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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ~^/zCPy[w Vzy]N6QT{ *Yv"lB8 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) :1u>T3L.z dJ\6m!Mp 建模任务 Z+ubc"MVb >4TJH
lB}8 *ggTTHy bHlG(1uf 单次FMM仿真结果 EQPZV
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1".i- 992;~lBu 参数扫描(1D) b3b 4'l 5_Yv>tx 6h>8^l THHrGvb 参数扫描(2D) <[C9F1]Ya "FQh^+ rh2pVDS g$VcT\X
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