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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 -k"^o!p Oj^,m.R
>2Kh0rIH 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 67VT\f IzpZwx^3'' 建模任务 f4PIoZ e /, ! B2
G^`1]? H V;D?^F 单次FMM仿真结果 [!U?}1YQ tz&y*e&
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