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B.Szp_$ 内容简介 k=^~\$e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 gpvzOW/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
spX*e1 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (yr<B_Y'MY \dx$G?R 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 /QgU!:e 目录 w%3*T#tp Preface 1 VZhHO
d 内容简介 2 QEC4!$L^ 目录 i 6r]l8*34; 1 引言 1 r;7&U<j~Z 2 光学薄膜基础 2 [ Q@rW5,- 2.1 一般规则 2 +46m~" ] 2.2 正交入射规则 3 2F
z;TNS 2.3 斜入射规则 6 }hm"49,O 2.4 精确计算 7 U!TSAg21P 2.5 相干性 8 ii)DOq#2 2.6 参考文献 10 '(6
^O= 3 Essential Macleod的快速预览 10 ~43T$^<w; 4 Essential Macleod的特点 32
'gaa@ !bg 4.1 容量和局限性 33 qQ{i2D%)?f 4.2 程序在哪里? 33 _rN1(=J 4.3 数据文件 35 F7"v}K]X 4.4 设计规则 35 ES>iM)M 4.5 材料数据库和资料库 37 _u]S/X- 4.5.1材料损失 38 4nz$Ja) 4.5.1材料数据库和导入材料 39 N E/ _ 4.5.2 材料库 41 4b@Awtk 4.5.3导出材料数据 43 ,,Ia 4c
4.6 常用单位 43 J Yesk 4.7 插值和外推法 46 `pJWZ:3 4.8 材料数据的平滑 50 `h(*D 4.9 更多光学常数模型 54 (p1}i::Y8 4.10 文档的一般编辑规则 55 !l7D1i~ 4.11 撤销和重做 56 NDo>"in 4.12 设计文档 57 .Bs~FIe^ 4.10.1 公式 58
D=!T,p= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .S6u{B 4.10.3 沉积密度 59 A.|98*U% 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^}{`bw {
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~USU\dni 4.10.4 性能 61 Ij_h #f 4.10.5 保存设计和性能 64 hLo>jE
4.10.6 默认设计 64 v-MrurQ4 4.11 图表 64 U 6`E\?d` 4.11.1 合并曲线图 67 P-LdzVt(^ 4.11.2 自适应绘制 68 gwQk
M4 4.11.3 动态绘图 68 x 3C^ S~ 4.11.4 3D绘图 69 hlO,mU 4.12 导入和导出 73 \)/dFo\l 4.12.1 剪贴板 73 :dML+R#Ymh 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 h4,S/n 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 7.!`c-8
u 4.13 背景 77 rv26vnJy" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9`|
^cL*6 4.15 生成Rugate 84 8)m 4.16 参考文献 91 ?>}&,:U} 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;#+Se,) 5.1 Jobs 92 :OC(93d)0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 IS[&V&.n 5.3 输入材料 94 VYAz0H1-_ 5.4 设计数据文件夹 95 [}1+=Ub 5.5 默认设计 95 G@+AB*Eu 6 细化和合成 97 F8En)# 6.1 优化介绍 97 M?3#XQDvD 6.2 细化 (Refinement) 98 &"/IV$H 6.3 合成 (Synthesis) 100 AfqthI$*m 6.4 目标和评价函数 101 ns}"[44C}l 6.4.1 目标输入 102 ,nnVHBN 6.4.2 目标 103 r)/nx@x 6.4.3 特殊的评价函数 104 4)OM58e} 6.5 层锁定和连接 104 ]*\m@lWu 6.6 细化技术 104 9i`sSi8
6.6.1 单纯形 105 lE 09 Y 6.6.1.1 单纯形参数 106 C0#"U f 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 [KT1.5M[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 F =Zc_ 6.6.3 模拟退火算法 109 ]fb3>HOTJ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @`S8d%6P 6.6.4 共轭梯度 111 m@#@7[6]o 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 'H|=]n0 6.6.5 拟牛顿法 112 1XD|H_JG<j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 u^Ss8}d 6.6.6 针合成 113 SGA!%=Lp 6.6.6.1 针合成参数 114 "U6:z M 6.6.7 差分进化 114
U%zZw) 6.6.8非局部细化 115 `a:L%Ex 6.6.8.1非局部细化参数 115 hnp-x3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 B 4my 6.7.1 细化 116 nApkK1? 6.7.2 合成 117 8Z1pQx-P2C 6.8 参考文献 117 48t_?2> 7 导纳图及其他工具 118 \UR/tlw+/ 7.1 简介 118 D$$,T.'u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .C7;T'>! 7.2.1 四分之一波长规则 119 ")?NCun> 7.2.2 导纳图 120 <-%OXEG 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #nS[]UbwZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0{'%j~" 7.5 斜入射导纳图 141 #5a'Z+ 7.6 对称周期 141 { kF"<W 7.7 参考文献 142 ;~
