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    [求助]APC充氧的作用 [复制链接]

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    离线h391485168
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    只看该作者 10楼 发表于: 2023-06-26
    回 18844167969 的帖子
    18844167969:解决吸收，保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  u7bji>j  
    %?!TqJT?{  
    解决吸收，是为了提高穿透吗？
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    离线gaofei555
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    只看该作者 11楼 发表于: 07-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  $ Bdxu  
    r }Nq"s<  
    学习了... u|\K kk  
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    离线renlgj
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    只看该作者 12楼 发表于: 07-21
    主要是氧化，防止脱氧折射率变化
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