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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 .[:*bo3 {W# VUB
Y)v_O_` 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) +D+Rf,D mOi 8W,2 建模任务 6~6*(s|]A K~>ESMZ5
{d,~=s0T ]^CNC0
单次FMM仿真结果 @460r 7q _.@J
y]ZujfW7 ZzuWN& 参数扫描(1D) L9)nRV8 4~/3MG
9"~,ha7S$ zc#aQ. 参数扫描(2D) o@0p VM[Vhk[ pO_L,~< mC(q8%/;
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