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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 r)*23 &Ojs uuC ["Z
.^Sglo SVe]2ONd 建模任务 n)e2? @+gr/Pul^ EwC]%BZP 仿真干涉条纹 !T{+s
T q[&Kr+)j K^u,B3 走进VirtualLab Fusion K-0=#6?y4 u 272)@R sQJ\{'g o,6t:?Z VirtualLab Fusion中的工作流程 =;rLv7(a 0:$}~T9T •设置输入场 tT}b_r7h(1 −基本光源模型[教程视频] :os8" •使用导入的数据自定义表面轮廓 XO+BZB`F •定义元件的位置和方向 *~vB6V|1 − LPD II:位置和方向[教程视频] =;Gq:mHi •正确设置通道以进行非序列追迹 XF!L.' zH −非序列追迹的通道设置[用例]
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}:e −参数运行文档的使用[用例] m$T5lKn}U? fN&,.UB^p yw^Pok5. $n\P w VirtualLab Fusion技术 2u3Kyn Cj-s
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