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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 P~u~`eH* UYsyVY`Fm| 'L ]k\GO 2qDVAq^@ 2. 建模任务 A9ru]|? 0uS6F8x@
OM#eJ,MH<) n]snD1?KX 3. 干涉条纹的变化 NEcE-7aT Un{ 9reX5
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