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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 @YH+cG| \G2B?>E;
_6Eu2|vM& ,\aUq|~ 建模任务 Jz! Z2c cf7v[ZZ} fof2
xcH! 仿真干涉条纹 (?*BB3b` a@pz*e :v L1}H< 走进VirtualLab Fusion olW|$? KA276# EOoZoVdzx jkF8\dR VirtualLab Fusion中的工作流程 $j5,%\4< nSCWg=E^ •设置输入场 D5an\gE −基本光源模型[教程视频] e62Dx#IY •使用导入的数据自定义表面轮廓 /V?H4z[G •定义元件的位置和方向 G3G6IP − LPD II:位置和方向[教程视频] vwr74A.g0 •正确设置通道以进行非序列追迹 s:AkkkF −非序列追迹的通道设置[用例]
YOAn4]j •使用参数运行检查影响/变化 2 /y}a#s −参数运行文档的使用[用例] [Lp,Hqi5
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