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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Oe4 l`
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|!{Q4< 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) :VP4|H#SP ,oX48Wg_+ 建模任务 s|Ls qp 4.XL
kF.!U/C ^0"NcOzzxl 单次FMM仿真结果 JW9^C *')BP;|V`
$T{,3;kt *cxmQ 参数扫描(1D) hDJq:g
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V2sWcV? `fh^[Q|4n0 参数扫描(2D) `}.K@17 (oX|lPD<b "}Kvx{L8 .o91^jt
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