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4e sf&-gG 内容简介 ><HXd+- sd Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 nor`w,2VF 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .&xc2sRZ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 uIBV1Qz o?=u#= .w&Z=YM
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目录 -v]
0@jNe Preface 1 WJWhx4Hk 内容简介 2 7 m%|TwJN 目录 i i7_BnJJX{B 1 引言 1 zi'?FM[f) 2 光学薄膜基础 2 Gf>T{Q`,is 2.1 一般规则 2 mc$dR,
H0 2.2 正交入射规则 3 8dfx _kY`/ 2.3 斜入射规则 6 Bvwk6NBN 2.4 精确计算 7 XUWza=BR" 2.5 相干性 8 _G42|lA$/ 2.6 参考文献 10 3[$VW+YV 3 Essential Macleod的快速预览 10 eZHi6v)i 4 Essential Macleod的特点 32 LT!4pD:a 4.1 容量和局限性 33 bbnAmZ 4.2 程序在哪里? 33 &o(?
}W
4.3 数据文件 35 ~ lS3+H 4.4 设计规则 35 m-K6y7t 4.5 材料数据库和资料库 37 |<S9nZg%p 4.5.1材料损失 38 uG<+IT|x 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6K&V} 4.5.2 材料库 41 59LIK&w 4.5.3导出材料数据 43 f3O3pIA 4.6 常用单位 43 zuOIos
4.7 插值和外推法 46 qe0@tKim 4.8 材料数据的平滑 50 t}K?.To$ 4.9 更多光学常数模型 54 SU1,+7" 4.10 文档的一般编辑规则 55 HV>W f"1 4.11 撤销和重做 56 cCwT0O#d 4.12 设计文档 57 !Bd2$y. 4.10.1 公式 58 r\yj$Gu>( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 8d]=
+n! 4.10.3 沉积密度 59 [@(zGb8 4.10.4 平行和楔形介质 60 WWY9U 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 i/->g:47P 4.10.4 性能 61 nWh?zf#{ 4.10.5 保存设计和性能 64 * fx<>aK 4.10.6 默认设计 64 t+pI<c^]y 4.11 图表 64 5D'8 l@7 4.11.1 合并曲线图 67 V9+7A 4.11.2 自适应绘制 68 y 8sI @y6 4.11.3 动态绘图 68 n'&WIf3 4.11.4 3D绘图 69 {It4=I)M 4.12 导入和导出 73 StE4n0V 4.12.1 剪贴板 73 }[1I_) 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 P5Fm<f8\ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :f`1 4.13 背景 77 }/6jom9U? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 6(wpf^br2 4.15 生成Rugate 84 yjr!8L:m 4.16 参考文献 91 >_R5Li 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 U7Ps2~x3 5.1 Jobs 92 >:s:`Au 5.2 创建一个新Job(工作) 93 p%n}a%%I 5.3 输入材料 94 KzhldMJ^zq 5.4 设计数据文件夹 95 )y8$-"D(it 5.5 默认设计 95 \!-X&ws 6 细化和合成 97 E*[X\70 6.1 优化介绍 97 ,cS|fG 6.2 细化 (Refinement) 98 =oSv=xY 6.3 合成 (Synthesis) 100 RS$e^_ W 6.4 目标和评价函数 101 e+S%`Sg 6.4.1 目标输入 102 _m@QeO'yh 6.4.2 目标 103 nU/v(lN 6.4.3 特殊的评价函数 104 pbu 8Ib8z 6.5 层锁定和连接 104 1Azigd0% 6.6 细化技术 104 Pb!kl # 6.6.1 单纯形 105 8c#u"qF 6.6.1.1 单纯形参数 106 {>Zc#U' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 7Rq;V=2YV 6.6.2.1 Optimac参数 108 BK,=(;d3 6.6.3 模拟退火算法 109 )t=Cj?5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 A|jaWZM- 6.6.4 共轭梯度 111 4e9mN~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 H!,#Z7s 6.6.5 拟牛顿法 112 r..\(r 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^;N+"oq!y 6.6.6 针合成 113 V\Rbnvq 6.6.6.1 针合成参数 114 o XA*K.X< 6.6.7 差分进化 114 5`0tG; 6.6.8非局部细化 115 n
