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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    9J7yR}2-F  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 TW& s c9  
    #g$I>\O<  
    W gyRK2#!  
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    建模任务 X~VI}dJ  
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    Ld_uMe?Z  
         p9i7<X2&  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) x/{-U05  
         )R `d x  
    系统建模块 4qDO(YWf  
    46T(1_Xt~  
    Zex~ $r  
         <#BK(W~$  
    特定位置的Talbot图案 aK6dy\  
    31^/9lb  
    k8ILo)  
    .&b^6$dC  
    特定位置的Talbot图案 r+%3Y:dZE  
    JzywSQ  
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    不同位置的Talbot图案 ? 3DFm  
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    不同位置的Talbot图案 Y_]y :H  
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