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ydns_Z 内容简介 jQ`"Op 3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V7[qf " 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1C$^S]v%a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Y5MHd>m }(tGjx] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Tz*5;y%4 目录 !)9zH Preface 1 ',!#?aGV 内容简介 2 ao-C9|2>NU 目录 i NOS5bm&- 1 引言 1 wqGZkFg1 2 光学薄膜基础 2 i2j)%Gc} 2.1 一般规则 2 *q0N$}k 2.2 正交入射规则 3 tIr66'8 2.3 斜入射规则 6 Y*}Sq|y 2.4 精确计算 7 e;6Sj 2.5 相干性 8 >Le
mTr 2.6 参考文献 10 H7SqM D*y9 3 Essential Macleod的快速预览 10 f8&=D4)-w 4 Essential Macleod的特点 32 \:=Phbn 4.1 容量和局限性 33 v;$^1 I 4.2 程序在哪里? 33 gN]`$==c[ 4.3 数据文件 35 ev?>Nq+Z 4.4 设计规则 35 P!O#"(r2] 4.5 材料数据库和资料库 37 lpp'.HTP 4.5.1材料损失 38 2d>PN^x 4.5.1材料数据库和导入材料 39 W.67, 0m$ 4.5.2 材料库 41 sJ?kp^!g 4.5.3导出材料数据 43 1Xs!ew)> 4.6 常用单位 43 rzTyHK[ 4.7 插值和外推法 46 ~0}eNz* 4.8 材料数据的平滑 50 Sc0ZT/Lm 4.9 更多光学常数模型 54 fzKKK+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ka{Iue Ss 4.11 撤销和重做 56 d)G-K+&B 4.12 设计文档 57 b]Y,& 8}[+ 4.10.1 公式 58 #YNb&K
n 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 aFSZYyPxwv 4.10.3 沉积密度 59 n)=&=Uj`f 4.10.4 平行和楔形介质 60 /d=$,q1 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 HIU@m< 4.10.4 性能 61 @KpzxcEoO 4.10.5 保存设计和性能 64 8zGzn%^ 4.10.6 默认设计 64 _xC~44 4.11 图表 64 foFn`?LF 4.11.1 合并曲线图 67 o+t?OG/0 4.11.2 自适应绘制 68 9e=*jRs]l^ 4.11.3 动态绘图 68 <7&b|f$CL 4.11.4 3D绘图 69 {e@1,19 4.12 导入和导出 73 xl9l>k6, 4.12.1 剪贴板 73 ]d[q:N]z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Ww p^dx`! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 bCrB'&^t 4.13 背景 77 s=nds"J 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Z
kS*CG 4.15 生成Rugate 84 TXa XJIp 4.16 参考文献 91 hnZHu\EJ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 y,x~S\>+ 5.1 Jobs 92 DEs?xl]zO 5.2 创建一个新Job(工作) 93 S3<v?tqLr 5.3 输入材料 94 =,'Z6?%p
5.4 设计数据文件夹 95 96.Wfx 5.5 默认设计 95 d;^?6V 6 细化和合成 97 O92Y d$S 6.1 优化介绍 97 ^
UzF
nW@a 6.2 细化 (Refinement) 98 ,J^Op
6.3 合成 (Synthesis) 100 6vA5L_ 6.4 目标和评价函数 101 q-Qws0\v. 6.4.1 目标输入 102 <(MFEIt 6.4.2 目标 103 'KL(A-}! 6.4.3 特殊的评价函数 104 -Gpj^aBU 6.5 层锁定和连接 104 }';&0p2Z 6.6 细化技术 104 w s=T R 6.6.1 单纯形 105 h$&XQq0T 6.6.1.1 单纯形参数 106 ah92<'ix 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 cTnbI4S; 6.6.2.1 Optimac参数 108 _~kcr5 6.6.3 模拟退火算法 109 n`,Q: 6.6.3.1 模拟退火参数 109 US|vYd}u+ 6.6.4 共轭梯度 111 NIfc/% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 #r:`bQ0; 6.6.5 拟牛顿法 112 wj^I1;lO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 .T|NB8 rS 6.6.6 针合成 113 O2G+
' 6.6.6.1 针合成参数 114 {P-PH$ E- 6.6.7 差分进化 114 Kq$Zyf=E 6.6.8非局部细化 115 AE711l- 6.6.8.1非局部细化参数 115 nf4P2<L! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 s]iOC6v 6.7.1 细化 116 XbC8t &Q], 6.7.2 合成 117 M9K).P= 6.8 参考文献 117 o^?{j*)g 7 导纳图及其他工具 118 YiTp-@$} 7.1 简介 118 h 3&:"*A2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
