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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 S Yi !% 9`92
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~'2mpk 92Gfxld\ 结果-容差分析 8cZ[Kl% TX YO{ `&x>2FJ nt_Cb*K< 结果-容差分析 W"s/8; j8Q_s/n xr.;B`T0\' p5rq>&" VirtualLab Fusion一瞥 [H!do$[> SD~4CtlfI rg[#( _0
43, VirtualLab Fusion中的工作流程 )/!HI0TU `;G@qp:A 构建光栅结构 dL'oIBp −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ~)pZ5%C −倾斜光栅高级设定[用例] kn$SG •光栅衍射效率分析 &N7q9t −光栅阶序分析器[用例] 4j+M<g •使用参数优化进行光栅参数优化 dw}ge,bBic •使用参数运行的容差分析 -{A64gfFxT {LKW%G7 oP7)
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