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xM_#FxJb 内容简介 V
FM[- Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 kHK<~srB 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,88B@a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Zl5DlRuw 'bfxQ76@sa 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 wU%uO/sU9 目录 oypLE=H Preface 1 wG O-Z']i 内容简介 2 (CQ! &Z8 目录 i <(E)M@2 1 引言 1 q;SD+%tI 2 光学薄膜基础 2 "|6(.S+o 2.1 一般规则 2 9^Xndo]y 2.2 正交入射规则 3 3r%v@8)!b 2.3 斜入射规则 6 #o&T$D5 2.4 精确计算 7 <@7j37,R7V 2.5 相干性 8 C5=^cH8 2.6 参考文献 10 1XS~b-St 3 Essential Macleod的快速预览 10 X[J<OTj`$ 4 Essential Macleod的特点 32 I85wP}c( 4.1 容量和局限性 33 XzAXcxC6G 4.2 程序在哪里? 33 yc0
1\o 4.3 数据文件 35 #mH28UT 4.4 设计规则 35 ejg!1*H@n 4.5 材料数据库和资料库 37 |(~IfSE2 4.5.1材料损失 38 7:~3B-Tb 4.5.1材料数据库和导入材料 39 `y'%dY}$n 4.5.2 材料库 41 _~Lu% 4.5.3导出材料数据 43 ,$]m1|t@z 4.6 常用单位 43 ^3HSw ?a" 4.7 插值和外推法 46 mcwd2) 4.8 材料数据的平滑 50 (fc_V[(m" 4.9 更多光学常数模型 54 ,>6mc=p 4.10 文档的一般编辑规则 55 Xk:x=4u& 4.11 撤销和重做 56 SP0ueAa} 4.12 设计文档 57 6@Q; LV+ 4.10.1 公式 58 Ps!
\k%FUl 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?(s9dS,7wZ 4.10.3 沉积密度 59 qPu?rU{2 4.10.4 平行和楔形介质 60 %m|BXyf]_B 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )~)T[S 4.10.4 性能 61 pDC`Fi 4.10.5 保存设计和性能 64 6T"5,Q</h 4.10.6 默认设计 64 @V4nc
'o. 4.11 图表 64 9Eh*r@> 4.11.1 合并曲线图 67 ,9OER!$y 4.11.2 自适应绘制 68 T&dc)t`o 4.11.3 动态绘图 68 6\h*SBI?( 4.11.4 3D绘图 69 *"|f!t 4.12 导入和导出 73 ;&b=>kPlZ 4.12.1 剪贴板 73 Y}vV.q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 tm;\m!^X{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 UeUOGf , 4.13 背景 77 z'Bvjul 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ;{m;CKHI 4.15 生成Rugate 84 BAqwYWdS 4.16 参考文献 91 B
\V;{: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 be6`Sv"H 5.1 Jobs 92 b#(QZ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /0L]Pf; 5.3 输入材料 94 ^(*eo e 5.4 设计数据文件夹 95 ~LH).\V 5.5 默认设计 95 m=`V 6 细化和合成 97 %*L8W*V 6.1 优化介绍 97 <Rt0
V%}- 6.2 细化 (Refinement) 98 jJ>I*'w 6.3 合成 (Synthesis) 100 7vqE@;:dt 6.4 目标和评价函数 101 5"#xbvRS0H 6.4.1 目标输入 102 a/d8_(0 6.4.2 目标 103 F0xm%? 6.4.3 特殊的评价函数 104 BQMo*I>I 6.5 层锁定和连接 104 OoOwEV2p_ 6.6 细化技术 104 B)DtJf 6.6.1 单纯形 105 Or1ikI" 6.6.1.1 单纯形参数 106 FOa2VP% 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eET1f8B=L 6.6.2.1 Optimac参数 108 -OQ6;A"# 6.6.3 模拟退火算法 109 t-FrF </0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $nthMx$ 6.6.4 共轭梯度 111 "jq F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 CfLPs)\ACm 6.6.5 拟牛顿法 112 'kCr1t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &53LJlL
Co 6.6.6 针合成 113 V=GP_^F 6.6.6.1 针合成参数 114 Yu9(qRK 6.6.7 差分进化 114 b<g9L4s 6.6.8非局部细化 115 U,9=&"e b 6.6.8.1非局部细化参数 115 H|N,nkhH} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 n\scOM)3 6.7.1 细化 116 k1^&;}/f: 6.7.2 合成 117 9&4z4@on 6.8 参考文献 117 $8_b[~%2 7 导纳图及其他工具 118 jivGkIj!8 7.1 简介 118 y#{> tC 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 yzCamm4~0 7.2.1 四分之一波长规则 119 5DeAH; 7.2.2 导纳图 120 _`]YWvh 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 %xwdH4_ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 "IdN *K 7.5 斜入射导纳图 141 >x1?t 7.6 对称周期 141 wtro'r3 7.7 参考文献 142 oGZ%w4T 8 典型的镀膜实例 143 h1N{;SWQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 &q[`lIV, L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 p?sC</R 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Pu|3_3^ 8.4 W-膜层 148 G
