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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 $G,#nh2 oD 7uI~Xo?N
8|U-{"!O? Z(~v{c %< 建模任务 WxgA{q7: t>Ot)d oMw#ROsvC 仿真干涉条纹 z:Q4E|IX 20NotCM $K'A_G^ 走进VirtualLab Fusion #mFY?Zp) #_U[T @pn<x"F5' ws_/F VirtualLab Fusion中的工作流程 gf]k@-) J+]W*?m •设置输入场 ywCF{rRd −基本光源模型[教程视频] i*3*)l y •使用导入的数据自定义表面轮廓 m})EYs1 •定义元件的位置和方向 an<loLW − LPD II:位置和方向[教程视频] yE3l%<;q •正确设置通道以进行非序列追迹 v"~0 3-SX −非序列追迹的通道设置[用例] sf(2~BMQI •使用参数运行检查影响/变化 T`Jj$Lue{ −参数运行文档的使用[用例] |s}7<A 9Q. }jV k04CSzE"% @ /yQ4Gr VirtualLab Fusion技术 o;^k"bo6 F Tk`Mq
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