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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d4~!d>{n|c (<|,LagTuc
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c^3,e/H VkFMr8@| VirtualLab Fusion中的工作流程 41g
"7Mk 2)hfYLi 构建光栅结构 9k/L m −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 5\V""fH −倾斜光栅高级设定[用例] b+1!qNuCW# •光栅衍射效率分析 L>L IN 1A −光栅阶序分析器[用例] GXG 7P,p, •使用参数优化进行光栅参数优化 xpX<iT>5u •使用参数运行的容差分析 Jr5dw=B gw |M`'
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