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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 x_wWe>0 y8}
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5 { VirtualLab Fusion一瞥 Ei=rBi "akAGa!V+ ^sqzlF %.HLO.A VirtualLab Fusion中的工作流程 )UyJ.!Fly &2I8!Ia 构建光栅结构 {uJ"% −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Ty7)j]b"zl −倾斜光栅高级设定[用例] :39arq •光栅衍射效率分析 ES8(:5 −光栅阶序分析器[用例] ?-8DS5 •使用参数优化进行光栅参数优化 4vCUVo r •使用参数运行的容差分析 4&v&XLkb 7U2B=]<e- hFxT@I~ pWP1$;8 VirtualLab Fusion技术 [8%q@6[ ;<"V},
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