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=dSH8C" 内容简介 ^{lcj Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 | vL0}e 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 -fKo~\Pr 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 fP# !ywgr% |WwC@3) 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 589hfET 目录 ia6%>^ Preface 1 ammlUWl 内容简介 2 1fUg 目录 i uj;tmK>; 1 引言 1 yq]= +X>( 2 光学薄膜基础 2 dxfF.\BFDn 2.1 一般规则 2 &m[ZpJ9 2.2 正交入射规则 3 BQTZt'p 2.3 斜入射规则 6 c_wvuKa
2.4 精确计算 7 wX<w)@ 2.5 相干性 8 xU<WUfS1 2.6 参考文献 10 ynY( 3 Essential Macleod的快速预览 10 |iSd< 4 Essential Macleod的特点 32 )S"!)\4 b 4.1 容量和局限性 33 W cOyOv 4.2 程序在哪里? 33 f3PDLQA 4.3 数据文件 35 j}u b 4.4 设计规则 35 &Z'3n9zl 4.5 材料数据库和资料库 37 F/p/&9 4.5.1材料损失 38 w]1hoYuV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 v
*icoj 4.5.2 材料库 41 hvW FzT5 4.5.3导出材料数据 43 TP3KT) 4.6 常用单位 43 D]tI's1 4.7 插值和外推法 46 jEh Px 4.8 材料数据的平滑 50 HE!"3S2S&+ 4.9 更多光学常数模型 54 9!} ?}`'_ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ln+;HorZ] 4.11 撤销和重做 56 =1#obB 4.12 设计文档 57 N$ oQK( 4.10.1 公式 58 !%X~`&9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 c o 8bnH 4.10.3 沉积密度 59 xu%_Zt2/?j 4.10.4 平行和楔形介质 60 ICdfak 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <=nOyT9 4.10.4 性能 61 ) KvGJo)(" 4.10.5 保存设计和性能 64 h4ozwVA 4.10.6 默认设计 64 Ql#y7HW 4.11 图表 64 B<$(Nb5< 4.11.1 合并曲线图 67 UpTVLx^c 4.11.2 自适应绘制 68 5nV IC3N+1 4.11.3 动态绘图 68 LO;7NK 4.11.4 3D绘图 69 CKE):kHu 4.12 导入和导出 73 PPAcEXsIu 4.12.1 剪贴板 73 Uc%kyTBm1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 s,CN<`/>x 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 d H N"pNNs 4.13 背景 77 3s\}|LqX# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0ZM#..3sI 4.15 生成Rugate 84 _.%U}U 4.16 参考文献 91 "LNLM 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 pJdR`A-k| 5.1 Jobs 92 x$hT+z6DUC 5.2 创建一个新Job(工作) 93 F,8 ?du] 5.3 输入材料 94 d%Ls'[Y^_0 5.4 设计数据文件夹 95 3p1U,B} 5.5 默认设计 95 G)IK5zCDd 6 细化和合成 97 b9 ;w3Ba 6.1 优化介绍 97 p!o-+@ava 6.2 细化 (Refinement) 98 z[Ah9tM% 6.3 合成 (Synthesis) 100 prEI9/d" 6.4 目标和评价函数 101 70<{tjyc 6.4.1 目标输入 102 #HDP ha 6.4.2 目标 103 tdsfCvF=a 6.4.3 特殊的评价函数 104 'pnOHT 6.5 层锁定和连接 104 +mPVI 6.6 细化技术 104 3ytlD ' 6.6.1 单纯形 105 ;&dMtYb 6.6.1.1 单纯形参数 106 6$)FQ
U 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 HDO_r(i 6.6.2.1 Optimac参数 108 |b4f3n 6.6.3 模拟退火算法 109 w8D6j%C 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %At.nlss 6.6.4 共轭梯度 111 u!-v1O^[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ,!O]c8PcU 6.6.5 拟牛顿法 112 r$:hiE@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 TKp2C5bX 6.6.6 针合成 113 0qq>(K[ 6.6.6.1 针合成参数 114 |LRAb#F\ 6.6.7 差分进化 114 !]3kFWs 6.6.8非局部细化 115 [sNvCE$\] 6.6.8.1非局部细化参数 115 3#?53s 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^[&,MQU{7 6.7.1 细化 116 ~ o=kW2Y 6.7.2 合成 117 :K~sazs7J 6.8 参考文献 117 9m.MGJbQ_f 7 导纳图及其他工具 118 &+0?Xip{Z 7.1 简介 118 e3mFO+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 #-i#mbZ e 7.2.1 四分之一波长规则 119 O"X:3srJ` 7.2.2 导纳图 120 ]!]B7|JFJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Wo(m:q(Om 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ce[
