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a7!{`fR5 内容简介 b=5ZfhIg[ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 7AlL,&+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %aV~RB# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 P *&Cght>0 1@i/N 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日
AH-BZ8 目录 {eVv%sbq Preface 1 }0?XF/e(R 内容简介 2 @_wJN Qo` 目录 i Y<V$3h 1 引言 1 yb,X
}"Et 2 光学薄膜基础 2 H%>^_:h 2.1 一般规则 2 A/{!w"G 2.2 正交入射规则 3 9Y@ eXP 2.3 斜入射规则 6 = WHI/|& 2.4 精确计算 7 ;2$0j1> 2.5 相干性 8 e]5NA?2j 2.6 参考文献 10 X` J86G ) 3 Essential Macleod的快速预览 10 34Cnbtq^ 4 Essential Macleod的特点 32 ?C- ju8]| 4.1 容量和局限性 33 0Y:)$h2? 4.2 程序在哪里? 33 T0~~0G)k 4.3 数据文件 35 E]}_hZU 4.4 设计规则 35 r`\@Fv, 4.5 材料数据库和资料库 37 |>OBpb 4.5.1材料损失 38 r-*j"1 e 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;+.cD 4.5.2 材料库 41 U#&+n-npO 4.5.3导出材料数据 43 _90<*{bt. 4.6 常用单位 43 *tv\5KW G 4.7 插值和外推法 46 rNurzag 4.8 材料数据的平滑 50 )U7fPKQ 4.9 更多光学常数模型 54 #SG.`J<% 4.10 文档的一般编辑规则 55 hC9EL=
A 4.11 撤销和重做 56 slhMvHOk- 4.12 设计文档 57 Ql%B=vgKL 4.10.1 公式 58 Zd88+GS,# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 V%z?wDC 4.10.3 沉积密度 59 D/JSIDd 4.10.4 平行和楔形介质 60 VN(*m(b 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 I9Uj3cL\ 4.10.4 性能 61 ;mRZ_^V; 4.10.5 保存设计和性能 64 #6v357-5 4.10.6 默认设计 64 .YWkFTlZ+ 4.11 图表 64 $VB
dd~f 4.11.1 合并曲线图 67 ~)n[Vf 4.11.2 自适应绘制 68 lHDZfwJ&C1 4.11.3 动态绘图 68 \.}ZvM$ 4.11.4 3D绘图 69 u!&T}i: 4.12 导入和导出 73 U{/fY/kq 4.12.1 剪贴板 73 Xs# _AX 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 IC (:RtJ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 `<g6^ P 4.13 背景 77 dpK- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ecQ{ePoU 4.15 生成Rugate 84 5ba e- 4.16 参考文献 91 I$p1^8~L 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 )<{u
oH 5.1 Jobs 92 wy8Q=X:vP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;obOr~Jx'5 5.3 输入材料 94 O!^ >YvOh 5.4 设计数据文件夹 95 J3~%9MCJ 5.5 默认设计 95 {Z7ixc523 6 细化和合成 97 u|T]Ne 6.1 优化介绍 97 #oFyi @U 6.2 细化 (Refinement) 98 ,Q3OQ[Nmh 6.3 合成 (Synthesis) 100 97$Q?a8S@ 6.4 目标和评价函数 101 8|<</v8i 6.4.1 目标输入 102 .@%L8_sMR 6.4.2 目标 103 Kh[l};/F 6.4.3 特殊的评价函数 104 _)~1'tCs}h 6.5 层锁定和连接 104 UP$>,05z6 6.6 细化技术 104 l2:-).7xt 6.6.1 单纯形 105 Shn=Q 6.6.1.1 单纯形参数 106 +3o0GJ
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 *S"RU~1_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 x,]x>Up 6.6.3 模拟退火算法 109 9<&M~(dwT4 6.6.3.1 模拟退火参数 109 9(OeH7 6.6.4 共轭梯度 111 'S9o!hb'@ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E?czolNl 6.6.5 拟牛顿法 112 eY'nS 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Yj*T'<e 6.6.6 针合成 113 F[SZwMf29 6.6.6.1 针合成参数 114 XzSl"U PYH 6.6.7 差分进化 114 LTo5v 6.6.8非局部细化 115 W] DGt|JP 6.6.8.1非局部细化参数 115 [@5cYeW3. 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8Iu6r}k?~` 6.7.1 细化 116 '*65j 6.7.2 合成 117 'I+S5![< 6.8 参考文献 117 "uT2 DY[ 7 导纳图及其他工具 118 _z8"r& 7.1 简介 118 RXg\A!5GV 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 m_CWVw 7.2.1 四分之一波长规则 119 |>.MH 7.2.2 导纳图 120 ~3M8"}X;L 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 iE
