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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 +Mh 9Jf x(88Y7o.t
m4T`Tg#P !}uev 建模任务 pe@/tO&I h<2O+"^ 9=^4p=1J 仿真干涉条纹 @)wNINvD Wr;?t! 2KmPZ&r 走进VirtualLab Fusion QVrMrm+vRv ze%)fZI0f ]O;Rzq{D( al\ R(\p| VirtualLab Fusion中的工作流程 e_pyjaY!s !tD,phca~ •设置输入场 #6<9FY# −基本光源模型[教程视频] 'roZ:NE •使用导入的数据自定义表面轮廓 |2~fOyA+ •定义元件的位置和方向 Ijj]_V{, − LPD II:位置和方向[教程视频] u
kKp,1xz •正确设置通道以进行非序列追迹 nK9A=H'Hc −非序列追迹的通道设置[用例] XmoS$/#" •使用参数运行检查影响/变化 \TBY)_[ { −参数运行文档的使用[用例] FPPGf!Eq _7zER6#} Y;'7Ek) Ot}
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