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bfJDF(=h 内容简介 \||PW58j Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0h7\zoZ5 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 C?B7xK 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 gFKQm(0g2 gQ?k}D D,hl+P{^K
O^f@ g l 目录 %$cwbh-{{ Preface 1 DgdW.Kj|IL 内容简介 2 '1w<<?vX? 目录 i r[gV`khka 1 引言 1 {<GsM 2 光学薄膜基础 2 8ZN J} 2.1 一般规则 2 PQfx0n, 2.2 正交入射规则 3 v}!,4,]:& 2.3 斜入射规则 6 4 QDW}5xB 2.4 精确计算 7 H`y- "L8q 2.5 相干性 8 #C+0m` 2.6 参考文献 10 MB#%k#z`B 3 Essential Macleod的快速预览 10 y|@^0]}%< 4 Essential Macleod的特点 32 TqlUe@E 4.1 容量和局限性 33 K9*K4'#R 4.2 程序在哪里? 33 UpgOU. 4.3 数据文件 35 nhIITfJJ 4.4 设计规则 35 cZwQ{9> 4.5 材料数据库和资料库 37 Fc=8Qt^ 4.5.1材料损失 38 P`"dj@1' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 |m=@;B| 4.5.2 材料库 41 y,%w` 4.5.3导出材料数据 43 ^)SvH 4.6 常用单位 43 sOHh&e 4.7 插值和外推法 46 H[Qh* pq2 4.8 材料数据的平滑 50 >uQ!B/C! 4.9 更多光学常数模型 54 Yux7kD\c 4.10 文档的一般编辑规则 55 DF|qNX 4.11 撤销和重做 56 9oaq%Sf 4.12 设计文档 57 iBZ+gsSP 4.10.1 公式 58 'aCnj8B 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5[GX 4.10.3 沉积密度 59 J)R2O4OEd 4.10.4 平行和楔形介质 60 im&|H- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
3{:d$- y 4.10.4 性能 61 !0w'S>e 4.10.5 保存设计和性能 64 6Fm.^9@ 4.10.6 默认设计 64 Edjh* 4.11 图表 64 <cl$?].RE! 4.11.1 合并曲线图 67 !Zs;m`j&9 4.11.2 自适应绘制 68 g]3-:&F{c 4.11.3 动态绘图 68 xd>2TW l# 4.11.4 3D绘图 69 o77HRX 4.12 导入和导出 73 o2jnmv~ 4.12.1 剪贴板 73 >`6^1j(3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 sT/pA^rnnR 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^c=@2#^\ 4.13 背景 77 js>6Du 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 p1 o?^A& 4.15 生成Rugate 84 H\O|Y@uVr 4.16 参考文献 91 wPV`j:?' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 E[$['0 5.1 Jobs 92 VB[R!S= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 yX8F^iv[ 5.3 输入材料 94 /]YK:7*98 5.4 设计数据文件夹 95 '2%hc\P6P 5.5 默认设计 95 >Vn!k N6\ 6 细化和合成 97 p*>[6{$3)O 6.1 优化介绍 97 (US8Sc 6.2 细化 (Refinement) 98 EmLPq!C 6.3 合成 (Synthesis) 100 a5&wS@)
; 6.4 目标和评价函数 101 SBYRN##n_ 6.4.1 目标输入 102 u'=#~'6 6.4.2 目标 103 /a]+xL 6.4.3 特殊的评价函数 104 Y}4dW' 6.5 层锁定和连接 104 1pcSfN :"1 6.6 细化技术 104 6k^vF~ 6.6.1 单纯形 105 A^g81s.5 6.6.1.1 单纯形参数 106 !'+t)h9^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ZkqC1u3 6.6.2.1 Optimac参数 108 Q(%uDUg% 6.6.3 模拟退火算法 109 hI?<F^b 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zO!`sPP 6.6.4 共轭梯度 111 u<+;]8[o 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 AjZT- Q0L 6.6.5 拟牛顿法 112 |Q7Ch]G 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Z-:$)0f 6.6.6 针合成 113 uz*C`T0:rj 6.6.6.1 针合成参数 114 ;7qk9rz4 6.6.7 差分进化 114 YXBS!89m 6.6.8非局部细化 115 h; {?z 6.6.8.1非局部细化参数 115 a8dR. 6.7 我应该使用哪种技术? 116 :CH'Bt4< 6.7.1 细化 116 S:DB%V3 6.7.2 合成 117 dAga(<K 6.8 参考文献 117 IMVoNKW- 7 导纳图及其他工具 118 q/]tJ{FI 7.1 简介 118 mV^dIm 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6.ap^9AD 7.2.1 四分之一波长规则 119 uZ
