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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 5?L<N:;J_ +>9Q/E
rH>)oThA# |%v^W 3 设计任务 p#[.{ d\Zng!Z '
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:Yks|VJ1 CP{cAzHO VirtualLab Fusion一瞥 3,=6@U ?s _5&j7
\4#W xZ &=Wlaa/,& VirtualLab Fusion中的工作流程 :yjFQ9^?& * 4Izy14e 构建光栅结构 :@)>r9N −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] xvy.=( −倾斜光栅高级设定[用例] T#)P`q •光栅衍射效率分析 3Y~>qGQwh −光栅阶序分析器[用例] '7@R7w!E4H •使用参数优化进行光栅参数优化 kwA$Z!Rn •使用参数运行的容差分析 '=6\v!
^I)N. 5 63A.@mL mQ=#nk$~g VirtualLab Fusion技术 * H9 8Du `p7=t)5k
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