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96x0'IsaG 内容简介 C(qqGK{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 EW7heIT$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l6IpyIex 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8pp^
w Q5b~5a 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ;& ny< gQ 目录 3C{3"bP Preface 1 wyvrNru<l4 内容简介 2 N,6(|,m
目录 i 1'@/jR 1 引言 1 P]hS0,sE<( 2 光学薄膜基础 2 zBg>I=hiG 2.1 一般规则 2 >jMq-#*4 2.2 正交入射规则 3 !B_i~Rmg 2.3 斜入射规则 6 PZmg7N 2.4 精确计算 7 xrd@GTaI 2.5 相干性 8 })f4`$qf 2.6 参考文献 10 +MU|XT_5|6 3 Essential Macleod的快速预览 10 (lBgWz 4 Essential Macleod的特点 32 AdMA|!|:hc 4.1 容量和局限性 33 MdM^!sk&` 4.2 程序在哪里? 33 3}V`]B#a 4.3 数据文件 35 'S]7:/CI 4.4 设计规则 35 6Tjj++b(* 4.5 材料数据库和资料库 37 h.+{cOA;n 4.5.1材料损失 38 tCH4-~,# 4.5.1材料数据库和导入材料 39 oU[Ba8qh 4.5.2 材料库 41 f6@fi`U, 4.5.3导出材料数据 43 Wm! lWQu7 4.6 常用单位 43 UZ#Yd|'PD 4.7 插值和外推法 46 z=C'qF` 4.8 材料数据的平滑 50 Ln-/
9'^
4.9 更多光学常数模型 54 _' KJ:3e 4.10 文档的一般编辑规则 55 g#b[-)Qx 4.11 撤销和重做 56 rK 9 4.12 设计文档 57 #'m&<g, 4.10.1 公式 58 )pELCk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3{OY& 4.10.3 沉积密度 59 r;m_@*] 4.10.4 平行和楔形介质 60 9ReH@5_bGM 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 CGmObN8~'F 4.10.4 性能 61 T;!7GW4E
? 4.10.5 保存设计和性能 64 yM}b 4.10.6 默认设计 64 mRVE@pc2X 4.11 图表 64 *9V;;bY# 4.11.1 合并曲线图 67 J?4aSssE 4.11.2 自适应绘制 68 .PjJ g^^ 4.11.3 动态绘图 68 c|?0iN 4.11.4 3D绘图 69 "";[U 4.12 导入和导出 73 .u[hK 4.12.1 剪贴板 73 C/AqAW1
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;\~{7 9c 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 xe ng`! 4.13 背景 77 ;e~Z:;AR 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ;:(kVdb 4.15 生成Rugate 84 mY[s2t 4.16 参考文献 91 oS3}xT "
U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 V^Gz7`^ 5.1 Jobs 92 `@. 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7)iB6RBK 5.3 输入材料 94 P%HvL4R 5.4 设计数据文件夹 95 4-lG{I_S: 5.5 默认设计 95 ?M2#fD]e 6 细化和合成 97 n27df9L 6.1 优化介绍 97 ch2Q k8 6.2 细化 (Refinement) 98 d:KUJ
Y. 6.3 合成 (Synthesis) 100 1e=<df 6.4 目标和评价函数 101 wkSIQL 6.4.1 目标输入 102 zQY|=4NP 6.4.2 目标 103 Hj&mwn] 6.4.3 特殊的评价函数 104 o#(z*v@ 6.5 层锁定和连接 104 m|mY_t 6.6 细化技术 104 } Ej^M~Vv 6.6.1 单纯形 105 |0!oSNJ 6.6.1.1 单纯形参数 106 o5~o Rmsr 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 nsO! 6.6.2.1 Optimac参数 108 We7~tkl( 6.6.3 模拟退火算法 109 r2:n
wlG 6.6.3.1 模拟退火参数 109 p4},xQzB 6.6.4 共轭梯度 111 N6CWEIJ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 UuDT=_1Sh 6.6.5 拟牛顿法 112 WSA;p=_ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 S 6e<2G=O 6.6.6 针合成 113 V?KACYd@O 6.6.6.1 针合成参数 114 I_vPGafMx 6.6.7 差分进化 114 CE :x;!}cd 6.6.8非局部细化 115 wPhN_XV 6.6.8.1非局部细化参数 115 'n'83d)z 6.7 我应该使用哪种技术? 116 v=n'#:k 6.7.1 细化 116 b-sbR R 6.7.2 合成 117 v9Kx`{1L 6.8 参考文献 117 Z+jgFl
