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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bX=A77 <t.yn\G-w EO:i+e]= [qI, $ + 设计任务 gG&2fV}l6 '>@evrG ")i4w{_y p*8=($j4 光栅光学装置 [59_n{S 1 tF
O27z@ K*d+pImrV Dc}-wnga 偏振分析器 ;SagN "6FZX~]s! '[I?G6 @9~6+BZOq 优化 ;mjk`6p d3St Z~&r! J)"2^?!&B e)zE*9 参数运行 )4toBDg" wJNiw)C
z)#I"$!d LD0x 4zm$m 关于光栅周期选择的考虑 ;w a-\Z kD8$ir'UYG
RplLU7 )R(kXz=M 偏振相关衍射特性 ;xS@-</: x&@. [FJhO 0r*E$|zZ zn@<>o8hU 偏振相关衍射特性 }~DlOvsq Pv|g.hH9m
&5h{XSv I}q2)@ 偏振相关衍射特性 Hbn%CdDk1 SIYBMe lA<n}N)j aY@]mMz\ 固定周期二维参数优化 PzMJ^H{ ~:'tp28? .!e):&(8 二维参数优化——设计#1 3LN+gXmU Tvqq# ;I I8TqK DvB!-|ek 二维参数优化——设计#2 sC1Mwx PV$)k>H- bA!n; zl^ %x1G 制造公差分析 Yd'Fhvo8 t~]n"zgovz =(2y$,6g? (H5nz': 变光栅周期三维参数优化 X'Q?Mh "\cDSiD
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