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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 N?Z?g_a8 I"!{HnSG`
GhT7:_r~ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) \X`P
W 6]3ZUH; 建模任务 3$b(iI< " t5qAH++axN
0T5>i 0/ 2=|IOkY 单次FMM仿真结果 .G]# _U Y>%NuL|s
u0e#iX .s?OKy 参数扫描(1D) h.^DRR^S WWLVy(
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