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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U&w5&W{F} zNsL^;uT
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^zWO[$n}tP 7ck0S+N'b VirtualLab Fusion一瞥 qs
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#Rm=Em}d Q5Ghki VirtualLab Fusion中的工作流程 S^Wqa:; Ji}IV 构建光栅结构 EkjK92cF −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] R8r[;u\iV −倾斜光栅高级设定[用例] [-Dgo1}Qr •光栅衍射效率分析 $jeDVH −光栅阶序分析器[用例] Zs$RKJ7 •使用参数优化进行光栅参数优化 P=sK+}5`q •使用参数运行的容差分析 6dS1\Y ,~N+?k_ /"%IhX- RkH oT^
VirtualLab Fusion技术 9CU6o:'fW n"d)
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