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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 8{^kQ/]'| ha]VWt%}
V(H1q`ao9 BX`{73sw 建模任务 i1 }:8Unxf ^UP`%egR 0yk]o5a++ 仿真干涉条纹 ^pp\bVh2Q] Kn5~d(: ;AG8C#_ 走进VirtualLab Fusion ~[t[y~Hup G30-^Tr x]}^v# `'DmDg VirtualLab Fusion中的工作流程 KjD/o?JUr T$8)u'-pa •设置输入场 w'>p Y −基本光源模型[教程视频] =Qy<GeY •使用导入的数据自定义表面轮廓 G<L;4nA) •定义元件的位置和方向 {5Q!Y&N.% − LPD II:位置和方向[教程视频] S,88*F(<^q •正确设置通道以进行非序列追迹 x+\`gK5 −非序列追迹的通道设置[用例] ju8>:y8 •使用参数运行检查影响/变化 LQ@"Xe]5 −参数运行文档的使用[用例] AP3a;4Z# yl'u'-Zb6 xK>*yV jk;j2YNPw VirtualLab Fusion技术 A @i ld[I}88$
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