pBpYtG 6.6.8.1非局部细化参数 115 Uq7 y4zJ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 t(^c]*r~ 6.7.1 细化 116 |nB2X;K5~ 6.7.2 合成 117 Wl}d6ZTm 6.8 参考文献 117 UT+B*?,h 7 导纳图及其他工具 118 M&xfQNE 7.1 简介 118 :FB#,AOa_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 G=(F-U;* 7.2.1 四分之一波长规则 119 R9~%ORI#; 7.2.2 导纳图 120 _a^%V9t 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 nJlrBf_Kj 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J6Cw1Pi 7.5 斜入射导纳图 141 o`7Bvh2 7.6 对称周期 141 ?$v#;n?@I 7.7 参考文献 142 Ar N *9 8 典型的镀膜实例 143 K)N7Y=C3 8.1 单层抗反射薄膜 145 | x/, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 9PIm/10pP^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 A2!7a}*1( 8.4 W-膜层 148 @u#Tx% 8.5 V-膜层 149 Pqi>,c<&mL 8.6 V-膜层高折射基底 150 L@XhgQ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 j-ZKEA{:1 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 JiCDY)bu 8.9 四层抗反射薄膜 153 Y[#i(5w 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~Qeyh^wo 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 k/ls!e? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?dY}xE
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]G#og)z4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 22)2olU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 UF3WpA 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $d'GCzYvZ 8.17 1/4波长堆栈 162 T]Pp\6ff 8.18 陷波滤波器 163 ;J Fy
8Rj 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 f =B)jYI 8.20 褶皱 165 ^W{+?q' 8.21 消偏振分光器1 169 q;1]M[& 8.22 消偏振分光器2 171 Tj$D:xKf) 8.23 消偏振立体分光器 172 /{#1w\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 "WV]|
TS"] 8.25 立体偏振分束器1 174 a`|&rggN 8.26 立方偏振分束器2 177 bzz=8n 8.27 相位延迟器 178 FhVi|Va 8.28 红外截止器 179 wK!4:]rhG 8.29 21层长波带通滤波器 180 ]W-l1 8.30 49层长波带通滤波器 181 *+{umfZy 8.31 55层短波带通滤波器 182 $fR[zBxA 8.32 47 红外截止器 183 S;[9
hI+ 8.33 宽带通滤波器 184 R-+k>_96| 8.34 诱导透射滤波器 186 E=+v1\t)] 8.35 诱导透射滤波器2 188 ]#z^[XG 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 UJ3l8
%/`k 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ov.7FZ+ 8.35 增益平坦滤波器 193 fH-V!QYGF 8.38 啁啾反射镜 1 196 ep* ( 8.39 啁啾反射镜2 198 D7T(B=S6 8.40 啁啾反射镜3 199 p)NhV 8.41 带保护层的铝膜层 200 why;1z>V 8.42 增加铝反射率膜 201 |#fqHON 8.43 参考文献 202 nSdta'6 9 多层膜 204 PBc.}TSGj 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 `VM@-;@w 9.2 内部透过率 204 rf?Q# KM\W 9.3 内部透射率数据 205 Nz %{T 9.4 实例 206 7vax[,aI 9.5 实例2 210 Ju4={^# 9.6 圆锥和带宽计算 212 L?T%;VdG'> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 xj~5/)XX|X 10 光学薄膜的颜色 216 *J&XM[t 10.1 导言 216 %Aq+t&-BCX 10.2 色彩 216 [xXa3W 10.3 主波长和纯度 220 ?~s,O$o 10.4 色相和纯度 221 q'{LTg0kk 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 hY XH9: 10.6 色差 226 ~Q}JC3f> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 +dIDFSd 10.8 颜色渲染指数 234 pVbgjJI 10.9 色差计算 235 gx~79;6 10.10 参考文献 236 r*CI6yP 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $Kw)BnV 11.1 短脉冲 238 3}V`]B#a 11.2 群速度 239 /<,LM8n 11.3 群速度色散 241 |>(d^<nR^v 11.4 啁啾(chirped) 245 uSh!A 11.5 光学薄膜—相变 245 <J" 7ufHSQ 11.6 群延迟和延迟色散 246 "5Orj*{ 11.7 色度色散 246 p w(eWP 11.8 色散补偿 249 GZXBzZ} 11.9 空间光线偏移 256 n%GlOKC 11.10 参考文献 258 4Rj;lAlwB 12 公差与误差 260 S?_/Po| 12.1 蒙特卡罗模型 260 z9OhY]PPF 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Rrh?0qWs 12.2.1 误差工具 267 mkH{%7n 12.2.2 灵敏度工具 271 C":i56 12.2.2.1 独立灵敏度 271 G&8)5d[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 5=]q+&y\H 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lYEMrr!KQw 12.3 参考文献 276 k/[*Wz$W 13 Runsheet 与Simulator 277 $=?1>zvF 13.1 原理介绍 277 y\Su!?4! 13.2 截止滤光片设计 277 yM}b 14 光学常数提取 289 mRVE@pc2X 14.1 介绍 289 *9V;;bY# 14.2 电介质薄膜 289 J?4aSssE 14.3 n 和k 的提取工具 295 .PjJ g^^ 14.4 基底的参数提取 302 c|?0iN 14.5 金属的参数提取 306 "";[U 14.6 不正确的模型 306 .u[hK 14.7 参考文献 311 C/AqAW1
