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x{$~u2| 内容简介 $#bgt Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .x
1& 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 g?(h{r` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c]qq *k# c4T8eTKU 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 \xQ10\u 目录 M.h)]S> Preface 1 #0i] g)
内容简介 2 |"7^9( 目录 i qyfw$$X 1 引言 1 _N.N?> 2 光学薄膜基础 2 T8ga)BA 2.1 一般规则 2 (sngq{*%%z 2.2 正交入射规则 3 kt.y"^ 2.3 斜入射规则 6 %E!^SF?Y 2.4 精确计算 7 XT n`$}nz 2.5 相干性 8 [Rqv49n*V 2.6 参考文献 10 3#d5.Ut 3 Essential Macleod的快速预览 10 0a#2 Lo 4 Essential Macleod的特点 32 t-xw=&!w 4.1 容量和局限性 33 hkSK; 4.2 程序在哪里? 33 *?k~n9n5U 4.3 数据文件 35 Lyx \ s; 4.4 设计规则 35 mP1EWh| 4.5 材料数据库和资料库 37 f}4bnu3 4.5.1材料损失 38 CC(At.dd 4.5.1材料数据库和导入材料 39 |@}Yady@C 4.5.2 材料库 41 l7{Xy_66 4.5.3导出材料数据 43 )czuJ5 4.6 常用单位 43 8P wobln 4.7 插值和外推法 46 C
*\
=Q 4.8 材料数据的平滑 50 Qx9lcO_ 4.9 更多光学常数模型 54 4FmT.P 4.10 文档的一般编辑规则 55 De^GWO.?bT 4.11 撤销和重做 56 W!$aK )]4u 4.12 设计文档 57 0;*1g47\ 4.10.1 公式 58 t%<@k)hd~G 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 RhJ{#G~:% 4.10.3 沉积密度 59 LuM[*_8 4.10.4 平行和楔形介质 60 E^I|%F 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 W9!EjXg 4.10.4 性能 61 xMk0Xf'_ 4.10.5 保存设计和性能 64 Cf-R?gn] 4.10.6 默认设计 64 vd@_LcK 4.11 图表 64 ^ Vl{IsY 4.11.1 合并曲线图 67 hf2Q;n&V 4.11.2 自适应绘制 68 *c\:ogd 4.11.3 动态绘图 68 xt! DS0|*Y 4.11.4 3D绘图 69 *vx!twu1o 4.12 导入和导出 73 8vhg{L.. 4.12.1 剪贴板 73 I8|7~jRB 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 g~5$X{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 n[jyhBf\W 4.13 背景 77 -}l iG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l;4},N 4.15 生成Rugate 84 pi>,>-Z 4.16 参考文献 91 ogt<vng 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8pc=Oor2Tv 5.1 Jobs 92 !,rp| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 xWY%-CWY. 5.3 输入材料 94 ;\N{z6 5.4 设计数据文件夹 95 \tLfB[S.5 5.5 默认设计 95 YT)jBS~& 6 细化和合成 97 5*.JXxE;U 6.1 优化介绍 97 o%ZtE 6.2 细化 (Refinement) 98 }Y/uU"t 6.3 合成 (Synthesis) 100 A}(&At%n4 6.4 目标和评价函数 101 &E0d{2 6.4.1 目标输入 102 Cr?|bDv}o 6.4.2 目标 103 oy I8}s: 6.4.3 特殊的评价函数 104
y.$/niQ% 6.5 层锁定和连接 104 #G[S 6.6 细化技术 104 +|#lUXC 6.6.1 单纯形 105 |sf&t 6.6.1.1 单纯形参数 106 -)biSU, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 -L;sv0 6.6.2.1 Optimac参数 108 5PY,}1` 6.6.3 模拟退火算法 109 Te%2(w,B 6.6.3.1 模拟退火参数 109 J{W<6AK\S 6.6.4 共轭梯度 111 +RXKI{0Km 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3b1;f)t 6.6.5 拟牛顿法 112 F iZe4{(p 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Qh4@Nl#Ncf 6.6.6 针合成 113 R`? '|G]P 6.6.6.1 针合成参数 114 fi5x0El
6.6.7 差分进化 114 D%L}vugxK 6.6.8非局部细化 115 -;5WMX6 6.6.8.1非局部细化参数 115 oPSucz&s 6.7 我应该使用哪种技术? 116 "~
1:7{k 6.7.1 细化 116 K-%x]Fp= 6.7.2 合成 117 [,A*nU$ 6.8 参考文献 117 A4Dj4n 0 7 导纳图及其他工具 118 )%8 ;C]G; 7.1 简介 118 C&Nga