C3G=DTt 8.5 V-膜层 149 .{#J2}+[_} 8.6 V-膜层高折射基底 150 &qFy$`" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 v+`gQXJ"G 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 lZ }H?n% 8.9 四层抗反射薄膜 153 w`K=J!5y2g 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 FAd4p9[Y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 &Ukh 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 G8p6p6* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |Xk>a7X 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 5@@ilvwzz 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Xkb\fR6<K 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ??`zW 8.17 1/4波长堆栈 162 ]EPFyVt~3 8.18 陷波滤波器 163 4Q(GX.5 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 w+3-j 8.20 褶皱 165 *U^7MU0 8.21 消偏振分光器1 169 s(Llz]E~ZX 8.22 消偏振分光器2 171 [E|% 8.23 消偏振立体分光器 172 iyf vcKO 8.24 消偏振截止滤光片 173 <MBpV^Y} 8.25 立体偏振分束器1 174 A^"( VaK 8.26 立方偏振分束器2 177 G$$y\e$ 8.27 相位延迟器 178 3rw<#t;v 8.28 红外截止器 179 <2{-ey] 8.29 21层长波带通滤波器 180 S U$U 8.30 49层长波带通滤波器 181 Mu]1e5^] 8.31 55层短波带通滤波器 182 5ki<1{aVtZ 8.32 47 红外截止器 183 :NPnwX8w 8.33 宽带通滤波器 184 aoVfvz2Y 8.34 诱导透射滤波器 186 "xKykSk 8.35 诱导透射滤波器2 188 s xp>9& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 8%D 2G i 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 YRm6~c 8.35 增益平坦滤波器 193 )Cfk/OnRd 8.38 啁啾反射镜 1 196 Q9h;`G
7t 8.39 啁啾反射镜2 198 &;]KntxB 8.40 啁啾反射镜3 199 U^.kp#x# 8.41 带保护层的铝膜层 200 OkaNVTB 8.42 增加铝反射率膜 201 oF0BBs$ 8.43 参考文献 202 aBonq]W 9 多层膜 204 HXp$\%A) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 9#X"m,SB 9.2 内部透过率 204 KJ;;825? 9.3 内部透射率数据 205 i~0x/wSl_ 9.4 实例 206 qPG>0
O 9.5 实例2 210 3q*p#l~ 9.6 圆锥和带宽计算 212 $zUHka 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Q^k\q 10 光学薄膜的颜色 216 7U,[Ruu 10.1 导言 216 MGU%"7i'} 10.2 色彩 216 zo>@"uH4 10.3 主波长和纯度 220 JRYCM}C] 10.4 色相和纯度 221 |%l&H/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Q^!x8oUF 10.6 色差 226 O=E?m=FR" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 wXKg^%t\ 10.8 颜色渲染指数 234 `+0K~k|DC 10.9 色差计算 235 NwbX]pDT 10.10 参考文献 236 >#Ue`)d`aY 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ews{0 11.1 短脉冲 238 [wv;CUmgc 11.2 群速度 239 F+Q(^Nk 11.3 群速度色散 241 &~{0@/ 11.4 啁啾(chirped) 245 >,}SP; 11.5 光学薄膜—相变 245 m:x<maP#E 11.6 群延迟和延迟色散 246 3K{G =WE$ 11.7 色度色散 246 _A]=45cn~ 11.8 色散补偿 249 TKs l.| 11.9 空间光线偏移 256 .hVB)@/ 11.10 参考文献 258 `),ACkU>U 12 公差与误差 260 =s/UF _JN 12.1 蒙特卡罗模型 260 -a\[`JHi 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /:-Y7M* 12.2.1 误差工具 267
ow2tfylV 12.2.2 灵敏度工具 271 Pe?=M[u2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 GMOnp$@H^s 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }=$>w@mJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ,
