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Z(:\Vj" 内容简介 5{-Hg[+9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 yi^X?E{WnX 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *e ffDNE! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Gh_5$@ hF 9{u/|,rq1 xpa+R^D5G
8+!G/p 目录 ~/4j&IG Preface 1 ,JH*l:7 内容简介 2 WA}'[h 目录 i ~H''RzN 1 引言 1 -)J*(7F(6^ 2 光学薄膜基础 2 Le~D"d8 2.1 一般规则 2 T>|+cg 2.2 正交入射规则 3 PM*lnd#J 2.3 斜入射规则 6 wOUCe#P|r 2.4 精确计算 7 v2|zIZ 2.5 相干性 8 U-?r>K2
2.6 参考文献 10 =YYqgNz+\w 3 Essential Macleod的快速预览 10 mmFcch$Jv 4 Essential Macleod的特点 32 Iv7BIK^0 4.1 容量和局限性 33 bIt{kzuQC 4.2 程序在哪里? 33 :qXREF@h 4.3 数据文件 35 P,S!Z&! 4.4 设计规则 35 0lt1/PEKx2 4.5 材料数据库和资料库 37 =[4C[s 4.5.1材料损失 38 /pe.?Zd 4.5.1材料数据库和导入材料 39 !/2kJOSp 4.5.2 材料库 41 [HXd|,~_j- 4.5.3导出材料数据 43 TbMlYf]It 4.6 常用单位 43 R
"W=V 4.7 插值和外推法 46 {w>ofyqfp& 4.8 材料数据的平滑 50 s/?(G L+Ae 4.9 更多光学常数模型 54 I-s$U T[p 4.10 文档的一般编辑规则 55 Mn\L55?E( 4.11 撤销和重做 56 <c`,fd8 4.12 设计文档 57 ">|L< 4.10.1 公式 58 '&/Y}] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =w7k@[Bq 4.10.3 沉积密度 59 ~O;?;@ 4.10.4 平行和楔形介质 60 !H^R_GC 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 yaj1nq!*" 4.10.4 性能 61 w4y???90) 4.10.5 保存设计和性能 64 ku v< 4.10.6 默认设计 64 H_JT"~_2 4.11 图表 64 b4^a
zY 4.11.1 合并曲线图 67 <D nv=)Rq 4.11.2 自适应绘制 68 qB3&F pgW 4.11.3 动态绘图 68 M>Ws}Y 4.11.4 3D绘图 69 XK
l3B=h 4.12 导入和导出 73 RV5;EM)~[ 4.12.1 剪贴板 73 @(st![i+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =>C3IR/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 UJX5}36 4.13 背景 77 xI=[=;L 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 x JzO?a' 4.15 生成Rugate 84 \]/6>yT 4.16 参考文献 91 YF");itH 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 iV%tn{fc 5.1 Jobs 92 ZONe}tv: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Xo4K!U>TzZ 5.3 输入材料 94 YsjTC$Tx, 5.4 设计数据文件夹 95 5|[\Se# 5.5 默认设计 95 0Ioa;XgOn 6 细化和合成 97 ! F&{I 6.1 优化介绍 97 S1$& 6.2 细化 (Refinement) 98 *O-si%@] 6.3 合成 (Synthesis) 100 @6DV?VL 6.4 目标和评价函数 101 k3"Y!Uha: 6.4.1 目标输入 102 D #twS 6.4.2 目标 103 $VE =sS. 6.4.3 特殊的评价函数 104 0j~C6vp 6.5 层锁定和连接 104 wvSaq+N 6.6 细化技术 104 Jo ]8?U(^ 6.6.1 单纯形 105 ab5z&7Re6 6.6.1.1 单纯形参数 106 Q,f5r%A. 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 zTt6L6:u 6.6.2.1 Optimac参数 108 n47v5.Wn 6.6.3 模拟退火算法 109 ;lo!o9`< 6.6.3.1 模拟退火参数 109 szb],)|18 6.6.4 共轭梯度 111 ~); 7D'[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Pd<>E*>}c. 6.6.5 拟牛顿法 112 F0 FF:>< 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 w+owx(mN@ 6.6.6 针合成 113 5AT[1@H(_ 6.6.6.1 针合成参数 114 O7RW*V:G@ 6.6.7 差分进化 114 <yrl_vl{ 6.6.8非局部细化 115 PM%Gsy]q 6.6.8.1非局部细化参数 115 >'lte& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |q\:3R_0 6.7.1 细化 116 djcCm5m 6.7.2 合成 117 UYb:q 6.8 参考文献 117 Hlq#X:DCn 7 导纳图及其他工具 118 '`Z5.