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skfFj&_T 内容简介 [Uu!:SZ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 C`C$i>X7^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 n!\&X9%[8 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ZD]5"oHY 1)=sbFtS 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 KRP)y{~o 目录 uY=}w"Db Preface 1 9Vv&\m!0 内容简介 2 YPsuG -is 目录 i 9#niMv9 1 引言 1 Y<-dd"\ 2 光学薄膜基础 2 1:lhZFZ 2.1 一般规则 2 s&zg!~@5b 2.2 正交入射规则 3 tr\}lfK% 2.3 斜入射规则 6 1PJ8O|Zt8 2.4 精确计算 7 fdTyY ; 2.5 相干性 8 AZYu/k 2.6 参考文献 10 t6O/Q0_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 `;!v<@:i2 4 Essential Macleod的特点 32 c)fTI,.$ 4.1 容量和局限性 33 #x|h@(y| 4.2 程序在哪里? 33 I-
X|- 4.3 数据文件 35 !B{N:?r 4.4 设计规则 35 NbnuQPb' 4.5 材料数据库和资料库 37 )fz<n$3|$# 4.5.1材料损失 38 p<3^= 8Y$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 I 0}+}{M: 4.5.2 材料库 41 =-dk@s 4.5.3导出材料数据 43 htGk: 4.6 常用单位 43 q@x{6zj 4.7 插值和外推法 46 ^g2p!7 4.8 材料数据的平滑 50
T!N,1"r 4.9 更多光学常数模型 54 L7tC?F]}SK 4.10 文档的一般编辑规则 55 s9Aq-N 4.11 撤销和重做 56 +kKfx! 4.12 设计文档 57 g^DPbpWxu 4.10.1 公式 58 $=GZ"%ED 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 k%Q>lf<e 4.10.3 沉积密度 59 vxzOG?Xc: 4.10.4 平行和楔形介质 60 QNH5Cq;Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 w;(`!^xv 4.10.4 性能 61 =@>[ 4.10.5 保存设计和性能 64 qE` 4.10.6 默认设计 64 yA+:\%y$ 4.11 图表 64 jnuovM!x~ 4.11.1 合并曲线图 67 I2=?H< 4.11.2 自适应绘制 68 =MqefV;- 4.11.3 动态绘图 68 X,<n|zp 4.11.4 3D绘图 69 ^\uj&K6l 4.12 导入和导出 73 8*^Q#;^~99 4.12.1 剪贴板 73 H}QOoXWkg 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L;0ZB=3n 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Z\d7dbv 4.13 背景 77 8ctUK| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 DM%4V|F" 4.15 生成Rugate 84 nkp!kqJ09 4.16 参考文献 91 L+PrV y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 )0P>o]fWI 5.1 Jobs 92 i!30f^9D-S 5.2 创建一个新Job(工作) 93 L
s=2! 5.3 输入材料 94 <=*xwI&q 5.4 设计数据文件夹 95 &zr..i4O 5.5 默认设计 95 c"3 a,& 6 细化和合成 97 *1}'ZEaJ 6.1 优化介绍 97 I"^ `!8<q 6.2 细化 (Refinement) 98 PYl(~Vac 6.3 合成 (Synthesis) 100 [e+"G <> 6.4 目标和评价函数 101 ~bCn%r2 6.4.1 目标输入 102 MH`H[2<\!, 6.4.2 目标 103 )x-iru
A: 6.4.3 特殊的评价函数 104 Wm
nsD! 6.5 层锁定和连接 104 hmOhXE[a& 6.6 细化技术 104 U<**Est 6.6.1 单纯形 105 QUp()B1 6.6.1.1 单纯形参数 106 WKFmU0RK 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )Aa98Eu?2 6.6.2.1 Optimac参数 108 n_%JXm#\ 6.6.3 模拟退火算法 109 EAcJ> 6.6.3.1 模拟退火参数 109 XX5 ):1 6.6.4 共轭梯度 111 'Lft\.C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 AfG!(AF` 6.6.5 拟牛顿法 112 |*0oz= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 `Njv#K} U 6.6.6 针合成 113 1o7
pMp= 6.6.6.1 针合成参数 114 )FM/^ 6.6.7 差分进化 114 i8w(G<Y= 6.6.8非局部细化 115 Z<Rz}8s 6.6.8.1非局部细化参数 115 Dcq\1V.e`W 6.7 我应该使用哪种技术? 116 twqjaFA> 6.7.1 细化 116 ?w1_.m|8u 6.7.2 合成 117 &3mseU 6.8 参考文献 117 :<w3.(Z 7 导纳图及其他工具 118
