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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 QUQw/ 4D'AAr57 p<Oz"6_/~ ?Yf0h_> 2. 建模任务 e=ITAH3b |Eyn0\OA
cFD3 4UxxmREx; 3. 干涉条纹的变化 C@o8C%o o;kxu(>yL'
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9$q35e v ^R:XdH 6. VirtualLab Fusion 技术 VbI$#;:[7 31GqWN`>$
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