切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 700阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5774
    光币
    23022
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    "i9$w\lm  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 {iHC;a5gb$  
    (}bP`[@rX!  
    Rqu;;VI[  
         AvhmN5O =  
    建模任务 y?Fh%%uNr  
    u9'4q<>&  
    2D&tDX<  
         G+}|gG8  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) A2F+$N  
         V .$<  
    系统建模块 ,7tN&R_  
    \@gs8K#  
    3"&6rdF\jB  
         UB?a-jGZ K  
    特定位置的Talbot图案 i7*4hYY  
    m<r.sq&;  
    Z'!jZF~4p  
    <A+Yo3|7  
    特定位置的Talbot图案 ~9 K4]5K-  
    5 LXK#+Z  
    Zj!S('hSY  
    不同位置的Talbot图案 7 ?/ Fr(\  
    Ge|caiH1I  
    tNfku  
    Pp #!yMxBr  
    不同位置的Talbot图案 _ ?=bW  
    5ahAp];  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表