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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 'n4
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S"Ks •使用参数运行的容差分析 ?PST.+l l!YjDm{E S67>yqha v'H\KR-; VirtualLab Fusion技术 ^=V b'g3P~ ]\Q9j7}37+
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