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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 $1`t+0^k MjeI?k}LJ h4xf%vA(; [/`Hz]R 建模任务 6P[O8 "r(pK@h J!gWRw5 仿真干涉条纹 2nz'/G y8 u)Q IF21T 走进VirtualLab Fusion Yoym5<xE ?z36mj"`o 6je%LHhL Bd]DhPhJ VirtualLab Fusion中的工作流程 +_K;Pj]x rnrx%Q •设置输入场 #1lS\! −基本光源模型[教程视频] #~qp8
w •使用导入的数据自定义表面轮廓 i:
uA&9 •定义元件的位置和方向 r}M4()9L − LPD II:位置和方向[教程视频] h 7P?n.K •正确设置通道以进行非序列追迹 $ }bC$?^ −非序列追迹的通道设置[用例] OX`GN#yl •使用参数运行检查影响/变化 PX{~! j%n −参数运行文档的使用[用例] n\NDi22 `v+O5 !6`nN1A o sH,(\4_ VirtualLab Fusion技术 Ljs(<Gm)- OehB"[;+
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