薄膜—相变 245 F'v3caE 11.6 群延迟和延迟色散 246 {z^6V\O5 11.7 色度色散 246 h;q=<[h\ 11.8 色散补偿 249 96NZrT 11.9 空间光线偏移 256 oK-T@ &- 11.10 参考文献 258 WO}l&Q 12 公差与误差 260 B #[URZ9S 12.1 蒙特卡罗模型 260 ,^Cl?\9" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 KC"# 12.2.1 误差工具 267 cpIFjb>u{ 12.2.2 灵敏度工具 271 |iGfX,C| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 E?VPCx 12.2.2.2 灵敏度分布 275 T9s$IS , 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 sl5y1W/]] 12.3 参考文献 276 FJ/>=2^B 13 Runsheet 与Simulator 277 b 8vyJb,K 13.1 原理介绍 277 /0S2Omh 13.2 截止滤光片设计 277 TT85G 14 光学常数提取 289 rNi]|)-ET 14.1 介绍 289 >e
g8zN 14.2 电介质薄膜 289 /J0YF
14.3 n 和k 的提取工具 295 (31ia"i% 14.4 基底的参数提取 302 :Dh\ 14.5 金属的参数提取 306 y v$@i A 14.6 不正确的模型 306 eT(/D/jan 14.7 参考文献 311 ^#6"d+lp 15 反演工程 313 Lip(r3 15.1 随机性和系统性 313 {Df97n%h; 15.2 常见的系统性问题 314 8fG$><@ 15.3 单层膜 314 ]+U:8* 15.4 多层膜 314 3`Ug]<m 15.5 含义 319 qD/GYqvm 15.6 反演工程实例 319 Q3@MRR^tY 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 T<jo@z1UL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 X@["Jjp 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /~8<;N>,+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 G{ |0} 16.2 应力工具 335 CMcS4X9/} 16.3 均匀性误差 339 ?g~w6|U(r 16.3.1 圆锥工具 339 ?Aq
\Gr 16.3.2 波前问题 341 >5O#_? 16.4 参考文献 343 TO,XN\{y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 bOB<m4 17.1 引言 345 "k;j@ 17.2 操作数 345 IIZu&iZo\ 18 如何在Function中编写脚本 351 slQxz;t 18.1 简介 351 ""Ub^:ucD 18.2 什么是脚本? 351 t PJW|wo 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 0xN1Xm0d 18.4 基础 352 $]
gwaJ: 18.4.1 Classes(类别) 352 bu2@~ 18.4.2 对象 352 =7e|e6 18.4.3 信息(Messages) 352 !R
b 18.4.4 属性 352 3 L:s5 18.4.5 方法 353 wt@Qjbqd8 18.4.6 变量声明 353 `<?{%ja 18.5 创建对象 354 J~e%EjN5e 18.5.1 创建对象函数 355 5xS
ze; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `wMHjcUP 18.5.3 丢弃对象 356 "X[sW%# F 18.5.4 总结 356 V(?PKb-w) 18.6 脚本中的表格 357 EMTAl;P 18.6.1 方法1 357 <P%<EgOE 18.6.2 方法2 357 #"T< mM7 18.7 2D Plots in Scripts 358 :rdw0EROy 18.8 3D Plots in Scripts 359 >*wF~G*k 18.9 注释 360 03%`ouf 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 0\y{/P?I$ 18.11 一个更高级的脚本 362 o 94]:$=~ 18.12 <esc>键 364 7A@iu*t 18.13 包含文件 365 zXEu3h 18.14 脚本被优化调用 366 (
!THd 18.15 脚本中的对话框 368 WGK:XfOBQ 18.15.1 介绍 368 .`ND 18.15.2 消息框-MsgBox 368 bV3az/U 18.15.3 输入框函数 370 ^zfO=XN 18.15.4 自定义对话框 371 : xBG~D 18.15.5 对话框编辑器 371 }C'H@:/ 18.15.6 控制对话框 377 21LJ3rW_ 18.15.7 更高级的对话框 380 u2FD@Xq? 18.16 Types语句 384 +=N!37+G 18.17 打开文件 385 lMQ_S" 18.18 Bags 387 ='\Di '* 18.13 进一步研究 388 7GFE5>H 19 vStack 389 _MI8P/ 19.1 vStack基本原理 389 i3SrsVSG 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 w nPg ). 19.3 五棱镜 393 0DZ}8"2 19.4 光束距离 396 17.. 19.5 误差 399 J%
b`*?A 19.6 二向分色棱镜 399 @:ojt$ 19.7 偏振泄漏 404 k^%Kw(/ 19.8 波前误差—相位 405 y-1!@|l0:6 19.9 其它计算参数 405 rgK:ujzW! 20 报表生成器 406 Q ,`R-?v 20.1 入门 406 JO&~mio 20.2 指令(Instructions) 406 k0/S&e,* 20.3 页面布局指令 406 j-CSf(qIj 20.4 常见的参数图和三维图 407 'f
"KV| 20.5 表格中的常见参数 408 L3@upb 20.6 迭代指令 408 .^F(&c*[' 20.7 报表模版 408 4[ .DQ#r 20.8 开始设计一个报表模版 409 CI}zu;4| 21 一个新的project 413 Pw:{ 21.1 创建一个新Job 414 01_*^iCf5 21.2 默认设计 415 O^L#(8bC 21.3 薄膜设计 416 ;/79tlwq 21.4 误差的灵敏度计算 420 yPmo@aw]1 21.5 显色指数计算 422 5.TeH@( 21.6 电场分布 424 BPwn!ii| 后记 426 oZ!1^o3V
有兴趣可以和我联系 q; n "{@Q..hxC
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