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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M18 > %zM f[1 s4Dp3-  Y]!WPJ`f2 dbga >j 设计任务 nIZ;N!r=i GY`mF1b  kB[l6` g79zzi- 光栅光学装置 Hnft1
L`3;9r O  +L0Jje>Az Kj53"eW 偏振分析器 G22{',#r8 XgI;2Be+&a  _.%U}U H|)F-aL[ 优化 x$hT+z6DUC rSa=NpFxLu  -bd'sv u']}Z% A9` 参数运行 :y.~IQN g@zhhBtQ
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4,0 8`5{  Y(u` K=* ~/qBOeU3 固定周期二维参数优化 9#>nFs"H j#Qnu0 D  I7W`\d) 二维参数优化——设计#1 xI_0`@do c^r WS&)P  {+]tx46$ @+0dgkJ 二维参数优化——设计#2 "Zy:q'`o { 1_ <\ ~J  xs& xcR R" `v-O 4Pk 制造公差分析 ~MP |L?my ~%2yDhdQ  `kE7PXqa h$}PQ 变光栅周期三维参数优化 -k@1# c+z Nw*F1*v`
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