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DtN6.9H2` 内容简介 1M{#"t{6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0`thND)?O 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 OlJj|?z$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 >k#aB.6 c,fedH; 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 +]zP $5_e 目录 6qDD_:F Preface 1 %jf gncW 内容简介 2 .WPqK>79| 目录 i sg2C_]i,H 1 引言 1 iTvCkb48m 2 光学薄膜基础 2 H}~^,B2; 2.1 一般规则 2 qprOxP
r 2.2 正交入射规则 3 &Os Ritj 2.3 斜入射规则 6 /W>"G1) 2.4 精确计算 7 ]z%9Q8q' 2.5 相干性 8 0Q9OQqg
m 2.6 参考文献 10 ~>R)H#mP7 3 Essential Macleod的快速预览 10
5~F0'tb|} 4 Essential Macleod的特点 32 OR9){qP 4.1 容量和局限性 33 F"C Yrt 4.2 程序在哪里? 33 A~>=l= 4.3 数据文件 35 `QF|>
N 4.4 设计规则 35 E=QQZ\w 4.5 材料数据库和资料库 37 $gTPW,~s[ 4.5.1材料损失 38 ]>o2P cb; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jYF3u0
) 4.5.2 材料库 41 B=r/(e 4.5.3导出材料数据 43 ?rDwYG(u]@ 4.6 常用单位 43 y^rg%RV 4.7 插值和外推法 46 J_@4J7 4.8 材料数据的平滑 50 c53`E U 4.9 更多光学常数模型 54 UXJl;Mb 4.10 文档的一般编辑规则 55 )]R?v,9*D 4.11 撤销和重做 56 0}V'\=F454 4.12 设计文档 57 B$Z!E%a; 4.10.1 公式 58 y|se^dn 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 XEEbmIO*<9 4.10.3 沉积密度 59 (I.`bR 4.10.4 平行和楔形介质 60 xW4+)F5P( 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 >xKRU5 4.10.4 性能 61 Y ckbc6F 4.10.5 保存设计和性能 64 ~=ktFuEa 4.10.6 默认设计 64 h)vTu%J: 4.11 图表 64 ~B@o?8D] 4.11.1 合并曲线图 67 :bDA<B6bb 4.11.2 自适应绘制 68 WV
U9NmvE 4.11.3 动态绘图 68 '[^2uQc 4.11.4 3D绘图 69 =;=V4nKN 4.12 导入和导出 73 #O+]ydvT 4.12.1 剪贴板 73 mNel3J3
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 E=NY{| > 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 KOx#LGz 4.13 背景 77 BkfBFUDQ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 :nUsC+oBS 4.15 生成Rugate 84 ]:s|.C%q I 4.16 参考文献 91 Nk4_! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |plo65 5.1 Jobs 92 I+t38un% 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,?6m"ov4( 5.3 输入材料 94 9m4rNvb 5.4 设计数据文件夹 95 Dt.Wb&V_w 5.5 默认设计 95 q?4uH;h:^G 6 细化和合成 97 e~;)-Z 6.1 优化介绍 97 <1BK5%? 6.2 细化 (Refinement) 98 Z-a(3& 6.3 合成 (Synthesis) 100 MA#!<b(' 6.4 目标和评价函数 101 vP?S0>gh 6.4.1 目标输入 102 `&zobbwq 6.4.2 目标 103 vh8Kd' y 6.4.3 特殊的评价函数 104 Xy<f_ 6.5 层锁定和连接 104 y(h(mr 6.6 细化技术 104 Gx_e\fe-/ 6.6.1 单纯形 105 F@bCm+z- 6.6.1.1 单纯形参数 106 ~HRWKPb 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "Cj#bUw 6.6.2.1 Optimac参数 108 6CRPdLTDf 6.6.3 模拟退火算法 109 /exl9Ilt] 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]?$y} 6.6.4 共轭梯度 111 -yGm^EwP 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _Pi:TxY 6.6.5 拟牛顿法 112
89=JC[c 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 gGml
c:/J% 6.6.6 针合成 113 L"6/"L 6.6.6.1 针合成参数 114 NOp=/ 6.6.7 差分进化 114 Q]UYG( 6.6.8非局部细化 115 f+Li'? 6.6.8.1非局部细化参数 115 wg_CI,Kq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 J4c 4Os>3 6.7.1 细化 116 =e-aZ0P 6.7.2 合成 117 ?Hxgx 6.8 参考文献 117 p!QneeA`&X 7 导纳图及其他工具 118 .OS?^\ 7.1 简介 118 6_K#,_oZ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 PVc|y. 7.2.1 四分之一波长规则 119 gD+t'qg$ 7.2.2 导纳图 120 @SG"t,5s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pbxcsA\ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |0R%!v(, 7.5 斜入射导纳图 141 hcc-J)=m 7.6 对称周期 141 6ilC#yyp 7.7 参考文献 142 [HiTR !o* 8 典型的镀膜实例 143 QN&^LaB<T 8.1 单层抗反射薄膜 145 vP)~j1 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *Q120R 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4?M3#],'h 8.4 W-膜层 148 :fKz^@mY4 8.5 V-膜层 149 h]DECd{ 8.6 V-膜层高折射基底 150 #]a51Vss 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 B%:9P 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [pFu
