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2@Oz _?O= 内容简介 GI6]Ecc Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 lcK4 Uq\q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ic}mru 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Q hdG(`PY~ z `jLKPP!= 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 h 27f0x9 目录
ZmmX_!M Preface 1 oSIP{lfp2Q 内容简介 2 /QT>" 目录 i 3Uej]}c 1 引言 1 <Yg6=e 2 光学薄膜基础 2 k/1S7X[ 2.1 一般规则 2 X.ecA`0 2.2 正交入射规则 3 9 !$&1|,* 2.3 斜入射规则 6 oxL)Jx\c9A 2.4 精确计算 7 >R5A@0@d5 2.5 相干性 8 `\GRY @cg 2.6 参考文献 10 6q^\pJY%&7 3 Essential Macleod的快速预览 10 (__$YQ- 4 Essential Macleod的特点 32 88l1g,`** 4.1 容量和局限性 33 $PRUzFZ 4.2 程序在哪里? 33 Iw?*y.z| 4.3 数据文件 35 yhrjML2K 4.4 设计规则 35 ld3H"p rR 4.5 材料数据库和资料库 37 3)I]bui 4.5.1材料损失 38 dh9@3. t 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Mfnfp{.) 4.5.2 材料库 41 gegM&Xo 4.5.3导出材料数据 43 >Y(JC#M; 4.6 常用单位 43 uh`5:V 4.7 插值和外推法 46 .5);W;`X 4.8 材料数据的平滑 50 r6GXmr 4.9 更多光学常数模型 54 31UxYBY 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?d+ri 4.11 撤销和重做 56 ; tQ(l%! 4.12 设计文档 57 a~?B/
g&_ 4.10.1 公式 58 p=3t!3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 R+z'6&/ =I 4.10.3 沉积密度 59 Kj)sL0 4.10.4 平行和楔形介质 60 Uz~B` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <@[;IX`YN 4.10.4 性能 61 W =;,ls 4.10.5 保存设计和性能 64 "U+c`V=w 4.10.6 默认设计 64 8!YQ9T [ 4.11 图表 64 ug.|ag'R 4.11.1 合并曲线图 67 ~!=Am:-wr 4.11.2 自适应绘制 68 JY@bD: 4.11.3 动态绘图 68 o")"^@Zhi 4.11.4 3D绘图 69 %a|Qw(4\ 4.12 导入和导出 73 iJj!-a:z. 4.12.1 剪贴板 73 ?8/r= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]#W7-Q;] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Pm%5c\ef 4.13 背景 77 V'tR
\b 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 #!E`%'
s] 4.15 生成Rugate 84 QO0@Ax\b 4.16 参考文献 91 :,M+njcFc 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 u})*6 l. 5.1 Jobs 92 ?PqkC&o[q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 QT
zN 5.3 输入材料 94 ({@"{ 5.4 设计数据文件夹 95 JZ+6)R 5.5 默认设计 95 w>8kBQ?b 6 细化和合成 97 v9FR 6.1 优化介绍 97 [VqiF~o, 6.2 细化 (Refinement) 98 X)6 G :cD 6.3 合成 (Synthesis) 100 ,|A6l?iV 6.4 目标和评价函数 101 o.w/? 6.4.1 目标输入 102 63J3NwFt 6.4.2 目标 103 ITg:OOQ 6.4.3 特殊的评价函数 104 'wtb"0 } 6.5 层锁定和连接 104 Pksr9"Ah 6.6 细化技术 104 GyMN;| 6.6.1 单纯形 105 $MGKGWx@E 6.6.1.1 单纯形参数 106 q'a]DJ` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Lq
;~6 6.6.2.1 Optimac参数 108 ;Z`a[\i': 6.6.3 模拟退火算法 109 SjpCf8Z( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 VcXr!4M 6.6.4 共轭梯度 111 F_g(}wE#
q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \y%"tJ~N{ 6.6.5 拟牛顿法 112 \At~94 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YFPse.2$a 6.6.6 针合成 113 0^\H$An*k 6.6.6.1 针合成参数 114 n#Dy
YVb 6.6.7 差分进化 114 1*G&ZI 6.6.8非局部细化 115 )/JVp> 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,YjjL 6.7 我应该使用哪种技术? 116 &bfM`h' 6.7.1 细化 116 9H;Os:"\| 6.7.2 合成 117 s8[( 6.8 参考文献 117 O`1!&XT{x 7 导纳图及其他工具 118 R.2i%cU 7.1 简介 118 YpXd5;' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 G7|d$!% 7.2.1 四分之一波长规则 119 k{lo' 7.2.2 导纳图 120 \m}a%/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 );AtFP0Y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =OtW!vx#R. 7.5 斜入射导纳图 141 Jk`Jv; 7.6 对称周期 141 1%vE 7a>{ 7.7 参考文献 142 p/Q< VV 8 典型的镀膜实例 143 T^v o9~N* 8.1 单层抗反射薄膜 145 BTj1C 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ~PQR_?1 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 r>|S4O 8.4 W-膜层 148 ":
BZZ\! 8.5 V-膜层 149 xu"-Uj1 8.6 V-膜层高折射基底 150 @
