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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Syp|s3u; ]-x#zp;= lS?f?n^ IZAbW 2. 建模任务 Y#]Y$n _rs#h) C
2oll-kN Qs%f6rL 3. 干涉条纹的变化 aOYd"S}u _LK>3Sqd OPKX&)SE-
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