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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。  Ad)Po  
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    ZD{%0 uh  
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    建模任务 )3<|<jwcx  
    h8;B+#f`  
    /C(lQs*l  
    概述 QjH;'OVt  
    70NQ9*AAy  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r\7F}ZW/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \\F^uM7,  
    c"BFkw  
     12 HBq8o  
    K;jV"R<9  
    光线追迹仿真 [:gPp)f,  
    ~ZeF5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yidUtSv=,  
    •单击go！ :5!>h8p;  
    •获得了3D光线追迹结果。 J2cqnwUV  
    WAPN,WuW  
     VXt8y)?a  
    fl| 8#\r  
    光线追迹仿真 oh+Q}Fa:  
    $ o rN>M42  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Fu4LD-#  
    •单击go！ :uhU<H<,f  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Ed[ tmaEuV  
    8A/;a{   
     L[\m{gN  
    D=}UKd  
    场追迹仿真 6<sd6SM  
    VW^6qf/,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N3?hyR<T  
    •单击go！ o>rsk 6lNi  
     X._skq  
    A4RA5N/}  
     OiI[w8  
    场追迹仿真（相机探测器） 06@^knm  
    _`yd"0 Ux  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 m~;fklX S  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O@;;GJ  
    \_?A8F  
     #/fh_S'Z  
    6*`KC)a  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g ycjIy@t  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d-e6hI4b  
    *?|LE C  
    *a_U2}N  
     $4K( AEt[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SMHQo/c r  
     e~ #;ux  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \)Sa!XLfT  
    eF]`?AeWQ  
     }SL&Y`Y]  
    S/ YT V  
     
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