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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 :QpuO1Gu u6T+Cg -j%,Oo { D^{[I 建模任务 u\ #"L |s"nM<ZNZ +,2:g}5 仿真干涉条纹 'd.EC# ,-izEr mFg<dTx0c8 走进VirtualLab Fusion s8-<m,* m5L-67[sB G"\`r* O %C$%!C VirtualLab Fusion中的工作流程 `4(e UF?H>Y& •设置输入场 !u_Y7i3^ −基本光源模型[教程视频] >ZPsjQuf" •使用导入的数据自定义表面轮廓 FuVnk~gq •定义元件的位置和方向 =+ytTQc*ot − LPD II:位置和方向[教程视频] L$9.8W •正确设置通道以进行非序列追迹 qDv93 −非序列追迹的通道设置[用例] ABF"~=aL •使用参数运行检查影响/变化 <Fi%iA −参数运行文档的使用[用例] E}Y!O"CAV fBalTk;G{U p<zSJLN Qy.w=80kf VirtualLab Fusion技术 >_o} XM1WfjE\
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