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69iM0X!'u 内容简介 IX.sy Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >j:|3atb 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 82s5VQ6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ])=H kF?S 2(vH LyV#j>gD
1J&\,f& 目录 i pwW%"6 Preface 1 w?S8@|MK 内容简介 2 VfRs[3Q 目录 i sS|<&3 1 引言 1 u uSHCp
2 光学薄膜基础 2 -[Y:?lA 2.1 一般规则 2 @.1Qs`pt 2.2 正交入射规则 3 ng
9NE8F 2.3 斜入射规则 6 [aHlu[, 2.4 精确计算 7 Yw1Y-M 2.5 相干性 8 F^]aC98]1 2.6 参考文献 10 "*t6t4/Q 3 Essential Macleod的快速预览 10 Q K j1yG0i 4 Essential Macleod的特点 32 'QR4~`6I 4.1 容量和局限性 33 *#6|!%?g 4.2 程序在哪里? 33 /k)
NP 4.3 数据文件 35 zu<>"5}] 4.4 设计规则 35 K#@K"N= 4.5 材料数据库和资料库 37 jzQ I>u 4.5.1材料损失 38 c8q G\\t[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ]| z")gOE 4.5.2 材料库 41 ~T7\8K+ $ 4.5.3导出材料数据 43 a}w&dE$!- 4.6 常用单位 43 aoK4Du{ 4.7 插值和外推法 46 soDfi-2o3 4.8 材料数据的平滑 50 qhnapZJ 4.9 更多光学常数模型 54 |veBq0U 4.10 文档的一般编辑规则 55 dX0x
Kk%# 4.11 撤销和重做 56
ZRO.bMgZF 4.12 设计文档 57 PYaOH_X. 4.10.1 公式 58 .jCk#@+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h~ZNHSP: 4.10.3 沉积密度 59 -: C[P 4.10.4 平行和楔形介质 60 Fos1WH?\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 %![4d;Z%x 4.10.4 性能 61 jWhD5k@v 4.10.5 保存设计和性能 64 r&=r/k2 4.10.6 默认设计 64 9 #:ue@) 4.11 图表 64 h ;jsH! 4.11.1 合并曲线图 67 /%;/pi 4.11.2 自适应绘制 68 /lru"R D 4.11.3 动态绘图 68
Re{ej 4.11.4 3D绘图 69 -^0KE/ 4.12 导入和导出 73 bnIf}ut-G 4.12.1 剪贴板 73 gl Li 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 D8W(CE^} 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =w t-YM 4.13 背景 77 =g1 D; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 r!>es;R8 4.15 生成Rugate 84 %uF:) 4.16 参考文献 91 aL{EkiR 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 E#m76]vkCU 5.1 Jobs 92 V.+DP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \A~4\um 5.3 输入材料 94 ;wfH^2HxE) 5.4 设计数据文件夹 95 XNy:0C 5.5 默认设计 95 PVS\, 6 细化和合成 97 Ogn,1nm% 6.1 优化介绍 97 O'Vh{JHf 6.2 细化 (Refinement) 98 P~;<o!f 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^BQ>vI'.4 6.4 目标和评价函数 101 *'s&/vEy 6.4.1 目标输入 102 @b4b{d5[ 6.4.2 目标 103 MI?]8+l 6.4.3 特殊的评价函数 104 [sjrb?Xd 6.5 层锁定和连接 104 ;9 lqSv/6 6.6 细化技术 104 l@(t^68OD 6.6.1 单纯形 105 |P^ikx6f5 6.6.1.1 单纯形参数 106 9
<y/Wv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 \t[
hg 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~y( ,EO 6.6.3 模拟退火算法 109 ^Jc$BMaVg 6.6.3.1 模拟退火参数 109 vr5<LNCLQ 6.6.4 共轭梯度 111 XT\Td}> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
zgZi 6.6.5 拟牛顿法 112 "87O4
#$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 \;4L~_2$q 6.6.6 针合成 113 i+kFL$N 6.6.6.1 针合成参数 114 Tey,N^=ek 6.6.7 差分进化 114 Tq_1wX'\ 6.6.8非局部细化 115 [J(@$Qix 6.6.8.1非局部细化参数 115 })h'""i&xn 6.7 我应该使用哪种技术? 