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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 f7}"lG]q  
    +?RGta'%k  
    O}Ui`eWU  
     PM$Ee #62R  
    建模任务 !Q-wdzsp?  
    Ccfwax+  
    FgA//)1  
    概述 X_; *`,<T  
    |c-LSs'\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kR.wOJ7'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )Du -_Z  
    ;i#LIHJ  
     yeD_j/  
    w5]"ga>Y  
    光线追迹仿真 #`GbHxd  
    w#PZu+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hN`gB#N3  
    •单击go！ X=qS"O 1  
    •获得了3D光线追迹结果。 a ib}`l  
    &J"YsY  
     F N"rZWM  
    nYv#4*  
    光线追迹仿真 >L2*CV3p  
    coQ[@vu  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]S8LY.Az5  
    •单击go！ '\p;y7N  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9+CFRYC  
    YaFcz$GE_  
     .+#Lx;})  
    Wb=Jj 9;  
    场追迹仿真  :q2YBa  
    _[E\=  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5S/>l_od$2  
    •单击go！ oo'w-\2]p  
    GXb47_b^  
    #0MK(Ut/  
     2o{@nN8%  
    场追迹仿真（相机探测器） ./maY1>T  
    hN4VlNKu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :zL393(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 , p0KLU\-  
    'XfgBJF=  
     NM L|"R;  
    >iy^$bqF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .:0M+Jr"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5g NLO\  
    QP\yaPE  
    sMi{"`37  
     vj3isI4lU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \RE c8nsLy  
     J/S{FxNe]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qc0 B<,x7  
    qyv"Wb6+  
     O_CT+Ou  
    Z\!rH "8  
     
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