HWD.u 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 nDO7 7.5 斜入射导纳图 141 ]u!s-=3s 7.6 对称周期 141 T4Vp0i 7.7 参考文献 142 o$l8"Uv 8 典型的镀膜实例 143 DbLo{mFEIj 8.1 单层抗反射薄膜 145 dor1(@no| 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q~
ZUtF 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 &9)/" 8.4 W-膜层 148 i%.k{MY 8.5 V-膜层 149 E;{CoL 8.6 V-膜层高折射基底 150 ZD'mwj+K 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 NK/y,f6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 LKp;sV 8.9 四层抗反射薄膜 153 >6jal?4u- 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Anu: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6vAZLNG3 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $Wj{B@k 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &V$cwB 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
%G\nl 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R:&y@/JY8[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 fh3uo\`@ 8.17 1/4波长堆栈 162 JygJ4RI%j 8.18 陷波滤波器 163 \wsVO"/ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5I1YB+$}e 8.20 褶皱 165 } % Ie 8.21 消偏振分光器1 169 ]r3/hDRDL@ 8.22 消偏振分光器2 171 +DXP&Q 8.23 消偏振立体分光器 172 @ Do.Wgt 8.24 消偏振截止滤光片 173 %LP4RZ 8.25 立体偏振分束器1 174 6q8}8;STTY 8.26 立方偏振分束器2 177 &z40l['4bz 8.27 相位延迟器 178 .=Oww 8.28 红外截止器 179 Z8FgxR 8.29 21层长波带通滤波器 180 Nv. 8.30 49层长波带通滤波器 181 P ?f${t+ 8.31 55层短波带通滤波器 182 :%J;[bS+ 8.32 47 红外截止器 183 ;YY<KuT 8.33 宽带通滤波器 184 i6k6l% 8.34 诱导透射滤波器 186 8Cp@k= 8.35 诱导透射滤波器2 188 95~bM;TVr 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #J3o~,t< 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 J-'XT_k:iM 8.35 增益平坦滤波器 193 y[85eM 8.38 啁啾反射镜 1 196 XZ]ji9' 8.39 啁啾反射镜2 198 BRM `/s 8.40 啁啾反射镜3 199 G^nG^HTo5 8.41 带保护层的铝膜层 200 "*D9.LyM 8.42 增加铝反射率膜 201 9%|skTgIqH 8.43 参考文献 202 hvO$ f.i 9 多层膜 204 t?-a JU 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 [(_,\:L${ 9.2 内部透过率 204 /"st
sF 9.3 内部透射率数据 205 JD0s0>q_ 9.4 实例 206 h M7 SGEV 9.5 实例2 210 4hxP`!< 9.6 圆锥和带宽计算 212 Q&{C%j~N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Z3c\}HLY 10 光学薄膜的颜色 216 -hW>1s< 10.1 导言 216 (0Br`%!F 10.2 色彩 216 8CRbo24"s 10.3 主波长和纯度 220 G\MeJSt* 10.4 色相和纯度 221 %.f%Q?P 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ElpZzGj+ 10.6 色差 226 %La7);SeY 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 %G2g
@2 10.8 颜色渲染指数 234 $t^Td< 10.9 色差计算 235 0nCiN;sA 10.10 参考文献 236 w (RRu~J 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1aS:bFi` 11.1 短脉冲 238 mMXDzAllB 11.2 群速度 239 o96c`a u 11.3 群速度色散 241 >Tl/3{V 11.4 啁啾(chirped) 245 xS%&l)dT 11.5 光学薄膜—相变 245 'D`lVUB 11.6 群延迟和延迟色散 246 zLe(#8G 11.7 色度色散 246 5EQ)pH+ 11.8 色散补偿 249 D=z="p\ 11.9 空间光线偏移 256 wT- -i@@ 11.10 参考文献 258 u(8{5"C 12 公差与误差 260 "@^<~bw 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~=c5q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]U'zy+ 12.2.1 误差工具 267 ca3zY|Oo 12.2.2 灵敏度工具 271 xg,
