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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 =[Z3]#h 4b,+; 5}! 36SO\ Z.x]6 2. 建模任务 4pelIoj <9:~u]ixt
5')]Y1J 1;B&R89} 3. 干涉条纹的变化 @o#Yq
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f$B ZSD7%gE<D 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 AGO"), )iK:BL*Nw
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