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z4:!*:.Asu 内容简介 x|0C0a\"A Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _-_iw&F 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 A*y4<'}< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 j#5a&Z i-OD"5a` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 4H-eFs%5 目录 STW?0B'Jr Preface 1 [Km{6L& 内容简介 2 L7C ;l,ot 目录 i 2<EV
iP9 1 引言 1 [gmov)\c 2 光学薄膜基础 2 XHk"nbj 2.1 一般规则 2 */;7Uv7 2.2 正交入射规则 3 ttsR`R1.k 2.3 斜入射规则 6 `q*[fd1u. 2.4 精确计算 7 xaMDec V 2.5 相干性 8 hu}$ \ 2.6 参考文献 10 .uJ
J< 3 Essential Macleod的快速预览 10 mAW.p=; 4 Essential Macleod的特点 32 vhfjZ 4.1 容量和局限性 33 6R n?pe^ 4.2 程序在哪里? 33 }HoCfiE=X 4.3 数据文件 35 wXQxZuk[ 4.4 设计规则 35 kK[4uQQ 4.5 材料数据库和资料库 37 N#T'}>t y 4.5.1材料损失 38 J\@6YU[A 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ou_H&R 4.5.2 材料库 41 M&V'*.xz 4.5.3导出材料数据 43 )UKX\nD"0 4.6 常用单位 43 GTP'js 4.7 插值和外推法 46 X0;u7g2Yz 4.8 材料数据的平滑 50 =NF0E8O 4.9 更多光学常数模型 54 BDI|z/~& 4.10 文档的一般编辑规则 55 u<ed O+ 4.11 撤销和重做 56 k H.dtg_ 4.12 设计文档 57 [:y:_ECs6 4.10.1 公式 58 #f2Ot<#- 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !O_G%+>5W 4.10.3 沉积密度 59 Ul}RT xJ 4.10.4 平行和楔形介质 60 1rm\ u% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Q@W/~~N 4.10.4 性能 61 2RkW/)A9 4.10.5 保存设计和性能 64 &i5@4,p y9 4.10.6 默认设计 64 f{P1.?a 4.11 图表 64 ZxF`i>/h 4.11.1 合并曲线图 67 !Km[Qw
k- 4.11.2 自适应绘制 68 s;VW
%e 4.11.3 动态绘图 68 U~x]2{} 4.11.4 3D绘图 69 Nz
dN4+ 4.12 导入和导出 73 Np" p*O 4.12.1 剪贴板 73 w2DC5ei' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 |7|S>h^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 RA0;f'"` 4.13 背景 77 bk0>f 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lFzVd
N 4.15 生成Rugate 84 (;{X-c}? 4.16 参考文献 91 #PkuCWm6 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2&1mI>:F 5.1 Jobs 92 l f>/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 UGcmzwE 5.3 输入材料 94 .t "VsY| 5.4 设计数据文件夹 95 6
VEB2F 5.5 默认设计 95 /v
8"i^;} 6 细化和合成 97 *] ihc u 6.1 优化介绍 97 &,&+p0CSI! 6.2 细化 (Refinement) 98 T9nb ~P[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 F3|^b{'zO 6.4 目标和评价函数 101 , PlH| 6.4.1 目标输入 102 FNQ<k[#K'~ 6.4.2 目标 103 }S> 4.8 6.4.3 特殊的评价函数 104 !d72f8@9 6.5 层锁定和连接 104 |}=eY?iXo 6.6 细化技术 104 E%mEfj7 6.6.1 单纯形 105 .#( vx; 6.6.1.1 单纯形参数 106 y]h0c<NP 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]m+%y+ 6.6.2.1 Optimac参数 108 MmT/J1zM 6.6.3 模拟退火算法 109 _ ;HdX$op 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $.`o
6.6.4 共轭梯度 111 @:>"VP<( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 mnpk9x}m 6.6.5 拟牛顿法 112 8 .%0JJ .3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 TLwxP" 6.6.6 针合成 113 &;@L]
o 6.6.6.1 针合成参数 114 +z;*r8d<X 6.6.7 差分进化 114 `ASDUgx Mq 6.6.8非局部细化 115 '_c/CNs 6.6.8.1非局部细化参数 115 kdNo<x1o 6.7 我应该使用哪种技术? 116 6v)TCj/ 6.7.1 细化 116 bzi"7%c 6.7.2 合成 117 AB3_|Tza~& 6.8 参考文献 117 :v^/k]S 7 导纳图及其他工具 118 U6.aoqb% 7.1 简介 118 x%mRDm~- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /QXUD.(