`J 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 2g>4fZ 7.2.1 四分之一波长规则 119 pLB~{5u>;- 7.2.2 导纳图 120 cg16| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 lX^yd5M&f 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 nVkPYeeT 7.5 斜入射导纳图 141 IYeX\)Gv& 7.6 对称周期 141 \k?Fu=@ 7.7 参考文献 142 +n]z'pijb 8 典型的镀膜实例 143 :A+nmz!z 8.1 单层抗反射薄膜 145 `a$-"tW~j 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 A 9I5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 05]y*I 8.4 W-膜层 148 L9,;zkgo 8.5 V-膜层 149 YVcFCl 8.6 V-膜层高折射基底 150 -0W s3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |?zFm
mh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 JHF<vyt5< 8.9 四层抗反射薄膜 153 ,,U8X [A 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 CC?L~/gPN 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #$vQT} 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 uVnbOqR<X 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 >A'Q9Tia; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 2vb {PQ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 PtfxF]%H 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 m tPmVze 8.17 1/4波长堆栈 162 s8i@HO 8.18 陷波滤波器 163 qnFi./ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lB7 V4 8.20 褶皱 165 K) e;*D 8.21 消偏振分光器1 169 $K_G|Wyi 8.22 消偏振分光器2 171 oqLM-=0<} 8.23 消偏振立体分光器 172 ,C4gA(')K 8.24 消偏振截止滤光片 173 |f9fq~'1e 8.25 立体偏振分束器1 174 7/ $r 8.26 立方偏振分束器2 177 adi^*7Q] ) 8.27 相位延迟器 178 y7iHB
k"^: 8.28 红外截止器 179 @-^jbmu^
P 8.29 21层长波带通滤波器 180 %E1_)^^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 >bgx o< 8.31 55层短波带通滤波器 182 Or {9?;G 8.32 47 红外截止器 183 h-0#h/u>M 8.33 宽带通滤波器 184 0a1Vj56{) 8.34 诱导透射滤波器 186 S,Y\ox- 8.35 诱导透射滤波器2 188 Qyh_o 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Kx8> 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 EbG`q!C 8.35 增益平坦滤波器 193 ';HNQe?vT
8.38 啁啾反射镜 1 196 E{):zg 8.39 啁啾反射镜2 198 A>0wqT 8.40 啁啾反射镜3 199 WF'Di4
8.41 带保护层的铝膜层 200 `~~.0QC 8.42 增加铝反射率膜 201 M1>2Q[h7 8.43 参考文献 202 **RW
9FU 9 多层膜 204 #kmZS/" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @<n8?"{5S 9.2 内部透过率 204 qD#E, "% 9.3 内部透射率数据 205 kNqIPvuMr 9.4 实例 206 h'QEwW 9.5 实例2 210 APne! 9.6 圆锥和带宽计算 212 [/P}1
c[)U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 AK$h
SM 10 光学薄膜的颜色 216 )MV`(/BC* 10.1 导言 216 !)!<.x 10.2 色彩 216 e*nT+Rp 10.3 主波长和纯度 220 :)~idVlV 10.4 色相和纯度 221 IY* ~df 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KG2ij~v 10.6 色差 226 I;=HXL 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 <B3v4f 10.8 颜色渲染指数 234 +Jf45[D 10.9 色差计算 235 1\hh,s 10.10 参考文献 236 CrTGC%w{= 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *>=|"ff 11.1 短脉冲 238 k+D32]b@ 11.2 群速度 239 49e~/YY 11.3 群速度色散 241 ?zS
t 11.4 啁啾(chirped) 245
