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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 C@9K`N[* \r-v]]_<d
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.Iv`B:4 qmq#(%Z <W VirtualLab Fusion一瞥 VaTA|=[; xhncQhf\
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VirtualLab Fusion中的工作流程 N7Kkz
/ UX)QdT45Mh 构建光栅结构 NP$ D9#
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] phy:G}F6% −倾斜光栅高级设定[用例] Ob|v$C •光栅衍射效率分析 $2$jV1s −光栅阶序分析器[用例] eyG[1EEU •使用参数优化进行光栅参数优化 ^-s`$lTp •使用参数运行的容差分析 B'D~Q 6' 9zpe@` .wkW<F7 ^fti<Lw5 VirtualLab Fusion技术 n/+G^:~_ %wIb@km
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