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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >7b)y kl}Xmw{tJ
\+nGOvM 8SC%O\, 建模任务 "A3dvr n~g LPHY WE6\dhJ< 仿真干涉条纹 TDNf)Mm #E$X,[ZFo ]@
M5_%p 走进VirtualLab Fusion ?&X6:KJQ >#(n"RCHf `tEo]p ;inzyFbL= VirtualLab Fusion中的工作流程 +dW|^I{H} 6bO~/mpWT~ •设置输入场 H !)=y −基本光源模型[教程视频] @ -:]P8 •使用导入的数据自定义表面轮廓 d=3'?l` •定义元件的位置和方向 Bh]!WMAw. − LPD II:位置和方向[教程视频] A??@AP[7M •正确设置通道以进行非序列追迹 D'_Bz8H!p −非序列追迹的通道设置[用例] @jy41eIo •使用参数运行检查影响/变化 y\c"b-lQX −参数运行文档的使用[用例] zsXpA0~3s _\8qwDg"#e 1(#;&:$`i f{&bOF v VirtualLab Fusion技术 y$W|~ H ^%>kO,
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