Maw 7.5 斜入射导纳图 141 OZ33w-X< 7.6 对称周期 141 Y2IMHNtH 7.7 参考文献 142 T`bUBrK6g` 8 典型的镀膜实例 143 vb|
d 8.1 单层抗反射薄膜 145 f/QwXO-U 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 aL*}@|JL" 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 R^mkQb>m. 8.4 W-膜层 148 S,EL=3},= 8.5 V-膜层 149 GYg.B<Q. 8.6 V-膜层高折射基底 150 18Vn[}]" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 W^7yh&@lU 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W] WH4.y 8.9 四层抗反射薄膜 153 9 p,O>I 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 AB{zkEuK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 v>HOz\F 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I$ R1#s 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 XG!6[o; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 rog1 8.15十五层宽带抗反射膜 159 [mQdc?n\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 L?Ys(a"k 8.17 1/4波长堆栈 162 -&Q+x,.% 8.18 陷波滤波器 163
IT7],pM 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 =XtQ\$Pax 8.20 褶皱 165 p6aR/gFkqv 8.21 消偏振分光器1 169 ~<-mxOe 8.22 消偏振分光器2 171 } '?qUy3x 8.23 消偏振立体分光器 172 t(dVd% 8.24 消偏振截止滤光片 173 V;W{pd-I 8.25 立体偏振分束器1 174 @q`T#vd 8.26 立方偏振分束器2 177 tJ7F.}\;C 8.27 相位延迟器 178 `!spi=f 8.28 红外截止器 179 VR .t 8.29 21层长波带通滤波器 180 SME9hS$4 8.30 49层长波带通滤波器 181 as'yYn8 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?"^{:~\N 8.32 47 红外截止器 183 Mna
yiJl 8.33 宽带通滤波器 184 8;L;R~Q 8.34 诱导透射滤波器 186 (@qPyM6~} 8.35 诱导透射滤波器2 188 m"-kkH{I 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |N^"?bSt 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 o='A1 P 8.35 增益平坦滤波器 193 ^_i)XdPU 8.38 啁啾反射镜 1 196 4U_+NC>b 8.39 啁啾反射镜2 198 BU4IN$d0Po 8.40 啁啾反射镜3 199 C/QmtT~`e 8.41 带保护层的铝膜层 200 yXoNfsv 8.42 增加铝反射率膜 201 Mk0x#-F 8.43 参考文献 202 mE5{)<N:C 9 多层膜 204 PO8Z2"WI 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -8Hc M\b 9.2 内部透过率 204 a5R.
\a<q 9.3 内部透射率数据 205 ,vO\n^ 9.4 实例 206 tjwnFqI 9.5 实例2 210 L"/?[B": 9.6 圆锥和带宽计算 212 U<Tv<7` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O_7}H) 10 光学薄膜的颜色 216 %)r:!R~R 10.1 导言 216 (# mvDz 10.2 色彩 216 %8D>aS U 10.3 主波长和纯度 220 39hep8+ 10.4 色相和纯度 221 h]L.6G|hEN 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 8nu!5 3 10.6 色差 226 %\(-<aT 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [qW%H,_ 10.8 颜色渲染指数 234 vBOY[>= 10.9 色差计算 235 J4"A6`O 10.10 参考文献 236 _/z_
X 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 B`<}YVA 11.1 短脉冲 238 uS,?oS 11.2 群速度 239 j~1K(=Ng 11.3 群速度色散 241 < K!r\^ 11.4 啁啾(chirped) 245 Y.) QNTh 11.5 光学薄膜—相变 245 <" nWGF4d 11.6 群延迟和延迟色散 246 Sir1>YEm 11.7 色度色散 246 fv#ov+B 11.8 色散补偿 249 =1dczJHV 11.9 空间光线偏移 256 ['Lo8 [ 11.10 参考文献 258 k}F7Jw#. 12 公差与误差 260 wM4{\ f\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 C3Q #[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 2I}+AW!!= 12.2.1 误差工具 267 (*P`
12.2.2 灵敏度工具 271 ?4U4o<
