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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7N9~nEU  
    qDHiyg^u  
    /I&Hq7SW`  
     zO8`xrN!  
    建模任务 __o`+^FS  
    8|*#r[x  
    41Bp^R}^/  
    概述 hqrI%%  
    5mxHOtvtWM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {C3AxK0  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 mC OJ1}  
    =%P'?(o|  
     ]k~Vh[[  
    H EdOo~/~  
    光线追迹仿真 E`s9SE  
    x dDR/KS  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x}o]R  
    •单击go！ OjO$.ecT  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;sJUTp5\h  
    a Mp*Ap  
     7.g)_W{7}  
    7oaa)  
    光线追迹仿真 y Nb&;E7 H  
    %.^8&4$+  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y*nzOD$  
    •单击go！ tKg\qbY&  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 DwM4/m  
    L(tS]yWHw  
     NCbl|v=  
    bU'{U0lM  
    场追迹仿真 rK&ofc]f$  
    ;m6Mm`[i<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kB_uU !G  
    •单击go！ s!S,;H  
    2B&Yw  
    obWBX'  
     F jdh&9Zc  
    场追迹仿真（相机探测器） DC S$d1  
    /?X1>A:*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uV1H iv-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z-[nHSf  
    w6tb vhcmU  
     QYDTb=h~  
    <<F#Al  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1o)Vzv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <jd S0YT  
    T8Sgu6:*R  
    'TclH80  
     bm1+|gssn  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W}B 4^l  
     <}'hkEh{d=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tV2SX7N  
    L'=e /&  
     cyUNJw  
    {m5tgVi&  
     
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