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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 GVFR^pzO 87/!u]q
i|'M'^3r `w_?9^7mH 设计任务 4$~]t:n ?)B"\#`t
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IAr jL$&]sQ`O) VirtualLab Fusion一瞥 E"ju<q/Q P!?Je/Tz]
O[p;IG` G)(\!0pNZ VirtualLab Fusion中的工作流程 Qm|Q0u >*xa\ve 构建光栅结构 5XO eYO{ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] FHNK%Ko −倾斜光栅高级设定[用例] 2.I'`A •光栅衍射效率分析 Wsn}Y-x −光栅阶序分析器[用例] s*R\!L •使用参数优化进行光栅参数优化 32_{nLV$[ •使用参数运行的容差分析 4X2XSK4 {(}Mu R o C]tEXJ =*q|568 VirtualLab Fusion技术 ;H#'9p ,2 =e7,d$i
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