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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 n^rzl6dy mQ:5(]v
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sTFRu RhumNP<M VirtualLab Fusion一瞥 Kv6#WN~ Z~ {[YsG
#Pq.^ ^ c"CF&vTp VirtualLab Fusion中的工作流程 7a'@NgiGg RyN?Sn5) 构建光栅结构 Ck^jgB.7 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 5\P3JoH:Yg −倾斜光栅高级设定[用例] c!>",rce •光栅衍射效率分析 F7qQrE5bl −光栅阶序分析器[用例] %z AN@ •使用参数优化进行光栅参数优化 /mFa*~dj2 •使用参数运行的容差分析 V?+Y[Q |>AHc_:$$ #kL4Rm; isV9nWo$ VirtualLab Fusion技术 j?9fb `1)n2<B
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