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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 c JOT{ Ap!Y 3C
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^ ^k]2oG p]x9hZ VirtualLab Fusion一瞥 S\ ) ~9? KVp3pUO
G'(8/os{ 1Ts$kdO VirtualLab Fusion中的工作流程 UJk/Lxv c. 06Sw* 构建光栅结构 yc.9CTxx −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 9_lWB6 −倾斜光栅高级设定[用例] b9 TsuY •光栅衍射效率分析 |%12Vr]J −光栅阶序分析器[用例] D0LoT?$N •使用参数优化进行光栅参数优化 #9(L/)^ •使用参数运行的容差分析 y28 e=i Q$8K-5U% _!E)a !uSG 1j"y VirtualLab Fusion技术
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