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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 r'8e"pTi kSDV#8uZ
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O-7 \qz Y}Ov`ZM!r VirtualLab Fusion一瞥 T7,tJk,( g5cR.]oz
_E~uuFMn*R MDlCU VirtualLab Fusion中的工作流程 X0lIeGwrQ c(~M<nL0 构建光栅结构 Ro1l:P)C` −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 0t9G$23 −倾斜光栅高级设定[用例] cB<Zez •光栅衍射效率分析 MF1u8Yl:0 −光栅阶序分析器[用例] rF5<x3 •使用参数优化进行光栅参数优化 EH[ ?*>+s •使用参数运行的容差分析 $Fo ,$ Wbc %G8 E/am^ TO` o(a*Fk$ VirtualLab Fusion技术
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