116 uMljH@xBc 6.7.1 细化 116 7/$nA<qM 6.7.2 合成 117 PTfN+ 6.8 参考文献 117 yL^M~lws 7 导纳图及其他工具 118 o;Hd W 7.1 简介 118 WMt&8W5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ]0at2 7.2.1 四分之一波长规则 119 &6=TtTp"9 7.2.2 导纳图 120 XY&]T'A 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 (Q*2dd> 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 yHV^a0e7EH 7.5 斜入射导纳图 141 /1s 9;'I 7.6 对称周期 141 $_%2D3-;D 7.7 参考文献 142 eP-R""uPw 8 典型的镀膜实例 143 |:J*>"sq 8.1 单层抗反射薄膜 145 eWqVh[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Jv '3]( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 OgzGkc@A 8.4 W-膜层 148 U~JG1#z6 8.5 V-膜层 149 81%qM7v9H 8.6 V-膜层高折射基底 150 %tklup]LF8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 LrmtPnL 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 #L).BM 8.9 四层抗反射薄膜 153 qkZ5+2m 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 i75?*ld 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %Hh &u
. 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 0e7O#- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 K{`2jK# 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Huug_E+ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~ ]m@k'n 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 qW` XA 8.17 1/4波长堆栈 162 4q@9 8.18 陷波滤波器 163 kOlI?wc 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 sk%:Sp 8.20 褶皱 165 umHs " d 8.21 消偏振分光器1 169 &})4?5 8.22 消偏振分光器2 171 ~]i]kU 8.23 消偏振立体分光器 172 }(vOaD|k= 8.24 消偏振截止滤光片 173 `
i^`Q 8.25 立体偏振分束器1 174 sbq44L) 8.26 立方偏振分束器2 177 R+@sHsZ@ 8.27 相位延迟器 178 i85+p2i7 8.28 红外截止器 179 HC<BGIgL 8.29 21层长波带通滤波器 180 A+bubH, 8.30 49层长波带通滤波器 181 Cx1Sh#9 8.31 55层短波带通滤波器 182 M7cI$=G 8.32 47 红外截止器 183 s1*WK&@ 8.33 宽带通滤波器 184 JXI+k.fi 8.34 诱导透射滤波器 186 h\: tUEg#J 8.35 诱导透射滤波器2 188 dKN3ZCw*gF 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 gP_d>p:b 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 w$<fSe7 8.35 增益平坦滤波器 193 p1`'1`.3 8.38 啁啾反射镜 1 196 W0r5D9k 8.39 啁啾反射镜2 198 aS1P]& 8.40 啁啾反射镜3 199 (fLbg, 8.41 带保护层的铝膜层 200 Hhce:E@K 8.42 增加铝反射率膜 201 )4o=t.O\K 8.43 参考文献 202 a\HtxR8L 9 多层膜 204 1dgN10 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 cvLcre% >A 9.2 内部透过率 204 7HR%rO?' 9.3 内部透射率数据 205 5jCEy*%P@ 9.4 实例 206 3vvFF]D5k 9.5 实例2 210 +XaO?F[c 9.6 圆锥和带宽计算 212 q5K/+N^2? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 A?{aUQB~| 10 光学薄膜的颜色 216 fAA@ziKg 10.1 导言 216 yrvSbqR 10.2 色彩 216 *7D$;?" 10.3 主波长和纯度 220 nH3b<k;S 10.4 色相和纯度 221 X:} 5L>' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 R;,u >P " 10.6 色差 226 .AQ3zpy5B 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 kI1{>vYD 10.8 颜色渲染指数 234
M$-(4 0 10.9 色差计算 235 iJp!ROI 10.10 参考文献 236 @0@'6J04 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 )*QTxN 11.1 短脉冲 238 =*)O80oaW 11.2 群速度 239 [2fiHE 11.3 群速度色散 241 vEee/+1? 11.4 啁啾(chirped) 245 0_xcrM 11.5 光学薄膜—相变 245 b<8J ;u< 11.6 群延迟和延迟色散 246 HI`A;G] 11.7 色度色散 246 9QM"JEu@ 11.8 色散补偿 249 0R!}}*Ee>q 11.9 空间光线偏移 256 $R#L@iL- 11.10 参考文献 258 :@4>}k* 12 公差与误差 260 Jtk.v49Ad> 12.1 蒙特卡罗模型 260 gSo(PW) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 >~bj7M6t 12.2.1 误差工具 267 W&re;?Z{ke 12.2.2 灵敏度工具 271 x jUH<LFxy 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "OAZ< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 DDCQ Af 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 y.]]V"'2 12.3 参考文献 276 l?<z1Acd& 13 Runsheet 与Simulator 277 N)I