,<8 8 典型的镀膜实例 143 Ad'b{C% 8.1 单层抗反射薄膜 145 n>[" h2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1-6[KBQ8 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :4'Fq;%C 8.4 W-膜层 148 )?qH#>mD6 8.5 V-膜层 149 *M^t@ h l 8.6 V-膜层高折射基底 150 6~b]RZe7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9YjO
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Xj+oV 8.9 四层抗反射薄膜 153 YnLwBJ 2i 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 f:6%DT~a&C 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 I'$}n$UvZ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 H.R7,'9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 A;g{H| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 $,v[<T` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ( /): 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~3F\7%Iqc 8.17 1/4波长堆栈 162 M(+;AS?; 8.18 陷波滤波器 163 IQ3]fLb 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 MG6y 8.20 褶皱 165 ))z1T 8 8.21 消偏振分光器1 169 K,o@~fj 8.22 消偏振分光器2 171 TA~YCj$ 8.23 消偏振立体分光器 172 Js("H 8.24 消偏振截止滤光片 173 2-#:Y
8.25 立体偏振分束器1 174 LNR~F_64Q 8.26 立方偏振分束器2 177 ""2g{!~r 8.27 相位延迟器 178 _# mo6')j 8.28 红外截止器 179 !`VC4o 8.29 21层长波带通滤波器 180 :(o6^%x 8.30 49层长波带通滤波器 181 2*<'=*zaQ 8.31 55层短波带通滤波器 182 oF9c>^s 8.32 47 红外截止器 183 |loo^!I 8.33 宽带通滤波器 184 Uq8=R)1<|d 8.34 诱导透射滤波器 186 !o k6*m 8.35 诱导透射滤波器2 188 jj&4Sv#> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 kk*:S* , 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i8Y$cac! 8.35 增益平坦滤波器 193 buv*qPO 8.38 啁啾反射镜 1 196 EDkxRfY2/ 8.39 啁啾反射镜2 198 =cN!h"C[ 8.40 啁啾反射镜3 199 Es~|:$(N]| 8.41 带保护层的铝膜层 200 ~.,h12 8.42 增加铝反射率膜 201 N1Pm4joH% 8.43 参考文献 202 :?}U Z# 9 多层膜 204 BL&D|e 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 <P"4Mk7`s 9.2 内部透过率 204 P4~=_Hh 9.3 内部透射率数据 205 p>c` GDU 9.4 实例 206 5cza0CriJ 9.5 实例2 210 aYyUe> 9.6 圆锥和带宽计算 212 '\iWp?`$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $)fybnY 10 光学薄膜的颜色 216 U.[?1:v 10.1 导言 216 +[sZE
X 10.2 色彩 216 5r$X 10.3 主波长和纯度 220 C<?Huw4R0 10.4 色相和纯度 221 <e:2DB& 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ^ld?v 10.6 色差 226 w|uO)/v 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (DW[#2\. 10.8 颜色渲染指数 234 8sV_@<l<X 10.9 色差计算 235 =`l).GnN2` 10.10 参考文献 236 NQD*8PGfj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 dK=<%)N 11.1 短脉冲 238 y+PiH 11.2 群速度 239 { fmY_T[Q8 11.3 群速度色散 241 {0#p, l 11.4 啁啾(chirped) 245 ]-D;t~ 11.5 光学薄膜—相变 245 B: pIzCP 11.6 群延迟和延迟色散 246 [AZN a 11.7 色度色散 246 8?S)>-mwv 11.8 色散补偿 249 1M4I7*r 11.9 空间光线偏移 256 TyCMZsvM, 11.10 参考文献 258 s]X]jfA. 12 公差与误差 260 r.V< 5xV 12.1 蒙特卡罗模型 260 =7Wr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 C98 Ks 12.2.1 误差工具 267 7D;g\{>M 12.2.2 灵敏度工具 271 >9S@:?^&q> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^:0epj7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 UBUZ}ZIbN 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 (v\Cv)OS 12.3 参考文献 276 B>11 13 Runsheet 与Simulator 277 dtdz!'q)Y 13.1 原理介绍 277 {iv!A=jld 13.2 截止滤光片设计 277 l&z)Q/>?pZ 14 光学常数提取 289 Nz,8NM] 14.1 介绍 289 `+!GoXI 14.2 电介质薄膜 289 z'G~b[kG4n 14.3 n 和k 的提取工具 295 I#]$H#}Av 14.4 基底的参数提取 302 f8Xe%"< 14.5 金属的参数提取 306 =/k*w#j 14.6 不正确的模型 306 mkCv
