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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 w!*ZS~v/r aVHID{Gf Z jSBz),.XU} ^%%Rf 2. 建模任务 % dFz[b 0-OKbw5%=b
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ZI 3. 干涉条纹的变化 i+QVs_jW z( ^?xv
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S{hv:)> 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 BGVnL}0 1Q^u#m3
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