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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Z^tGu7x )bWrd$X
u2qV 6/ a20w, 建模任务 K=kH%ZK {},;-%xE .1ddv4Hk 仿真干涉条纹 s'2Rs^,hN UxPGv;F l`rC0kJ] 走进VirtualLab Fusion _Dq Qfc% Lk(S2$)* $U'3MEEw r<FQX3 VirtualLab Fusion中的工作流程 E#h~V5Tf 52<~K •设置输入场 `Wf5 −基本光源模型[教程视频] q`loOm=y •使用导入的数据自定义表面轮廓 Tt6{WDscZ •定义元件的位置和方向 o`U|`4, − LPD II:位置和方向[教程视频] ul}'{|4 •正确设置通道以进行非序列追迹 tyXl}$)y −非序列追迹的通道设置[用例] U1^l+G^,~ •使用参数运行检查影响/变化 <:cpz* G4 −参数运行文档的使用[用例] G\mKCaI8 w4OW4J# W'G{K\(/ -931'W[s, VirtualLab Fusion技术 1jOKcm'# @W [{2d
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