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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ZdWm:(nkU 0#Y5_i|p
3J|F?M"N7 C]`$AqKl 建模任务 i^Y+?Sx RmeD$>7 o&)8o5 仿真干涉条纹 umH40rX+ #:U%mHT(_ dhf!o0'1M 走进VirtualLab Fusion x,@B(9No U-(01- X Dm[Gc>(~ /cQueUME` VirtualLab Fusion中的工作流程 bP$dU,@p~ lc1(t:"[ •设置输入场 }t=!(GOb} −基本光源模型[教程视频] s %``H` •使用导入的数据自定义表面轮廓 _Gi4A •定义元件的位置和方向
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