n@Ag`} 7.2.1 四分之一波长规则 119 z aF0nov 7.2.2 导纳图 120 mSfhl(<L 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Lvq]SzOw 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 pqSE|3*l 7.5 斜入射导纳图 141 DBUwf1=qj 7.6 对称周期 141 qt(:bEr^6b 7.7 参考文献 142 \bOjb\ w$ 8 典型的镀膜实例 143 AG7}$O. 8.1 单层抗反射薄膜 145 ?C:fP`j: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 w8
$Qh%J'< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 C]fTV{ 8.4 W-膜层 148 PHvjsA%" 8.5 V-膜层 149 {*<C!Qg 8.6 V-膜层高折射基底 150 *u/|NU&X 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 (weokP! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 i =N\[& 8.9 四层抗反射薄膜 153 [bG>qe1}& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 4E>(Y98 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >U<nEnB$? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4C%>/*%8> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 a*j <TR 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %g&,]=W\N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 A#X.c= 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 dV{Hn {( 8.17 1/4波长堆栈 162 P(epG?Qg 8.18 陷波滤波器 163 aT#{t{gkA 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 7omGg~!k( 8.20 褶皱 165 4i/q^;` 8.21 消偏振分光器1 169 1gm/{w6O 8.22 消偏振分光器2 171 ,6O9#1A&i 8.23 消偏振立体分光器 172 cWO
)QIE 8.24 消偏振截止滤光片 173 tR*W-% 8.25 立体偏振分束器1 174 NP`s[ 8.26 立方偏振分束器2 177 `^L<db^A 8.27 相位延迟器 178 O'-Zn]@.] 8.28 红外截止器 179 S7ehk*` 8.29 21层长波带通滤波器 180 U;{,lS2l 8.30 49层长波带通滤波器 181 Y@H,Lk 8.31 55层短波带通滤波器 182 }Tr83B| 8.32 47 红外截止器 183 B"m:<@ " 8.33 宽带通滤波器 184 ~f10ZB_k>' 8.34 诱导透射滤波器 186 : .o=F`W 8.35 诱导透射滤波器2 188 9c{%m4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 sNfb %r 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 R}w wC[{ 8.35 增益平坦滤波器 193 u rXb!e{l 8.38 啁啾反射镜 1 196 CS5jJi"pD3 8.39 啁啾反射镜2 198 @P"`=BU& 8.40 啁啾反射镜3 199 yp{F8V 8 8.41 带保护层的铝膜层 200 s.;KVy,=Bu 8.42 增加铝反射率膜 201 ~hz@9E]O 8.43 参考文献 202 d50IAa^p6J 9 多层膜 204 2${,%8"0s 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 #/t>}lc 9.2 内部透过率 204 +<\cd9 9.3 内部透射率数据 205 .;Utkf'I 9.4 实例 206 o\ow{gh9 9.5 实例2 210 $qtU 9.6 圆锥和带宽计算 212 _RaVnMJKX4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 EB2^]? 10 光学薄膜的颜色 216 ;}eEG{`Y 10.1 导言 216 7tl)4A6 10.2 色彩 216 K;y\[2;}e, 10.3 主波长和纯度 220 !|<f%UO 10.4 色相和纯度 221 Wqs.oh 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :qCm71* 10.6 色差 226 I0l.KiBm 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 DA MpR3 10.8 颜色渲染指数 234 _UBJPb@=U 10.9 色差计算 235 /cL9?k;o 10.10 参考文献 236 fteyG$-s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 bpF@}#fT 11.1 短脉冲 238 L\:YbS~] 11.2 群速度 239 R!/,E 11.3 群速度色散 241 &Qq/Xi,bZ 11.4 啁啾(chirped) 245 SEQO2`]e: 11.5 光学薄膜—相变 245 QVSsi
j 11.6 群延迟和延迟色散 246 >OKS/(I0 11.7 色度色散 246 *]:G7SW{ 11.8 色散补偿 249 mU?&\w=v$ 11.9 空间光线偏移 256 7<R6T9g 11.10 参考文献 258 y13CR2t6 12 公差与误差 260 +%e%UF@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 `FYtiv?G 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 #>E3' 5b 12.2.1 误差工具 267 +2V%'{: 12.2.2 灵敏度工具 271 @}&,W
N% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 M=\d_O#;Z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9!O+Ryy?\ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 o}mhy`} 12.3 参考文献 276 kol,Qs 13 Runsheet 与Simulator 277 ,WO%L~db 13.1 原理介绍 277 f
$.\o 13.2 截止滤光片设计 277 0{"dI;b% 14 光学常数提取 289 *%Nns', 14.1 介绍 289 c<+g|@A# 14.2 电介质薄膜 289 }P&1s,S8J# 14.3 n 和k 的提取工具 295 ,NaV
["9$ 14.4 基底的参数提取 302 1%SJ1oY 14.5 金属的参数提取 306 %;=IMMK 14.6 不正确的模型 306 ^B<PD] 14.7 参考文献 311 uGP[l`f|FQ 15 反演工程 313 %)<oX9E 15.1 随机性和系统性 313 {p#l!P/ 15.2 常见的系统性问题 314 mJGO)u& 15.3 单层膜 314 uHUvntr 15.4 多层膜 314 SgCqxFii 15.5 含义 319 t3
uB 15.6 反演工程实例 319 x%IXwP0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )T.pjl 15.6.2 反演工程提取折射率 327 |iwM9oO% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `r~`N`o5A 16.1 光学性质的热致偏移 329 ]Efh(Gb] 16.2 应力工具 335 Qb6QXjN
Q 16.3 均匀性误差 339 E,*JPK-A x 16.3.1 圆锥工具 339 wL8bs-
U 16.3.2 波前问题 341 d5w_[=9U 16.4 参考文献 343 12:h49AP 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 DGa#d_I 17.1 引言 345 f H#F"^A 17.2 操作数 345 :c~9>GCE& 18 如何在Function中编写脚本 351 tAb;/tM3I 18.1 简介 351 dDv{9D, 18.2 什么是脚本? 351 lQp89*b?=U 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ' D)1ka. 18.4 基础 352 " ;-{~ 18.4.1 Classes(类别) 352 *tTP8ZCQ[ 18.4.2 对象 352 zK'
_e&* 18.4.3 信息(Messages) 352 gD,YQ%aq 18.4.4 属性 352 D+ah ok 18.4.5 方法 353 ++Rdv0~ 18.4.6 变量声明 353 vpeq:h 18.5 创建对象 354 'WKu0Yi^' 18.5.1 创建对象函数 355 2|0Je^$| 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 T4V[RN
18.5.3 丢弃对象 356 B8bvp:Ho| 18.5.4 总结 356 3gxf~$)? 18.6 脚本中的表格 357 w;N{>)hv 18.6.1 方法1 357 Tjd&^m 18.6.2 方法2 357 9>A-$a4R> 18.7 2D Plots in Scripts 358 &GXtdO>;Zv 18.8 3D Plots in Scripts 359 )HJK '@ 18.9 注释 360 EHH|4;P6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #rhVzN-?)W 18.11 一个更高级的脚本 362 M?E9N{t8)a 18.12 <esc>键 364 [WcS[](ob 18.13 包含文件 365 UlK/x"JDv 18.14 脚本被优化调用 366 j G+T. 18.15 脚本中的对话框 368 DWF
>b 18.15.1 介绍 368 c_~XL^B@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 PRMZfYc 18.15.3 输入框函数 370 !&@2 18.15.4 自定义对话框 371 Ix( 6 18.15.5 对话框编辑器 371 h=X7,2/< 18.15.6 控制对话框 377 -(6eVI 18.15.7 更高级的对话框 380 >=4sPF) 18.16 Types语句 384 5|yZEwq 18.17 打开文件 385 'jh2**i 34 18.18 Bags 387 \ua9thOG 18.13 进一步研究 388
bZxv/\ 19 vStack 389 I'x$,s 19.1 vStack基本原理 389 4qqF v?O[r 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^bF}_CSE 19.3 五棱镜 393 IJ hxE 19.4 光束距离 396 ?+3R^%`V 19.5 误差 399 XZF%0g2$b 19.6 二向分色棱镜 399 Zn?8\ 19.7 偏振泄漏 404 ;])I>BT[ 19.8 波前误差—相位 405 BfX%|CWh 19.9 其它计算参数 405 UP\8w#~ 20 报表生成器 406 ri_P;#lz 20.1 入门 406 CoKiQUW 20.2 指令(Instructions) 406 DG_}9M!DW@ 20.3 页面布局指令 406 4#TnXxL 20.4 常见的参数图和三维图 407 eT;AAGql 20.5 表格中的常见参数 408 ;_x2Ymw 20.6 迭代指令 408 t$aVe"uM 20.7 报表模版 408 H(MB5 20.8 开始设计一个报表模版 409 fwRGT|":B 21 一个新的project 413 %wOOzp` 21.1 创建一个新Job 414 ,xYg 21.2 默认设计 415 #g,H("Qy({ 21.3 薄膜设计 416
Q{O/xLf 21.4 误差的灵敏度计算 420 X>2?
`8M 21.5 显色指数计算 422 3QH(4N 21.6 电场分布 424 3)dP7rmZ 后记 426 `hzd|GmX 有兴趣可以和我联系 STv(kQs ^n
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