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s ;48v 内容简介 \U==f&G?J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Zn?8\ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 R|/Wz/$1A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 "\NF
Xyb8u})p' 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 j1'\R+4U 目录 8r5xs- Preface 1 kBrvl^D{5 内容简介 2 kJ/+IGV^v 目录 i #N; $ 1 引言 1 .=?Sz*3 2 光学薄膜基础 2
*hV4[= 2.1 一般规则 2 .8-PB*vb 2.2 正交入射规则 3 0 9tikj1 2.3 斜入射规则 6 rU],J!LF 2.4 精确计算 7 7}gA0fP9 2.5 相干性 8 55LgBD 2.6 参考文献 10 [`q.A`Fd 3 Essential Macleod的快速预览 10 t9ER;.e 4 Essential Macleod的特点 32 O ,l\e3; 4.1 容量和局限性 33 3 Q@9S 4.2 程序在哪里? 33 sc<kiL 4.3 数据文件 35 2K
Pqu:lv 4.4 设计规则 35 Mk<m6E$L 4.5 材料数据库和资料库 37 JFe4/
V 4.5.1材料损失 38 OE6#YT 4.5.1材料数据库和导入材料 39
1U 4.5.2 材料库 41 ,Ie<'>hd 4.5.3导出材料数据 43 =1O?jrl~q 4.6 常用单位 43 ~Hs=z$ 4.7 插值和外推法 46 &.hoCPo$ 4.8 材料数据的平滑 50 &/HoSj>HS 4.9 更多光学常数模型 54 E`~i-kf 4.10 文档的一般编辑规则 55 *`%4loW 4.11 撤销和重做 56 <Uf|PFVj$ 4.12 设计文档 57 0xv\D0 4.10.1 公式 58 Yi[4DfA 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 NOV.Bs{
yL 4.10.3 沉积密度 59 "=FIFf 4.10.4 平行和楔形介质 60 +5#x6[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 }&mj.hGv 4.10.4 性能 61 vnDmFqelz 4.10.5 保存设计和性能 64 (yfXMp,x 4.10.6 默认设计 64 qv.n9 9?] 4.11 图表 64 {JTmP `&l 4.11.1 合并曲线图 67 v< Ty|(gd 4.11.2 自适应绘制 68 (:JjQ`i 4.11.3 动态绘图 68 8*vFdoE_oO 4.11.4 3D绘图 69 O
/vWd" 4.12 导入和导出 73 #T[%6(QW 4.12.1 剪贴板 73 )TM!ms+K 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 D_Guc8* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 iEe#aO"D! 4.13 背景 77 aJa.U^1{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 D6Dn&/>Zp 4.15 生成Rugate 84 u9BjgK(M 4.16 参考文献 91 xwi!:PAf,o 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 pVY4q0@ 5.1 Jobs 92 3XnE y
+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 (VEp~BW@-R 5.3 输入材料 94 ,?I(/jI 5.4 设计数据文件夹 95 ZxI]I1) 5.5 默认设计 95 2av*o~|J*: 6 细化和合成 97 w\p9J0 6.1 优化介绍 97 hw*1g m 6.2 细化 (Refinement) 98 f*v1J<1# 6.3 合成 (Synthesis) 100 5 1"8Py 6.4 目标和评价函数 101 E_]k>bf\ 6.4.1 目标输入 102 M= atls 6.4.2 目标 103 6oYIQ'hc 6.4.3 特殊的评价函数 104 uQWp+}>ZJy 6.5 层锁定和连接 104 ERp{gB2U? 6.6 细化技术 104 (xbIUz. 6.6.1 单纯形 105 i]dz}= j' 6.6.1.1 单纯形参数 106 ;|;iCaD a+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 {-J:4*` 6.6.2.1 Optimac参数 108 Wy8,<K{ 6.6.3 模拟退火算法 109 4Mi~1iZj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zx7#)* 6.6.4 共轭梯度 111 oikxg!0S 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 q1jN]H 6.6.5 拟牛顿法 112 v"/TmiZ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 my4\mi6P 6.6.6 针合成 113 V\"1wV~E 6.6.6.1 针合成参数 114
RvR:e| 6.6.7 差分进化 114 22|"K**3J| 6.6.8非局部细化 115 ? -CV
%l 6.6.8.1非局部细化参数 115 *<UGgnmLE 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .N!{ U 6.7.1 细化 116 9N^+IZ@l 6.7.2 合成 117 VE*j*U
j 6.8 参考文献 117 uS&LG#a 7 导纳图及其他工具 118 &lq^dFP&Su 7.1 简介 118 LfHzT<)| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 A*R n<{U 7.2.1 四分之一波长规则 119 ]{Z8 7.2.2 导纳图 120 \@8*T S 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 D,E$_0 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 KI`11lJW~ 7.5 斜入射导纳图 141 SD^E7W$? 7.6 对称周期 141 F(;jM( 7.7 参考文献 142 ^j [Ku 8 典型的镀膜实例 143 o(zTNk5d 8.1 单层抗反射薄膜 145 /z#F,NB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ld95[cTP 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 mbGcDG[HQ 8.4 W-膜层 148 TOrMXcn!/ 8.5 V-膜层 149 _F^$aZt?e 8.6 V-膜层高折射基底 150 Ox|TMSb^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Li]k7w?H 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \q,s?`+B 8.9 四层抗反射薄膜 153 4~Dax) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 -,|ha>r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 $
