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LWz&YF#T- 内容简介 JGsx_V1t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 C/vIEYG4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]yx$(6_U 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 r^3acXl
$RIecv<e_ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !Wy6/F@Z 目录 \]2]/=2tLd Preface 1 M^r1S 内容简介 2 p?);eJtV/ 目录 i :D%"EJ 1 引言 1 j3{I /m 2 光学薄膜基础 2 a!<8\vzg 2.1 一般规则 2 B8V>NvE~o 2.2 正交入射规则 3 r? NznNVU 2.3 斜入射规则 6 ZniB]k1 2.4 精确计算 7 T>x&T9 2.5 相干性 8 aJ-K? xQ 2.6 参考文献 10 v/68*,z[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 9F)z4 4 Essential Macleod的特点 32 C":32_q 4.1 容量和局限性 33 ^S UPi 4.2 程序在哪里? 33 nrxo&9[@n 4.3 数据文件 35 vY }A 4.4 设计规则 35 <acUKfpY 4.5 材料数据库和资料库 37 fPn>v)lN{ 4.5.1材料损失 38 H:t$'kb` 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +cgSC5nR 4.5.2 材料库 41 Rs-]N1V 4.5.3导出材料数据 43 hyCh9YOu) 4.6 常用单位 43 Z~oo;xE 4.7 插值和外推法 46 x(etb<!jd 4.8 材料数据的平滑 50 )Dw,q~xgg0 4.9 更多光学常数模型 54 .aAL]-Rj
4.10 文档的一般编辑规则 55 Q[vJqkgT 4.11 撤销和重做 56 4C<jdv_J 4.12 设计文档 57 7
%Oa;]| 4.10.1 公式 58 WQ[_hg|k 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 cZB7fmq% 4.10.3 沉积密度 59 "HElB9 4.10.4 平行和楔形介质 60 iYORu3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5R@ 4.10.4 性能 61 - }7e:!. 4.10.5 保存设计和性能 64 iop2L51eJ 4.10.6 默认设计 64 %{AO+u2i 4.11 图表 64 qq) rd 4.11.1 合并曲线图 67 *.sVr7=j 4.11.2 自适应绘制 68 A+SE91m 4.11.3 动态绘图 68 'Jt]7;04p 4.11.4 3D绘图 69 W-x?:X<} 4.12 导入和导出 73 *)ardZV${ 4.12.1 剪贴板 73 uD1e!oU 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4L ;% h 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 $@^pAP 4.13 背景 77 Hyb3 ;yQ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 \>jLRb|7Ts 4.15 生成Rugate 84 MBt9SXM 4.16 参考文献 91 "U!AlZ`g 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *5vV6][ 5.1 Jobs 92 [Sr,h0h6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 0fb`08,^ 5.3 输入材料 94 & -{DfNK c 5.4 设计数据文件夹 95 [5zx17' 5.5 默认设计 95 o.w\l\ 6 细化和合成 97 ^B(V4-| 6.1 优化介绍 97 #33fGmd[ 6.2 细化 (Refinement) 98 P_?gq>E8 6.3 合成 (Synthesis) 100 |uqf:V`z: 6.4 目标和评价函数 101 TD'L'm|2 6.4.1 目标输入 102 T*#/^%HSG 6.4.2 目标 103 Bg&i63XL$$ 6.4.3 特殊的评价函数 104 LQ(yScA@ 6.5 层锁定和连接 104 WFO4gB* 6.6 细化技术 104 Y?
x, 6.6.1 单纯形 105 oFy=-p+C 6.6.1.1 单纯形参数 106 (g[h
8
c 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 -~v|Rt 6.6.2.1 Optimac参数 108 S0~2{G"v 6.6.3 模拟退火算法 109 0~ZFv Wv 6.6.3.1 模拟退火参数 109 biSz?DJ> 6.6.4 共轭梯度 111 W%T>SpFl 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 jX3,c%aQ5e 6.6.5 拟牛顿法 112 2"Ecd 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 k5D%y3|9 6.6.6 针合成 113 HG+%HUO$ 6.6.6.1 针合成参数 114 lDOCmdt@N 6.6.7 差分进化 114 7![,Q~Fy 6.6.8非局部细化 115 rM .|1(u 6.6.8.1非局部细化参数 115 G?EoPh^m 6.7 我应该使用哪种技术? 116 n#q<`}u, 6.7.1 细化 116 4US"hexE< 6.7.2 合成 117 l^|UCgRn 6.8 参考文献 117 5jd,{< 7 导纳图及其他工具 118 >#hO).`C 7.1 简介 118 }._eIx" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Pa{%\dsv 7.2.1 四分之一波长规则 119 cWi}V 7.2.2 导纳图 120 ~-EOjX(X'E 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 S`#w+C#EW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?Cl%{2omO 7.5 斜入射导纳图 141 &d"G/6 7.6 对称周期 141 .q9
$\wM/ 7.7 参考文献 142 ( M7pT 8 典型的镀膜实例 143 -i)ZQCE 8.1 单层抗反射薄膜 145 ]}U*_rM: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Q$HG 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 {B[=?6tQ 8.4 W-膜层 148 *MJX? 8.5 V-膜层 149 U<CTubF 8.6 V-膜层高折射基底 150 KVD8YfF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8g&?
