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#-Ehg4W 内容简介 /87?U; |V Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \Om.pOz 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fu"#C}{ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 C`%cPl ][I}yOD70 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 4&&((H
目录 Qis[j-?: Preface 1 w0q.cj@nd 内容简介 2 v&(PM{3o 目录 i V80g+)| 1 引言 1 T:q!>"5 2 光学薄膜基础 2
'n6D3Vse 2.1 一般规则 2 ;r B2Q H] 2.2 正交入射规则 3 7%b?[}y4 2.3 斜入射规则 6 XFUlV;ek 2.4 精确计算 7 !c4pFQ B 2.5 相干性 8 6X$]d^)h{ 2.6 参考文献 10 q5p!Ty" 3 Essential Macleod的快速预览 10 s9>-Q"(y 4 Essential Macleod的特点 32 j(AN]g: 4.1 容量和局限性 33 5RrzRAxq 4.2 程序在哪里? 33 <]2X~+v 4.3 数据文件 35 o $7:*jU 4.4 设计规则 35 kn:X^mDXC/ 4.5 材料数据库和资料库 37 5
<X.1T1 4.5.1材料损失 38 *I:^g 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ]DHB'NOh, 4.5.2 材料库 41 ,9SBGxK5` 4.5.3导出材料数据 43 =aX;- 4.6 常用单位 43 k?zw4S 4.7 插值和外推法 46 r#M0X^4A 4.8 材料数据的平滑 50 P+tRxpz 4.9 更多光学常数模型 54 p6VS<L 4.10 文档的一般编辑规则 55 omisfu_~E 4.11 撤销和重做 56 >> yK_yg 4.12 设计文档 57 6q-X$ 4.10.1 公式 58 KzZ|{!C 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?Imq4I~) 4.10.3 沉积密度 59 TmZsC5 4.10.4 平行和楔形介质 60 `@!4#3H 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `!V=~"ve 4.10.4 性能 61 2uujA*
^ 4.10.5 保存设计和性能 64 #e|G!'wdj 4.10.6 默认设计 64 5 YjqN 4.11 图表 64 'M8wjU 4.11.1 合并曲线图 67 t@m!k+0 4.11.2 自适应绘制 68 Osz:23(p 4.11.3 动态绘图 68 0'j/ 9vm 4.11.4 3D绘图 69 )(V|d$n 4.12 导入和导出 73 P_6JweN 4.12.1 剪贴板 73 Wwo'pke
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }22h)){n#Y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 PWUS@I 4.13 背景 77 !:"$1kh1(" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 G(joamfM 4.15 生成Rugate 84 36iDiT_ 4.16 参考文献 91 <~s{&cL!%# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 k;BXt:jDq 5.1 Jobs 92 <vS3[( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .xG3`YH 5.3 输入材料 94 Lmh4ezrdH 5.4 设计数据文件夹 95 e x"E50 5.5 默认设计 95 $o}Ao@WkO 6 细化和合成 97 Ilf;Q(*$>> 6.1 优化介绍 97 uknX py)) 6.2 细化 (Refinement) 98 SWwL.-+E] 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]c/k%]o~ 6.4 目标和评价函数 101 5jMI33D 6.4.1 目标输入 102 +8p4\l$<` 6.4.2 目标 103 m^?a / 6.4.3 特殊的评价函数 104 l5;
SY 6.5 层锁定和连接 104 tE=;V) %we 6.6 细化技术 104 e"g=A=S 6.6.1 单纯形 105 P qUjBP\ 6.6.1.1 单纯形参数 106 %BBM%Lj 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0o-.m 6.6.2.1 Optimac参数 108 U0X,g(2' 6.6.3 模拟退火算法 109 )DG>omCY 6.6.3.1 模拟退火参数 109 _`|te|ccF 6.6.4 共轭梯度 111 e 97Ll=> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ov<EOK+^ 6.6.5 拟牛顿法 112 dC,a~`%O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 T- ~l2u|s 6.6.6 针合成 113 EjY8g@M;t 6.6.6.1 针合成参数 114 76 ]X 6.6.7 差分进化 114 ,76xa%k(U| 6.6.8非局部细化 115 >G#SfE$0 6.6.8.1非局部细化参数 115 9szUN;:ZZ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 OS-
