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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 FShjUl>mV `;Tf _6c
A]!0Z:{h% 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) g6%]uCFB ,e43m=KhK 建模任务 q~
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LYW 单次FMM仿真结果 **%&|9He %urvX$r4K
3S3(Gl _ +DL 参数扫描(1D) ]0* aE C
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