OUp8QQ 7.2.2 导纳图 120 ]ImS@!Ajjx 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 71wyZJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 4,)=r3;&! 7.5 斜入射导纳图 141 N\H(AzMw 7.6 对称周期 141 ujwI4oj"c 7.7 参考文献 142 :Z&ipd!yY 8 典型的镀膜实例 143 c5U1N&k5& 8.1 单层抗反射薄膜 145 \2~.r/`1 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 /oWB7l& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ` 3<#DZ;! 8.4 W-膜层 148 A~h8 >zz* 8.5 V-膜层 149 'X`\vTxB 8.6 V-膜层高折射基底 150 !(+?\+U lE 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {x-g?HB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _)^(-}(_D 8.9 四层抗反射薄膜 153 4
9#I 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .p0;y3so4 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 />]/At 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 mD|<qsY) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ))eR 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 LZ^sc
8.15十五层宽带抗反射膜 159 bv|v9_i 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _gU[FUBtJ 8.17 1/4波长堆栈 162 n cihc$V< 8.18 陷波滤波器 163 ~PS%^zxyn 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 KxiZx I 8.20 褶皱 165 1OJ:Vy}n 8.21 消偏振分光器1 169 t-/%|@?D 8.22 消偏振分光器2 171 .o
fYFK 8.23 消偏振立体分光器 172 A(<-
U| 8.24 消偏振截止滤光片 173 ujDAs%6MZ 8.25 立体偏振分束器1 174 F7=a|g 8.26 立方偏振分束器2 177 .H9!UQ&It 8.27 相位延迟器 178 `t#C0 8.28 红外截止器 179 tXfB.[U 8.29 21层长波带通滤波器 180 UIzk-.< 8.30 49层长波带通滤波器 181 7rsrC 8.31 55层短波带通滤波器 182 qB"y'UW8 8.32 47 红外截止器 183 b/<4\f 8.33 宽带通滤波器 184 y*_g1q$ 8.34 诱导透射滤波器 186 bx`(d@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 #r0A<+t{T 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 gSC8qip 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8vnU!r 8.35 增益平坦滤波器 193 +)ro
EJ_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 !$Mv)c/_u 8.39 啁啾反射镜2 198 IgSe%B 8.40 啁啾反射镜3 199 Jb_/c`` 8.41 带保护层的铝膜层 200 XMuZ'I 8.42 增加铝反射率膜 201 nj)M$' 8.43 参考文献 202 =g?r.;OO 9 多层膜 204 _3ZZ-=J:=* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 o$2fML 9.2 内部透过率 204 l*pCG`@J# 9.3 内部透射率数据 205 c-`&e-~XKL 9.4 实例 206 RkC?(p 9.5 实例2 210
{T.$xiR 9.6 圆锥和带宽计算 212 VSM%<-iQ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 5E~][. d 10 光学薄膜的颜色 216 OB5{EILej 10.1 导言 216 'gQm%:qU3r 10.2 色彩 216 ,ad~6.Z_) 10.3 主波长和纯度 220 @bS>XWI> 10.4 色相和纯度 221 2{ }5WH 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ZH/|L?Q1U 10.6 色差 226 R%SsHu"> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 awMm&8cIM 10.8 颜色渲染指数 234 5wr0+Xo 10.9 色差计算 235 TlAY=JwW 10.10 参考文献 236 KvC:(Vqj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 B>-Iv_ 11.1 短脉冲 238 2<YHo{0BLS 11.2 群速度 239 :B)w0 tVw 11.3 群速度色散 241 rt t?4 11.4 啁啾(chirped) 245 XWk/S $-d 11.5 光学薄膜—相变 245 uV=rLDY 11.6 群延迟和延迟色散 246 0^tF_."Y 11.7 色度色散 246 mN*9X[>x 11.8 色散补偿 249 :|P"`j 11.9 空间光线偏移 256 hnH:G`[F 11.10 参考文献 258 ;LthdY()n( 12 公差与误差 260 9O P
d'f 12.1 蒙特卡罗模型 260 v k.Y2
