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w3<Z?lj: 内容简介 Tc:sldtCk Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :OHSxb>[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 DWuRJ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 /M 0 p_4 F
b1EMVu 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 N].4"0Jv-D 目录 f](I.lm: Preface 1 YjFWC!Qj$ 内容简介 2 =Wj{]&` 目录 i gyC^K3} 1 引言 1 yP
x\ltG3 2 光学薄膜基础 2 6!Qknk$ 2.1 一般规则 2 -zprNQW 2.2 正交入射规则 3 :#Ty^-"]1 2.3 斜入射规则 6 Pfm*<,'x"[ 2.4 精确计算 7 rWJ*e Y 2.5 相干性 8 5KK{%6#f\ 2.6 参考文献 10 VW {,:Ya 3 Essential Macleod的快速预览 10 {-Yee[d<? 4 Essential Macleod的特点 32 Cgo9rC~] 4.1 容量和局限性 33 S:#e8H_7m] 4.2 程序在哪里? 33 M]1; 4.3 数据文件 35 C]/&vh7ta 4.4 设计规则 35 9MT3T?IS 4.5 材料数据库和资料库 37 &T7cH>E'K^ 4.5.1材料损失 38 R+s1[Z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 WI6(#8^p 4.5.2 材料库 41 M=W
4:H,gx 4.5.3导出材料数据 43 Oohq9f#! 4.6 常用单位 43 Uh*@BmDA 4.7 插值和外推法 46 N^lAG"Jao[ 4.8 材料数据的平滑 50 u-kZW1wrQ 4.9 更多光学常数模型 54 _1P`]+K\D$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 x =h0Fq,T 4.11 撤销和重做 56 qT$)Rb& 4.12 设计文档 57 GJvp{U}y9I 4.10.1 公式 58 r4EoJyt 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 V7BsE w 4.10.3 沉积密度 59 ~ibF M5m 4.10.4 平行和楔形介质 60 VxkEe z'| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Y!M~#oqio 4.10.4 性能 61 y[7C% Wj 4.10.5 保存设计和性能 64 9l#gMFknI 4.10.6 默认设计 64 v[VC2D 4.11 图表 64 P0)AUi 4.11.1 合并曲线图 67 !x8kB
Di, 4.11.2 自适应绘制 68 YIO.yN"0 4.11.3 动态绘图 68 ~?CS_B * 4.11.4 3D绘图 69 ,aWCiu} 4.12 导入和导出 73 ?]5Ix1 4.12.1 剪贴板 73 `4skwvS= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3
&Sp@, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -qfnUh 4.13 背景 77 Ts#pUoE~+H 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 SetX#e?q~ 4.15 生成Rugate 84 D&-vq,c 4.16 参考文献 91 Tv1]v. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $C$ub&D
~" 5.1 Jobs 92 a>w~FUm* 5.2 创建一个新Job(工作) 93 )%t7\1)B3 5.3 输入材料 94 fq=:h\\G 5.4 设计数据文件夹 95 {l@WCR 5.5 默认设计 95 0X#+#[W 6 细化和合成 97 AJdp6@O+ 6.1 优化介绍 97 }1Z6e[K? 6.2 细化 (Refinement) 98 PV(4$I} 6.3 合成 (Synthesis) 100 k/@Tr
: 6.4 目标和评价函数 101 h"r!q[MNo 6.4.1 目标输入 102 n>S2}y 6.4.2 目标 103 aDh|48}X 6.4.3 特殊的评价函数 104 \f<z*!,D$ 6.5 层锁定和连接 104 ZL,8,;] 6.6 细化技术 104 x%pRDytA 6.6.1 单纯形 105 [83>T , 6.6.1.1 单纯形参数 106
w{r8kH 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 b Ob
Nc 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?aFZOc4
6.6.3 模拟退火算法 109 +!><5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 _N@(Y : 6.6.4 共轭梯度 111 3e *-\TP- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 %mu>-h ac 6.6.5 拟牛顿法 112 >uHb ^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B$j' /e-Zk 6.6.6 针合成 113 QvJZkGX 6.6.6.1 针合成参数 114 iu|v9+ 6.6.7 差分进化 114 2LC
w*eT{) 6.6.8非局部细化 115 X|' 2R^V. 6.6.8.1非局部细化参数 115 +|0 t 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7f*
RM 6.7.1 细化 116
#Z0-8<\ 6.7.2 合成 117 kP?_kMOx 6.8 参考文献 117 fbV@= (y? 7 导纳图及其他工具 118 }/"4|U 7.1 简介 118 x)5LT}p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7f
r>ZY^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 7"a4/e;^ 7.2.2 导纳图 120 =ajLa/m' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 |T
y=7d , 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 *uU4^E( 7.5 斜入射导纳图 141 [8z&-'J= 7.6 对称周期 141 s[T{c.F 7.7 参考文献 142 d- kZt@DL= 8 典型的镀膜实例 143 Yv=g^tw 8.1 单层抗反射薄膜 145 wASX\D } 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 yquAr$L! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9(OAKUQ 8.4 W-膜层 148 .1{l[[= W 8.5 V-膜层 149 K~3Ebr 8.6 V-膜层高折射基底 150 XWXr0>!,? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 z7k$0& 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 In+^V([u+_ 8.9 四层抗反射薄膜 153 KSsWjF}d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Qt~B#R.
