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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 B4kJ 7Pdny jT $
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`R_gG9 L^%jR= 建模任务 )oCb9K:km zv>7;En3 )W0z 仿真干涉条纹 0NFYFd-50 +)U>mm, VPI;{0kh 走进VirtualLab Fusion 3OvQ,^[J4 IM 8lA aS)Gj?Odf -8pQI VirtualLab Fusion中的工作流程 Ns#R`WG) Dqg~g|(Q< •设置输入场 K)_DaTmi) −基本光源模型[教程视频] mWiX@#, •使用导入的数据自定义表面轮廓 i286`SLU •定义元件的位置和方向 89+Q^79m − LPD II:位置和方向[教程视频] KOYcT'J@vR •正确设置通道以进行非序列追迹 <x O"
E%t −非序列追迹的通道设置[用例] $^ZugD •使用参数运行检查影响/变化 4PDxmH]y −参数运行文档的使用[用例] pe@j`Sm:Ej =ec"G2$?" jFPD SR5 vq;_x VirtualLab Fusion技术 M.h8Kr!. '@3Kq\/
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