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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?Y~>H2 `v)-v<
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?kb\%pcK fK^FD&sF VirtualLab Fusion一瞥 h3xX26l bah5 f
@Cm"lv.hz ~eL7=G@{ VirtualLab Fusion中的工作流程 &^9>h/-XT Q;5'I3w 构建光栅结构 Y@u{73H −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Z#;ieI\ −倾斜光栅高级设定[用例] uW[s? •光栅衍射效率分析 &H5
6mL{ −光栅阶序分析器[用例] qBX<{[ •使用参数优化进行光栅参数优化 :ykZ7X& •使用参数运行的容差分析 h2aJa@;S Zml9ndzT ZLKS4 wQnr*kyza VirtualLab Fusion技术 =4 JVUu~Z o(~JZik
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