8 7.2.1 四分之一波长规则 119 a4*v'Xc5 7.2.2 导纳图 120 dtTn]}J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6`e{l+c=F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 j`_S%E% X 7.5 斜入射导纳图 141 a'VQegP(f\ 7.6 对称周期 141 DDrR9}k 7.7 参考文献 142 CS[]T9|_ 8 典型的镀膜实例 143 \YvG+7a 8.1 单层抗反射薄膜 145 hr
vTFJ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 '@{:FrG*U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Bu:%trlgV 8.4 W-膜层 148 gFaZ ._ 8.5 V-膜层 149 &da=hc,>% 8.6 V-膜层高折射基底 150 "to!&@I|
4 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
x=*Y| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 =$'>VPQ
8.9 四层抗反射薄膜 153 @O#!W]6NT6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 B!RfPk1B<* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 e;.,x 5+ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 l(>6Yq 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ](r}`u%}y 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~5HkDtI) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 JQQyl: = 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 6"-$WUlg 8.17 1/4波长堆栈 162 2
}xePX9? 8.18 陷波滤波器 163 ^Om}9rXw1 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Zl>SeTjB- 8.20 褶皱 165 _pdKcE\X 8.21 消偏振分光器1 169 @ m`C%7< 8.22 消偏振分光器2 171 \+o\wTW 8.23 消偏振立体分光器 172 +#IUn 8.24 消偏振截止滤光片 173 <nk|Z'G E 8.25 立体偏振分束器1 174 d.&_j`\F 8.26 立方偏振分束器2 177 MzvhE0ab 8.27 相位延迟器 178 ?mH=3
:~ 8.28 红外截止器 179 :C5w5
Vnj 8.29 21层长波带通滤波器 180 3bRxV
@0. 8.30 49层长波带通滤波器 181 o#m31*o 8.31 55层短波带通滤波器 182 1Yb &E7j 8.32 47 红外截止器 183
j^jC| 8.33 宽带通滤波器 184 oG,>Pk 8.34 诱导透射滤波器 186 ?m)<kY 8.35 诱导透射滤波器2 188 fJ}e 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 u&~Xgq5[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 {~apY,3 8.35 增益平坦滤波器 193 971=OEyq* 8.38 啁啾反射镜 1 196 k0Vri$x 8.39 啁啾反射镜2 198 v`4w=!4 8.40 啁啾反射镜3 199 ?_ H9>/:. 8.41 带保护层的铝膜层 200 +`>7cy%cZ 8.42 增加铝反射率膜 201 >.wZEQ6QK 8.43 参考文献 202 Cd'D
~'= 9 多层膜 204 Bl\:YYd 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 W?Z>g" 9.2 内部透过率 204 Dw
i-iA_q 9.3 内部透射率数据 205 5o6IpF0V 9.4 实例 206 lT[,w9 $ 9.5 实例2 210 nlv,j& 9.6 圆锥和带宽计算 212 Yn?beu' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 n@pwOHQn<| 10 光学薄膜的颜色 216 ^;
KCE 10.1 导言 216 +P(*S 10.2 色彩 216 rmg\Pa8W> 10.3 主波长和纯度 220 S.MRL, 10.4 色相和纯度 221 {\>4)TA 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 G2`YZ\ 10.6 色差 226 h3F559bw/< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ~gX1n9_n 10.8 颜色渲染指数 234 g1t6XVS$9 10.9 色差计算 235 L@Rgiq|v-| 10.10 参考文献 236 Ti2cD 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 I[E 6N2 11.1 短脉冲 238 99OZK 11.2 群速度 239 ~&~4{ 11.3 群速度色散 241 D5"5`w=C 11.4 啁啾(chirped) 245 $#V'm{Hh 11.5 光学薄膜—相变 245 &A