4 7 导纳图及其他工具 118 OGmOk>_ 7.1 简介 118 <hG=0Zc r 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 UdBP2 lGd 7.2.1 四分之一波长规则 119 7D5;lM[_ 7.2.2 导纳图 120 w&6c`az8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #ma#oWqF } 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8Lm}x_
7.5 斜入射导纳图 141 uc6;%=%+ 7.6 对称周期 141 :]?y,e%xu, 7.7 参考文献 142 *.g0;\HF 8 典型的镀膜实例 143 WJH)>4M# 8.1 单层抗反射薄膜 145 gQ]WNJ~> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 JzhbuWwF- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [X >sG)0S~ 8.4 W-膜层 148 YS$?Wz 8.5 V-膜层 149 :H}a/ x*ur 8.6 V-膜层高折射基底 150 >3R%GNw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 k_A. aYe 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ]<3$Sx_{y 8.9 四层抗反射薄膜 153 Ave{ `YD 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )ZkQWiP- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 FcR(uv< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 -8-BVU 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 KEfn$\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 jI`1>>N&1 8.15十五层宽带抗反射膜 159 L2v
j)( 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h/9{E:ML 8.17 1/4波长堆栈 162 W'2a1E 8.18 陷波滤波器 163 *0y|0J+0 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 SG6@Rn*^ 8.20 褶皱 165 .(!> *ka| 8.21 消偏振分光器1 169 =F>@z4[P- 8.22 消偏振分光器2 171 .gPE Qc+D 8.23 消偏振立体分光器 172 {~=Edf
8.24 消偏振截止滤光片 173 NL})_.Og 8.25 立体偏振分束器1 174 G]q1_q4P1? 8.26 立方偏振分束器2 177 kYxb@Zn=| 8.27 相位延迟器 178 *G{%]\s? 8.28 红外截止器 179 FB<#N+L\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 [UJC/GtjS 8.30 49层长波带通滤波器 181 CTu#KJ?j 8.31 55层短波带通滤波器 182 :*GLLjS; 8.32 47 红外截止器 183 J\iyc,M<M 8.33 宽带通滤波器 184 3?Ckk{)& 8.34 诱导透射滤波器 186 ~T<yp 8.35 诱导透射滤波器2 188 'qRK6}"T
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 bv&A)h"S 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 EYc, "' 8.35 增益平坦滤波器 193 OLAwRha 8.38 啁啾反射镜 1 196 AF5$U8jf 8.39 啁啾反射镜2 198 ZVo%ssVt 8.40 啁啾反射镜3 199 \k?uh+xl 8.41 带保护层的铝膜层 200 mmC&xZ5f 8.42 增加铝反射率膜 201 uus}NZ:*l 8.43 参考文献 202 xFZA18 9 多层膜 204 >YPC&@9
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 hdB.u^! 9.2 内部透过率 204 8nOMyNpy~M 9.3 内部透射率数据 205 =
;sEi:HC 9.4 实例 206 ["|' f 9.5 实例2 210 \79KU 9.6 圆锥和带宽计算 212 2#z 6= M~A 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
t#s?: 10 光学薄膜的颜色 216 q'kZ3G 10.1 导言 216 _=RA-qZ" 10.2 色彩 216 x \qS|q\N 10.3 主波长和纯度 220 nZ?BCO 10.4 色相和纯度 221 M{Ss?G4H 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (yk^% 10.6 色差 226 Yk',a$.S 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 w,L P M+ 10.8 颜色渲染指数 234 [n/'JeG5 10.9 色差计算 235 )zK`*Fa