U"Ib 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3BGcDyYE 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 y7CXE6Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 l{.PyU5) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~,};FI 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 .#Z'CZO| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #K@!jh)y^ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 I4w``""c 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 yx&}bu\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 a6ryyt 5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 2-qWR<E 8.17 1/4波长堆栈 162 mZ? jpnd 8.18 陷波滤波器 163 ]AM*9! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U?|A3;,xh 8.20 褶皱 165 #DguV 8.21 消偏振分光器1 169 ;Ccp1a~+ 8.22 消偏振分光器2 171 |}e"6e% 8.23 消偏振立体分光器 172 ,wg (}y' 8.24 消偏振截止滤光片 173 >7X5/z 8.25 立体偏振分束器1 174 %La/E# 8.26 立方偏振分束器2 177 N4-Y0BO 8.27 相位延迟器 178 {yT<22Fl 8.28 红外截止器 179 ?P9VdS1- 8.29 21层长波带通滤波器 180 J0e^v 8.30 49层长波带通滤波器 181 DwFvM0O6\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 N;P/$ 8.32 47 红外截止器 183 UHi^7jQ 8.33 宽带通滤波器 184 K*'AjT9wX+ 8.34 诱导透射滤波器 186 {Fyw<0 [@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 {~}: oV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 y6sY?uu 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 W^ask[46R 8.35 增益平坦滤波器 193 }3XjP55 8.38 啁啾反射镜 1 196 rO#$SW$YW 8.39 啁啾反射镜2 198 5oYeUy>N 8.40 啁啾反射镜3 199 xOg|<Nnl 8.41 带保护层的铝膜层 200 gMq; 8.42 增加铝反射率膜 201 ~e,K 8.43 参考文献 202 Gv 8Z 9 多层膜 204 \!uf*=d 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 n]5Pfg|a 9.2 内部透过率 204 I 6<LKI/ 9.3 内部透射率数据 205 #3?"#),q 9.4 实例 206 L:lnm9< 9.5 实例2 210 L7(.dO0C 9.6 圆锥和带宽计算 212 =8p[ (<F= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9S'\&mRl 10 光学薄膜的颜色 216 Ly, ]; 10.1 导言 216 4U)%JK.ta 10.2 色彩 216 M_75bU 10.3 主波长和纯度 220 z=jzr=lP 10.4 色相和纯度 221 U;.cXU{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 c(?O E'
"Z 10.6 色差 226 q4"^G: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (lYC2i_b# 10.8 颜色渲染指数 234
ji ,`? 10.9 色差计算 235 k^k1>F}yx 10.10 参考文献 236 ;tD?a7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3+U2oI:I 11.1 短脉冲 238 JL:B4f%}B 11.2 群速度 239 55>+%@$,a 11.3 群速度色散 241 Mwj7*pxUh 11.4 啁啾(chirped) 245 d]=>U^K 11.5 光学薄膜—相变 245 b_~KtMO 11.6 群延迟和延迟色散 246 &w%%^ +n
| 11.7 色度色散 246 ;4oKF7]
11.8 色散补偿 249 ke +\Z>BWN 11.9 空间光线偏移 256 zCwb>v 11.10 参考文献 258 -M[BC~!0; 12 公差与误差 260 ;%u)~3B$JK 12.1 蒙特卡罗模型 260 KHaYb5(a[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =E~SaT 12.2.1 误差工具 267 CFY4PuI"! 12.2.2 灵敏度工具 271 cetlr 12.2.2.1 独立灵敏度 271 L#IY6t 12.2.2.2 灵敏度分布 275 AucX4J< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 aO\@5i_r 12.3 参考文献 276 Xd~li fF 13 Runsheet 与Simulator 277 ><6g-+*k 13.1 原理介绍 277 uk.x1*0x 13.2 截止滤光片设计 277 O,I7M?dRf 14 光学常数提取 289 6XeqK*r* 14.1 介绍 289 <lSo7NkR 14.2 电介质薄膜 289 )7rMevF(xJ 14.3 n 和k 的提取工具 295 \ $9n
` 14.4 基底的参数提取 302 }
/Iw]!lK2 14.5 金属的参数提取 306 uC`)?f*I 14.6 不正确的模型 306 G&0JK ,Y 14.7 参考文献 311 B"RZpx 15 反演工程 313 cC,gd\}M 15.1 随机性和系统性 313 gD6BPW~0 15.2 常见的系统性问题 314 G{|FV
m 15.3 单层膜 314 {y:+rh& 15.4 多层膜 314 (]<G)+* 15.5 含义 319 ?[O Sy.6 15.6 反演工程实例 319 kca Y 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 pQ+4++7ID 15.6.2 反演工程提取折射率 327
YwB\kN 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 2 BwpxV8 16.1 光学性质的热致偏移 329 @L^30>?l 16.2 应力工具 335 Zxv{qbF 16.3 均匀性误差 339 /lvH p
16.3.1 圆锥工具 339 ;\+A6(GX{ 16.3.2 波前问题 341 ga91#NWgK 16.4 参考文献 343 X_I.f6v{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zB{be_Tw 17.1 引言 345 < |