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h 内容简介 *4zVK/FJ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 XU0"f!23x 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 c3lfmTT6^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 B(MO!GNg= Dz&4za+{ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 \~ 目录 'FBvAk6 Preface 1 )N-+,Ms 内容简介 2 `.dTkL 目录 i ,gU9ywg 1 引言 1 rr4yJ;qpeP 2 光学薄膜基础 2 )_EobE\ 2.1 一般规则 2 $gZ|=(y&r 2.2 正交入射规则 3 mId{f 2.3 斜入射规则 6 ji(S ?^ 2.4 精确计算 7 t:M({|m Y 2.5 相干性 8 #k=!>%+E 2.6 参考文献 10 0;TMwE 3 Essential Macleod的快速预览 10 U2ANu| 4 Essential Macleod的特点 32 6x@-<{L 4.1 容量和局限性 33 ,XP9NHE 4.2 程序在哪里? 33 N13 <!QQ 4.3 数据文件 35 7k3":2: 4.4 设计规则 35 RpLm'~N' 4.5 材料数据库和资料库 37 >[xQUf,p 4.5.1材料损失 38 TF^]^XS' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 m$J'n A 4.5.2 材料库 41 73xI8 4.5.3导出材料数据 43 Zt` ,DM 4.6 常用单位 43 4
qW)R{% 4.7 插值和外推法 46 F{T|lTl 4.8 材料数据的平滑 50 :OI!YR%" 4.9 更多光学常数模型 54 v;K\#uc_ 4.10 文档的一般编辑规则 55 l:@.D|(o3 4.11 撤销和重做 56 +[2lS54"W4 4.12 设计文档 57 *pasI.2s# 4.10.1 公式 58 6!Isz1.re 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 dbZPt~S'$ 4.10.3 沉积密度 59 jv0e&rt 4.10.4 平行和楔形介质 60 1<R
\V 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ;pB?8Z 4.10.4 性能 61 FpRK^MEkG 4.10.5 保存设计和性能 64 2N,*S 4.10.6 默认设计 64 t%dPj8~ 4.11 图表 64 nj9hRiLn 4.11.1 合并曲线图 67 WJ9u3+ 4.11.2 自适应绘制 68 'ZDa *9nkF 4.11.3 动态绘图 68 r?V|9B`$p 4.11.4 3D绘图 69 Vr0RdO 4.12 导入和导出 73 v5$zz w 4.12.1 剪贴板 73 n6uobo- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !E7/:t4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 |R[m&uOib 4.13 背景 77 L,kF] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ng 6G<hi 4.15 生成Rugate 84 vOP[ND=T 4.16 参考文献 91 mA>Pr<aV: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >$"bwr}'4B 5.1 Jobs 92 Ahebr{u 5.2 创建一个新Job(工作) 93 WD)[Ac[ 5.3 输入材料 94 \dc`}}Lc 5.4 设计数据文件夹 95 Y.C*|p# 5.5 默认设计 95 /V*eAn8> 6 细化和合成 97 k<f*ns 6.1 优化介绍 97 ,,iQG' * 6.2 细化 (Refinement) 98 W4| ;JmT.r 6.3 合成 (Synthesis) 100 qzyQ2a_p 6.4 目标和评价函数 101 E|fPI u 6.4.1 目标输入 102 1IsR}uLh 6.4.2 目标 103 QDDSJ>l5_T 6.4.3 特殊的评价函数 104 3~S~)quwP 6.5 层锁定和连接 104 @O(\TIg 6.6 细化技术 104 DuFlN1Z 6.6.1 单纯形 105 L`p[Dq. 6.6.1.1 单纯形参数 106 a[JgR /E@x 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 j"dbl?og 6.6.2.1 Optimac参数 108 z DK+8 6.6.3 模拟退火算法 109 fAm2ls7c 6.6.3.1 模拟退火参数 109 [zfGDMG& 6.6.4 共轭梯度 111 fGfv{4R 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L@ay4,e.bz 6.6.5 拟牛顿法 112 SVHtv0Nx 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9!OpW:bR| 6.6.6 针合成 113 k{#:O= 6.6.6.1 针合成参数 114 U9q*zP_jV 6.6.7 差分进化 114 3A9|{Vaz+6 6.6.8非局部细化 115 v;A 6.6.8.1非局部细化参数 115 0j yokER 6.7 我应该使用哪种技术? 116 5Tu.2.)N 6.7.1 细化 116 _\<M58/z 6.7.2 合成 117 qnlj~]NV 6.8 参考文献 117 ,8
.`; 7 导纳图及其他工具 118 B?4\IXek 7.1 简介 118 5SjS~9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 (*1A0+S90 7.2.1 四分之一波长规则 119 O| 2Q-
