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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 cqs.[0 z#B "sDs[Lcq
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i^# •光栅衍射效率分析 Avi_]h& −光栅阶序分析器[用例] `G`R|B •使用参数优化进行光栅参数优化 62 _k`)k •使用参数运行的容差分析 eXK3W2XF Xz)F-C27h /Qr`au 5<v1v& VirtualLab Fusion技术 +ls`;f Vym0|cW
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