12.2.2.1 独立灵敏度 271 E"_{S.Wc 12.2.2.2 灵敏度分布 275 OblHN* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 oJ
%Nt&q 12.3 参考文献 276 9#9bm 13 Runsheet 与Simulator 277 ?g{[U0) 13.1 原理介绍 277 zN!yOlp5 13.2 截止滤光片设计 277 g*My1+J! 14 光学常数提取 289 iAQ[;M3p 14.1 介绍 289 Iy49o! 14.2 电介质薄膜 289 Y @'do) 14.3 n 和k 的提取工具 295 C5-u86F 14.4 基底的参数提取 302 \fEG5/s}T 14.5 金属的参数提取 306 H390<` 14.6 不正确的模型 306 (kB 14.7 参考文献 311 l"E{ ?4 15 反演工程 313 iB(?}SaAZ 15.1 随机性和系统性 313 &hkD"GGe 15.2 常见的系统性问题 314 .z_nW1id 15.3 单层膜 314 &! h~UZ 15.4 多层膜 314 [KYq01cj 15.5 含义 319 :AFW= e@< 15.6 反演工程实例 319 M j[+h|e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 L!l?tM o 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H @k} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Z(tJd, 16.1 光学性质的热致偏移 329 Q2Ey RFT 16.2 应力工具 335 -s2)!Iko& 16.3 均匀性误差 339 -XL?n/M 16.3.1 圆锥工具 339 VnSO>O 16.3.2 波前问题 341 Uz,P^\8^$ 16.4 参考文献 343 Y\_mqd 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 XrTc5V 17.1 引言 345 {CR`~)v& 17.2 操作数 345 FT~c|ep. 18 如何在Function中编写脚本 351 9ThsR&h3 18.1 简介 351 4y+hr 18.2 什么是脚本? 351 2= ;ZJ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 EiC["M'} 18.4 基础 352 Y=<ABtertS 18.4.1 Classes(类别) 352 nbP}a?XC 18.4.2 对象 352 !p+rU?
18.4.3 信息(Messages) 352 ef{Hj[8 18.4.4 属性 352 6x(b/`VW 18.4.5 方法 353 > `eo 0 18.4.6 变量声明 353 v"(6rZsa 18.5 创建对象 354 .O0eSp|e 18.5.1 创建对象函数 355 _){u5%vv 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =v\}y+
Yh 18.5.3 丢弃对象 356 hr.mzQd 18.5.4 总结 356 I:=!,4S; 18.6 脚本中的表格 357 p%>!1_'( 18.6.1 方法1 357 "~=}& 18.6.2 方法2 357 U= n 18.7 2D Plots in Scripts 358 8q9^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 cp8w
_TPU 18.9 注释 360 M_E$w$l2< 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "[["naa 18.11 一个更高级的脚本 362 hOLlZP+ 18.12 <esc>键 364 F czia0@z 18.13 包含文件 365 oSMIWwg7G 18.14 脚本被优化调用 366 K
~\b+ 18.15 脚本中的对话框 368 jzDPn<WQ 18.15.1 介绍 368 !?i9fYu 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~8k`~t! 18.15.3 输入框函数 370 5ip ZdQ^ 18.15.4 自定义对话框 371 4xs>X7 18.15.5 对话框编辑器 371 %iIr %P? 18.15.6 控制对话框 377 +gndW 18.15.7 更高级的对话框 380 P!9-!+F" 18.16 Types语句 384 L)|hjpQ 18.17 打开文件 385 epk
C' 18.18 Bags 387 CWp>8@v 18.13 进一步研究 388 hZ<FCY,/? 19 vStack 389 DP*V|) 19.1 vStack基本原理 389 ct*~\C6Ze 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8_D:#i 19.3 五棱镜 393 PB8U+ 19.4 光束距离 396 u^ wGVg 19.5 误差 399 !_o1;GzK 19.6 二向分色棱镜 399 P&o+ut: 19.7 偏振泄漏 404 =hh,yi 19.8 波前误差—相位 405 #CeWk$)m 19.9 其它计算参数 405 S,+|A)\# 20 报表生成器 406 Vz,"vBds
20.1 入门 406 9ys[xOh
WM 20.2 指令(Instructions) 406 UG}"OBg/ 20.3 页面布局指令 406 "el3mloR8 20.4 常见的参数图和三维图 407 sV~|9 /r 20.5 表格中的常见参数 408 ) { "}bMf 20.6 迭代指令 408 >]\oVG 20.7 报表模版 408 P)=$0kR3 20.8 开始设计一个报表模版 409 LwQYO'X 21 一个新的project 413 2F1Bz< 21.1 创建一个新Job 414 G\f:H%[5[ 21.2 默认设计 415 S^e e<%- 21.3 薄膜设计 416 bq5?fPBrq 21.4 误差的灵敏度计算 420 :Ot5W 21.5 显色指数计算 422 H0lAu]~R_W 21.6 电场分布 424 kafj?F 后记 426 w 01\KV 有兴趣可以和我联系 &eg@ZnPn .ddf'$6h
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