@D 7.2.2 导纳图 120 'SY&-<t( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 v7R&9kU{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ubQ(O uM" 7.5 斜入射导纳图 141 (o|E@d 7.6 对称周期 141 Em7q@ 7.7 参考文献 142 rx"zqm9 }u 8 典型的镀膜实例 143 K$Ph$P@ 8.1 单层抗反射薄膜 145 j{PX ~/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :)z_q!$j 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 DjKjEZHgM 8.4 W-膜层 148 ?-f>zx8O 8.5 V-膜层 149 7-dwr?j7 8.6 V-膜层高折射基底 150 oK>,MdB 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 `4=b|N+b" 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 a !IH-XJ2 8.9 四层抗反射薄膜 153 xI@~I g 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 HT&0i,` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 cm]]9z_< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 t'J
fiGM 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 u62sq: GjH 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 g U?) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |h7v}Y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 y AWDk0bx 8.17 1/4波长堆栈 162 eZ!k'bS= 8.18 陷波滤波器 163 ?Z=v&d[o) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 qj1z>,\ 8.20 褶皱 165 &0g,Xkr 8.21 消偏振分光器1 169 /\#5\dHj 8.22 消偏振分光器2 171 vf2K2\fn 8.23 消偏振立体分光器 172 ^Toi_ 8.24 消偏振截止滤光片 173 dc05,Bz 8.25 立体偏振分束器1 174 c&++[ 8.26 立方偏振分束器2 177 6"GpE5'* 8.27 相位延迟器 178 k mjm6 8.28 红外截止器 179 xeI{i{8 8.29 21层长波带通滤波器 180 ZYA(Bg^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 H[D/Sz5` 8.31 55层短波带通滤波器 182 /Uc*7Y5j 8.32 47 红外截止器 183 pd#/;LT 8.33 宽带通滤波器 184 fDd!Mt 8.34 诱导透射滤波器 186 -?W@-*J 8.35 诱导透射滤波器2 188 6"7qZq 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 o$O,#^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 h uJqqC 8.35 增益平坦滤波器 193 L?0l1P 8.38 啁啾反射镜 1 196 K(gj6SrjV 8.39 啁啾反射镜2 198 i7rq;t< 8.40 啁啾反射镜3 199 {Fi@|' 8.41 带保护层的铝膜层 200 X2cR+Ha0 8.42 增加铝反射率膜 201 g1~I*!p 8.43 参考文献 202 o!~bR
9 多层膜 204 vNC0M:p, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /<0D
E22 9.2 内部透过率 204 ;X(n3F 9.3 内部透射率数据 205 Q(UGwd1 9.4 实例 206 4*x!B![]y 9.5 实例2 210 9#<Og>t2y 9.6 圆锥和带宽计算 212 F:S,{&jB 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 NJ>p8P`_k 10 光学薄膜的颜色 216 %K"%Qm=Tl 10.1 导言 216 c~xo@[NaS 10.2 色彩 216 %7msAvbk 10.3 主波长和纯度 220 H|UL5<:]D 10.4 色相和纯度 221 v=tj.Vg 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KeB4Pae|V 10.6 色差 226 t\i1VXtO 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 QIK73^ 10.8 颜色渲染指数 234 "ILWIzf.] 10.9 色差计算 235 `fZD%o3l 10.10 参考文献 236 "Vq]|j,B/c 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 A+I&.\QAR 11.1 短脉冲 238 C8E C?fSQ 11.2 群速度 239 f_ztnRw 11.3 群速度色散 241 }4SSo)Uv/ 11.4 啁啾(chirped) 245 G%!\ p:w 11.5 光学薄膜—相变 245 8%<`$`FyU 11.6 群延迟和延迟色散 246 |*KS<iHr% 11.7 色度色散 246 /w M 11.8 色散补偿 249 -j_I_ 11.9 空间光线偏移 256 0j(jJAE. 11.10 参考文献 258 nud=uJ"( 12 公差与误差 260 ^,lZ58
2 12.1 蒙特卡罗模型 260 87KrSZ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
4|N\Q=, 12.2.1 误差工具 267 GQ2PmnV+ 12.2.2 灵敏度工具 271 ]<gCq/V # 12.2.2.1 独立灵敏度 271
YX`=M 12.2.2.2 灵敏度分布 275 O[)]dD&' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ttaQlEa=Z 12.3 参考文献 276 kLt9;<L 13 Runsheet 与Simulator 277 &_d/ciq1f 13.1 原理介绍 277 |<-F|v9og 13.2 截止滤光片设计 277 -I-Uh{)j 14 光学常数提取 289 _1<'"u#6w 14.1 介绍 289 }b+QYSt 14.2 电介质薄膜 289 K3:|Tc( 14.3 n 和k 的提取工具 295 pXh~#o6V 14.4 基底的参数提取 302 ]<T8ZA_Y; 14.5 金属的参数提取 306 hNnX-^J<o 14.6 不正确的模型 306 *fi;ZUPW3 14.7 参考文献 311 l(#ke 15 反演工程 313 VtO;UN 15.1 随机性和系统性 313 2l@"p!ar= 15.2 常见的系统性问题 314 ZQ~myqx,+L 15.3 单层膜 314 &
8'( 15.4 多层膜 314 ncattp 15.5 含义 319 E0eQ9BXh 15.6 反演工程实例 319 u'i%~(:$\) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 i*CQor6|z 15.6.2 反演工程提取折射率 327 6lmiMU& |