Cc 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 &K.?p2$X 8.9 四层抗反射薄膜 153 kuol rfGB 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2
dAB-d:k 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?,&
tNP{jq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Wn(6,MDUN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Zy o[(`y 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >N]7IU[- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 \~fONBY 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Pb?$t 8.17 1/4波长堆栈 162 @^T1XX 8.18 陷波滤波器 163 $Hj.{;eC/k 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 o| #Qu8Lk 8.20 褶皱 165 JKGc3j,+# 8.21 消偏振分光器1 169 SzjkI+-$: 8.22 消偏振分光器2 171 huJ&]"C 8.23 消偏振立体分光器 172 .u4
W / 8.24 消偏振截止滤光片 173 :P<]+\m 8.25 立体偏振分束器1 174 7cTV?nc 8.26 立方偏振分束器2 177 Jh
]i]7r 8.27 相位延迟器 178 G5CI<KRK# 8.28 红外截止器 179 13@|w1/Z 8.29 21层长波带通滤波器 180 ,6om\9.E@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 C}_ ojcR 8.31 55层短波带通滤波器 182 ynE)Xdh 8.32 47 红外截止器 183 Q
aS\(_ 8.33 宽带通滤波器 184 MOn 8.34 诱导透射滤波器 186 a>GyO&+Dkg 8.35 诱导透射滤波器2 188 P/Q!<I 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
k~jP'aD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9 D7+[`r(- 8.35 增益平坦滤波器 193
\4v]7SV 8.38 啁啾反射镜 1 196 mGJasn 8.39 啁啾反射镜2 198 f}x.jxY? 8.40 啁啾反射镜3 199 LUqB&,a} 8.41 带保护层的铝膜层 200 b)=[1g/=L 8.42 增加铝反射率膜 201 K%^V?NP*{Z 8.43 参考文献 202 jpO7'ivG 9 多层膜 204 T3k#VNH 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 1+}{8D_F 9.2 内部透过率 204 Of4^?`
^ 9.3 内部透射率数据 205 b/C`Jp 9.4 实例 206 ~])t 6i 9.5 实例2 210 v
8$>rwB 9.6 圆锥和带宽计算 212 5u*-L_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 gK[YQXfTy 10 光学薄膜的颜色 216 U$_xUG 10.1 导言 216 ?XA2& 10.2 色彩 216 Ry%Mej: 10.3 主波长和纯度 220 A'jP7P 10.4 色相和纯度 221 bdQ_?S( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 wid;8%m 10.6 色差 226 2T V X)q<\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 1 D<_N 10.8 颜色渲染指数 234 X@K-^8 10.9 色差计算 235 =o& >fw 10.10 参考文献 236 STxKE %l 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 f;1K5Y 11.1 短脉冲 238 L5
veX} 11.2 群速度 239 iZaI_\"__ 11.3 群速度色散 241 aVK3?y2 11.4 啁啾(chirped) 245 Il=
W,/y 11.5 光学薄膜—相变 245 j(RWO 11.6 群延迟和延迟色散 246 DDPxmuNG 11.7 色度色散 246 rdJ d#S 11.8 色散补偿 249 5[*
qi?w= 11.9 空间光线偏移 256 ,PWgH$+ 11.10 参考文献 258 d5D$&5Ec 12 公差与误差 260 :9$F'd\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 1@QZnF5[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 <;#~l* 12.2.1 误差工具 267
FE2f'e 12.2.2 灵敏度工具 271 pXJpK@z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 SRrw0&ts 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !+L/Khw/C 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ~~SwCXZ+b^ 12.3 参考文献 276 ;K!]4tfJ 13 Runsheet 与Simulator 277 f"u%J/e & 13.1 原理介绍 277 jF=gr$ 13.2 截止滤光片设计 277 6y6<JR-V2k 14 光学常数提取 289 -lhLA`6_R 14.1 介绍 289 'J6
