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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 yi2F#o 'K g*!1S
>?.jN| #q5tG\gnM 建模任务 Zh_3ydMD1 N$u: ! 2s}G6'xE]P 仿真干涉条纹 D'#,%4P,e\ t_+owiF)M k7]4TIUD* 走进VirtualLab Fusion |o@U
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nJ VirtualLab Fusion中的工作流程 0qm CIcg c= aZ[ •设置输入场 bm h@SB −基本光源模型[教程视频] y2 R\SL, •使用导入的数据自定义表面轮廓 l< H nP R/ •定义元件的位置和方向 Hm+VGH'H? − LPD II:位置和方向[教程视频] =&~ K;=: •正确设置通道以进行非序列追迹 bGK-?BE5+A −非序列追迹的通道设置[用例] ]$Q@4=fb •使用参数运行检查影响/变化 R7c42L\QA −参数运行文档的使用[用例] :_Iz(
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