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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 d),@&MSN X62z>mM
yz,ak+wp 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 2u/(Q># %UY=VE\F 建模任务 phEM1",4T s
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单次FMM仿真结果 l*xA5ObV JKGUg3\~
,5H$Tm,6\S sm4@ywd> 参数扫描(1D) Ui'~d(F <`~]P$
[}}oHm3& :G,GHU'/78 参数扫描(2D) E+UOuf*( WcbJ4Ore 9F ).i !\RR UH*
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