M*vO 14.2 电介质薄膜 289 \hM|(*DL 14.3 n 和k 的提取工具 295 )FpZPdN+h 14.4 基底的参数提取 302 +;#Y]xy: 14.5 金属的参数提取 306
\9/ b!A 14.6 不正确的模型 306 89wU-Aggq 14.7 参考文献 311 K)\M5id] 15 反演工程 313 IGtl\b= 15.1 随机性和系统性 313 \>7^f
3m 15.2 常见的系统性问题 314 WnGGo'Z 15.3 单层膜 314 +TQ47Zc 15.4 多层膜 314 [L:o`j 15.5 含义 319 49w=XJ 15.6 反演工程实例 319 >]W)'lnO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 V\^EfQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @ ]/AjjLt 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 A@sZ14+f 16.1 光学性质的热致偏移 329 qU#BJON]BR 16.2 应力工具 335 H
Ge0hl[n 16.3 均匀性误差 339 ^Nmg07_R 16.3.1 圆锥工具 339 'rr^2d]`ST 16.3.2 波前问题 341 ^d~1E Er 16.4 参考文献 343 nSkPM5\TI 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 D;_ MPN[ 17.1 引言 345 %7gkNa 17.2 操作数 345 uU:CR>=AKW 18 如何在Function中编写脚本 351 FKT1fv[H 18.1 简介 351 _h":> 18.2 什么是脚本? 351 }b0; 0j 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 \l.-eu'O 18.4 基础 352 `g6h9GC6 18.4.1 Classes(类别) 352 -$WYj" 18.4.2 对象 352 k5C@>J 18.4.3 信息(Messages) 352 bIEhgiH 18.4.4 属性 352 5<ux6,E1{ 18.4.5 方法 353 H8`(O"V 18.4.6 变量声明 353 Hv\-_>}K 18.5 创建对象 354 d\ ~QBr? 18.5.1 创建对象函数 355 W~p/,H cM 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 4y5UkU9| 18.5.3 丢弃对象 356 a(v>Q*zNP 18.5.4 总结 356 >B2q+tA 18.6 脚本中的表格 357 HjGyj/78w 18.6.1 方法1 357 X_g 3rv1J 18.6.2 方法2 357 Pw;!uag 18.7 2D Plots in Scripts 358 Ce")[<: 18.8 3D Plots in Scripts 359 ^4`Px/& 18.9 注释 360 v0ES; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 %B)6$!x 18.11 一个更高级的脚本 362 sSQs#+&=[ 18.12 <esc>键 364 ea00\ 18.13 包含文件 365 y:h}z). 18.14 脚本被优化调用 366 mUz\ra;z 18.15 脚本中的对话框 368 KhW;RD 18.15.1 介绍 368 nE^Qy=iE 18.15.2 消息框-MsgBox 368 O=dJi9;`#_ 18.15.3 输入框函数 370 {nvLPUL 18.15.4 自定义对话框 371 f4guz 18.15.5 对话框编辑器 371 BZXUwqEh 18.15.6 控制对话框 377 {s_+?<l 18.15.7 更高级的对话框 380 pKjoi{
Z 18.16 Types语句 384 C$@yG)Pj 18.17 打开文件 385 r@o6voX 18.18 Bags 387 3t0[^cY8=z 18.13 进一步研究 388 q=DN
{a: 19 vStack 389 {vN}<f` 19.1 vStack基本原理 389 QlHd,w 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n9\]S7]52 19.3 五棱镜 393 $Tb G+Eb8 19.4 光束距离 396 PGARXw+ 19.5 误差 399 ZZ.m(ATR 19.6 二向分色棱镜 399 @j4U^"_QB 19.7 偏振泄漏 404 = 07]z@s 19.8 波前误差—相位 405 Qo1eXMW 19.9 其它计算参数 405 f7 'q- 20 报表生成器 406 bQZ*r{g 20.1 入门 406 bC3 F 20.2 指令(Instructions) 406 5 XA=G 20.3 页面布局指令 406 |K^"3`SJ 20.4 常见的参数图和三维图 407 s #S%#LM 20.5 表格中的常见参数 408 Y2[A2Uy$ef 20.6 迭代指令 408 \ AC|?/sH 20.7 报表模版 408 ;_(PVo 20.8 开始设计一个报表模版 409 XJ0oS32_wK 21 一个新的project 413 \xUe/= 21.1 创建一个新Job 414 <uc1D/~^: 21.2 默认设计 415 ejO}t:}P 21.3 薄膜设计 416 PccB] 21.4 误差的灵敏度计算 420 nWvuaQ0} 21.5 显色指数计算 422 hHPs&EA.p 21.6 电场分布 424 <soz#}e 后记 426 QERU5|.wc 有兴趣可以和我联系 i"j(b|?e N7s'6(`=X
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