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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 #!4
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Twk,R. O L#u!T)!zW VirtualLab Fusion中的工作流程 %9T|"\ I@I-QiI 构建光栅结构 ;0O>$|kg −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ()(/9t −倾斜光栅高级设定[用例] j g(cpo d •光栅衍射效率分析 S&Sa~Oq<o −光栅阶序分析器[用例] XchVsA •使用参数优化进行光栅参数优化 0G#s/u# •使用参数运行的容差分析 +^|=MK% *orP{p-U A04E <nr lXu6=r VirtualLab Fusion技术 l9F]Lw dZ,~yV
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