切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 605阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5623
    光币
    22267
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    ;7"}I  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 PW"G]G,  
    pOlo_na}[  
    P8DY*B k  
         0 !yvcviw  
    建模任务 Qi' ,[Xmf  
    9^Q:l0|  
    tuuc9H4B  
         `Q V}je  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) N.OC _H&  
         & IVwm"  
    系统建模块 ]w.:K*_=  
    76a+|TzR  
    f?T6Ne'  
         LC/9)Sh_n  
    特定位置的Talbot图案 ,.tv#j|A  
    z5PFppSQ  
    uM,bO*/f  
    &K5wCNX1  
    特定位置的Talbot图案 uBI?nv,  
    TSXa#SKp  
    >VnkgY  
    不同位置的Talbot图案 euO!+9p  
    /w0l7N  
    <Y9vc:S  
     *r Y6  
    不同位置的Talbot图案 ^'Wkb7L  
    '+ 1<7jl&I  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表