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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 w}KcLaI
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h-u*~5dB<& (#>5j7i8# VirtualLab Fusion中的工作流程 ]$X=~>w >}`1'su 构建光栅结构 C]@B~X1H^ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] u(Q(UuI −倾斜光栅高级设定[用例] "e?#c<p7 •光栅衍射效率分析 ku8Z;ONeH −光栅阶序分析器[用例] 7VD7di=D •使用参数优化进行光栅参数优化 k$mX81 •使用参数运行的容差分析 0R{R=r] kxiyF$
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