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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1||\3L/ +__PT4ps
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Fb0r(vQ^ y9xvGr[l VirtualLab Fusion中的工作流程 0mMoDJRy 8$TSQ~ 构建光栅结构 Ey#7L
M) −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [ u.r]\[J −倾斜光栅高级设定[用例] ?~p]Ey}~9 •光栅衍射效率分析 $%P?2g"j, −光栅阶序分析器[用例] !Enq2 •使用参数优化进行光栅参数优化 H-|%\9&{S •使用参数运行的容差分析 4Nun-(q 0Kytg\p} 3Hd~mfO\ -/'_XR@1 VirtualLab Fusion技术 T{:~v+I= r&/M')}?Lw
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