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    [技术]JCMsuite应用:闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-15

    这是一维周期线光栅案例的一个变形。它的灵感来自闪耀光栅。在一维线栅的案例中,周期单元晶胞包含通过光栅的二维横截面。这里的横截面包含两个宽度、高度和角度不同的三角形。这些三角形线条位于衬底上,被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。

    光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。同时通过后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。

    S偏振光照明的近场强度

    P偏振光照明的近场强度

       
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