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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 \c .^^8r
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YYzl"<)c UwQyAD]Ht VirtualLab Fusion一瞥 N:]Ud(VRM 8<w8"B.i
to%n2^^K ybNy"2Wk VirtualLab Fusion中的工作流程 12bt\h9 EWX!:BKf 构建光栅结构 ^@a|s
Sb −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] )c"m:3D@ −倾斜光栅高级设定[用例] 6Pzz= ai< •光栅衍射效率分析 m@2;9 −光栅阶序分析器[用例] d0"Xlleld •使用参数优化进行光栅参数优化 rERHfr`OU •使用参数运行的容差分析 QaAWO #383W)n
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