: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 B.|2w 12.2.1 误差工具 267 ^#XxqVdPk 12.2.2 灵敏度工具 271 p8o%H-Xk 12.2.2.1 独立灵敏度 271 EGU?54 12.2.2.2 灵敏度分布 275 E$*I.i_m 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 {h|3P/?7 12.3 参考文献 276 E70 13 Runsheet 与Simulator 277 $Pl>T09d 13.1 原理介绍 277 CSwNsFDR% 13.2 截止滤光片设计 277 ^:LF 14 光学常数提取 289 0nG&
LL5 14.1 介绍 289 $;"@;Lj%, 14.2 电介质薄膜 289 ?9 2+(s 14.3 n 和k 的提取工具 295 Koahd= 14.4 基底的参数提取 302 5|Vb)QBv% 14.5 金属的参数提取 306 eBtkTWx5[/ 14.6 不正确的模型 306 .r[J} O" 14.7 参考文献 311 {I`B?6K5 15 反演工程 313 [,xFk* # 15.1 随机性和系统性 313 2 R 1S>X 15.2 常见的系统性问题 314 g)xzy^2e 15.3 单层膜 314 %|r@q 15.4 多层膜 314 Mp"] = 15.5 含义 319 Lp1wA* 15.6 反演工程实例 319 u&r@@p. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 !>gc!8Y'o 15.6.2 反演工程提取折射率 327 oa1&9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 RSzp-sKB 16.1 光学性质的热致偏移 329 |0A n|18 16.2 应力工具 335 oKzV!~{0M; 16.3 均匀性误差 339 UyTq(7uo 16.3.1 圆锥工具 339 7q$9\RR5 16.3.2 波前问题 341 /8J2,8vZ 16.4 参考文献 343 )<IbQH|_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 OlMCF.W#3 17.1 引言 345 .oAg
(@^6 17.2 操作数 345 XlDVJx<&J 18 如何在Function中编写脚本 351 YVD%GJ 18.1 简介 351 rS)7D 18.2 什么是脚本? 351 - stSl* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 6L'cD1pu 18.4 基础 352 wp.'M?6`L 18.4.1 Classes(类别) 352 ra$_#HY 18.4.2 对象 352 F#Z]Xq0r 18.4.3 信息(Messages) 352 F''4 j8 18.4.4 属性 352 8t9sdqM/C 18.4.5 方法 353 lT1*e(I 18.4.6 变量声明 353 HgduH::\# 18.5 创建对象 354 ft:/-$&H 18.5.1 创建对象函数 355 an0@EkZ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 bZ )3{ 18.5.3 丢弃对象 356 .E[k}{k, 18.5.4 总结 356
2Xe2%{ 18.6 脚本中的表格 357 5wP(/?sRy 18.6.1 方法1 357 t~,!a? S7 18.6.2 方法2 357 Hagj^8 18.7 2D Plots in Scripts 358 [ivJ&'vB 18.8 3D Plots in Scripts 359 )1lYfJ 18.9 注释 360 |VaXOdD`& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 b>Vs5nY! 18.11 一个更高级的脚本 362 gaTI:SKzc 18.12 <esc>键 364 q+|Dm<Ug 18.13 包含文件 365 O_(J',++ 18.14 脚本被优化调用 366 }^)M)8zS 18.15 脚本中的对话框 368 QqtFNG 18.15.1 介绍 368 } [D[ZLv 18.15.2 消息框-MsgBox 368 W53i5u( 18.15.3 输入框函数 370 VUagZ7p 18.15.4 自定义对话框 371 vJmE} 18.15.5 对话框编辑器 371 %+>I1G 18.15.6 控制对话框 377 X
B65,l 18.15.7 更高级的对话框 380 EC?!%iO` 18.16 Types语句 384
tGv4 S\ 18.17 打开文件 385 j31
Sc3vG 18.18 Bags 387 nVs0$?} 18.13 进一步研究 388 R"=G?d) 19 vStack 389 v<3i ~a 19.1 vStack基本原理 389 ,f}s!>j 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 .CwMxuW 19.3 五棱镜 393 7}TjOWC 19.4 光束距离 396 0#XZ_(@% 19.5 误差 399 {IqbO>|"O_ 19.6 二向分色棱镜 399 i#(T?=VPcy 19.7 偏振泄漏 404 CO5?UgA 19.8 波前误差—相位 405 jDy 19.9 其它计算参数 405 .NwHr6/s* 20 报表生成器 406 *8X: fq 20.1 入门 406 FkKx~I: 20.2 指令(Instructions) 406 nyTfTn 20.3 页面布局指令 406 xqM R[W\x 20.4 常见的参数图和三维图 407 "sL#)<% 20.5 表格中的常见参数 408 HQv#\Xi1 20.6 迭代指令 408 %J2u+K 20.7 报表模版 408 !3?HpR/nV 20.8 开始设计一个报表模版 409 a;([L8^7$l 21 一个新的project 413 /38^N|/Zr 21.1 创建一个新Job 414 T9N /;3 21.2 默认设计 415 spd>.Cm` 21.3 薄膜设计 416 YadyRUE 21.4 误差的灵敏度计算 420 m|=/|Hm 21.5 显色指数计算 422 ]7c715@ 21.6 电场分布 424 `')3} 后记 426 70*Y4'u}A 如有需要可以加我微信 /d8PDc "
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