/_?E0r 7.1 简介 118 KE+y'j#C3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 pO$`(+q[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 SI3ek9|XU 7.2.2 导纳图 120 lztPexyXZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 HHD4#XcU 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 P@:#NU[ 7.5 斜入射导纳图 141 x2.G1 7.6 对称周期 141 m,v"N%k, 7.7 参考文献 142 dWE[*a\g 8 典型的镀膜实例 143 |C@)#.nm[ 8.1 单层抗反射薄膜 145 o(w1!spA 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ~wIVw} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ZGa>^k[: 8.4 W-膜层 148 O,ZvV3 8.5 V-膜层 149 t<9oEjk[" 8.6 V-膜层高折射基底 150 &"fMiK3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 S5E mLgnRs 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "g\ 8.9 四层抗反射薄膜 153 '5KgRK" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k/O|ia6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _CPe 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ts3%cRN r 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 l/`<iG% 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {%@zQ|OO0 8.15十五层宽带抗反射膜 159 umYq56dw 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9j:t}HV 8.17 1/4波长堆栈 162 ErJi
8.18 陷波滤波器 163 ;RW!l pGjP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?7^H1L 8.20 褶皱 165 *@lNL=%R 8.21 消偏振分光器1 169 w`,[w,t 8.22 消偏振分光器2 171 }8p;w T! 8.23 消偏振立体分光器 172 Ot(U_rJCi 8.24 消偏振截止滤光片 173 |&3m '"( 8.25 立体偏振分束器1 174 5[esW 8.26 立方偏振分束器2 177 9zEO$<e o 8.27 相位延迟器 178 "8J$7g@n@ 8.28 红外截止器 179 I 6a{'c(P 8.29 21层长波带通滤波器 180 =U!'v X d 8.30 49层长波带通滤波器 181 q i}HJkOq 8.31 55层短波带通滤波器 182 @P6K`'.0 8.32 47 红外截止器 183 eHi|_3A&* 8.33 宽带通滤波器 184 b~ 8.34 诱导透射滤波器 186 \i}n1Qd 8.35 诱导透射滤波器2 188 EYd`qk3 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^6mlE+WY 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B%Dy;zdWd/ 8.35 增益平坦滤波器 193 U2=5Nt5 8.38 啁啾反射镜 1 196 |[}YM%e 8.39 啁啾反射镜2 198 7 w_`<b6 8.40 啁啾反射镜3 199 AQU4~g
mI 8.41 带保护层的铝膜层 200 kWc%u-_ 8.42 增加铝反射率膜 201 ~d^+yR- 8.43 参考文献 202 WZ'8{XY8 9 多层膜 204 bKYLBu: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "X g@X5BG 9.2 内部透过率 204 uO>$,s 9.3 内部透射率数据 205 -RVwPY 9.4 实例 206 Z$kff-Y4 9.5 实例2 210 kdmannM 9.6 圆锥和带宽计算 212 9
bYoWw 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^q_0(Vf 10 光学薄膜的颜色 216 r5Jy( ~ 10.1 导言 216 4~hd{8 10.2 色彩 216 k/=J<?h0 10.3 主波长和纯度 220 (]^9>3{| 10.4 色相和纯度 221 E< "aUnI 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 YTpSR~!Rj 10.6 色差 226 \eH~1@\S 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 +'2Mj|d@p 10.8 颜色渲染指数 234 DbP!wU lqR 10.9 色差计算 235 8n?qm96 10.10 参考文献 236 Dr$k6kZ}'U 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _N$3c<dY' 11.1 短脉冲 238 dE^:-t 11.2 群速度 239 IUAx*R 11.3 群速度色散 241 ,>V|%tD' 11.4 啁啾(chirped) 245 AcyiP
11.5 光学薄膜—相变 245 [94A?pn[z 11.6 群延迟和延迟色散 246 #Z)e]4{!l 11.7 色度色散 246 m"<0sqD; 11.8 色散补偿 249 Mg W0
). 11.9 空间光线偏移 256 !fZ\GOx 11.10 参考文献 258 U8-#W(tRR 12 公差与误差 260 *?Nrx=O* 12.1 蒙特卡罗模型 260 fchsn*R%- 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 EeG7 %S
5( 12.2.1 误差工具 267 QxH%4 )? 12.2.2 灵敏度工具 271 ]@vX4G/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 X#'DS&{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ' 7+x,TszI 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 gPh; 12.3 参考文献 276 [5e}A& 13 Runsheet 与Simulator 277 Urj8v2k 13.1 原理介绍 277 pYa8iQ`6U; 13.2 截止滤光片设计 277 aTuD|s 14 光学常数提取 289 zUXQl{ 14.1 介绍 289 &YGd!Q 14.2 电介质薄膜 289 G|Rsj{2' 14.3 n 和k 的提取工具 295 z85%2Apd 14.4 基底的参数提取 302 +%7v#CY
& 14.5 金属的参数提取 306 M(KsLu1
14.6 不正确的模型 306 @)1>ba 14.7 参考文献 311 7n9&@D3:P 15 反演工程 313 f_Ma~'3 15.1 随机性和系统性 313 jzI70+E 15.2 常见的系统性问题 314 K'%2 'd 15.3 单层膜 314 f6vhW66:?x 15.4 多层膜 314 ayfR{RYi 15.5 含义 319 O;z:?
