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SArfczoB 内容简介 =%!e(N'p Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 vB[~pQ;Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &J8Z@^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 gRBSt
M&hU
}10\K 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 )|v^9 目录 &!ED# gs Preface 1 HbcOTd)=5 内容简介 2 !7}IqSs 目录 i o4$Ott%Wm 1 引言 1 \[:PykS 2 光学薄膜基础 2
s[3e=N 2.1 一般规则 2 w{pUUo:< 2.2 正交入射规则 3 XC=%H'p 2.3 斜入射规则 6 XMGx^mn 2.4 精确计算 7 <"W?<VjO 2.5 相干性 8 U4Z[!s$ 2.6 参考文献 10 pD"YNlB^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Rj^7#,993 4 Essential Macleod的特点 32 4t04}vp 4.1 容量和局限性 33 >ajuk 4.2 程序在哪里? 33 -;^;2#](g 4.3 数据文件 35 oizT-8i@N 4.4 设计规则 35 d')-7C 4.5 材料数据库和资料库 37 /D<"wF }@J 4.5.1材料损失 38 dm6~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 $[g_=Z 4.5.2 材料库 41 moMYdArj 4.5.3导出材料数据 43 BPqk"HG]T 4.6 常用单位 43 {@gAv! 4.7 插值和外推法 46 d{f@K71* 4.8 材料数据的平滑 50 ^(ScgoXva 4.9 更多光学常数模型 54 2R]&v;A 4.10 文档的一般编辑规则 55 -_NC%iN#C 4.11 撤销和重做 56 f;gZ|a 4.12 设计文档 57
6xoq;=o 4.10.1 公式 58 tAjx\7IX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {Hl[C]25X 4.10.3 沉积密度 59 #Z\O}< 4.10.4 平行和楔形介质 60 ,vV]"f 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 SVagT'BB 4.10.4 性能 61 k@V#HC{t 4.10.5 保存设计和性能 64 } VEq:^o. 4.10.6 默认设计 64 ZsZcQj6G, 4.11 图表 64 r[s!F=^
4.11.1 合并曲线图 67 X eoJ$PfT 4.11.2 自适应绘制 68 q_ %cbAcD 4.11.3 动态绘图 68 [ |[>}z: 4.11.4 3D绘图 69 k6!4Zz_8 4.12 导入和导出 73 ,m^;&& 4.12.1 剪贴板 73 ME^,'& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 n-o3 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 eWvo,4 4.13 背景 77 =p@8z
/u 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 n,j$D62[ 4.15 生成Rugate 84 0)|Q6*E> 4.16 参考文献 91 8!mc@$Z 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 jTb-;4N' 5.1 Jobs 92 &3Z?UhH 5.2 创建一个新Job(工作) 93 a{SBCy 5.3 输入材料 94 [BM*oEFPB* 5.4 设计数据文件夹 95 iWE)<h 5.5 默认设计 95 ow6*Xr8eQ 6 细化和合成 97 y#v"GblM 6.1 优化介绍 97 x0Yse:RE^ 6.2 细化 (Refinement) 98 %+-C3\' 6.3 合成 (Synthesis) 100 Lq (ZcEKo 6.4 目标和评价函数 101 W0XF~ 6.4.1 目标输入 102 YE}s 6.4.2 目标 103 9 [jTs3l: 6.4.3 特殊的评价函数 104 PXzT6) 6.5 层锁定和连接 104 T[?6[,. 6.6 细化技术 104 _q?<at}y 6.6.1 单纯形 105 pFsc}R/0/8 6.6.1.1 单纯形参数 106 M+`Hg_#Q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 tNIlzR- 6.6.2.1 Optimac参数 108 Vp}^NNYf 6.6.3 模拟退火算法 109 2+o|A 6.6.3.1 模拟退火参数 109 N]N4^A' 6.6.4 共轭梯度 111 B*1W`f 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 q
o 1lj"P 6.6.5 拟牛顿法 112 _:`!DIz~9} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ;AJTytE>% 6.6.6 针合成 113 7=XL!:P 6.6.6.1 针合成参数 114 %XTcP2pRJ 6.6.7 差分进化 114 E7zm{BX] 6.6.8非局部细化 115 &<pKx! 6.6.8.1非局部细化参数 115 3WY$WRv 6.7 我应该使用哪种技术? 116 aqU'
T 6.7.1 细化 116 zsXoBD\h 6.7.2 合成 117 <spZ! #o 6.8 参考文献 117 Yw;D:Y( 7 导纳图及其他工具 118 r\`+R" 7.1 简介 118 F^k.is
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 sJ