6Cdc?#& 11.5 光学薄膜—相变 245 E~b Yk6 11.6 群延迟和延迟色散 246 Q')0 T>F- 11.7 色度色散 246 #3+-vyZm 11.8 色散补偿 249 K6 {0`'x 11.9 空间光线偏移 256 W7sx/O9 11.10 参考文献 258 ]j^V5y" 12 公差与误差 260 r+#! ]wNPe 12.1 蒙特卡罗模型 260 N9|v%-_?) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 P%CNu 12.2.1 误差工具 267 {j0c)SETN 12.2.2 灵敏度工具 271 `1 tD&te0 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =P,h5J 12.2.2.2 灵敏度分布 275 vWGjc2_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 kS\A_"bc 12.3 参考文献 276 ljS~>& 13 Runsheet 与Simulator 277 dxz.%a@PW 13.1 原理介绍 277 eM>f#M 13.2 截止滤光片设计 277 vvsQf% 14 光学常数提取 289 ;$0)k(c9 14.1 介绍 289 nMBKZ 14.2 电介质薄膜 289 f0<'IgN 14.3 n 和k 的提取工具 295 rX^wNH 14.4 基底的参数提取 302 5os(. 14.5 金属的参数提取 306 _@U11| 14.6 不正确的模型 306 O<:"Irq\qr 14.7 参考文献 311 Lwy9QZL 15 反演工程 313 *8a8Ng 15.1 随机性和系统性 313 z. 6-D 15.2 常见的系统性问题 314 A3;}C+K 15.3 单层膜 314 SF7p/gG 15.4 多层膜 314 52zD!( 15.5 含义 319 szDd!(&pv 15.6 反演工程实例 319 u> YC4& 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 (,i&pgVZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 EWr8=@iU 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 oX;D|8f 16.1 光学性质的热致偏移 329 &:}{?vU 16.2 应力工具 335 S<-e/`p=H 16.3 均匀性误差 339 ipIexv1/S 16.3.1 圆锥工具 339 K<_bG<tm_ 16.3.2 波前问题 341 "IvFkS=*Q 16.4 参考文献 343 NDmTxW#g 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4dd] Ju 17.1 引言 345 ;QiSz=DyA 17.2 操作数 345 RTEzcJ> 18 如何在Function中编写脚本 351 i8kyYMPP 18.1 简介 351 #y?iUv 18.2 什么是脚本? 351 npJyVh47 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {p70(
]v 18.4 基础 352 3fb"1z# 18.4.1 Classes(类别) 352 5Y#W$Fx($R 18.4.2 对象 352 h"/y$ 18.4.3 信息(Messages) 352 d=6FL" .o 18.4.4 属性 352 pc=f, 18.4.5 方法 353 |#)S`Ua1 18.4.6 变量声明 353 >@mvb@4* 18.5 创建对象 354 '/ >7pB 18.5.1 创建对象函数 355 V"r2 t9A 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ?FRuuAS 18.5.3 丢弃对象 356 {cW%i: 18.5.4 总结 356 ??7c9l5, 18.6 脚本中的表格 357 ?JinX'z 18.6.1 方法1 357 \'BA}v
&/ 18.6.2 方法2 357 '0\v[f{K3G 18.7 2D Plots in Scripts 358 t}!Y}D 18.8 3D Plots in Scripts 359 X<j(AAHE 18.9 注释 360 Ul/Uk n$ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ';\v:dP 18.11 一个更高级的脚本 362 BwpSw\\?@ 18.12 <esc>键 364 cGE,3dsF[ 18.13 包含文件 365 {Y(# <UDM 18.14 脚本被优化调用 366 {tN?)~ZQ 18.15 脚本中的对话框 368 )Gu:eYp+` 18.15.1 介绍 368 E;m-^dxc 18.15.2 消息框-MsgBox 368 mHY R? 18.15.3 输入框函数 370 8}^R jMgI 18.15.4 自定义对话框 371 p;Lp-9H\33 18.15.5 对话框编辑器 371 FVgE^_ 18.15.6 控制对话框 377 -!C9x?gNY 18.15.7 更高级的对话框 380
'Pm.b}p< 18.16 Types语句 384 z"vI-~,YU 18.17 打开文件 385 65>1f 18.18 Bags 387 8vK$]e36 18.13 进一步研究 388 $$tFP"pZ 19 vStack 389 j-R9=vB2 19.1 vStack基本原理 389 p:/#nmC< 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 T|L_+(M{ 19.3 五棱镜 393 3 utv 19.4 光束距离 396 6N<v&7cSB 19.5 误差 399 ],3#[n[ m 19.6 二向分色棱镜 399 8q5
`A Gl 19.7 偏振泄漏 404 JSAbh\Mq6 19.8 波前误差—相位 405 cu~\&3R 19.9 其它计算参数 405 !UV1OU 20 报表生成器 406 l0&Y",vy 20.1 入门 406 a#k=!
W 20.2 指令(Instructions) 406 1e'Ez4* 20.3 页面布局指令 406 jmH=W) 20.4 常见的参数图和三维图 407 I=DvP;! 20.5 表格中的常见参数 408 X;vfbF 20.6 迭代指令 408 b)e';M 20.7 报表模版 408 icw (y(W 20.8 开始设计一个报表模版 409 YWXY4*G 21 一个新的project 413 ,1! ~@dhs 21.1 创建一个新Job 414 tS@J)p+_( 21.2 默认设计 415 ]w+n39da 21.3 薄膜设计 416 qIC9L"I 21.4 误差的灵敏度计算 420 %^?yI 21.5 显色指数计算 422 6HK
dBW$/ 21.6 电场分布 424 8=Z]?D= 后记 426 KIeTZVu$% 有兴趣可以和我联系 Ne=o+ $.( q"uP%TN
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