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aU]A#g
内容简介 ^|@t 2Rp@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \(t.| 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \UI7H1XDH 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 j2T
Z`Z?a^ 7|6uY @O}%sjC1
y4aSf2 目录 _ x&Y'X| Preface 1 nB ?$W4 内容简介 2 4,m
aA 目录 i 8\m_.e 1 引言 1 \*x]xc/^ 2 光学薄膜基础 2 B./Lp_QK 2.1 一般规则 2 Vx@JP93| 2.2 正交入射规则 3 ^)&d7cSc 2.3 斜入射规则 6 _tZT 2.4 精确计算 7 kP9DCDO`[5 2.5 相干性 8 :ND5po#( 2.6 参考文献 10 l~,5)*T 3 Essential Macleod的快速预览 10 oD]tHuDa 4 Essential Macleod的特点 32 ~6`HJ 4.1 容量和局限性 33 X
cmR/+ 4.2 程序在哪里? 33 >3V{I'^^- 4.3 数据文件 35 4l+"J:, 4.4 设计规则 35 Bk&ry)`gD 4.5 材料数据库和资料库 37 Z@fMU2e=Z 4.5.1材料损失 38 53d8AJ_@X 4.5.1材料数据库和导入材料 39 rvZXK<@#+ 4.5.2 材料库 41 [psW+3{bG 4.5.3导出材料数据 43 bX%9'O [- 4.6 常用单位 43 [mKPOg-t 4.7 插值和外推法 46 ~"89NVk" 4.8 材料数据的平滑 50
DjK:) 4.9 更多光学常数模型 54 won;tO]\;@ 4.10 文档的一般编辑规则 55 tgy*!B6a~ 4.11 撤销和重做 56 V|3}~(5= 4.12 设计文档 57 M=hxOta 4.10.1 公式 58 qc_c& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 FU9q|!2Y 4.10.3 沉积密度 59 s^F6sXhyPi 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z-W>WR 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 uh'{+E;= 4.10.4 性能 61 T !C39T 4.10.5 保存设计和性能 64 MPx%#'Q 4.10.6 默认设计 64 5Jd(&k8% 4.11 图表 64 ca/AScL 4.11.1 合并曲线图 67 uc]]zI6 4.11.2 自适应绘制 68 ~;nh|v/e 4.11.3 动态绘图 68 |T<t19 4.11.4 3D绘图 69 H'E(gc)>) 4.12 导入和导出 73 ?|LR@M!S7 4.12.1 剪贴板 73 #?8dInu> 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 f0+)%gO{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 >ENZ['F 4.13 背景 77 U:xY~> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Q$!dPwDg 4.15 生成Rugate 84 t'Zq>y;yg 4.16 参考文献 91 lt\.
)Y>4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
>5Y%4++( 5.1 Jobs 92 Y=+pz^/" 5.2 创建一个新Job(工作) 93 $'#hCs 5.3 输入材料 94 Nv!If$d 5.4 设计数据文件夹 95 9<BC6M_/ 5.5 默认设计 95 CN4Q++{ 6 细化和合成 97 H&`0I$8m 6.1 优化介绍 97 qyzmjV6J2 6.2 细化 (Refinement) 98 +VxzWNs*JP 6.3 合成 (Synthesis) 100 D4nYyj1O3
6.4 目标和评价函数 101 xwK{}==U 6.4.1 目标输入 102 [w&B>z=g$ 6.4.2 目标 103 /
i[F 6.4.3 特殊的评价函数 104
JmL{& 6.5 层锁定和连接 104 wq$+m( 6.6 细化技术 104 _p0@1 s(U 6.6.1 单纯形 105 zf+jQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 oD1rt>k 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 [X K^3pT_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 MvV\?Lzj 6.6.3 模拟退火算法 109 8NCu;s 6.6.3.1 模拟退火参数 109 F/33#
U 6.6.4 共轭梯度 111 h`Ld%iN\ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 RLl*@SEi" 6.6.5 拟牛顿法 112 (lPiv+'n 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 _Sa7+d( 6.6.6 针合成 113 +d/V^ <# 6.6.6.1 针合成参数 114 {vCB$@/o 6.6.7 差分进化 114 Lg6;FbY? 6.6.8非局部细化 115 KV&4Ep# 6.6.8.1非局部细化参数 115 O^/z7, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 C8dC_9 6.7.1 细化 116 g~ubivl2 6.7.2 合成 117 ;5S'?fj 6.8 参考文献 117 FYe#x]ue 7 导纳图及其他工具 118 r xlKoa 7.1 简介 118 Q`= ,&;T> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Lt'FA 7.2.1 四分之一波长规则 119 wz[Xay9jW 7.2.2 导纳图 120 lqaOLZH 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 AN)exU ? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 BOc2<M/\ 7.5 斜入射导纳图 141 Rda~Drz 7.6 对称周期 141 ^:hI bF4G 7.7 参考文献 142 !i4/#H 8 典型的镀膜实例 143 /O`<?aP% 8.1 单层抗反射薄膜 145 (AIgW 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 g/3t@7*< 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 <PMQ$s>KK 8.4 W-膜层 148 1s\ 8.5 V-膜层 149 =[_=y=G 8.6 V-膜层高折射基底 150 $X\deJ1Hi 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |f+`FOliP 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _|^cudRv 8.9 四层抗反射薄膜 153 n,Gvgf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |[+/ ]Y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "@s</HGo 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 vyS8yJUY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Xzn}gH] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W)~}o<a)[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 A
WS[e$Mt2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 lEXER^6 8.17 1/4波长堆栈 162 eN,6p'& 8.18 陷波滤波器 163 q$iGeE# 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 H{1'OC 8.20 褶皱 165 !pJd^|4A] 8.21 消偏振分光器1 169 BmhIKXE{* 8.22 消偏振分光器2 171 GS)4,. 8.23 消偏振立体分光器 172 ORDVyb_x 8.24 消偏振截止滤光片 173 %mF Z!( 8.25 立体偏振分束器1 174 xq@_'
3X 8.26 立方偏振分束器2 177 Od]B;&F 8.27 相位延迟器 178 BbCaIt 8.28 红外截止器 179 H$M{thW 8.29 21层长波带通滤波器 180 4Pv Pp{Y 8.30 49层长波带通滤波器 181 d_] sV4[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 SoJ=[5W 8.32 47 红外截止器 183 KAI/*G\z 8.33 宽带通滤波器 184 \2#j1/d4 8.34 诱导透射滤波器 186 1}/37\ 8.35 诱导透射滤波器2 188 -\I".8"YE 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &P:2`\' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ^| r6>b 8.35 增益平坦滤波器 193 :k/Z| 8.38 啁啾反射镜 1 196 sZh| <2 8.39 啁啾反射镜2 198 9%iv?/o*L 8.40 啁啾反射镜3 199 P9f,zM- 8.41 带保护层的铝膜层 200
k:i}xKu 8.42 增加铝反射率膜 201 >HRL@~~Z 8.43 参考文献 202 \$Q? 9 多层膜 204 [}Z!hq 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @Wl2E.)K; 9.2 内部透过率 204 {8e4TD9E0 9.3 内部透射率数据 205 V2oXg 9.4 实例 206 t2Y2v2 J 9.5 实例2 210 spG3"Eodi 9.6 圆锥和带宽计算 212 \N a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 XGcl9FaO} 10 光学薄膜的颜色 216 I7]qTS[vg 10.1 导言 216 Aa!#=V1d 10.2 色彩 216 L43]0k 10.3 主波长和纯度 220 M
$\!SXL 10.4 色相和纯度 221 1zGhX]z 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 []<N@a6VA> 10.6 色差 226 z/P^Bx]r 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 "?Yf3G: \0 10.8 颜色渲染指数 234 /I~(*X 10.9 色差计算 235 XtftG7r9S 10.10 参考文献 236 La8 D%N 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 g$T%
C? 11.1 短脉冲 238 h
{M=V 11.2 群速度 239 &:[hUn8jU 11.3 群速度色散 241 %(ms74R+ 11.4 啁啾(chirped) 245 t2hI^J0y 11.5 光学薄膜—相变 245 tdOox87YK 11.6 群延迟和延迟色散 246 9?I?;l{ 11.7 色度色散 246 Xmv^O 11.8 色散补偿 249 ['_W< 11.9 空间光线偏移 256 vT;~\,M 11.10 参考文献 258 \}:;kO4f 12 公差与误差 260 V2o1~R~ 12.1 蒙特卡罗模型 260 c+N\uG4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 cNG`-+U' 12.2.1 误差工具 267 1qE*M7_:E> 12.2.2 灵敏度工具 271 I#U) 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !)HB+yr 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ocf :73t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 RN ~pC 12.3 参考文献 276 2@>#?c7 13 Runsheet 与Simulator 277 Rc#c^F< 13.1 原理介绍 277 TFI$>Oz| 13.2 截止滤光片设计 277 ,jJbQIu# 14 光学常数提取 289 .mvpFdn 14.1 介绍 289 TQ69O + 14.2 电介质薄膜 289 # 5b