9~f[ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Q`'cxx 12.2.2.2 灵敏度分布 275 K]B`&ih 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 m%})H"5 12.3 参考文献 276 6l2O>V 13 Runsheet 与Simulator 277 %pOxt< 13.1 原理介绍 277 {ixKc 13.2 截止滤光片设计 277 Zy9IRZe4U 14 光学常数提取 289 bXOM=T 14.1 介绍 289 -a>CF^tH 14.2 电介质薄膜 289 6p&2A 14.3 n 和k 的提取工具 295 q { 14.4 基底的参数提取 302 hNYO+LrI) 14.5 金属的参数提取 306 p|nPu*R-\ 14.6 不正确的模型 306 VhLfSN>W 14.7 参考文献 311 _8y4U[L 15 反演工程 313 f
]_ki 15.1 随机性和系统性 313 >r(`4M: 15.2 常见的系统性问题 314 ! jApV 15.3 单层膜 314 XSN=0N!GB 15.4 多层膜 314 DAf@-~c 15.5 含义 319 V\L%*6O 15.6 反演工程实例 319 H)Me!^@[D 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 @N<h`vDa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 A7#nBHwxZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 qTbc?S46pt 16.1 光学性质的热致偏移 329 tMP"9JE, 16.2 应力工具 335 ztHx)
! 16.3 均匀性误差 339 |BhL. 16.3.1 圆锥工具 339 r7V !M1 16.3.2 波前问题 341 qhTVsZ:{C 16.4 参考文献 343 N<4 nb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 JQej$=* 17.1 引言 345 h,&{m*q& 17.2 操作数 345
<6;@@ 18 如何在Function中编写脚本 351 ?5B?P:=kl 18.1 简介 351 B>cT<B 18.2 什么是脚本? 351 IIGx+> 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 iT|7**+3 18.4 基础 352 ~;]zEq-hG 18.4.1 Classes(类别) 352 hg<[@Q%$o 18.4.2 对象 352 *fj]L?, 18.4.3 信息(Messages) 352 ;K>'Gl 18.4.4 属性 352 NLx TiyQy 18.4.5 方法 353 {0a\<l 18.4.6 变量声明 353 h:G>w`X 18.5 创建对象 354 6!itr" 18.5.1 创建对象函数 355 xj8z*fC; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 jK[*_V 18.5.3 丢弃对象 356 GB}= 18.5.4 总结 356 WPpO(@sn 18.6 脚本中的表格 357 nJYIkfdA 18.6.1 方法1 357 8_Uhh5[ 18.6.2 方法2 357 stW
G`>X 18.7 2D Plots in Scripts 358 {fV$\^c 18.8 3D Plots in Scripts 359 -O1$jBQS 18.9 注释 360 :r
"GZ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 e9/Mjq\ 18.11 一个更高级的脚本 362 0!0o[3* 18.12 <esc>键 364 <ty]z!B 18.13 包含文件 365 `x >6Wk1 18.14 脚本被优化调用 366 ue+{djz[4 18.15 脚本中的对话框 368 rx9y^E5T`; 18.15.1 介绍 368 u&TXN;I,p 18.15.2 消息框-MsgBox 368 S#y GqN0i 18.15.3 输入框函数 370 v#s*I/kw 18.15.4 自定义对话框 371 +kE~OdZG 18.15.5 对话框编辑器 371 ]=i('|YG 18.15.6 控制对话框 377 S!gzmkGcj 18.15.7 更高级的对话框 380 Eld[z{n" 18.16 Types语句 384 88S:E7
$ 18.17 打开文件 385 yVXVH CB 18.18 Bags 387 7mXXMm 18.13 进一步研究 388 IqepR
>5t 19 vStack 389 #XqCz>Z 19.1 vStack基本原理 389 :IJ<Mmb 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 v)gMNzt 19.3 五棱镜 393 +zLw%WD[l 19.4 光束距离 396 3< 6h~ek) 19.5 误差 399 9v-Y*\!w. 19.6 二向分色棱镜 399 :HY =^$\ 19.7 偏振泄漏 404 'PFjZGaKR 19.8 波前误差—相位 405 W|zPV` 19.9 其它计算参数 405 o^"OKHU,S0 20 报表生成器 406 +Q);t, 20.1 入门 406 Rmn{Vui9\ 20.2 指令(Instructions) 406 H7Z`a QC 20.3 页面布局指令 406
qbS6#7D 20.4 常见的参数图和三维图 407 {=Jo!t;f 20.5 表格中的常见参数 408 HRM-r~2:-] 20.6 迭代指令 408 2.MUQ;OX 20.7 报表模版 408 BgdUG:;&
20.8 开始设计一个报表模版 409 BaIuOZ@, 21 一个新的project 413 LA2/<: 21.1 创建一个新Job 414 #l:
1R&F 21.2 默认设计 415 6P>}7R} 21.3 薄膜设计 416 ,!%E\` 21.4 误差的灵敏度计算 420 W1)<!nwA 21.5 显色指数计算 422 p-EU"O 21.6 电场分布 424 Lr8|S 后记 426 TKAs@X,t 有兴趣可以和我联系 9xzow,mi z9OpxW@Ou
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