Xh-:z 6.7.1 细化 116 [T}Lq~ 6.7.2 合成 117 Hs6?4cgj 6.8 参考文献 117 c2E*A+V#u 7 导纳图及其他工具 118 ~9ZW~z' 7.1 简介 118 rm}%C(C{J 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ue8"_N 7.2.1 四分之一波长规则 119 Xg4iH5!E 7.2.2 导纳图 120 :o"9x, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ]0dj##5tJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 t@"i/@8x$ 7.5 斜入射导纳图 141 THN//}d 7.6 对称周期 141 ,;D$d#\" 7.7 参考文献 142 =%=lq0GF0 8 典型的镀膜实例 143 1U?,}w 8.1 单层抗反射薄膜 145 Py72:;wn 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 fex<9'e 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Bz+zEXBC 8.4 W-膜层 148 'zo]
f 8.5 V-膜层 149 ojva~mnFf 8.6 V-膜层高折射基底 150 _/c1b>kcso 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 kN~:Bh$ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 4it^-M 8.9 四层抗反射薄膜 153 B=d
:r 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 I5%#A/|z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 |43dyJW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 y3+iADo.p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 N e<D'- 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 d YliC 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1-=ZIHW 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y W9+.Dc` 8.17 1/4波长堆栈 162 jL6ZHEi#d7 8.18 陷波滤波器 163 iVSN>APe 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :5W8S6[o 8.20 褶皱 165 t@vVE{` 8.21 消偏振分光器1 169 G(;hJ'LT 8.22 消偏振分光器2 171 `qs[a}%'>" 8.23 消偏振立体分光器 172 qG)M8xk 8.24 消偏振截止滤光片 173 qP k`e}D 8.25 立体偏振分束器1 174 ^0tO2$ 8.26 立方偏振分束器2 177 7TU(~]Z 8.27 相位延迟器 178 \?_M_5Nb 8.28 红外截止器 179 e0z(l/UB 8.29 21层长波带通滤波器 180 @{q:179w^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 7cQFH@SC 8.31 55层短波带通滤波器 182 ~W..P:wG5 8.32 47 红外截止器 183 omoD+ 8.33 宽带通滤波器 184 .+d.~jHX 8.34 诱导透射滤波器 186 ]#sF
pWI[N 8.35 诱导透射滤波器2 188 nRHxbE}:: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =pk5'hBAi 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 GoUsB|-\ 8.35 增益平坦滤波器 193 {9Ug9e{
~ 8.38 啁啾反射镜 1 196 , G2(l 8.39 啁啾反射镜2 198 LX8A@Yct 8.40 啁啾反射镜3 199 e2_p7
8.41 带保护层的铝膜层 200 %y|L'C,ge" 8.42 增加铝反射率膜 201 j;yKL-ycB 8.43 参考文献 202 Q)[DSM 9 多层膜 204 0&$,?CL?
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G%F}H/|R 9.2 内部透过率 204 %M5{-pJ|C 9.3 内部透射率数据 205 93VbB[w~7F 9.4 实例 206 OpD%lRl 9.5 实例2 210 ,CxIA^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 @#QaaR;4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 fNk0&M 10 光学薄膜的颜色 216 f2iA5 rCV] 10.1 导言 216 ){I!orQ 10.2 色彩 216 aoHAB<.C 10.3 主波长和纯度 220 8|) $;. 10.4 色相和纯度 221 BVzMgn; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 7CwQmVe+ 10.6 色差 226 mJ>msI
@ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 JKTn 10.8 颜色渲染指数 234 ^xX1G_{ 10.9 色差计算 235 9<Ks2W.N 10.10 参考文献 236 Qf($F,)K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 p#0L@!, 11.1 短脉冲 238 85:KlBe%+ 11.2 群速度 239 "t)$4gERK 11.3 群速度色散 241 3|Y2BAd 11.4 啁啾(chirped) 245 k+@,m\tE 11.5 光学薄膜—相变 245 F*-+5nJ&@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 7 -S?U~s 11.7 色度色散 246 'Px}#f0IR 11.8 色散补偿 249 "F:V$,mJ 11.9 空间光线偏移 256 ;_S
