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-C5Qh&~W 内容简介 oM$EQd`7 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Kl$!_ $ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 v>$GVCY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Au"[2cG !\8j[QS! quU%9m
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Ajhrsa\~a 目录 Db=
iJ68 Preface 1 ;{Y|n_ 内容简介 2 +MeEy{; 目录 i `{/z\ 1 引言 1 BjJ$I^ 2 光学薄膜基础 2 oG5JJpLT 2.1 一般规则 2 ab'
f: 2.2 正交入射规则 3 y8wOJZ<K 2.3 斜入射规则 6 o;\0xuM@ 2.4 精确计算 7 VzMoWD; 2.5 相干性 8 LC\Ys\/,U 2.6 参考文献 10 Vl?R?K=`~J 3 Essential Macleod的快速预览 10 `yHV10 4 Essential Macleod的特点 32 Ni{(=&*= 4.1 容量和局限性 33 'd1E~A 4.2 程序在哪里? 33 +tOBt("5/ 4.3 数据文件 35 EZc!QrY 4.4 设计规则 35 e0*', 4.5 材料数据库和资料库 37 :*6tbUp 4.5.1材料损失 38 DCmNxN 4.5.1材料数据库和导入材料 39 *#frbV?; 4.5.2 材料库 41 7Z"mVh} 4.5.3导出材料数据 43 M\8FjJ>9 4.6 常用单位 43 E'&UWDh 4.7 插值和外推法 46 ;vF8V`f 4.8 材料数据的平滑 50 ?ae:9ZcH 4.9 更多光学常数模型 54 VA)3=82n 4.10 文档的一般编辑规则 55 yGH'|` 4.11 撤销和重做 56 6U7z8NV&[ 4.12 设计文档 57 bUp%87<*X 4.10.1 公式 58 9 YU7R) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Hv<%_t_/ 4.10.3 沉积密度 59 PT|^RF%fT 4.10.4 平行和楔形介质 60 OgS6#X 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 OsAXHjX} 4.10.4 性能 61 -(qoz8H5 4.10.5 保存设计和性能 64 Lz=nJn 4.10.6 默认设计 64 =6j
5, 4.11 图表 64 <i~ (
8F\ 4.11.1 合并曲线图 67 0: h;ots' 4.11.2 自适应绘制 68 C%"h1zWE: 4.11.3 动态绘图 68 x-U:T.+{ 4.11.4 3D绘图 69 ^QB/{9 # 4.12 导入和导出 73 0d:t$2~C 4.12.1 剪贴板 73 z>&Py( 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &.+[~2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 2sy{ 4.13 背景 77 >;HbDp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,ye>D=' 4.15 生成Rugate 84 IL}pVa00{n 4.16 参考文献 91 *WfOB2rU 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 r1-?mMSU& 5.1 Jobs 92 H<%7aOwO2 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7-w
+/fv 5.3 输入材料 94 >('L2]4\v 5.4 设计数据文件夹 95 =@binTC4 5.5 默认设计 95 ~0|~Fg 6 细化和合成 97 ZGzrh`j{- 6.1 优化介绍 97 E[nW B"pxE 6.2 细化 (Refinement) 98 @p|[7' 6.3 合成 (Synthesis) 100 Q2^}NQO= 6.4 目标和评价函数 101 (bH "x 6.4.1 目标输入 102 .-`7Av+7 6.4.2 目标 103 b\][ x6zJp 6.4.3 特殊的评价函数 104 .+ai
dWd 6.5 层锁定和连接 104 w^p
'D{{ 6.6 细化技术 104 =35EG{W( 6.6.1 单纯形 105 ;r-
\h1iA' 6.6.1.1 单纯形参数 106 0$}+tq+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 C
n\'sb{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 r&1N8o 6.6.3 模拟退火算法 109 @XDU!<N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zL3~,z/o 6.6.4 共轭梯度 111 ^%#v
AS 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 6rt.ec( 6.6.5 拟牛顿法 112 ;r^8In@6 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~Rk6@&ZS} 6.6.6 针合成 113 =o{zw+|% % 6.6.6.1 针合成参数 114 vay_QxB5 6.6.7 差分进化 114 \P}~ICZA 6.6.8非局部细化 115 V`S6cmwdc\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 8Th|' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 [*vk& 6.7.1 细化 116 WSi Utf|g 6.7.2 合成 117 lp!@uoN^T 6.8 参考文献 117 G}BO!Z6 7 导纳图及其他工具 118 D
