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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 N)OCSeh b;vNq
lJ/6-dP {Bs+G/?o/ 设计任务 K^D82tP Dt}dp_
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wXCyj+XB* rgR?wXW]jE VirtualLab Fusion中的工作流程 g~R/3cm4 8&Wx@QI 构建光栅结构 F ?mA1T>x −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] @,6ST0xT ( −倾斜光栅高级设定[用例] Y@:3 B:m# •光栅衍射效率分析 sFx$>:$ −光栅阶序分析器[用例] )+B=z}:Nfz •使用参数优化进行光栅参数优化 qRUCnCZs •使用参数运行的容差分析 59MR|Jt `i4I!E ,)uPGe"y .HD ebi VirtualLab Fusion技术
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