14.3 n 和k 的提取工具 295 _5H0<%\ 14.4 基底的参数提取 302 +?ilTU 14.5 金属的参数提取 306 +P|Z1a -jB 14.6 不正确的模型 306 v
O@7o 14.7 参考文献 311 ij&T\):d 15 反演工程 313 G~{#%i 15.1 随机性和系统性 313 .*{0[ 15.2 常见的系统性问题 314 +qee8QH 15.3 单层膜 314 8^5@J)R8 15.4 多层膜 314 UO}Yr8Z; 15.5 含义 319 Fm`c 15.6 反演工程实例 319 iu'At7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;hCUy=m. 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _.+2sm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ~pPj 16.1 光学性质的热致偏移 329 pe>[Ts`2F 16.2 应力工具 335 fT0+inRG 16.3 均匀性误差 339 qU+qY2S: 16.3.1 圆锥工具 339 lJ(];/% 16.3.2 波前问题 341 H57wzG{xG 16.4 参考文献 343 Xr]<v%,C 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 gmdA1$c 17.1 引言 345 .Gn-` 17.2 操作数 345 9N;y^
Y\ 18 如何在Function中编写脚本 351 }q=uI` 18.1 简介 351 _&K>fy3t& 18.2 什么是脚本? 351 B;r` 1
G 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 M:R|hR{=* 18.4 基础 352 2A(IsUtqO: 18.4.1 Classes(类别) 352 &m{vLw 18.4.2 对象 352 ITf4PxF 18.4.3 信息(Messages) 352 4&wwmAp^ 18.4.4 属性 352 I2e@_[
1 18.4.5 方法 353 !xz{X ? 18.4.6 变量声明 353 /m8&E*+T1 18.5 创建对象 354 Ae^Idz 18.5.1 创建对象函数 355 l]F)]>AE 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 a"whg~ 18.5.3 丢弃对象 356 i1DJ0xC] 18.5.4 总结 356 e)2w&2i`(F 18.6 脚本中的表格 357 {:ZsUnzm 18.6.1 方法1 357 (<ngdf`, 18.6.2 方法2 357 ' qN"!\ 18.7 2D Plots in Scripts 358 K%(DRkj) 18.8 3D Plots in Scripts 359 SoNT12> 18.9 注释 360 C#:L.qK 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 2M*84oh8P 18.11 一个更高级的脚本 362 y9X1X{ 18.12 <esc>键 364 x|U[|i,; 18.13 包含文件 365 1wt(pkNk 18.14 脚本被优化调用 366 xv~EwT) 18.15 脚本中的对话框 368 &0JCZ/e 18.15.1 介绍 368 TmUN@h 18.15.2 消息框-MsgBox 368 TRku(w1f 18.15.3 输入框函数 370 !z|a+{ 18.15.4 自定义对话框 371 ,&0iFUwN_ 18.15.5 对话框编辑器 371 9t_N9@ 18.15.6 控制对话框 377 Nj$h/P 18.15.7 更高级的对话框 380 V J]S" 18.16 Types语句 384 @%4tWE 18.17 打开文件 385 nW!pOTJq21 18.18 Bags 387 &*;E wfgZ 18.13 进一步研究 388 !R3ZyZcX 19 vStack 389 Iv51,0A 19.1 vStack基本原理 389 *S] K@g 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 5<mGG;F 19.3 五棱镜 393 WQ)vu&; 19.4 光束距离 396 #({ 9M 19.5 误差 399 92=huV 19.6 二向分色棱镜 399 *;Gn od< 19.7 偏振泄漏 404 8 CCA}lOG 19.8 波前误差—相位 405 BM_Rlcx~ 19.9 其它计算参数 405 o 12wp 20 报表生成器 406 RinaGeim 20.1 入门 406 ,,CheRO 20.2 指令(Instructions) 406 hVdPO 20.3 页面布局指令 406 \Zmn!Gg 20.4 常见的参数图和三维图 407 *$v`5rP 20.5 表格中的常见参数 408 48"=,IrM 20.6 迭代指令 408 W
B7gY\Y&M 20.7 报表模版 408 MT(G=r8 20.8 开始设计一个报表模版 409 f1TYQ?e 21 一个新的project 413 Nk@a g) 21.1 创建一个新Job 414 {p)=#Jd`.P 21.2 默认设计 415 H3Sfz' 21.3 薄膜设计 416 O+*<^*YyD 21.4 误差的灵敏度计算 420 b,o@m 21.5 显色指数计算 422 2/.I6IbL 21.6 电场分布 424 Xi"<'E3_ 后记 426 KdU&q+C^ 如有需要可以加我微信 ,'^^OLez
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