z@7. 7.2.1 四分之一波长规则 119 x]|+\1 7.2.2 导纳图 120 ]aryV?!6 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 sZ<9A Xk-E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 } MbH3ufC 7.5 斜入射导纳图 141 fV:4#j 7.6 对称周期 141 *i{Y 9f8 7.7 参考文献 142 k0-G$|QgIp 8 典型的镀膜实例 143 7OCwG~_^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 $,>@o=)_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 3q:n'PC)C 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #-% A[7Cdp 8.4 W-膜层 148 sOCs13A" 8.5 V-膜层 149 l`-bFmpA 8.6 V-膜层高折射基底 150 t*<#<a 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <#GB[kQa 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 COzyG.R. 8.9 四层抗反射薄膜 153 fFvF\ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ?ULo&P[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Sn4[3JV $l 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4_ v]O 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `+:.L>5([ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 iJ' xh n 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {gNV[45 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 *+'2?* 8.17 1/4波长堆栈 162 "P-lSF?T 8.18 陷波滤波器 163 VQ5nq'{v 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 I\~G|B 8.20 褶皱 165 me6OPc;:! 8.21 消偏振分光器1 169 C;QAT 8.22 消偏振分光器2 171 +
b$=[nfG 8.23 消偏振立体分光器 172 v[plT2"s 8.24 消偏振截止滤光片 173 #GDe08rOw 8.25 立体偏振分束器1 174 +Q=1AXe 8.26 立方偏振分束器2 177 $D
v\
e 8.27 相位延迟器 178 r;L>.wl*I 8.28 红外截止器 179 h_1T,f( 8.29 21层长波带通滤波器 180 gBh;=vOD 8.30 49层长波带通滤波器 181 /&F,V+x 8.31 55层短波带通滤波器 182 '0y9MXRT 8.32 47 红外截止器 183 VvFC -r,=G 8.33 宽带通滤波器 184 rqPFU6 8.34 诱导透射滤波器 186 Uw,2}yR 8.35 诱导透射滤波器2 188 OouPj@r 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 P&m\1W( 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 R8rfM?"W 8.35 增益平坦滤波器 193 x3qW0K8 8.38 啁啾反射镜 1 196 t5)+&I2 8.39 啁啾反射镜2 198 oI)GKA_Ng7 8.40 啁啾反射镜3 199 Yt|6
X:l 8.41 带保护层的铝膜层 200 [V'QrcCF 8.42 增加铝反射率膜 201 +dA ,P\ 8.43 参考文献 202 SS`qJZ|w
9 多层膜 204 [aI]y=v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 / XnhmqWm% 9.2 内部透过率 204 ?(*t@
{k 9.3 内部透射率数据 205 h~{aGo 9.4 实例 206 7eWk7&Xul 9.5 实例2 210 V[-jD8='3 9.6 圆锥和带宽计算 212 ) ri}nL. 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 VJ ^dY; 10 光学薄膜的颜色 216 *(PL
_/: 10.1 导言 216 .h0b~nI>> 10.2 色彩 216 /Q~gU< 10.3 主波长和纯度 220 HB
Iip? 10.4 色相和纯度 221 zIP6\u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pv^O"Bs 10.6 色差 226 '*\|;l#1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,`ZYvF^% 10.8 颜色渲染指数 234 Hwo$tVa:= 10.9 色差计算 235 ~QvqG{bFB 10.10 参考文献 236 kP/M<X" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 aK`@6F,]j 11.1 短脉冲 238 8,0YD#x 11.2 群速度 239 u7?$b!hG^C 11.3 群速度色散 241 DJgTA]$& 11.4 啁啾(chirped) 245 lA>DS#_ 11.5 光学薄膜—相变 245 )_/5*Ly@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 yHxosxd<* 11.7 色度色散 246 H[DUZ,J 11.8 色散补偿 249 @6l%,N<fou 11.9 空间光线偏移 256 ,V*%V; 11.10 参考文献 258 PJ='tJDj 12 公差与误差 260 lNQcYv 12.1 蒙特卡罗模型 260 -V: "l 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]p_@@QTC 12.2.1 误差工具 267