V 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 D )gD< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 *(Ro;?O,pi 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;W~4L+e 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~1ps7[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o3\,gzJ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .pW o >`" 8.17 1/4波长堆栈 162 )#PtV~64 8.18 陷波滤波器 163 0Z8/R 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 q)k{W>O 8.20 褶皱 165 e96#2A5f 8.21 消偏振分光器1 169 i*68-n 8.22 消偏振分光器2 171 0Az/fzJlz 8.23 消偏振立体分光器 172 gmDR{loX 8.24 消偏振截止滤光片 173 j.B>v\b_3 8.25 立体偏振分束器1 174 8t=3 8.26 立方偏振分束器2 177 O{u[+g 8.27 相位延迟器 178 XmlIj8%9[& 8.28 红外截止器 179 {#9,j]< 8.29 21层长波带通滤波器 180 ;h9W\Se 8.30 49层长波带通滤波器 181 tUv3jq)n% 8.31 55层短波带通滤波器 182 RJwb@r<v 8.32 47 红外截止器 183 `0z/BCNB 8.33 宽带通滤波器 184 vcM~i^24) 8.34 诱导透射滤波器 186 M?R!n$N_ 8.35 诱导透射滤波器2 188
:$2Yg[Zc3 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 xG w?'\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B\/7^{i5 8.35 增益平坦滤波器 193 4i`S+`# 8.38 啁啾反射镜 1 196 2+Zti8 8.39 啁啾反射镜2 198 !xymoiArp 8.40 啁啾反射镜3 199 U3+A MVnB 8.41 带保护层的铝膜层 200 Pt(tRH B 8.42 增加铝反射率膜 201 yfC2^#9 Zu 8.43 参考文献 202 ,jTPg/r 9 多层膜 204 #4N >d~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 =Sa~\k+ 9.2 内部透过率 204 z'*ml ? 9.3 内部透射率数据 205 4]EvT=Ro 9.4 实例 206 )WmZP3$^TX 9.5 实例2 210 =1IEpxh% 9.6 圆锥和带宽计算 212 @.1Qs`pt 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ng
9NE8F 10 光学薄膜的颜色 216 [aHlu[, 10.1 导言 216 Yw1Y-M 10.2 色彩 216 #w;;D7{@m 10.3 主波长和纯度 220 *0\k
Z,#BJ 10.4 色相和纯度 221 ,#
eO& 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 s&0*'^'O[S 10.6 色差 226 R}hlDJ/m- 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 jceHKl 10.8 颜色渲染指数 234 ,O2q+'& 10.9 色差计算 235 RyE_|]I62u 10.10 参考文献 236 }H; ]k-) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 A(NEWO 11.1 短脉冲 238 %]!?{U\*k 11.2 群速度 239 0f{IE@-b 11.3 群速度色散 241 ,[^o9u uB 11.4 啁啾(chirped) 245 Kn.iyR 11.5 光学薄膜—相变 245 m
EFWo 11.6 群延迟和延迟色散 246 c[Yq5Bu{y 11.7 色度色散 246 [d\#[l_ 11.8 色散补偿 249 $6Z[|9W^A 11.9 空间光线偏移 256 =uS8>.Qj 11.10 参考文献 258 `u$24h'! 12 公差与误差 260 il7!} 12.1 蒙特卡罗模型 260 9c%(]Rn: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 0O_E\- = 12.2.1 误差工具 267 so'eZ"A: 12.2.2 灵敏度工具 271 E tdd\^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,rXW`7!2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 kr6:{\DU:B 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 N]*!8 12.3 参考文献 276 >H8^0n)? 13 Runsheet 与Simulator 277 N*?