<n7p 7.1 简介 118 7l3sd5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 F.JvMy3 7.2.1 四分之一波长规则 119 h=~TgTv 7.2.2 导纳图 120 h{cJ S9e} 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;HeUD5Nt6F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Hi<5jl 7.5 斜入射导纳图 141 qMe$Qr8 7.6 对称周期 141 p9)'nU'\t 7.7 参考文献 142 4HK#]M>yz 8 典型的镀膜实例 143 7.l[tKh 8.1 单层抗反射薄膜 145 8FThu[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 y\&`A:^[ A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 u>.qhtm[ 8.4 W-膜层 148 5}4r'P$m: 8.5 V-膜层 149 Ie~#k[X 8.6 V-膜层高折射基底 150 xeX Pc7JG 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _0<EbJ8Z 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 (TV ye4Z 8.9 四层抗反射薄膜 153 qJN2\e2~f 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 eZm,K'/! 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ~sSlfQWMzy 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #yk
m 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 TnqspS2;R 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 C<\|4ERp 8.15十五层宽带抗反射膜 159 s^b2H
!~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 <OcD [5 8.17 1/4波长堆栈 162 T0ebW
w 8.18 陷波滤波器 163 x\Bl^1& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 4cni_m] 8.20 褶皱 165 Xj&fWuA 8.21 消偏振分光器1 169 _kb
$S 8.22 消偏振分光器2 171 @<tkwu 8.23 消偏振立体分光器 172 m]$!wp 8.24 消偏振截止滤光片 173 z17x%jXy 8.25 立体偏振分束器1 174 >?q()>l 8.26 立方偏振分束器2 177 mh"&KX86W 8.27 相位延迟器 178 9BPucXK 8.28 红外截止器 179 d3#
>\QCD9 8.29 21层长波带通滤波器 180 S3u>a\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 |*Dklo9{ 8.31 55层短波带通滤波器 182 Q0I22? 8.32 47 红外截止器 183 8-c1q*q) 8.33 宽带通滤波器 184 X9#;quco@ 8.34 诱导透射滤波器 186 I_IDrS)O 8.35 诱导透射滤波器2 188 Ms. 1RCup 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 "]81+
D 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 V_?5 cwZ 8.35 增益平坦滤波器 193
`k/hC 8.38 啁啾反射镜 1 196 O<Rm9tZ8 8.39 啁啾反射镜2 198 LoQm&3/ 8.40 啁啾反射镜3 199 R g7 O 8.41 带保护层的铝膜层 200 .AOf-a 8.42 增加铝反射率膜 201 ~*9
vn Z@ 8.43 参考文献 202 (5] |Kcp| 9 多层膜 204 oX@0+*" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0 V:z(r 9.2 内部透过率 204 o[W7'1O 9.3 内部透射率数据 205 L<encPJt 9.4 实例 206 F'DO46 9.5 实例2 210 0!YB.=\{_q 9.6 圆锥和带宽计算 212 xJ)hGPrAl 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 C3^QNhv 10 光学薄膜的颜色 216 q[#2` 10.1 导言 216 #8G(r9 10.2 色彩 216 ~{hcJ:bI 10.3 主波长和纯度 220 /pZ]:.A 10.4 色相和纯度 221 b/:&iG; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ^b=9{.5 10.6 色差 226 1H{M0e 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Z> jk\[ 10.8 颜色渲染指数 234 ,rT62w*e 10.9 色差计算 235 M/XxiF 10.10 参考文献 236 ?r"'JO.w 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lL.3$Rp; 11.1 短脉冲 238 5_@ u Be~ 11.2 群速度 239 !%<bLD8 11.3 群速度色散 241 &R:$h*Wt| 11.4 啁啾(chirped) 245 #E%0 o 11.5 光学薄膜—相变 245 A`x_M!m 11.6 群延迟和延迟色散 246 :!a'N3o> 11.7 色度色散 246 C~IsYdln 11.8 色散补偿 249 Zb<IZ)i# 1 11.9 空间光线偏移 256 c`94a SnV 11.10 参考文献 258 E Z95)pk 12 公差与误差 260 j^
VAA\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 :uE:mY%R 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [m3[plwe 12.2.1 误差工具 267 s*<\mwB 12.2.2 灵敏度工具 271 [;3` Aw 12.2.2.1 独立灵敏度 271 zWYm*c"n\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 >6ul\xMU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8.4 1EKr2 12.3 参考文献 276 t{n|!T& 13 Runsheet 与Simulator 277 ]]~tFdh 13.1 原理介绍 277 Y;ytm