]^X 8.9 四层抗反射薄膜 153 `$agM@"^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~'QeN%qadP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 =,8Eo"~\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 VD&3%G! 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 't?7.#,6O 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Il`k]X M 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )'dH}3Ba 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 C5PBfn<j 8.17 1/4波长堆栈 162 >AX~c
jo 8.18 陷波滤波器 163 LI;Efy L 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x`6^+>y^ 8.20 褶皱 165 (yAvDyJOn 8.21 消偏振分光器1 169 jo3}]KC ! 8.22 消偏振分光器2 171 H?(SSL 8.23 消偏振立体分光器 172 A1t~&? 8.24 消偏振截止滤光片 173 /j69NEl 8.25 立体偏振分束器1 174 ZMMo6; 8.26 立方偏振分束器2 177 3?Eoj95w! 8.27 相位延迟器 178 ?(ls<&s{w 8.28 红外截止器 179 qM!f 8.29 21层长波带通滤波器 180 N|O]z 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^N2M/B|0 8.31 55层短波带通滤波器 182 Z*9]:dG:! 8.32 47 红外截止器 183 9C)3
b3 8.33 宽带通滤波器 184 CL'Xip')T 8.34 诱导透射滤波器 186 m_Ac/ctf 8.35 诱导透射滤波器2 188 5-WRv; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3JZWhxkf[$ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Xz.Y-5) 8.35 增益平坦滤波器 193 $7DcQ b9 8.38 啁啾反射镜 1 196 pz35trW 8.39 啁啾反射镜2 198 Ag4Ga?&8ec 8.40 啁啾反射镜3 199 *xo;pe)9 8.41 带保护层的铝膜层 200 o|;eMO- 8.42 增加铝反射率膜 201 YaNH.$.: 8.43 参考文献 202 W6Aj<{\F 9 多层膜 204
c(V=.+J 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?9gTk
\s?R 9.2 内部透过率 204 X:``{!~geo 9.3 内部透射率数据 205 Ph+X{| 9.4 实例 206 pjHRV[`AP 9.5 实例2 210 MYw8wwX0kJ 9.6 圆锥和带宽计算 212 5%Oyvt]}2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Ph#F<e(9 10 光学薄膜的颜色 216 24jtJC,7 10.1 导言 216 ImV]}M~_ 10.2 色彩 216 K%(XgXb(</ 10.3 主波长和纯度 220 I' ! r 10.4 色相和纯度 221 RE>ks[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 V@_-H
gg 10.6 色差 226 Y%0d\{@a 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `kNi*I^ 10.8 颜色渲染指数 234 a\{1UD 10.9 色差计算 235 I& M36f 10.10 参考文献 236 phgexAq 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 M .)}e7 11.1 短脉冲 238 jkF+g$B 11.2 群速度 239 EY)Gi`lK 11.3 群速度色散 241 gM3]%L_ 11.4 啁啾(chirped) 245 )W1(tEq59 11.5 光学薄膜—相变 245 JS/M~8+Et 11.6 群延迟和延迟色散 246 :/v,r=Y9p 11.7 色度色散 246 Jh43)#G- 11.8 色散补偿 249 !0ce kSesr 11.9 空间光线偏移 256 l 70,Jo?78 11.10 参考文献 258 ^.D}k 12 公差与误差 260 { eEC:[ 12.1 蒙特卡罗模型 260 %-#
qO 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ZMoJ#p( 12.2.1 误差工具 267 eB=v~I3 12.2.2 灵敏度工具 271 os1?6z~ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 WDEe$k4. 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !6zyJc@01 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ok `]:gf 12.3 参考文献 276 L\ }Pzxn 13 Runsheet 与Simulator 277 w{3Q( =& 13.1 原理介绍 277 ,{?q^" 13.2 截止滤光片设计 277 ':\fl.b 14 光学常数提取 289 8M^wuRn 14.1 介绍 289 _)KY 14.2 电介质薄膜 289 dU]i-NF 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?0rOcaTY 14.4 基底的参数提取 302 s) Cpi 14.5 金属的参数提取 306 kDzj%sm! 14.6 不正确的模型 306 =2
&hQd
14.7 参考文献 311 ?wd|G4.Vo 15 反演工程 313 }iilzE4oH# 15.1 随机性和系统性 313 M o}H_8y 15.2 常见的系统性问题 314 L
42|>%uo 15.3 单层膜 314 +7Yu^& 15.4 多层膜 314 e,f ; 15.5 含义 319 {r={#mO;p 15.6 反演工程实例 319 l80bHp= 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =-$!:W~ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Bx(yu'g|a 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 mEoA#U 16.1 光学性质的热致偏移 329 VpkD'< |