T? 13.1 原理介绍 277 arH\QPaka' 13.2 截止滤光片设计 277 hy`)]>9z~ 14 光学常数提取 289 |"E9DD]{ 14.1 介绍 289 {zN_l! 14.2 电介质薄膜 289 )aA9z(x 14.3 n 和k 的提取工具 295 s/&]gj" 14.4 基底的参数提取 302 HkB<RsS$p_ 14.5 金属的参数提取 306 o)D+qiA3U 14.6 不正确的模型 306 :H8L (BsI 14.7 参考文献 311 Kxaz^$5Y$ 15 反演工程 313 4 AmF^H 15.1 随机性和系统性 313 %L|bF"K5; 15.2 常见的系统性问题 314 >\x
39B 15.3 单层膜 314 HaN_}UMP
15.4 多层膜 314 \B ^sJ[n 15.5 含义 319 pC.T)k 15.6 反演工程实例 319 pPoC61F 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 e;u8G/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 RvZ-w$E&? 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Ck a]F2, 16.1 光学性质的热致偏移 329 cQ ;Ry!$ 16.2 应力工具 335 xi^e =:;` 16.3 均匀性误差 339 "LaX_0t) 16.3.1 圆锥工具 339 cZT.vA# 16.3.2 波前问题 341 /<(ik&%N 16.4 参考文献 343 U jzz`!mz 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 yQ&%* ?J 17.1 引言 345 ffd3QQ 17.2 操作数 345 u`2k6.- 18 如何在Function中编写脚本 351 VIdoT2 18.1 简介 351 &+iW: 18.2 什么是脚本? 351 Vxs`w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 z(68^-V=: 18.4 基础 352 xyWdzc](p 18.4.1 Classes(类别) 352 ^TuEp$Z= 18.4.2 对象 352 E}j8p_p 18.4.3 信息(Messages) 352 F@K;A%us) 18.4.4 属性 352 sBI%lrO 18.4.5 方法 353 5kNs@FP 18.4.6 变量声明 353 O!Cu.9} 18.5 创建对象 354 GlD'?Mk1 18.5.1 创建对象函数 355 d+ko"F| 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `bF;Ew; 18.5.3 丢弃对象 356 }@6
%yR 18.5.4 总结 356 ~o5iCt;w 18.6 脚本中的表格 357 FQ1oqqr 18.6.1 方法1 357 z5'nS&x 18.6.2 方法2 357 g}KZL-p4\m 18.7 2D Plots in Scripts 358 xmx;tq 18.8 3D Plots in Scripts 359 g$LwXfg 18.9 注释 360 @&yj7-] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 '
uw&f;/E 18.11 一个更高级的脚本 362 TBT*j&!L 18.12 <esc>键 364 #vwXx r 18.13 包含文件 365 HN@)/5BY 18.14 脚本被优化调用 366 ?{")Wt 18.15 脚本中的对话框 368 s\R?@ 18.15.1 介绍 368 Yk&{VXU< 18.15.2 消息框-MsgBox 368 0lN8#k>H 18.15.3 输入框函数 370 S6X<3L`FfH 18.15.4 自定义对话框 371 )KQum`pO 18.15.5 对话框编辑器 371 a[ l5k 18.15.6 控制对话框 377 XnOl*#P 18.15.7 更高级的对话框 380 qEz'l'%( 18.16 Types语句 384 TvwIro 18.17 打开文件 385 HE'8 18.18 Bags 387 ibw;BU 18.13 进一步研究 388 ZfikNQU9r 19 vStack 389 z59J=?| 19.1 vStack基本原理 389 [nD4\x+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 VNXVuM )c 19.3 五棱镜 393 rM |RGe 19.4 光束距离 396 $c47cJO)W 19.5 误差 399 zxdO3I 19.6 二向分色棱镜 399 zy;w07-) 19.7 偏振泄漏 404 !{;RtUPz* 19.8 波前误差—相位 405 Vrh],xK7 19.9 其它计算参数 405 #Qd3A 20 报表生成器 406 0n=E.qZ9c 20.1 入门 406 "FS.&&1( 20.2 指令(Instructions) 406 {NDP}UATw 20.3 页面布局指令 406 _"V0vV 20.4 常见的参数图和三维图 407 >YhqL62!a 20.5 表格中的常见参数 408 Pc1N~?}. 20.6 迭代指令 408 *JXJ
2 20.7 报表模版 408 8ipLq`) 20.8 开始设计一个报表模版 409 hBu=40K 21 一个新的project 413 !6C d.fpWL 21.1 创建一个新Job 414 i-b7 21.2 默认设计 415 6'zy"UkH 21.3 薄膜设计 416 V.1sZYA9 21.4 误差的灵敏度计算 420 8{u01\0} 21.5 显色指数计算 422 ?2;G_P+ 21.6 电场分布 424 )' #(1
,1k 后记 426 gId+hxFa:r 如有需要可以加我微信 IIZsN*^
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