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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 \PUJD,9H M2N8?Ycv3 k@un}}0r w]yVNB 2. 建模任务 KX]!yA {?5iK1|}K
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3. 干涉条纹的变化 jS~Pdz PkI+z_
p7@R+F\.}; Y*PfU+y~ 4. 走进VirtualLab Fusion x(vQ%JC * 70ZAo4
*<!q@r<d )0iN2L]U; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Zi.' V i/%lB
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w\'tH ?KOw~-u 6. VirtualLab Fusion 技术 uBa<5YDF [)1vKaC
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