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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 hpO`] m}7iTDJR9
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aX)I3^ar "s0)rqf< VirtualLab Fusion中的工作流程 <>y;.@}Q +ElfZ4 构建光栅结构 J8uLJ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 5:Z0Pt −倾斜光栅高级设定[用例] 47+&L •光栅衍射效率分析 +B B@OW −光栅阶序分析器[用例] lr>oYS0 •使用参数优化进行光栅参数优化 BJ$9vbhZN •使用参数运行的容差分析 j*so9M6|c q&s3wDl/ $rv8K j+ G_bG VirtualLab Fusion技术 JTO~9>$ B _aGOb;h
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