gY2:&0 7.1 简介 118 +S^Uw'L$=T 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 jp=^$rS6[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 )3'/g`c 7.2.2 导纳图 120 lsY5QE:Qrp 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mZ7.#R*} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 _s|C0Pt 7.5 斜入射导纳图 141 , YTuZS 7.6 对称周期 141 u{ JAC! 7.7 参考文献 142 {/XzIOO;b 8 典型的镀膜实例 143 D7[ 8*^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 iZgv
VH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 k
U*\Fa*E 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3PpycJ} 8.4 W-膜层 148 P9G c)$6{p 8.5 V-膜层 149 d01bt$8> 8.6 V-膜层高折射基底 150 $khWu>b 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 2o6KVQ
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Wl;F]_|*( 8.9 四层抗反射薄膜 153 'r(}7>~fC 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 xo6-Y=c8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 S,n*1&ogj 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 qI^6}PB 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 DFVaZN?~
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 $;@^coz9U 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Dx 4?6 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 (](:0H 8.17 1/4波长堆栈 162 hG
uRV|` 8.18 陷波滤波器 163 la</IpC 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 v'`C16&^] 8.20 褶皱 165 9Fv1D 8.21 消偏振分光器1 169 )f*&}SV 8.22 消偏振分光器2 171 Z8z.Xn 8.23 消偏振立体分光器 172 5^ARC^v 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^UEI`_HO0 8.25 立体偏振分束器1 174 ?E^~z- 8.26 立方偏振分束器2 177 M//q7SHh 8.27 相位延迟器 178 % E3 8.28 红外截止器 179 QO[! 8.29 21层长波带通滤波器 180 g&`e2|[7 8.30 49层长波带通滤波器 181 GXYmJ4wR 8.31 55层短波带通滤波器 182 c] $X+ 8.32 47 红外截止器 183 (5cc{zKtR 8.33 宽带通滤波器 184 pBL,kqYNA> 8.34 诱导透射滤波器 186 qTj7mUk 8.35 诱导透射滤波器2 188 Xg^`fRg =T 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ;
"ux{ . 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !0zbWB9 8.35 增益平坦滤波器 193 GXr9J rs.e 8.38 啁啾反射镜 1 196 plh.-" 8.39 啁啾反射镜2 198 ?k TVC 8.40 啁啾反射镜3 199 z4HIDb 8.41 带保护层的铝膜层 200 "|{NRIE 8.42 增加铝反射率膜 201 FWq+'GkSV 8.43 参考文献 202 /a[i:Oa# 9 多层膜 204 4`I2tr 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 s+#gH@c 9.2 内部透过率 204 Xx~OZ^t&Vn 9.3 内部透射率数据 205 n!2"pRIi 9.4 实例 206 yS[:C
2v 9.5 实例2 210 B:\\aOEj 9.6 圆锥和带宽计算 212 g
j8rrd| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 W-qec 10 光学薄膜的颜色 216 IlVz 5#R 10.1 导言 216 zflq|d W 10.2 色彩 216 !g
# 10.3 主波长和纯度 220 aHNR0L3$}{ 10.4 色相和纯度 221 j1Fy'os"! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 r{!]`
'8 10.6 色差 226 )e d5~ok 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )a
AKO` 10.8 颜色渲染指数 234 8UJK]_99I, 10.9 色差计算 235 12`q9Io" 10.10 参考文献 236 i,r O3Jn 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .vE=527g) 11.1 短脉冲 238 V7[6jWgH 11.2 群速度 239 twv|,kM 11.3 群速度色散 241 ![h+R@_( 11.4 啁啾(chirped) 245 [=7=zV;}4 11.5 光学薄膜—相变 245 $N'AZY]4] 11.6 群延迟和延迟色散 246 jfP2n5X83 11.7 色度色散 246 O-J;iX } 11.8 色散补偿 249 "(zvI>A 11.9 空间光线偏移 256 K+ZJSfO6 11.10 参考文献 258 D99g} 12 公差与误差 260 '3TwrY?- 12.1 蒙特卡罗模型 260 Xb?:dlu3 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 xP#vAR 12.2.1 误差工具 267 )9I>y2WU~ 12.2.2 灵敏度工具 271 }{T9`^V:h 12.2.2.1 独立灵敏度 271 O=~8+sa 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ir&rTGFN