G9{: 12.3 参考文献 276 4#Cm5xAt6 13 Runsheet 与Simulator 277 }!*CyO* 13.1 原理介绍 277 P={8qln,X 13.2 截止滤光片设计 277 (,^jgv|I 14 光学常数提取 289 :878q TB 14.1 介绍 289 GD@|XwK){ 14.2 电介质薄膜 289 8Os: SC@Q 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;Q\MH t* 14.4 基底的参数提取 302 (8Q*NZ 14.5 金属的参数提取 306 nxhn|v 14.6 不正确的模型 306 ^u-;VoK 14.7 参考文献 311 'n/L1Fn 15 反演工程 313 U#g,XJ 15.1 随机性和系统性 313 |3P dlIbO 15.2 常见的系统性问题 314 =58:e7(df 15.3 单层膜 314 T7LO}(I.& 15.4 多层膜 314 K+3+?oYKH 15.5 含义 319 H> Q
X?>j 15.6 反演工程实例 319 i%n9RuULh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 xz3|m
_) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 w=kW~gg 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @&f~#Xe 16.1 光学性质的热致偏移 329 }9~U5UXWU 16.2 应力工具 335 kzmw1*J 16.3 均匀性误差 339 ")i_{C,b^ 16.3.1 圆锥工具 339 C`["4 16.3.2 波前问题 341 !0X/^Xv@= 16.4 参考文献 343 bkS-[rW 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 V6kJoSyde 17.1 引言 345 :&J1#% t 17.2 操作数 345 JYrOE"!h 18 如何在Function中编写脚本 351 |* B9{/;4 18.1 简介 351 @ +yjt'B 18.2 什么是脚本? 351 h~5gHx/a 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?X@uR5?{ 18.4 基础 352 qo7jrY5G 18.4.1 Classes(类别) 352 GP0}I@>? 18.4.2 对象 352 KZ 4G" 18.4.3 信息(Messages) 352 51 "v`O+ 18.4.4 属性 352 -u~AY#* 18.4.5 方法 353 &
Tkl-{I 18.4.6 变量声明 353 "0m\y+%8 18.5 创建对象 354 #&snl 18.5.1 创建对象函数 355 "c*#ZP 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 <q:2' 4o 18.5.3 丢弃对象 356 ^zKP5nzL 18.5.4 总结 356 ?OC&=} 18.6 脚本中的表格 357 y4,t=Gq7^ 18.6.1 方法1 357 zKFiCP
K 18.6.2 方法2 357 ~|&To> 18.7 2D Plots in Scripts 358 3u oIYY 18.8 3D Plots in Scripts 359
vu3zZMl 18.9 注释 360 ~Gh9m]b 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $?y\3GX 18.11 一个更高级的脚本 362 6c*QBzNL 18.12 <esc>键 364 &XB1=b5 18.13 包含文件 365 },,K6*P 18.14 脚本被优化调用 366 R:U!HE8j 18.15 脚本中的对话框 368 6OZn7:)Y 18.15.1 介绍 368 ;eC8|
Xz 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ?GGBDql 18.15.3 输入框函数 370 95*=&d 18.15.4 自定义对话框 371 v(l:N@L 18.15.5 对话框编辑器 371 Z@bKYfGM 18.15.6 控制对话框 377 b"eG8 18.15.7 更高级的对话框 380 |fPR7- 18.16 Types语句 384 i .''\ 18.17 打开文件 385 D YTC2 18.18 Bags 387 gt!tDu 18.13 进一步研究 388 4d%QJ7y 19 vStack 389 sK7b4gmK 19.1 vStack基本原理 389 bEb+oRI 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 )b-KF}]d 19.3 五棱镜 393 M!
uE#| 19.4 光束距离 396 /H*n(d 19.5 误差 399 ]EEac 19.6 二向分色棱镜 399 `A$zLqz)Vm 19.7 偏振泄漏 404 y>&
s; 19.8 波前误差—相位 405 m,r>E%;Cj 19.9 其它计算参数 405 Im@Yx^gc 20 报表生成器 406 %]!xr6d 20.1 入门 406 .> ^U
mM 20.2 指令(Instructions) 406 x%55:8{ 20.3 页面布局指令 406 I1W~;2cK 20.4 常见的参数图和三维图 407 _Q}vPSJviC 20.5 表格中的常见参数 408 S{zl<>+ 20.6 迭代指令 408 (w?W=guHu 20.7 报表模版 408 7QHrb'c 20.8 开始设计一个报表模版 409 =8EGB\P 21 一个新的project 413 fU'[lZ 21.1 创建一个新Job 414 qIk(ei 21.2 默认设计 415 Zmy:Etqi 21.3 薄膜设计 416 d2*uY., 21.4 误差的灵敏度计算 420 :jGgX>GG 21.5 显色指数计算 422 KHoDD=O 21.6 电场分布 424 F,JqHa9 后记 426 ^Dys#^ 此书是精装版硬壳封面和封底,另外也是Macleod先生,生前的最后一本书,同时也非常具有收藏价值,感兴趣的加我微信购买 n hGh5,
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