目前，激光位移传感器按原理可分成激光三角法和激光回波分析法。 激光三角法适合高精度短距离测量，激光回波分析法适用于远距离测量。在目前的工业机器人应用中，一般使用三角测量，这种方式的最高线性度可以达到1um，分辨率可以达到0.1um的水平。 |IgH0
zZ
'7j!B1K-
三角测量法的原理是将可见红色激光通过透镜射到被测物体表面，被物体反射的激光通过接收透镜，被内部的CCD线阵相机接收。根据不同的距离，CCD线阵相机能够从不同的角度进行操作。 接下来“看到”这个光点。 从这个角度和已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器可以计算出传感器和被测物体之间的距离。 Mu~DB:Y9e
>axf_k
同时，光束在接收元件的位置经过模拟和数字电路处理，并由微处理器分析测量出相应的输出值，并在用户设定的模拟窗口内按比例输出标准数据信号。 如果使用开关量输出，将在设置的窗口内打开，在窗口外关闭。 另外，模拟量和开关量输出的检测窗口可以独立设置。 / }tMb
_$f XK
回波分析的规律是激光发射器每秒向检测对象发射一百万个激光脉冲并返回接收器。 处理器计算激光脉冲到达检测对象并返回接收器所需的时间。 距离值，输出值是数千次测量结果的平均输出，采用所谓的脉冲时间法测量。 激光回波分析法适用于远距离检测，但测量精度低于激光三角法，最长检测距离可达250m。 hj<h]dhp
i#RT4}l"a
激光位移传感器常用于长度、距离、振动、速度和方向等物理量的测量，以及用于探伤和监测大气污染物。