f 14.7 参考文献 311 Y2DR
oQ 15 反演工程 313 4I>I 15.1 随机性和系统性 313 \gh`PS-B 15.2 常见的系统性问题 314 {&'u1y R 15.3 单层膜 314 v;9VX
15.4 多层膜 314 NC*h7 15.5 含义 319 =Of!1TR( 15.6 反演工程实例 319 cNW [i" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0aMw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ba$Ibq,r/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 GHMoT 16.1 光学性质的热致偏移 329 g2=5IU< 16.2 应力工具 335 (]|rxmycA 16.3 均匀性误差 339 0Wf,SYx`s 16.3.1 圆锥工具 339 T5eXcI0t 16.3.2 波前问题 341 >qJRpO 16.4 参考文献 343 {=AK| 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4JTFdbx 17.1 引言 345 o,!r t1&0 17.2 操作数 345 V}l>p? 18 如何在Function中编写脚本 351 QY,.| 18.1 简介 351 HR85!S` 18.2 什么是脚本? 351 R~,*W1G6sF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 .TN9N 18.4 基础 352 a*}ZT,V 18.4.1 Classes(类别) 352 CW(]6s u{ 18.4.2 对象 352 zS*X9|p 18.4.3 信息(Messages) 352 bF88F_ 18.4.4 属性 352 '"H'#%RU 18.4.5 方法 353 H1PW/AW 18.4.6 变量声明 353 ^X%{]b K 18.5 创建对象 354 tQy@d_a=y 18.5.1 创建对象函数 355 _5^p+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G[YbgG=9Y 18.5.3 丢弃对象 356 Xj;nh?\u 18.5.4 总结 356 !b"#`O%` 18.6 脚本中的表格 357 Go}C{(4T 18.6.1 方法1 357 "WTnC0< 18.6.2 方法2 357 G)b6Rit 18.7 2D Plots in Scripts 358 q%=`PCty 18.8 3D Plots in Scripts 359 [@OXvdTV 18.9 注释 360 eKlh }v 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )#9R()n! 18.11 一个更高级的脚本 362 cvpcadN[ 18.12 <esc>键 364 #c V_p 18.13 包含文件 365 $cri"G 18.14 脚本被优化调用 366 ~y+QL{P4~ 18.15 脚本中的对话框 368 Mg.xGST 18.15.1 介绍 368 Vcg$H8m 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ,TTt<&c 18.15.3 输入框函数 370 NTk"W!<Cl2 18.15.4 自定义对话框 371 y< hIXC 18.15.5 对话框编辑器 371 '&5A*X]d 18.15.6 控制对话框 377 (5%OAjW 18.15.7 更高级的对话框 380 &eQF[8 , 18.16 Types语句 384 )TxAhaz+ 18.17 打开文件 385 T?W`g>yM 18.18 Bags 387 oB:tio4DE 18.13 进一步研究 388 e2Sudd=' G 19 vStack 389 zE +)oQ, 19.1 vStack基本原理 389 V.kUFTCvf 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 SrfDl* 19.3 五棱镜 393 y; Up@.IG 19.4 光束距离 396 #$xiqL 19.5 误差 399 _dY6Ip% 19.6 二向分色棱镜 399 ]<mXf~zg
19.7 偏振泄漏 404 2{zFO3i<3 19.8 波前误差—相位 405 =$UDa`}D 19.9 其它计算参数 405 87zsV/ 20 报表生成器 406 h
Ns<Ae 20.1 入门 406 \$ L2xd 20.2 指令(Instructions) 406 -A>1L@N 20.3 页面布局指令 406 yZbO{PMr 20.4 常见的参数图和三维图 407 N<$U:!Z 20.5 表格中的常见参数 408 GMLq3_' 20.6 迭代指令 408 Vd[[< 20.7 报表模版 408 k41lw^Jh 20.8 开始设计一个报表模版 409 a!}.l< ) 21 一个新的project 413 ^1M :wXr 21.1 创建一个新Job 414 _8 b)Xx@5 21.2 默认设计 415
:\1:n 21.3 薄膜设计 416 ~qm<~T_0 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;Y#~2eYCz 21.5 显色指数计算 422 T_O\L[]p* 21.6 电场分布 424 @2-Eky 后记 426 ,KF>PoySA 有兴趣可以和我联系 }zi:nSpON +Gi~VW.
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