s>Y,y 11.6 群延迟和延迟色散 246 (^yaAy#4 11.7 色度色散 246 Y%i<~"k 11.8 色散补偿 249 ZvyZ5UA 11.9 空间光线偏移 256 ;"D}"nL 11.10 参考文献 258 M8H hjoo 12 公差与误差 260 hp -|a 12.1 蒙特卡罗模型 260 DT-.Gdb8 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /3)\^Pof 12.2.1 误差工具 267 D:k< , { 12.2.2 灵敏度工具 271 6vNW)1{nn 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >FE8CH!W& 12.2.2.2 灵敏度分布 275 C2<TR PT 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ^mC~<pP( 12.3 参考文献 276 5 =;cN9M@ 13 Runsheet 与Simulator 277 gb,ZN^3<- 13.1 原理介绍 277 2wpJ)t*PF 13.2 截止滤光片设计 277 @.sn 14 光学常数提取 289 +kWWx#L# 14.1 介绍 289 &wi+)d 14.2 电介质薄膜 289 U_VP\ 03 14.3 n 和k 的提取工具 295 0=,Nz 14.4 基底的参数提取 302 }/J"/ T 14.5 金属的参数提取 306 Ht.P670 14.6 不正确的模型 306 K2*rqg 14.7 参考文献 311 KY&Lv^1_| 15 反演工程 313 Kjbk
zc1 15.1 随机性和系统性 313 [xGwqa03 15.2 常见的系统性问题 314 4lPO*:/ 15.3 单层膜 314 w*{{bISw| 15.4 多层膜 314 _V3z!aI 15.5 含义 319 Fepsa;\sU 15.6 反演工程实例 319 Ep-bx&w+ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 p+g=Z<?` 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .?:#<=1 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 i).Vu}W#S 16.1 光学性质的热致偏移 329 L)M{S3q, 16.2 应力工具 335 iq3)}hGo 16.3 均匀性误差 339 5H Cw%n9 16.3.1 圆锥工具 339 DD/B\ 16.3.2 波前问题 341 $mK;{9Z
16.4 参考文献 343 NtGJpT4YX 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [!U%'' 17.1 引言 345 W7C1\'T 17.2 操作数 345 p7AsNqEp 18 如何在Function中编写脚本 351 ok6t|
7sq 18.1 简介 351 RQ0^
1
R 18.2 什么是脚本? 351 7zz F M 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 TgJ+:^+0 18.4 基础 352 ms3" 18.4.1 Classes(类别) 352 .hckZx / 18.4.2 对象 352 2aTq?ZR|8A 18.4.3 信息(Messages) 352 v,opyTwG| 18.4.4 属性 352 C_3,|Zq?| 18.4.5 方法 353 ~NE`Ad.G 18.4.6 变量声明 353 PkFG0 18.5 创建对象 354 AxEdQRGk 18.5.1 创建对象函数 355 &@xm< A\S 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 w3i74C&0 18.5.3 丢弃对象 356 <c5g-*V: 18.5.4 总结 356 DN%JT[7 18.6 脚本中的表格 357 WUauKRR. 18.6.1 方法1 357 E4=D$hfq` 18.6.2 方法2 357 c)Ng9p 18.7 2D Plots in Scripts 358 a`:F07r 18.8 3D Plots in Scripts 359 !d 4DTo
18.9 注释 360 >'#vC]@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
n?c[ E+i; 18.11 一个更高级的脚本 362 ,f%4xXI 18.12 <esc>键 364 x?rd9c 18.13 包含文件 365 9b6U]z, 18.14 脚本被优化调用 366 Zk~Pq%u 18.15 脚本中的对话框 368 V(;T{HW& 18.15.1 介绍 368 Uo9@Y{<B 18.15.2 消息框-MsgBox 368 7[ n
|3 18.15.3 输入框函数 370 )" Z|x 18.15.4 自定义对话框 371 <iH 18.15.5 对话框编辑器 371 16N| 18.15.6 控制对话框 377 !r6Yq,3 18.15.7 更高级的对话框 380 XFWE^*e=B 18.16 Types语句 384 'k}w|gNB 18.17 打开文件 385 ltrti.& 18.18 Bags 387 H`k
YDp 18.13 进一步研究 388 V:t{mu5j 19 vStack 389 e34g=]" 19.1 vStack基本原理 389 :RDk{^b) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 t(vyi 19.3 五棱镜 393 -`\n/"#X6i 19.4 光束距离 396 ;y7+ Q 19.5 误差 399 3xRn 19.6 二向分色棱镜 399 ci+ajON 19.7 偏振泄漏 404 U:@tdH+A7 19.8 波前误差—相位 405 jq#`cay! 19.9 其它计算参数 405 -ert42fN 20 报表生成器 406 00SS<iX 20.1 入门 406 toU<InN 20.2 指令(Instructions) 406 InRRcn( 20.3 页面布局指令 406 "5ISKuL 20.4 常见的参数图和三维图 407 O9<oq 20.5 表格中的常见参数 408 F(/Ka@
20.6 迭代指令 408 ~-G_c=E? 20.7 报表模版 408 kZ6:=l 20.8 开始设计一个报表模版 409 vV=rBO0a? 21 一个新的project 413 cM<08-:v 21.1 创建一个新Job 414 OrL4G
`O 21.2 默认设计 415 #N|JC d_ 21.3 薄膜设计 416 yK"HHdYTV 21.4 误差的灵敏度计算 420 UHk)!P> 21.5 显色指数计算 422 *q\>DE=7 21.6 电场分布 424 s`G}MU 后记 426 ?MfwRWY 有兴趣可以和我联系 > Xij+tt{ uT=5zu
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