#= 13.2 截止滤光片设计 277 SXfuPM 14 光学常数提取 289 K]4XD1n7 14.1 介绍 289 bkfwsYZx 14.2 电介质薄膜 289 C'mYR3?m; 14.3 n 和k 的提取工具 295 CPssk,q~C 14.4 基底的参数提取 302 / 4P+ 14.5 金属的参数提取 306 41f4zisZ 14.6 不正确的模型 306 |F_Z 14.7 参考文献 311 VPG+]>* 15 反演工程 313 xxWrSl`fB 15.1 随机性和系统性 313 dLb9p"EE# 15.2 常见的系统性问题 314 n\8;4]n 15.3 单层膜 314 =SJwCT0; 15.4 多层膜 314 GRV#f06 15.5 含义 319 Y)*5M 15.6 反演工程实例 319 2%Bq[SMuN 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 9aYDi) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 tHlKo0S$0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 bvY'=
16.1 光学性质的热致偏移 329 TX7B (JZD 16.2 应力工具 335 NjT#p8d X 16.3 均匀性误差 339 DA'A-C2 16.3.1 圆锥工具 339 ^fVLM>p <; 16.3.2 波前问题 341 z8W@N8IqC 16.4 参考文献 343 LgN\%5f- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 QJ{to% 17.1 引言 345 .kO!8Q-;% 17.2 操作数 345 kkfwICBI 18 如何在Function中编写脚本 351 Z|&Y1k-h 18.1 简介 351 /">A3bq 18.2 什么是脚本? 351 )Ih'0>= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 '\yp}r'u 18.4 基础 352 'Oyx
X 18.4.1 Classes(类别) 352 a xT- 18.4.2 对象 352 r?Y+TtF\e 18.4.3 信息(Messages) 352 NPjh2 AJm 18.4.4 属性 352 &^WJ:BvA|^ 18.4.5 方法 353 |)'gQvDM 18.4.6 变量声明 353 @Y2"=QVt 18.5 创建对象 354 n^OWz4 18.5.1 创建对象函数 355 uM3F[p%V^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 mIu- 18.5.3 丢弃对象 356 1QHCX*_ 18.5.4 总结 356 2K/+6t} 18.6 脚本中的表格 357 Yv0;U Kd 18.6.1 方法1 357 q0Rd^c 18.6.2 方法2 357 .eQIU$Kw!O 18.7 2D Plots in Scripts 358 yl63VX8w} 18.8 3D Plots in Scripts 359 CRs gR) 18.9 注释 360 &mebpEHUG7 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 2I!STP{ !l 18.11 一个更高级的脚本 362 0:K4, 18.12 <esc>键 364 { bjK(| 18.13 包含文件 365 NXhQdf 18.14 脚本被优化调用 366 )*&I|L<1 18.15 脚本中的对话框 368 "52nT 18.15.1 介绍 368 v` 9^?Xw) 18.15.2 消息框-MsgBox 368 -!]Ie4" 18.15.3 输入框函数 370 DwTqj=l 18.15.4 自定义对话框 371 pPztUz/. 18.15.5 对话框编辑器 371 FS.z lk\D= 18.15.6 控制对话框 377 I W_:nm6 18.15.7 更高级的对话框 380 RfPRCIo 18.16 Types语句 384 xW84g08_, 18.17 打开文件 385 ~i)O^CKq 18.18 Bags 387 @d5G\1(% 18.13 进一步研究 388 7Gb(&'n 19 vStack 389 l@}BWSx&ms 19.1 vStack基本原理 389 =6#tJgg8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;9cBlthh 19.3 五棱镜 393 Y~=]RCg 19.4 光束距离 396 Rg*zUfu5%o 19.5 误差 399 6MC*2}W 19.6 二向分色棱镜 399 Up|\&2_ 19.7 偏振泄漏 404 ,}&E=5MF\ 19.8 波前误差—相位 405 o^59kQT 19.9 其它计算参数 405 <&'Y e[k 20 报表生成器 406 T7W*S-IW 20.1 入门 406 8.ek_r 20.2 指令(Instructions) 406 a$p2I+lX 20.3 页面布局指令 406 &JoMrcEZ 20.4 常见的参数图和三维图 407 A[juzOn\ 20.5 表格中的常见参数 408 A@/DGrZX 20.6 迭代指令 408 amI$0 20.7 报表模版 408 1XZ|}Xz 20.8 开始设计一个报表模版 409 Yuy7TeJRx 21 一个新的project 413 }vOUf#^k 21.1 创建一个新Job 414 02]9OnWw 21.2 默认设计 415 \6B,\l]$t@ 21.3 薄膜设计 416 DI=Nqa)r 21.4 误差的灵敏度计算 420 \K 01F 21.5 显色指数计算 422 J.x>*3<l 21.6 电场分布 424 ]rM{\En 后记 426 w $7J)ngA9 如有需要可以加我微信 =+gp~RR,
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