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 W; yNg 12.3 参考文献 276 d` %8qLIW 13 Runsheet 与Simulator 277 O#LG$Y
n* 13.1 原理介绍 277 HK&Ul=^VN| 13.2 截止滤光片设计 277 fFDI qX 14 光学常数提取 289 TRP#b 7nC 14.1 介绍 289 Fa<>2KkOr 14.2 电介质薄膜 289 ,I6jfXI4 14.3 n 和k 的提取工具 295 > %h7)}U 14.4 基底的参数提取 302 5&?[Vt 14.5 金属的参数提取 306 j5Kw0Wy7 14.6 不正确的模型 306 h1}U#XV 14.7 参考文献 311 tpu2e*n-| 15 反演工程 313 \|e>(h!l; 15.1 随机性和系统性 313 lS@0 $ 15.2 常见的系统性问题 314 HYcLXh vgu 15.3 单层膜 314 !%MI9Ok 15.4 多层膜 314 DrI"YX 15.5 含义 319 4/KGrY!ck 15.6 反演工程实例 319 9
5bi
W 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Z|3fhaT 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H<_BnT# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 x}\x3U 16.1 光学性质的热致偏移 329 gJa48 pi 16.2 应力工具 335 %+ln_lgD: 16.3 均匀性误差 339 w`BY>Xft0 16.3.1 圆锥工具 339 SeuC7!q{ 16.3.2 波前问题 341 xgDd5`W 16.4 参考文献 343 +85#`{ D 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (~>uFH 17.1 引言 345 44Dytpvg 17.2 操作数 345 YcQ$nZAU 18 如何在Function中编写脚本 351 6/-] 18.1 简介 351 G47(LE"2b 18.2 什么是脚本? 351 9NF2a)&~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 F/pq9 18.4 基础 352 ')R+Z/hG. 18.4.1 Classes(类别) 352 Cws;6i*=@ 18.4.2 对象 352 L
hp 18.4.3 信息(Messages) 352 uu7 ?,WT 18.4.4 属性 352 PP*6nW8 18.4.5 方法 353 CzMCd
~*7R 18.4.6 变量声明 353 @jL](Mq|] 18.5 创建对象 354 { 6
#Qm7s- 18.5.1 创建对象函数 355 bG0
|+k3O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 aE|'%72g 18.5.3 丢弃对象 356 cNbH:r"Ay 18.5.4 总结 356 .lsD+} 18.6 脚本中的表格 357 J`6IH#54 18.6.1 方法1 357 z*V 8l* 18.6.2 方法2 357 2[!3!@. 18.7 2D Plots in Scripts 358 gB
_/( 18.8 3D Plots in Scripts 359 In[rxT~K}Q 18.9 注释 360 ~];r{IU 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 G]]"Jc 18.11 一个更高级的脚本 362 sKy3('5; 18.12 <esc>键 364 ]I,(^Xq3a( 18.13 包含文件 365 !S.O~Kq 18.14 脚本被优化调用 366 #B!|sXC 18.15 脚本中的对话框 368 n;@.eC,T/ 18.15.1 介绍 368 *S xDwN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 v)p'0F#6A 18.15.3 输入框函数 370 2jf73$F 18.15.4 自定义对话框 371 RWg'W,v=! 18.15.5 对话框编辑器 371 = K)[3mXX 18.15.6 控制对话框 377 (]E0fjk 18.15.7 更高级的对话框 380 /0Jf/-}ovn 18.16 Types语句 384 g6
H}a 18.17 打开文件 385 4 s
s 4O 18.18 Bags 387 ZUyS+60 18.13 进一步研究 388 gt(^9t; 19 vStack 389 N \~}`({ 19.1 vStack基本原理 389 3"BSP3/[l 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 _<E.?K$gbU 19.3 五棱镜 393 X-=4Z9 19.4 光束距离 396 +>&i]x(b 19.5 误差 399 9 NGKh3V 19.6 二向分色棱镜 399 Y\,aJL$ 19.7 偏振泄漏 404 yk0tA 19.8 波前误差—相位 405 ;J@U){R 19.9 其它计算参数 405 A"B#t" 20 报表生成器 406 xfF;u9$; 20.1 入门 406 2tb+3K1 20.2 指令(Instructions) 406 T@Bu Fr`]< 20.3 页面布局指令 406 )3 I~6ar 20.4 常见的参数图和三维图 407 r6eZ-V`4 20.5 表格中的常见参数 408 i]#"@xQ 20.6 迭代指令 408 n^q%_60H 20.7 报表模版 408 \0W0 o5c$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 s
TVX/Q 21 一个新的project 413
>akC 21.1 创建一个新Job 414 {2%'=v 21.2 默认设计 415 <~*[OwN 21.3 薄膜设计 416 )Q 5 x% 21.4 误差的灵敏度计算 420 g~ii^[W 21.5 显色指数计算 422 k:&vW21E 21.6 电场分布 424 t~H0Qeb[v= 后记 426 y|0!sNg 如有需要可以加我微信 O14\_eAu6
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