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众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;og[ q o2'^MxKb T  2TQyQ% =74yhPAW 设计任务 4Ny lc.2mi M ~h^~:Lk  ]2zzY::Sd= KOv?p@d 光栅光学装置 U5[,UrC )By #({O  6h 5DvSO n]nb+_-97 偏振分析器 V^S` d8? fx74h{3u  VbU*&{j ^RIDC/B=V6 优化 V1l9T_;f []L
yu  ;\mTm;]G xZ\`f-zL 参数运行 }c]u'a!4 mMt~4(5
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zM 关于光栅周期选择的考虑 m)\ wbkC i3dV2^O
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 =@\Li)Y -dO9y=?t 偏振相关衍射特性 <jz\U7TBf ` mp3ORR;$  .E/NlGm[ E|9'{3$ 固定周期二维参数优化 o0B 3G :k&5Z` >)  A< *G; 二维参数优化——设计#1 <#ZDA/ G( $ T2 n^yz  3: B4 ; Cn"L*\ o 二维参数优化——设计#2 y%Wbm&h ^v+7IFn  &60#y4 7nl 制造公差分析 >XU93 )CX ^ 2<nn op  l(A>Rw| g@s'-8}X^ 变光栅周期三维参数优化 {!av3Pz\ 69C>oX
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