DW 11.10 参考文献 258 (B0QBDj! 12 公差与误差 260 Wud-(19 12.1 蒙特卡罗模型 260 7{lWg x 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?mHu eX 12.2.1 误差工具 267 \GPTGi5A 12.2.2 灵敏度工具 271 5t,X; 12.2.2.1 独立灵敏度 271 LeV";=_n 12.2.2.2 灵敏度分布 275 TSTkMlCG 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l4gZHMh' 12.3 参考文献 276 wx8Qz,Z 13 Runsheet 与Simulator 277 *]:J@KGf 13.1 原理介绍 277 -Q6Vz=ku 13.2 截止滤光片设计 277 /'a\$G"%6 14 光学常数提取 289 Vg~10Q 14.1 介绍 289 ^c]c`w 14.2 电介质薄膜 289 k$|g)[RE 14.3 n 和k 的提取工具 295 `ES+$ O> 14.4 基底的参数提取 302 y!c<P,Lt3f 14.5 金属的参数提取 306 WP{U9YF2 14.6 不正确的模型 306 }g&
KT!r 14.7 参考文献 311 jqlfypU 15 反演工程 313 'Q"Mu 15.1 随机性和系统性 313 GuC 9h^[=M 15.2 常见的系统性问题 314 pQi |PQq 15.3 单层膜 314 ${e5Ka 15.4 多层膜 314 wb>"'% 15.5 含义 319 sIMN""@Y^ 15.6 反演工程实例 319 :_|Xr'n`A 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $DdC|gMK 15.6.2 反演工程提取折射率 327 /r8sL)D+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 qpjiQ,\:b 16.1 光学性质的热致偏移 329 udS&$/&GH 16.2 应力工具 335 'p[*2J"K4 16.3 均匀性误差 339 D?FmlDTr[ 16.3.1 圆锥工具 339 5+2qx)FZ 16.3.2 波前问题 341 &b'{3o_KN 16.4 参考文献 343 zY2x_}#Q\" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 j\HZ5 17.1 引言 345 hC4
M}(XM 17.2 操作数 345 A
^t _"J 18 如何在Function中编写脚本 351 |\xTcS|d 18.1 简介 351 Pk;1q?tGw 18.2 什么是脚本? 351 'Ck:=V%}g 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 .u'MMe>^ 18.4 基础 352 A2!pbeG 18.4.1 Classes(类别) 352 Yx&d\/9 18.4.2 对象 352 MDZPp;\) 18.4.3 信息(Messages) 352 KGGnypx` 18.4.4 属性 352 Uz=ol.E 18.4.5 方法 353 rk47$36X 18.4.6 变量声明 353 'w=aLu5dY 18.5 创建对象 354 N8DouDq 18.5.1 创建对象函数 355 6n|][! f 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 +,Or^pO= 18.5.3 丢弃对象 356 3:)_oHq 18.5.4 总结 356 0+k..l 18.6 脚本中的表格 357 /A+5q\8G 18.6.1 方法1 357 Q!r&vQ/g 18.6.2 方法2 357 [{>3"XJ'
18.7 2D Plots in Scripts 358 KAi_+/]K_ 18.8 3D Plots in Scripts 359 @yj~5Gf(j 18.9 注释 360 gtIEpYN+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 5LZs_%# 18.11 一个更高级的脚本 362 E:-~SH} 18.12 <esc>键 364 P4LiU2C 18.13 包含文件 365 /([a%,DI 18.14 脚本被优化调用 366 ?M^qSo=/~ 18.15 脚本中的对话框 368 fCZ"0P3( 18.15.1 介绍 368 EnmMFxu< 18.15.2 消息框-MsgBox 368 j{johV+`8 18.15.3 输入框函数 370 ("YWJJ'H 18.15.4 自定义对话框 371 Dbb=d8utE 18.15.5 对话框编辑器 371 A%X=yqY 18.15.6 控制对话框 377 xLms|jS 18.15.7 更高级的对话框 380 / U!xh3 18.16 Types语句 384 HCx0'|J 18.17 打开文件 385 Mf !S'\ 18.18 Bags 387 bc NyB$S 18.13 进一步研究 388 Z|fi$2k0! 19 vStack 389 %&0/Ypp= 19.1 vStack基本原理 389 8kC$Z ) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 FLZ9Rg 19.3 五棱镜 393 WJI}~/z;C 19.4 光束距离 396 DMTc{ 19.5 误差 399 zl|+YjR 19.6 二向分色棱镜 399 J@QOF+ & 19.7 偏振泄漏 404 -d thY(8 19.8 波前误差—相位 405 hL&7D@ 19.9 其它计算参数 405 H/k]u)Gtv 20 报表生成器 406 F+?i{$ 20.1 入门 406 /0!.u[t)~ 20.2 指令(Instructions) 406 tc{l?7P 20.3 页面布局指令 406 m2/S(f 20.4 常见的参数图和三维图 407 C(UWir3mW? 20.5 表格中的常见参数 408 SrGJ#K&% 20.6 迭代指令 408 O9m sPb: 20.7 报表模版 408 _yF@k~
h 20.8 开始设计一个报表模版 409 m%UF{I, 21 一个新的project 413 I8 [
* 21.1 创建一个新Job 414 O3)B]!xL 21.2 默认设计 415 df {\O*6 21.3 薄膜设计 416 nf[KD,f 21.4 误差的灵敏度计算 420 0l/7JH_@V 21.5 显色指数计算 422 K9Onjs%U 21.6 电场分布 424 Y]Z& 后记 426 wWSw0 H/ 有兴趣可以和我联系 >5?c93? 6`%|-o
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