[技术]衍射级次偏振态的研究 [复制链接]

光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 FLMiW]?x  
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任务说明 k={D!4kKz  
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简要介绍衍射效率与偏振理论 !.j{vvQ/  
某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 F|F0#HC ?  
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： MeBTc&S<  
$\P/ %eP  
其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 /+92DV  
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： cj2Smgw&>  
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因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 (10t,n$  
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光栅结构参数 F-3=eKZ  
研究了一种矩形光栅结构。 %0-oZL  
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 $Lstq_x+  
根据上述参数选择以下光栅参数： SSF:PTeG>  
光栅周期：250 nm eV?%3h.   
填充因子：0.5 j-1V,V=  
光栅高度：200 nm |-=-/u1  
材料n_1：熔融石英（来自目录） jI8`trD  
材料n_2：二氧化钛（来自目录） mx}5":}  
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偏振态分析 QgU]3`z"  
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 nr]=O`Mvh  
如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 Ms6;iW9  
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 %h ;oi/pe  
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模拟光栅的偏振态 l5w^rj  
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： *
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在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 ??nT[bhQ  
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 3/vtx9D  
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 ph6/+[:  
=~O3j:<6  
Passilly等人更深入的光栅案例。 Q+Nnj(AQY  
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 bq7+l4CGTv  
因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 ]B(}^N>WH  
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? /!Fv/  
光栅结构参数 R,D/:k'~k  
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 +iN!$zF5]  
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。 )b nGZ8h99  
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 +jrx;xwot  
但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 `P\H{  
R~oY R,L;  
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光栅#1——参数 TQeIAy  
假设侧壁倾斜为线性。 <tTNtBb  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 Aa1#Ew<r  
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。 _\4r~=`HQ  
光栅周期：250 nm 3SWDPy  
光栅高度：660 nm K_U`T;Z\  
填充因子：0.75（底部） d >L8SL  
侧壁角度：±6° ,Z|O y|+'  
n_1：1.46 0*:n<T9  
n_2：2.08 rs4:jS
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光栅#1——结果 {C`M<2W]  
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。
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与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 ~jKIuO/  
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光栅#2——参数 2 br>{^T  
假设光栅为矩形。 ZD50-w;  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 J8FzQ2  
矩形光栅足以表示这种光栅结构。 mn1!A`$  
光栅周期：250 nm Sy.%>$z  
光栅高度：490 nm d+P<ce2G  
填充因子：0.5 `&a8Wv  
n_1：1.46 q:vN3#=^qf  
n_2：2.08 fc:87ZR{K  
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光栅#2——结果 3|e~YmZx  
这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 !U5Cwq  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 BB,-HhYT0  
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