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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 sdrfsrNvB- tjS@meT
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/maJtX' VirtualLab Fusion中的工作流程
K5 z<3+ ?$pCsBDo 构建光栅结构 9=tIz −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ~8+ Zs −倾斜光栅高级设定[用例] y.k~Y0 •光栅衍射效率分析 4_lrg|X1 −光栅阶序分析器[用例] wHLLu~m\ •使用参数优化进行光栅参数优化 TX/Xt7#R: •使用参数运行的容差分析 >:!5*E5? ~ Iuf}D; %;'s4ly T>Z<]s VirtualLab Fusion技术 re<{
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