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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 I!*P' {lh GEc-<`-
J4::.r 20|_wAA5 设计任务 =f!A o:Uc 'sUOi7U
P(k*SB|D N'ER!=l) 1级参数优化 hHJvLs>^ 9m$"B*&6G
?5nEmG|kO ~iH a^i?2* 结果-容差分析 5tbCx!tL aj;x:UqpJ
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7 D r(0w{5 结果-容差分析 e3SnC:OWf XYWyxx5`
lz#.f,h + m-88 VirtualLab Fusion一瞥 6I"KomJ9 p]RQ-0
FJtmRPP[r -\f7qRW^U VirtualLab Fusion中的工作流程 VU,G.eLW kiM:(=5 构建光栅结构 !VWA4 e!+ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] \[3~*eX6 −倾斜光栅高级设定[用例] v3Vve:}+ •光栅衍射效率分析 EO)JMV?6 −光栅阶序分析器[用例] <jV,VKL# •使用参数优化进行光栅参数优化 Gb`)d •使用参数运行的容差分析 9
fB|e| Nq`;\E.M $8eiifj 1}wDc$O VirtualLab Fusion技术 C;m"W5+ r
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