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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 u`(yT<>H lm&^`Bn)
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=9p3^:S p-DHTX VirtualLab Fusion中的工作流程 -GB,g=Dk jt* B0'Sa 构建光栅结构 cdSgb3B0 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ;AL:VU −倾斜光栅高级设定[用例] T;PLUjp} •光栅衍射效率分析 }:J-o −光栅阶序分析器[用例] 4mX?PKvbn •使用参数优化进行光栅参数优化 ;7H^;+P •使用参数运行的容差分析 3%Q9521 fuF{8-ua {L.uLr_?e ^%LyT!y VirtualLab Fusion技术 :c8d([)$ itc\wn
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