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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 .@ElfPP(L "&/&v
_7zER6#} Y;'7Ek) 建模任务 O8:,XTAN ]jS+ItL@ 3l@={Ts 仿真干涉条纹 ~m56t5+uw zZ=.riK >m{)shBX 走进VirtualLab Fusion V+l>wMeo e$^ O_e ;2;Kq)j_= z_J"Qk VirtualLab Fusion中的工作流程 obE_`u l# 8V(#S:G35 •设置输入场 s],+]<qX −基本光源模型[教程视频] n300kpv •使用导入的数据自定义表面轮廓 ,Mwj`fgh •定义元件的位置和方向 $fY4amX6Z − LPD II:位置和方向[教程视频] RSY{IY •正确设置通道以进行非序列追迹 U:`g12 −非序列追迹的通道设置[用例] @`ttyI^1f •使用参数运行检查影响/变化 %G$Kahx V> −参数运行文档的使用[用例] "+ji`{ vxo iPqo q*<Df=+B H{P"$zj`l VirtualLab Fusion技术 )nS;]7pB@ bd2"k;H<o
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