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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 kG/X"6pZ ,c>N}*6h=W
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-ynBi;nH %}q.cV VirtualLab Fusion一瞥 %KtU1A([" B0d%c&N${
xjo;kx\y^ B^fT>1P VirtualLab Fusion中的工作流程 O:Va&Cyj* q-nER< 构建光栅结构 o#>a 5 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] A>= E { −倾斜光栅高级设定[用例] nnwJYEi •光栅衍射效率分析 /.R<,/gj
−光栅阶序分析器[用例] !KcWH9 •使用参数优化进行光栅参数优化 y,E.SB •使用参数运行的容差分析 _qn?2u3mnR TBCp
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