WUn9] 13.1 原理介绍 277 J09ZK8
hK 13.2 截止滤光片设计 277 %$^$'6\77 14 光学常数提取 289 >" i~ x 14.1 介绍 289 Z"+(LO! 14.2 电介质薄膜 289 pc^E'h: 14.3 n 和k 的提取工具 295 UX?X]ZYVR 14.4 基底的参数提取 302 31H|?cg< 14.5 金属的参数提取 306 ?fm2qrV@fp 14.6 不正确的模型 306 WGluZhRuT3 14.7 参考文献 311 Xp.|.)Od 15 反演工程 313 H_v/}DEG 15.1 随机性和系统性 313 omr:C8T> 15.2 常见的系统性问题 314 jjNxatAN 15.3 单层膜 314 uLF\K+cz 15.4 多层膜 314 s9=pV4fA~w 15.5 含义 319 &MBOAHhze 15.6 反演工程实例 319 S|tA[klh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zC[i <'h!T 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *'s&/vEy 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Z5 w`-# 16.1 光学性质的热致偏移 329 RiwEuY 16.2 应力工具 335 m21QN9(i% 16.3 均匀性误差 339 u)wu=z8 16.3.1 圆锥工具 339 !Mm+bWn=mB 16.3.2 波前问题 341 uV/)Gb*j 16.4 参考文献 343 X}kVBT1w+x 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 G;87in ,} 17.1 引言 345 lrM.RM96 17.2 操作数 345 bwv/{3G,Ys 18 如何在Function中编写脚本 351 W5M
] 18.1 简介 351 AN50P!FZW 18.2 什么是脚本? 351 ]KfghRUH 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 % jYQ 18.4 基础 352 N. ItyV 18.4.1 Classes(类别) 352 b6
J2*;XG 18.4.2 对象 352 zS#f%{ 18.4.3 信息(Messages) 352 q=(M!9cE 18.4.4 属性 352 g9RzzE! 18.4.5 方法 353 sqgD?:@J 18.4.6 变量声明 353 9CgXc5 18.5 创建对象 354 =P@M&Yy' 18.5.1 创建对象函数 355 R;5QD` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 mg/C Ux 18.5.3 丢弃对象 356 ^d5gz0d 18.5.4 总结 356 $sB48LJuU' 18.6 脚本中的表格 357 Te{aB"B 18.6.1 方法1 357 1_p[*h 18.6.2 方法2 357 e)fJd*P 18.7 2D Plots in Scripts 358 k:&?$ 18.8 3D Plots in Scripts 359 TPN:cA6[c 18.9 注释 360 w yuJSB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 GFSlYG 18.11 一个更高级的脚本 362 f=-!2#% 18.12 <esc>键 364 N?Z+zN&P 18.13 包含文件 365 a,F8+
Pb> 18.14 脚本被优化调用 366 bqf]$}/8k 18.15 脚本中的对话框 368 4okHAv8; 18.15.1 介绍 368 I\F=s-VVY 18.15.2 消息框-MsgBox 368 y&KoL\ 18.15.3 输入框函数 370 9OO0Ht4j 18.15.4 自定义对话框 371 'Kt4O9=p 18.15.5 对话框编辑器 371 83p$!8]u 18.15.6 控制对话框 377 Z`0r]V`Ys 18.15.7 更高级的对话框 380 .j+2x[`l 18.16 Types语句 384 o{YW 18.17 打开文件 385 ,& \&::R 18.18 Bags 387 q_%w
l5\F 18.13 进一步研究 388 W? 6 19 vStack 389 :c+a-Py
$E 19.1 vStack基本原理 389 A1=$kzw{UH 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 tOlzOBzR 19.3 五棱镜 393 c DEe?WS 19.4 光束距离 396 Y;%R/OyWY 19.5 误差 399 j|VlHDqR 19.6 二向分色棱镜 399 (<AM+| 19.7 偏振泄漏 404 'w |s*5 19.8 波前误差—相位 405 s`$_ 19.9 其它计算参数 405 z!Pdivx 20 报表生成器 406 =_H*fhXS 20.1 入门 406 T{ v< |