15 反演工程 313 ;\~{7 9c 15.1 随机性和系统性 313 rw>X JE 15.2 常见的系统性问题 314 yO}RkRA 15.3 单层膜 314 1NJ,If] 15.4 多层膜 314 EAiE@r>4 15.5 含义 319 Fl)p^uUtl 15.6 反演工程实例 319 !J<}=G5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 t[gz#' 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ,=o)R,[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 s%Ez/or(T 16.1 光学性质的热致偏移 329 oJ|8~:) 16.2 应力工具 335 x0aPY;,N0 16.3 均匀性误差 339 [X>\!mt 16.3.1 圆锥工具 339 9v[cy` \ 16.3.2 波前问题 341 "XQj~L 16.4 参考文献 343 dMkDNaH, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 rzmd`)g 17.1 引言 345 7+^9"k7 17.2 操作数 345 cspO5S># 18 如何在Function中编写脚本 351 7kDX_,i 18.1 简介 351 Qn`$xY9mT 18.2 什么是脚本? 351 rHhn)m 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 b'i-/l$ 18.4 基础 352 YbS$D 18.4.1 Classes(类别) 352 ="%nW3e@ 18.4.2 对象 352 3a#X:? 18.4.3 信息(Messages) 352 F3k]*pk8w 18.4.4 属性 352 %4X#|22n 18.4.5 方法 353 )Rhy^<xH 18.4.6 变量声明 353 QP+zGXd}( 18.5 创建对象 354 M#v#3:&5 18.5.1 创建对象函数 355 Yr9>ATR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 BI9~%dm 18.5.3 丢弃对象 356 l!Bc0 18.5.4 总结 356 ?,Z[)5 ZN 18.6 脚本中的表格 357 ;qM
I3 wF 18.6.1 方法1 357 B^4D`0G[4 18.6.2 方法2 357 pUs:r0B 18.7 2D Plots in Scripts 358 (#zSVtZ 18.8 3D Plots in Scripts 359 J
LOTl. 18.9 注释 360 z\iz6-\&y 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 6k?,'&z|~ 18.11 一个更高级的脚本 362 ?~G D^F 18.12 <esc>键 364 R <kh3T 18.13 包含文件 365 \W^Mo>l 18.14 脚本被优化调用 366 .}KY*y 18.15 脚本中的对话框 368 S@Rw+#QE 18.15.1 介绍 368 ^Y mq<*X 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "T>74bj_|Q 18.15.3 输入框函数 370 ^T}6oUd 18.15.4 自定义对话框 371 AiUICf?{ 18.15.5 对话框编辑器 371 ~( %TQY5 18.15.6 控制对话框 377 wSrq?U5q 18.15.7 更高级的对话框 380 "S$4pj`< 18.16 Types语句 384 8;'fWV?
U 18.17 打开文件 385 dV{N,;z 18.18 Bags 387 ZY%]F,Y 18.13 进一步研究 388 }lN@J,q 19 vStack 389 ,`<w# 19.1 vStack基本原理 389 j\V9o9D 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 JE~ci#|! 19.3 五棱镜 393 uFd.2,XNP 19.4 光束距离 396 [Xy^M3 19.5 误差 399 Q~/TqG
U 19.6 二向分色棱镜 399 $s]c'D) 19.7 偏振泄漏 404 RS`]>K3t 19.8 波前误差—相位 405 TF)OBN~/ 19.9 其它计算参数 405 caA>; +aBH 20 报表生成器 406 eK
}AVz}k 20.1 入门 406 GyE-fB4C 20.2 指令(Instructions) 406 [Tha
j 20.3 页面布局指令 406 V?{[IMRC 20.4 常见的参数图和三维图 407 $`J'Y>` 20.5 表格中的常见参数 408 ;d"F'd 20.6 迭代指令 408 k!/"J
; 20.7 报表模版 408 )"j)9RQ} 20.8 开始设计一个报表模版 409 3U#z {% 21 一个新的project 413 XwlAW7lU= 21.1 创建一个新Job 414 M[wd.\
% 21.2 默认设计 415 9S"c-"y\# 21.3 薄膜设计 416 zB 6u%u WR 21.4 误差的灵敏度计算 420 .r~!d| 21.5 显色指数计算 422 I`%\ "bF@ 21.6 电场分布 424 igNZe."V 后记 426 'jv[Gcss3L 如有需要可以加我微信 e=b>:n
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