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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ^0]0ss;##R f:PlMv!{
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Wt/;iq" ULiRuN0 6 VirtualLab Fusion中的工作流程 44KoOY_ ||hQ*X<m> 构建光栅结构 }Xj25` x −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] &tH?m;V −倾斜光栅高级设定[用例] +q&Hj|;8r •光栅衍射效率分析 SIp)& −光栅阶序分析器[用例] "3^tVX%$\[ •使用参数优化进行光栅参数优化 [wQ48\^ •使用参数运行的容差分析 uZ6krI ZWkRoJXNi #Hrzk!&9 HAjl[c VirtualLab Fusion技术 zT>!xGTu7~ `XxnQng
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