15.6 反演工程实例 319 {^=T&aCYdS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 T\I}s"d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 5.5<.") 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /2l&D~d" 16.1 光学性质的热致偏移 329 -0r0M) 16.2 应力工具 335 $s+/OgG4H 16.3 均匀性误差 339 r*HbglB 16.3.1 圆锥工具 339 SK
[1h3d 16.3.2 波前问题 341 :+NZW9_ 16.4 参考文献 343 1AQVj]#S 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 mivb}cKM 17.1 引言 345 6!zBLIYFI 17.2 操作数 345 fb-Lp#!T39 18 如何在Function中编写脚本 351 |0ATH`{ 18.1 简介 351 U;`C%vHff 18.2 什么是脚本? 351 SQ8xfD* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 vz5x{W 18.4 基础 352 dp#JvZb 18.4.1 Classes(类别) 352 /Cy4]1dw 18.4.2 对象 352 M2H +1ic 18.4.3 信息(Messages) 352 Gu+9R> 18.4.4 属性 352 %]7'2 18.4.5 方法 353 01=nS? 18.4.6 变量声明 353 7irpD7P>
18.5 创建对象 354 Z,zkm{9* 18.5.1 创建对象函数 355 k%uR!cL 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]l4\Tdz 18.5.3 丢弃对象 356 W[c[ulY& 18.5.4 总结 356 S&/,+x'c| 18.6 脚本中的表格 357 |j$r@ 18.6.1 方法1 357 ]QKo>7%[ 18.6.2 方法2 357 JguPXHa0 18.7 2D Plots in Scripts 358 dUN{@a\R0 18.8 3D Plots in Scripts 359 $mxm?7ZVR 18.9 注释 360 bGw56s'R5~ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 fF6bEJl3 18.11 一个更高级的脚本 362 ;)~}/nR<a 18.12 <esc>键 364 DW(
/[jo\ 18.13 包含文件 365 Gyx4}pV 18.14 脚本被优化调用 366 (
jAC Lo 18.15 脚本中的对话框 368 4>^LEp 18.15.1 介绍 368 !/nXEjW? 18.15.2 消息框-MsgBox 368 37apOK4+ 18.15.3 输入框函数 370 "s-3226kj 18.15.4 自定义对话框 371 LMKhtOZ? 18.15.5 对话框编辑器 371 F m?j-' 18.15.6 控制对话框 377 v[;R(pt? 18.15.7 更高级的对话框 380 srPczVG* 18.16 Types语句 384 )<Fq}Q86 18.17 打开文件 385 .RNY}bbk 18.18 Bags 387 Pi+pQFz5 18.13 进一步研究 388 R2Es~T 19 vStack 389 T@wgWE<0y_ 19.1 vStack基本原理 389 rn^cajO^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 vB74r]'F 19.3 五棱镜 393 |I[/Fl: 19.4 光束距离 396 yPrF2@#XZ/ 19.5 误差 399 e,kxg^ 19.6 二向分色棱镜 399 :FT x#cZ 19.7 偏振泄漏 404 (+yH 19.8 波前误差—相位 405 ziDvDu= 19.9 其它计算参数 405 b5Q|$E 20 报表生成器 406 Mj&G5R~_ 20.1 入门 406 uMx6: 20.2 指令(Instructions) 406 xXf,j#`" 20.3 页面布局指令 406 0=0,ix7?# 20.4 常见的参数图和三维图 407 J>l?HK 20.5 表格中的常见参数 408 D@2L<!\ 20.6 迭代指令 408 ho-#Xbq#g 20.7 报表模版 408 6Hbu7r*tm 20.8 开始设计一个报表模版 409 SZ29B 21 一个新的project 413 2FR+Z3&z 21.1 创建一个新Job 414 SJB^dI**/d 21.2 默认设计 415 y2W|,=Vd 21.3 薄膜设计 416 HYg! <y 21.4 误差的灵敏度计算 420 V&*|%,q 21.5 显色指数计算 422 {J1iheuS} 21.6 电场分布 424 W#)X@TlE 后记 426 gw!d[{# 此书是精装版硬壳封面和封底,另外也是Macleod先生,生前的最后一本书,同时也非常具有收藏价值,感兴趣的加我微信购买 ,,SV@y;
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