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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d^y86pq. L^x5&CCwk
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Z|}H^0~7S i"<ZVw VirtualLab Fusion中的工作流程 {x|MA(NO :Fc8S9 构建光栅结构 d;<.;Od$` −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] k5q(7&C −倾斜光栅高级设定[用例] |MVV +.X •光栅衍射效率分析 'Z y{mq\ −光栅阶序分析器[用例] u!M&;QL •使用参数优化进行光栅参数优化 8z?$t-D O •使用参数运行的容差分析 x~%\y 8cB=}XgYS UYH|?Jw!N L-j/R1fTvl VirtualLab Fusion技术 *Q0lC1GQ 9Il'E6
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