ox+ 3U 12.2.2 灵敏度工具 271 Gs3LB/8? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 uYE`"/h,1e 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Z*-g[8FO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 f4L`.~b'hb 12.3 参考文献 276 L#vI=GpL,r 13 Runsheet 与Simulator 277 hEh}PX: 13.1 原理介绍 277 } :Z#}8 13.2 截止滤光片设计 277 SPp#f~%m 14 光学常数提取 289 F<!)4>2@ 14.1 介绍 289 NJNJjdD> 14.2 电介质薄膜 289 -?(E_^ng 14.3 n 和k 的提取工具 295 L[=a/|)TBV 14.4 基底的参数提取 302 XoA+MuDzpo 14.5 金属的参数提取 306 97ql5 14.6 不正确的模型 306 |=&cQRY!p 14.7 参考文献 311 i+gQE! 15 反演工程 313 J/}:x;Y 15.1 随机性和系统性 313 ,_"AT!r 15.2 常见的系统性问题 314 K~22\G` 15.3 单层膜 314 d>{nQF;c 15.4 多层膜 314 `[C!L *#, 15.5 含义 319 Q'%PNrN 15.6 反演工程实例 319 C`5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 hUYd0qEbEt 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H"qOSf{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 yz0zFfiX 16.1 光学性质的热致偏移 329 Yot?=T};3{ 16.2 应力工具 335 Uh][@35 p 16.3 均匀性误差 339 'Y]mOD^p 16.3.1 圆锥工具 339 )HX|S-qRU= 16.3.2 波前问题 341 TC<@e<-%Sq 16.4 参考文献 343 $^@ ) 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 R+Y4| 17.1 引言 345 {l |E:>Q2 17.2 操作数 345 ?:w1je7 18 如何在Function中编写脚本 351 );FJx~b 18.1 简介 351 ZcaX'5}!S 18.2 什么是脚本? 351 J9=m]R8T 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9]e V?yoA8 18.4 基础 352 yrR1[aT 18.4.1 Classes(类别) 352 *6} N =Z 18.4.2 对象 352 :rg5Kt& 18.4.3 信息(Messages) 352 B9wPU1 18.4.4 属性 352 vBog0KD);s 18.4.5 方法 353 7^g&)P 18.4.6 变量声明 353 &B|D;|7H 18.5 创建对象 354 {c
(!;U 18.5.1 创建对象函数 355 A,`8#-AX 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;INW`b~ 18.5.3 丢弃对象 356 O)"gS!, 18.5.4 总结 356 %?m$`9yU 18.6 脚本中的表格 357 rfq;%C 18.6.1 方法1 357 0X^Ke(/89 18.6.2 方法2 357 8HP6+c% 18.7 2D Plots in Scripts 358 _%GGl$kH 18.8 3D Plots in Scripts 359 3YZs+d.;ib 18.9 注释 360 Yh>]-SCw 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
?]x|Zy 18.11 一个更高级的脚本 362 Pcw6!xH 18.12 <esc>键 364 +-G<c6 | 18.13 包含文件 365 f-%NaTI 18.14 脚本被优化调用 366 ,dx3zBI 18.15 脚本中的对话框 368 Ovj^IjG-` 18.15.1 介绍 368 RoyPrO [3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 S*n@81Z 18.15.3 输入框函数 370 NM06QzE 18.15.4 自定义对话框 371 /FIE:Io 18.15.5 对话框编辑器 371 T8HF|%I 18.15.6 控制对话框 377 t1%_DPD%W 18.15.7 更高级的对话框 380 A7n\h-b 18.16 Types语句 384 nH<eR)0 18.17 打开文件 385 &cu lbcz 18.18 Bags 387 o";Z$tAJkC 18.13 进一步研究 388 {\(L%\sV@ 19 vStack 389 ;vIrGZV< 19.1 vStack基本原理 389 +gLPhX:` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 q5#J~n8Wr 19.3 五棱镜 393 l'3pQ; 19.4 光束距离 396 et }T%~T 19.5 误差 399 |JVk&8
?8 19.6 二向分色棱镜 399 ;dzL}@we 19.7 偏振泄漏 404 sxt-Vs7+6 19.8 波前误差—相位 405 ka3u&3" 19.9 其它计算参数 405 B|&"#Q 20 报表生成器 406 /IM#.v 20.1 入门 406 ^Y
iJV7 20.2 指令(Instructions) 406 !Uq^7Mw 20.3 页面布局指令 406 z5r$M 20.4 常见的参数图和三维图 407 $t6e2=7 20.5 表格中的常见参数 408 R>(@ZM& 20.6 迭代指令 408 ?G-e](]^< 20.7 报表模版 408 lHhUC16> 20.8 开始设计一个报表模版 409 GPGm]G t 21 一个新的project 413 FG)$y[* 21.1 创建一个新Job 414 ANps1w#TP 21.2 默认设计 415 n2fbp\ I 21.3 薄膜设计 416 /\WQxe 21.4 误差的灵敏度计算 420 Y2?.}Z O 21.5 显色指数计算 422 &Y^WP?HS 21.6 电场分布 424 "1HRLci 后记 426 4- [J@ 有兴趣可以和我联系 ;asP4R= 1)[]x9]^q'
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