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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 V]/$ dJ /}(\P@Z
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FLQ^J3A,I W,.Exh VirtualLab Fusion一瞥 x) R4_3 iThf\
pz]KUQ 9L>ep&u)^ VirtualLab Fusion中的工作流程 u+ 8wBb5! 72dd% 构建光栅结构 Nk?L<' −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] wpOM~!9R −倾斜光栅高级设定[用例] C <H$}f •光栅衍射效率分析 /brHB @$ −光栅阶序分析器[用例] 3*e )D/lm •使用参数优化进行光栅参数优化 6G:7r [ •使用参数运行的容差分析 ZSn6JV'g hn e}G._b 1r<'&f5 SA~oGgk=P VirtualLab Fusion技术 &_3o 1< c
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