az 10.10 参考文献 236 b>|3?G 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 k%w5V>]1 11.1 短脉冲 238 [jl'5l d 11.2 群速度 239 =j[zMO 11.3 群速度色散 241 oY@4G)5 11.4 啁啾(chirped) 245 j-2`yR 11.5 光学薄膜—相变 245 wN,DTmtD
11.6 群延迟和延迟色散 246 K5U=%z 11.7 色度色散 246 FY%v \`@1* 11.8 色散补偿 249 I(fq4$ 11.9 空间光线偏移 256 G%N/]]ll 11.10 参考文献 258 YDBQ6X 12 公差与误差 260 [; M31b3 12.1 蒙特卡罗模型 260 F"O{eK0T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6
W/S?F~{ 12.2.1 误差工具 267 j I 12.2.2 灵敏度工具 271 Ui6f>0? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 mQt';|X@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 olPV"<;+pO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5p6Kq=jhb 12.3 参考文献 276 et";*EZJX 13 Runsheet 与Simulator 277 $
JI`& 13.1 原理介绍 277 8U!; 13.2 截止滤光片设计 277 |He,v/r 14 光学常数提取 289 7
}`c:u~j 14.1 介绍 289 #yZZ$XO k 14.2 电介质薄膜 289 V6l*!R 14.3 n 和k 的提取工具 295 n*-t
=DF 14.4 基底的参数提取 302 Z5juyzj 14.5 金属的参数提取 306 5Cxh>,k 14.6 不正确的模型 306 =jvM$ 14.7 参考文献 311 )e.Y"5My 15 反演工程 313 *OU>s;"$ 15.1 随机性和系统性 313 xq_%|p}y 15.2 常见的系统性问题 314 .$b]rx7$~ 15.3 单层膜 314 }B2H)dG^K 15.4 多层膜 314 Tyu]14L 15.5 含义 319 c^P8)gPf 15.6 反演工程实例 319 [^r0red 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ^,zE Nqg7 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !}wJ+R ^2 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 oXwoi! 16.1 光学性质的热致偏移 329 P_+S;(QQ~d 16.2 应力工具 335 md7Aqh 16.3 均匀性误差 339 7"F
w8;k 16.3.1 圆锥工具 339 D+{h@^C9Z 16.3.2 波前问题 341 9_'xq.uP 16.4 参考文献 343 L%`~`3%n- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Be+'&+ 17.1 引言 345 9
O| "Ws>{ 17.2 操作数 345 )#[?pYd 18 如何在Function中编写脚本 351 \FN"0P(G 18.1 简介 351 m`C(y$8fU 18.2 什么是脚本? 351 jLC,<V* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~k+"!'1 18.4 基础 352 1 GUF,A+_O 18.4.1 Classes(类别) 352 .>>@q!!s! 18.4.2 对象 352 ?RGL0`Lg 18.4.3 信息(Messages) 352 b?7?iV4 18.4.4 属性 352 pc&/'zb 18.4.5 方法 353 aNb=gjLpt 18.4.6 变量声明 353 Ixm<wKwW# 18.5 创建对象 354 LFy5tX# 18.5.1 创建对象函数 355 }Q_IqI[7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 g#~ jF 18.5.3 丢弃对象 356 `L`*jA+_ 18.5.4 总结 356 9 m&"x/k 18.6 脚本中的表格 357 /3:R{9S% 18.6.1 方法1 357 Ous[{" -J 18.6.2 方法2 357 (V@g?|LZ 18.7 2D Plots in Scripts 358 b_-ESs]g 18.8 3D Plots in Scripts 359 4xhV
+Y 18.9 注释 360 QQPbKok> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 rz+G]J 18.11 一个更高级的脚本 362 %@q52ZQ 18.12 <esc>键 364 QlIg'B6 18.13 包含文件 365 CF9a~^+% 18.14 脚本被优化调用 366 t/WauY2JUC 18.15 脚本中的对话框 368 N( E\ 18.15.1 介绍 368 `g6XVa*%# 18.15.2 消息框-MsgBox 368 h>= e<H?f 18.15.3 输入框函数 370 P{5p'g , 18.15.4 自定义对话框 371 &W |