o"
L;j 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 OT;cfkf7 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ^4 8\>-Q\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 !!*;4FK"q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >T QZk4$ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ogJ<e_m 8.17 1/4波长堆栈 162 yhwy>12,K 8.18 陷波滤波器 163 v&r=-}z2! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 VGB-h' 8.20 褶皱 165 ; :T9IL 8.21 消偏振分光器1 169 =LK}9ViH 8.22 消偏振分光器2 171 4\HsU9x 8.23 消偏振立体分光器 172 ^SAq^3^P! 8.24 消偏振截止滤光片 173 C.(
yd$, 8.25 立体偏振分束器1 174 p1~*;;F
8.26 立方偏振分束器2 177 YmgCl!r@ 8.27 相位延迟器 178 R1/q3x 8.28 红外截止器 179 Dkw*Je#6PX 8.29 21层长波带通滤波器 180 jq[x DwPG 8.30 49层长波带通滤波器 181 AEqq1A 8.31 55层短波带通滤波器 182 :!']p2B 8.32 47 红外截止器 183 ~~q}cywBk 8.33 宽带通滤波器 184 as#J qE 8.34 诱导透射滤波器 186 p-Pz=Cx- 8.35 诱导透射滤波器2 188 /BKtw8 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 [@|be.g 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Cg3ODfe 8.35 增益平坦滤波器 193 ~&KX-AC@ 8.38 啁啾反射镜 1 196 `m, Ki69. 8.39 啁啾反射镜2 198 q]XHa ," 8.40 啁啾反射镜3 199 -njQc:4W,- 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;s}3e#$L 8.42 增加铝反射率膜 201 $rB6< 8.43 参考文献 202 i.M2E$b| 9 多层膜 204 lQL:3U0DjU 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 R8 jovr 9.2 内部透过率 204 ($SLb6 9.3 内部透射率数据 205 dyO E6Ex 9.4 实例 206 GS4_jvD- 9.5 实例2 210 S=PJhAF 9.6 圆锥和带宽计算 212 6c &Y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :Eo8v$W\RB 10 光学薄膜的颜色 216 V7@
{D 10.1 导言 216 R04J3D| 10.2 色彩 216 /WYh[XKe 10.3 主波长和纯度 220 Q;wB{vr$ 10.4 色相和纯度 221 !+KhFC&Py 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f'_M0x 10.6 色差 226 >)3VbO 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ]
D6|o5 10.8 颜色渲染指数 234 2yxi= XWZ 10.9 色差计算 235 *Ru2:}?MpS 10.10 参考文献 236 ^mf jn-=3 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3\+N`! 11.1 短脉冲 238 HTR1)b 11.2 群速度 239 7=3O^=Q^Q 11.3 群速度色散 241 l[*sHi 11.4 啁啾(chirped) 245 nh0&'hA 11.5 光学薄膜—相变 245 "-0;#&! 11.6 群延迟和延迟色散 246 2*Q3.2 Z 11.7 色度色散 246 u*2JUI* 11.8 色散补偿 249
W_}/ O'l{ 11.9 空间光线偏移 256 C{&)(#*L 11.10 参考文献 258
g`3H(PVg 12 公差与误差 260 ._,trb>o 12.1 蒙特卡罗模型 260 u]bz42] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8W,*eke? 12.2.1 误差工具 267 Noz&noq 12.2.2 灵敏度工具 271 L[]BzsIv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _-TOeP8#94 12.2.2.2 灵敏度分布 275 L$hc, 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 h[Mdr 12.3 参考文献 276 DxfMqH[vs 13 Runsheet 与Simulator 277 7Ud'd< 13.1 原理介绍 277 ZAeQ~ j~ 13.2 截止滤光片设计 277
Q;20T 14 光学常数提取 289 Bc[6*Y,%T 14.1 介绍 289 X" \}sl5 14.2 电介质薄膜 289 @ef$b?wg 14.3 n 和k 的提取工具 295 5#!ogKQ(i 14.4 基底的参数提取 302 }p*?1N 14.5 金属的参数提取 306 &^+3errO 14.6 不正确的模型 306 WHk/$7_"i 14.7 参考文献 311 VDa|U9N 15 反演工程 313 |D<+X^0' 15.1 随机性和系统性 313 sg$4G:l 15.2 常见的系统性问题 314 jsZY{s= 15.3 单层膜 314 n$W"=Z;` 15.4 多层膜 314 xlw 2g<s 15.5 含义 319 0'@u!m? 15.6 反演工程实例 319 1ktHN: ta 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 qiU5{} 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Mz\yPT;Y 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^aptLJF 16.1 光学性质的热致偏移 329 c'rd $ 16.2 应力工具 335 Fr;lG 16.3 均匀性误差 339 _:%U_U 16.3.1 圆锥工具 339 Qi:j)uDW 16.3.2 波前问题 341 Snx< |