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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-28
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 X+;#^A3  
    ! qtj1.w  
    U_9|ED:  
     ?mi}S${g  
    建模任务 (RUc>Qi  
    }If,O  
    u3cg&lEgT  
    概述 pcd?6jh8  
    ;Srzka2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gjJ:s,Fg  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +CQIm!Sp  
    `^g-2~  
     T_\hhP~  
    yp hd'Pu"  
    光线追迹仿真 pNHL&H\  
    u3X!O  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 '*U_!RmQ  
    •单击go！ Q>z (!'dw  
    •获得了3D光线追迹结果。 p:| 7d\r  
    x {R j2~KC  
     n>o=RQ2  
    pBVzmQF  
    光线追迹仿真 @q|c|X:I  
    9)F$){G]vs  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $?&distJ  
    •单击go！ (^ J2(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >'3nsR  
    47 &p*=  
     6m9\0)R  
    1LmbXH]%  
    场追迹仿真 P$__c{1\  
    lo7>$`Q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =4/K#cQ  
    •单击go！ ~:b5UIAk  
    M\08 7k  
    =EHKu|rX~  
     ypvz&SzIh  
    场追迹仿真（相机探测器） 4?`*# DPl  
    bM,%+9oz;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >b*}Td~J  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 L3S29-T  
    UE/iq\a>  
     7U)w\A;~  
    9 KU3)%U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W 6R/{H  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6(B[(Af  
    7$kTeKiP  
    x,<|<W5<%  
     @i>4k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ZyrVv\'  
     a/~1CrYr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ib(4Y%U6~  
    jq[Q>"f  
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    c*V/2" 5  
     
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