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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >J9Qr#=H2  
    r3Ol?p  
    ]4t1dVD  
     1Lf -  
    建模任务 <IZr..|O  
    l3u[  
    7oE:]  
    概述 CRo @+p10  
    mCnl@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A@3'I  ;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J)g +I  
    |~76dxU  
     b|87=1^m[  
    D Z~036  
    光线追迹仿真 s3Bo'hGxG  
    eF;Jj>\R+i  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s[4qC  
    •单击go！ PdKcDKJ  
    •获得了3D光线追迹结果。 -qSGa;PJ  
    g#P]72TQ  
     d1yLDj?  
    ]#N8e?b,  
    光线追迹仿真 =n.&N   
    }G(#jOYk  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 k Jz^\Re  
    •单击go！ [?6+ r  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O4nA ?bA  
    v#d3W| ~  
     yu#m6K  
    ([m4 dr  
    场追迹仿真 l/?bXNt  
    |s#,^SJ0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {%2p(5FB  
    •单击go！  2X`t&zg  
    di;~$rI!?  
    Wu,=jL3?$A  
     r{~b4~kAf5  
    场追迹仿真（相机探测器） pvWNiW:~k  
    :EPe,v RT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `MT.<5H  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 D!,'}G #  
    Y;\@ 5TgQ,  
     u$qasII  
    >d;U>P5.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T2?.o.&u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5/hgWG6.t  
    r{* Qsaw  
    #.FhN x  
     {#t7lV'4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） uKY1AC__  
     3W[||V[r]<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s_Z5M2o  
    n1x3q/~  
     ;<MHl[jJD  
    OZKZv,  
     
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