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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-08-02
    zka?cOmYF[  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 zks#EzQ  
    a%E8(ms37y  
    F$h'p4$T  
         088C|  
    建模任务 )pS8{c)E  
    ")ED)&e  
    uf]Y^,2  
         Rboof`pVt  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &:No}6  
         9 ZGV%Tw  
    系统建模块 Fj^AW v^/  
    gLD{1-v  
    Ff<)4`J  
         "y$ qrN-  
    特定位置的Talbot图案 MqdB\OW&  
    xl8#=qmCD  
    vU}: U)S  
    1"O&40l  
    特定位置的Talbot图案 b@ 6:1x  
    Xhse~=qA  
    (B:uc_+  
    不同位置的Talbot图案 #V[SQ=>x[  
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    Fg=v6j4W  
    O&V[g>x"U  
    不同位置的Talbot图案 =Z`0>R`  
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